KR20070007446A - 웨이퍼 이송용 로봇의 브레이드 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼가 놓이는 표면을 제외한 브레이드의 표면을 블랭크(BLANK)로 형성하여 브레이드 표면에 잔존하는 파티클 오염을 감소시키는 웨이퍼 이송용 로봇의 브레이드에 관한 것이다.

이송로봇의 브레이드의 표면에 에칭 시 발생되는 부산물 등이 잔존하지 않도록 하여 품질불량을 방지하기 위한 본 발명의 웨이퍼 이송용 로봇의 브레이드는, 웨이퍼가 탑재되는 방향에 소정각도 경사를 갖도록 형성하는 경사면과, 상기 경사면 끝단에 연장되어 상기 웨이퍼를 탑재하도록 하는 웨이퍼 탑재면을 구비하고, 상기 웨이퍼 탑재면에는 상기 웨이퍼를 탑재하기 위해 맞닿는 가장자리부분의 이외부분에 홀이 형성된다.

웨이퍼를 탑재하기 위한 브레이드 표면에 홀을을 형성하여 웨이퍼가 맞닿는 표면에 웨이퍼 식각공정 시 발생하는 부산물이 잔존하지 않도록 하므로, 웨이퍼 뒷면이 오염되지 않도록 하여 공정불량발생을 방지한다.

웨이퍼, 브레이드, 핸들러,

Description

웨이퍼 이송용 로봇의 브레이드{BLADE OF WAFER TRANS ROBOT}

도 1은 일반적인 웨이퍼가 탑재된 브레이드의 측면도

도 2는 도의 브레이드 평면구성도

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 브레이드의 평면 구성도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10: 로봇 12: 브레이드

14: 웨이퍼 18: 경사면

20: 웨이퍼 탑재면 22: 홀

본 발명은 웨이퍼 이송용 로봇의 브레이드에 관한 것으로, 특히 웨이퍼가 놓이는 표면을 제외한 브레이드의 표면을 블랭크(BLANK)로 형성하여 브레이드 표면에 잔존하는 파티클 오염을 감소시키는 웨이퍼 이송용 로봇의 브레이드에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 웨이퍼 핸들러는 이송 로봇 전체의 어셈블리(ASSEMBLAY)의 업/다운을 시켜주는 리드(LEAD)부위 및 웨이퍼를 들고 언로딩을 하는 브레이드와 이를 동작하게 구성하는 로테이션(RATATION)/익스텐드(EXTEND), 리트랙트(RETRACT)/업,다운(UP, DOWN)의 동작을 위한 기어 및 각 모터로 구성되어 있으며, 또한 이를 각 스텝 움직임에 맞게 동작시키는 모터구동부를 구비하고 있다. 이러한 핸들러의 브레이드에 의한 로딩동작은 브레이드를 카세트로 삽입하여 웨이퍼를 슬롯에 끼우고 하강하므로서 웨이퍼가 슬롯에 놓여져 탑재하는 것이고, 언로딩동작은 브레이드를 카세트로 삽입하여 슬롯에 탑재된 웨이퍼를 약간 들어올려 브레이드에 웨이퍼가 탑재되도록 하는 것이다.

도 1은 일반적인 웨이퍼가 탑재된 브레이드의 측면도이고,

도 2는 도의 브레이드 평면구성도이다.

로봇(10)은 웨이퍼(14)를 로딩 또는 언로딩되도록 제어한다. 브레이드(12)는 고정부(16)가 경사면(18)을 갖도록 형성되어 있으며, 웨이퍼(14)를 올려놓는 표면이 블랭크되어 있지 않고 그 부위에 로봇(10)의 제어에 의해 언로딩 시 웨이퍼를 탑재하게 된다. 이때 웨이퍼가 정상적으로 탑재되어 로봇(10)의 제어에 의해 브레이드(12)가 웨이퍼를 쳄버에서 들고나올 때 드롭이나 브로큰(BROKEN)이 발생하지 않는다.

그런데 웨이퍼(14)가 탑재되는 브레이드(12)의 표면이 브랭크되어 있지 않기 때문에 에칭도중에 발생되는 부산물 등에 의해 브레이드(12)의 표면이 잔존하게 되면 웨이퍼(14)의 뒷면이 오염되거나 이물질 등이 안착되어 웨이퍼(14)의 품질불량 을 발생하는 문제가 있었다.

