KR20070000513A - 플리츠형 카트리지 필터 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따르면, 여과 효율이 높고, 필터 수명도 길며, 저렴하게 제조할 수 있는 카트리지 필터 장치를 제공한다. 여과재, 코어, 슬리브 및 2개의 엔드 캡(상하 마개부)을 갖는 아웃-인-패스 방식의 플리츠 카트리지 필터 장치에 있어서, 플리츠 폴딩에 직교하는 필터재 단면 중에는 1개의 산 폴딩선 (a), 그 양측에 2개의 골 폴딩선 (b) 및 그 양측에 2개의 산 폴딩선 (c)가 존재하여 슬리브측의 1개의 낮은 산부, 그 양측 코어측의 2개의 골부, 및 그 양측의 슬리브측의 2개의 높은 산부가 형성되어 있는 W자형 부분을 포함하는 카트리지 필터 장치이다.

Description

플리츠형 카트리지 필터 장치 {Pleated-Type Cartridge Filter Device}
본 발명은 여과 효율이 높고, 필터 수명이 긴 플리츠형 카트리지 필터 장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 여과에 기여하는 필터 면적이 증대된, 저렴하게 제조할 수 있는 플리츠형 카트리지 필터 장치에 관한 것이다.
필터는 각종 유체 중의 이물질ㆍ입자의 분리 처리에 사용되고 있으며, 목적으로 하는 이물질ㆍ입자를 포착할 수 있고, 사용이 간단ㆍ간편하며, 입자의 유지 능력(수용 용량)이 높은, 즉 사용 수명이 긴 기능이 요구되고 있다. 이러한 필터로서 부직포 또는 막상 시트(멤브레인)가 플리츠형으로 폴딩된 플리츠형 필터가 알려져 있다. 플리츠형 필터는 여과 면적을 크게 제조할 수 있다는 점에서 장점이 있다.
필터의 용도로서는 차량용 오일, 공기 여과 장치 등의 비교적 간단한 것에서부터 반도체 장치 제조용 웨이퍼의 세정이나 포토레지스트 여과, 의료 분야에서의 여과 등의 정밀한 것까지 여러 분야에 걸쳐 있다. 특히 정밀한 필터가 요구되는 반도체 분야에서는, 최근 LSI의 집적도가 향상됨에 따라 보다 미세한 배선폭이 요구되고 있으며, LSI의 패터닝을 행하는 제조 공정에서의 매우 미세한 이물질의 배제 기술이 요구되고 있다. 패터닝은 일반적으로는 포토레지스트를 실리콘 웨이퍼에 적용하고, 노광부와 비노광부의 현상액에 대한 용해도 차이를 이용하여 행해지는 것인데, 웨이퍼 상이나 레지스트액에 이물질이 혼입되면, 설계대로의 선폭으로 패터닝할 수 없어 불량의 원인이 된다. 예를 들면, 현재에는 여과 후의 포토레지스트액 중에 0.05 ㎛ 정도의 이물질이 잔존해도 결함ㆍ배선 불량 등의 원인이 된다. 그러나, 포토레지스트액은, 통상은 체류, 장시간의 방치에 의해 겔을 발생하기 쉬운 성질을 갖고 있기 때문에, 포토레지스트액을 실리콘 웨이퍼에 도포하여 감광시키기 전에 포토레지스트액 중에 겔이 발생하게 된다(여기서, 겔이란 포토레지스트 중에서 그 일부가 변질된 감광성 물질과는 상이한 것을 말함). 이러한 겔이 포토레지스트액 중에 존재하는 경우에는, 실리콘 웨이퍼 상의 포토레지스트막에는 감광 동안 현상액에 용해되어야 하는 패턴에 미용해된 이물질이 남아 패턴 결함을 일으키게 된다.
상기와 같은 초미세 입자ㆍ이물질을 제거하기 위한 필터재는 매우 고가이며, 필터재의 사용량은 사용 중에 막힘을 일으키지 않을 정도로 넓은 여과 면적의 범위 내에서 될 수 있는 한 절약하는 것이 바람직하다. 여기서, 필터를 투과하지 않는 입자가 실제로 퇴적되는 부분의 면적을 유효 여과 면적이라고 한다.