따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 이송로봇의 브레이드의 표면에 에칭 시 발생되는 부산물 등이 잔존하지 않도록 하여 품질불량을 방지하는 이송로봇의 브레이드를 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 이송용 로봇의 브레이드는, 웨이퍼 이송용 로봇의 브레이드는, 상기 웨이퍼를 탑재하기 위한 가장자리 둘레부분의 이외의 내측표면에 홀을 형성함을 특징으로 한다.

상기 홀은 에칭공정 시 발생되는 부산물이 상기 브레이드 표면에 잔존하지 않도록 하는 것을 특징으로 하다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 이송용 로봇의 브레이드는, 웨이퍼가 탑재되는 방향에 소정각도 경사를 갖도록 형성하는 경사면과, 상기 경사면 끝단에 연장되어 상기 웨이퍼를 탑재하도록 하는 웨이퍼 탑재면을 구비하고,

상기 웨이퍼 탑재면에는 상기 웨이퍼를 탑재하기 위해 맞닿는 가장자리부분의 이외부분에 홀이 형성됨을 특징으로 한다.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 브레이드의 평면 구성도이다.

웨이퍼(14) 로딩 시 웨이퍼(14)가 슬라이딩되도록 하는 경사면(18)과,

상기 경사면(18)의 끝단에 연장되어 웨이퍼(14)를 안착하기 위한 웨이퍼 탑재면(20)과,

상기 웨이퍼 탑재면(20)의 내측공간 상에 형성되어 식각공정 시 발생되는 부산물이 잔존하지 않도록 개방된 공간을 갖도록 웨이퍼 탑재면(20)의 내측에 형성된 홀(22)로 구성되어 있다.

상술한 도 3을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예의 동작을 상세히 설명한다.

브레이드(12)는 경사면(18)과 웨이퍼 탑재면(20)로 형성되어 있으며, 상기 경사면은(18)은 웨이퍼(14)가 탑재되는 방향에 소정각도 경사를 갖도록 형성하고, 상기 웨이퍼 탑재면(20)은 언로딩할 때 웨이퍼(14)를 탑재하도록 한다. 브레이드(12)의 웨이퍼 탑재면(20)은 웨이퍼(14)를 탑재하기 위한 가장자리 부분의 웨이퍼(14)와 맞닿는 부분의 이외부분에 홀(22)이 형성되어 에칭공정 시 발생되는 부산물 등에 의해 표면이 오염되지 않도록 하여 웨이퍼(14)의 뒷면에 이물질이 잔존하는 것을 방지한다.

상술한 바와 같이 본 발명은 웨이퍼를 탑재하기 위한 브레이드 표면에 홀을을 형성하여 웨이퍼가 맞닿는 표면에 웨이퍼 식각공정 시 발생하는 부산물이 잔존하지 않도록 하므로, 웨이퍼 뒷면이 오염되지 않도록 하여 공정불량발생을 방지할 수 있는 이점이 있다.

Claims (4)

1. 웨이퍼 이송용 로봇의 브레이드에 있어서,

   상기 웨이퍼를 탑재하기 위한 가장자리 둘레부분 이외의 내측표면에 홀을 형성함을 특징으로 하는 이송용 로봇의 브레이드.
2. 제1항에 있어서,

   상기 홀은 에칭공정 시 발생되는 부산물이 상기 브레이드 표면에 잔존하지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇의 핸들러 브레이드.
3. 웨이퍼가 탑재되는 방향에 소정각도 경사를 갖도록 형성하는 경사면과,

   상기 웨이퍼를 탑재하도록 하는 웨이퍼 탑재면를 구비하고,

   상기 웨이퍼 탑재면에는 상기 웨이퍼를 탑재하기 위한 가장자리 부분의 웨이퍼와 맞닿는 부분의 이외부분에 홀이 형성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇의 브레이드.
4. 제3항에 있어서

   상기 홀은 에칭공정 시 발생되는 부산물이 상기 브레이드 표면에 잔존하지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 로봇의 핸들러 브레이드.

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