통상, 막힘을 방지하여 사용 가능 기간(수명)을 연장하기 위해 유효 여과 면적을 넓히기 위해서는, 사용하는 필터재 면적을 넓히는 방법이 행해지고 있다. 그러나, 통상의 플리츠 폴딩은 높이가 균일한 산으로 구성되기 때문에, 사용 필터재 면적을 넓히기 위해서는 플리츠 폴딩 산의 측면끼리 접촉하도록 필터가 긴밀하게 폴딩될 필요가 있었다. 도 4는 통상적인 플리츠 폴딩 필터의 일례의 단면도이며, 도면의 상류(또는 외측)로부터 피여과 유체가 공급되어 하류(또는 내측)로 여과액이 유출된다. 도 4에서는 산 폴딩선 및 골 폴딩선의 높이가 각각 일정하며, 골 폴딩선은 모두 여과액측 코어에 접촉하도록 설계되어 있다. 이러한 긴밀하게 폴딩된 필터에 의해 이물질 입자를 포함하고 있는 유체를 여과하면, 필터를 투과하지 않은 입자가 폴딩 산의 상측부에만 퇴적되어 막힘을 일으키고, 폴딩된 부분은 유효하게 기능하지 않으며(유효 여과 면적이 좁으며), 결과적으로 필터로서의 수명이 짧아진다는 문제가 있었다(도 4 참조).
또한, 아웃-인-패스 방식의 플리츠 폴딩 필터재에서의 통상적인 플리츠 폴딩의 변형으로서, 슬리브와 마주하는 일부의 산의 정상부의 산 폴딩선을 V자형 골 폴딩으로 전환하여 M자형으로 하여, 모든 산의 정상부 높이를 일정하게 한 구성도 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1). 특허 문헌 1의 필터재는, 원통형 필터재에 있어서 균일 플리츠 폴딩을 행한 경우, 내주측(코어측)이 조밀해지고, 외주측(슬리브측)이 비조밀하게 되어 필연적으로 생기는 외주측의 공간을 유효하게 이용하여 사용 필터재 면적을 넓히기 위한 구성이다(도 5 참조). 따라서, 특허 문헌 1의 여과재는 내주측이나 외주측이 모두 조밀해지는 구성이기 때문에, 필터는 더 긴밀하게 폴딩되어 유효 여과 면적이 보다 좁아지게 되어 있다.
특허 문헌 1: 일본 실용신안 공개 (소)62-87710호 공보
도 1은 본 발명의 일례를 나타내는 필터의 사용 중의 단면 개략도이다.
도 2는 공급 압력을 변화시킨 경우의 필터 장치로부터의 유출 속도의 변화를 나타낸 그래프이다.
도 3은 유량을 일정하게 했을 경우의 필터 장치의 여과 시간의 변화를 나타낸 그래프이다.
도 4는 종래예의 필터의 일례의 단면 개략도이다.
도 5는 종래예의 필터의 다른 예의 단면 개략도이다.
도 6a는 실시예 1에서 사용한 필터재의 전자 현미경 사진(100배)이다.
도 6b는 실시예 1에서 사용한 필터재의 전자 현미경 사진(500배)이다.
도 7a는 비교예 3에서 사용한 필터재의 전자 현미경 사진(100배)이다.
도 7b는 비교예 3에서 사용한 필터재의 전자 현미경 사진(500배)이다.
상기한 바와 같이, 유효 여과 면적을 넓히고, 실제로 사용하는 필터재 면적을 절약하는 방법이 요구되고 있었지만, 필터 장치의 슬리브 외경이나 높이 등의 외경 치수는 호환성이 있도록 제작되어 있기 때문에, 외경 치수를 변경하지 않고 이들 목적을 달성할 필요가 있었다.
본 발명은 사각 필터재를 플리츠형으로 폴딩하고, 필터재의 플리츠 폴딩에 평행한 양단을 서로 밀봉하여 실질적으로 원통형으로서 얻어진 여과재와, 코어(다공질 안쪽통)와, 슬리브(다공질 바깥쪽통)와, 2개의 엔드 캡(상하 마개부)을 가지며, 상기 코어와 슬리브 사이에 상기 여과재를 삽입하여 상하 엔드 캡 사이에 끼워 여과재의 상하 단연부 부분을 엔드 캡에 액밀하게 열 용착하여 슬리브측에서부터 코어측 방향으로 피여과액을 흐르게 하는, 이른바 아웃-인-패스 방식의 카트리지 필터 장치에 있어서, 플리츠 폴딩에 직교하는 필터재 단면 중에는 1개의 산 폴딩선 (a), 그 양측에 2개의 골 폴딩선 (b) 및 그 양측에 2개의 산 폴딩선 (c)가 존재하여 슬리브측의 1개의 낮은 산부, 그 양측 코어측의 2개의 골부, 및 그 양측 슬리브측의 2개의 높은 산부가 형성되어 있는 W자형 부분을 포함하는 카트리지 필터 장치에 관한 것이다.
상기 필터재 중 적어도 한쪽면에 서포트재가 사용될 수도 있다.
상기 낮은 산부를 형성하는 산 폴딩부 (a)와 골 폴딩부 (b)의 간격 A (mm)와, 높은 산부를 형성하는 골 폴딩부 (b)와 산 폴딩부 (c)의 간격 B (mm)의 비율(A/B)은 0.3 이상 1 미만인 것이 바람직하다.
상기 코어의 외경 D (mm)와, 필터재 및 서포트재의 총 두께 t (mm)에 대한 필터재의 골 폴딩선의 총수 n은, n=(πD/2t)×(1.1 내지 1.9)의 관계에 있는 것이 바람직하다.
또한, 「산의 높이」란, 여과재가 수용된 상태의 플리츠 폴딩에 직교하는 필터의 절단면에 있어서, 산 폴딩선으로부터 양측의 인접한 골 폴딩선끼리를 연결하는 선에 수직으로 내린 선과의 직교점까지의 거리를 말한다. 또한, 여과재가 수용된 상태에서 플리츠 폴딩에 직교하는 필터의 절단면의 모든 골 폴딩부를 통과하는 선은 코어 주위에 하나의 원주를 그린다.
<발명의 효과>
본 발명의 플리츠형 카트리지 필터 장치의 필터는, 높은 산과 높은 산 사이에 낮은 산이 포함되기 때문에, 여과에 기여하는 필터 면적이 종래 기술에 비하여 증대되어 있다. 종래 기술에 따르면, 필터 면적을 증대시키기 위해서는 될 수 있는 한 넓은 면적의 필터를 필터 장치 내에 충전할 필요가 있었다. 그러나, 본 발명에서는 의외로 좁은 필터 면적(적은 충전량)으로 여과 효율이 높고, 필터 수명도 긴 효과가 얻어진다. 또한, 여과 효율이 양호하기 때문에, 사용하는 필터재가 적어도 되며, 원재료비가 저렴해지고, 부가적으로 여과재당 플리츠 가공 조작이 적어지기 때문에 제조 시간이 단축된다.
<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>
본 발명의 필터재는 처리액 중의 제거하여야 할 이물질의 크기에 따라 원하는 크기의 구멍을 갖는 소재라면 어떠한 재질의 것이라도 좋으며, 예를 들어 포토레지스트액의 여과를 행하는 경우에는 0.05 내지 0.2 ㎛ 정도의 미세 구멍을 갖는, 폴리테트라플루오로에틸렌 수지(이하, PTFE라고 함), 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, SUS, 나일론, 폴리테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르(이하, PFA라고 함), 폴리비닐리덴 플루오라이드(PVDF) 등의 재질의 필터막이 사용되는데, 이것으로 한정되는 것이 아니다. 또한, 실리콘 웨이퍼용 린스액 등, 반도체 장치 제조에 사용되는 약제의 여과를 행하는 경우에는, 0.05 내지 1.0 ㎛ 정도의 미세 구멍을 갖는 상기 재질의 필터막이 사용된다.
필터재의 두께는 수지계 재료의 경우, 예를 들면 0.1 내지 2.0 mm이다. 0.5 mm 미만이라도 필터재의 굽힘 강성이 낮은 것도 있으며, 서포트재를 사용함으로써 필터가 좌굴하여(buckling) 압력 손실이 증대되는 것을 방지하고 있다. 또한, 2.0 mm를 초과하면 플리츠 가공이 매우 곤란해질 뿐만 아니라, 사용하는 필터재 면적의 상한이 제한되어, 결과적으로 유효 여과 면적이 감소하여 목적하는 성능을 발휘할 수 없다.
본 발명의 여과재는 플리츠 폴딩되어 있고, 플리츠 폴딩에 직교하는 필터재 단면 중에는 1개의 산 폴딩선 (a), 그 양측에 2개의 골 폴딩선 (b) 및 그 양측에 2개의 산 폴딩선 (c)가 존재하여 슬리브측의 1개의 낮은 산부, 그 양측 코어측의 2개의 골부, 및 그 양측 슬리브측의 2개의 높은 산부가 형성되어 있는 W자형 부분을 포함한다. 도 1은 본 발명에 사용되는 필터의 일례의 플리츠 폴딩에 직교하는 단면의 개략도이며, 모든 골 폴딩선은 코어에 접촉되어 있다. 한편, 산의 높이는 상하로 변동되어 있고, 높은 산의 산 폴딩선은 유체 공급측의 슬리브와 가장 근접해 있다. 도 1의 플리츠 폴딩의 1 반복 단위는, 1개의 높은 산과 1개의 낮은 산으로 구성되어 있다. 이 구성을 갖는 필터로 입자 함유 유체를 여과하면, 폴딩된 필터 부분도 유효하게 기능하여 여과가 행해지며, 여과된 입자는 2개의 높은 산 사이에 있는 낮은 산 위에 퇴적할 수 있기 때문에, 필터 막힘을 일으켜 사용이 곤란해질 때까지의 시간(필터 수명)이 길어진다.
상기 산의 높이는 규칙적으로 상하 변동할 수도 있고, 랜덤하게 상하 변동할 수도 있다. 예를 들어, 산의 높이가 「고저」로 이루어지는 2개의 산으로 플리츠 폴딩의 1 반복 단위가 구성되는 것이나, 「고저고」 또는「고저저고」로 이루어지는 3 또는 4개의 산으로 1 반복 단위가 구성되는 것을 들 수 있다.
본 발명의 플리츠 폴딩된 필터는, 여과된 입자가 높은 산과 낮은 산 사이에도 퇴적될 수 있으며, 폴딩된 부분의 일부가 노출되기 때문에 유효 여과 면적이 넓고, 여과 효율이 높아져, 그 결과 필터 수명이 길어진다(도 1 참조).
본 발명의 필터는 플리츠 폴딩의 밀도를 높임으로써 엔드 캡의 용착시에 좌굴하지 않는 높은 강성(형상 유지 성능)을 확보하는 것도 가능하지만, 여과 효율이 높기 때문에 서포트재를 사용하여 폴딩하기 쉽고, 높은 강성(형상 유지 성능)을 확보하는 한편, 플리츠 폴딩의 밀도를 낮추어 필터재의 사용량을 절약하는 것도 가능하다.
높은 산과 낮은 산의 높이 차이는, 상기와 동일하게 조건에 따라 상이하다. 바람직하게는 낮은 산부를 형성하는 산 폴딩부 (a)와 골 폴딩부 (b)의 간격 A (mm)와, 높은 산부를 형성하는 골 폴딩부 (b)와 산 폴딩부 (c)의 간격 B (mm)의 비율(A/B)은 0.3 이상 1 미만이다. 이 범위 내에서 낮은 산은 높은 산보다 낮고, 슬리브에 접하지 않고 여과재 형상을 유지하기 위한 보강도 겸한 지지체가 될 수 있는 높이가 된다. 그 결과, 여과 효율을 감소시키지 않으면서, 필터 수명(공급-배출 압력차가 소정의 값에 도달할 때까지의 여과 부피)도 늘리는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 플리츠는 수지계 재료의 경우, 왕복식, 고속 회전 방식 등의 통상적인 플리츠 가공으로 설정하여 용이하게 제조할 수 있다.
본 발명의 필터재 및 서포트재의 총 두께 t (mm)는, 1개의 산 또는 골의 두께가 2t이기 때문에, 사용하는 코어의 외경 D (mm) 및 필터재의 골 폴딩선의 총수 n 사이에 n=(πD/2t)×(1.1 내지 1.9)의 관계에 있는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 n=(πD/2t)×(1.3 내지 1.8)이다. 상기 총 두께 t(mm)는 압력 등의 힘이 가해지지 않은 상태의 필터재 및 서포트재(사용했을 경우)의 두께의 합계치이다. n이 (πD/2t)×1.1 미만이면 좌굴하기 쉬워 실용적으로 사용할 수 없다. 한편, (πD/2t)×1.9를 초과하면 필터 충전 밀도가 높아져 유효 여과 면적이 좁아지기 때문에, 본 발명의 우수한 효과를 얻기 어렵다.
또한, 간격 A (mm)와 간격 B(mm) 및 총 두께 t(mm)는 t<A<B의 관계에 있다.
본 발명의 여과재는 필터재의 적어도 한쪽면 또는 양면에 서포트재가 사용될 수도 있으며, 예를 들어 필터재 양면에 1쌍의 서포트재가 첨가된 후, 플리츠형으로 폴딩되어 양측 연부가 밀봉된 것일 수도 있다. 서포트재로서는 메쉬, 부직포 등의 통상적으로 사용되는 재료를 사용할 수 있다. 서포트재를 사용함으로써 필터 전체의 굽힘 강성을 높일 수 있게 되어 형상 유지 성능이 향상된다.
서포트재는 네트상, 다공질 시트상, 부직포상으로 사용되며, 예를 들어 PFA, PTFE, 테트라플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체(이하, ETFE라고 함), PVDF 등의 열가소성 불소 수지, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, SUS 등의 재질이 바람직하게 사용된다.
본 발명의 사각 필터재를 플리츠형으로 폴딩하고, 필터재의 플리츠 폴딩에 평행한 양단을 서로 밀봉하여 얻어지는 실질적으로 원통형 여과재는, 코어와 슬리브 사이에 삽입되며, 상하 엔드 캡 사이에 더 끼워 여과재의 상하 단연부 부분을 엔드 캡에 액밀하게 열 용착하여 카트리지 필터 장치에 수용된다.
본 발명의 카트리지 필터 장치는 아웃-인-패스 방식의 카트리지 필터 장치에 사용할 수 있다. 유체가 플리츠형 필터를 통과할 때에는, 유체 공급 방향에 대하여 낮은 산 폴딩 부분을 둘러싸고 있는 높은 산 폴딩 부분이 개구부가 되어 유체에 함유된 입자 및/또는 이물질이 효과적으로 포착되어, 필터의 노출 표면을 충분히 활용할 수 있다.
수지계 재료의 경우, 유체 공급측(1차측) 서포트재의 종류는, 플리츠 가공시 또는 플리츠 가공 후에 있어서, 플리츠의 산 형상(고저)을 유지할 수 있는 서포트재의 조합을 여러가지 선택함으로써 다수 존재한다.
또한, 유체로서 액체, 기체 중 어느 하나를 이용할 수 있다.
<실시예 1>
코팅 중량 250 g/m2(두께 400 ㎛)의 도 6에 나타낸 구성을 갖는 폴리테트라플루오로에틸렌(다이킨 고교사 제조, PTFE) 부직포 막 면적 7,022 cm2에, 1차측(유체 공급측) 서포트재로서 두께 450 ㎛의 PFA제 2중 직물 네트(섬유 직경 0.22 mm) 및 2차측(유체 배출측) 서포트재로서 두께 220 ㎛의 PFA제 두꺼운 네트(섬유 직경 0.11 mm)를 겹쳐 15 mm 산/12 mm 산/15 mm 산으로 구성되는 반복 단위를 반복하여 플리츠 가공("고저고"가 1 반복 단위)하여 폴딩 산 수를 총 114(높이 15 mm의 산 수 76, 높이 12 mm의 산 수 38)로 하고 나서 양측 연부를 밀봉하여 여과재로 해서 카트리지 필터 장치(슬리브 내경 76 mm 코어 외경 46 mm)를 조립하였다. A/B=0.8. n=114=[46π/{2×(0.4+0.45+0.22)}]×1.69.
<비교예 1>
실시예 1의 PTFE 부직포 막 면적 14,520 cm2를 모두 15 mm 산으로 하여 플리츠 폴딩하고, 폴딩 산 수를 총 220(산 높이 15 mm)으로 한 필터를 사용하여 조립한 카트리지 필터 장치를 사용하였다. A/B=1. n=220={46π/(2×0.4)}×1.22.
<비교예 2>
실시예 1의 PTFE 부직포 막 면적 12,300 cm2의 1차측 서포트재 및 2차측 서포트재로서 두께 150 ㎛의 PFA제 얇은 네트(섬유 직경 0.08 mm)를 사용하여 중첩하고, 모두 15 mm 산으로서 플리츠 폴딩하여 폴딩 산 수를 총 187(산 높이 15 mm)로 하고 나서 양측 연부를 밀봉하여 여과재로 해서 카트리지 필터 장치를 조립하였다. A/B=1. n=187=[46π/{2×(0.4+0.15+0.15)}]×1.81.
<비교예 3>
코팅 중량 250 g/m2(두께 400 ㎛)의 도 7에 나타낸 구성을 갖는 PTFE 부직포 막 면적 14,000 cm2를 모두 15 mm 산으로 하여 플리츠 폴딩하고, 폴딩 산 수를 총 213(산 높이 15 mm)으로 한 시판 중인 카트리지 필터 장치(닛본 마이크로크로스 가부시끼 가이샤 제조, 상품명 플루오르가드 PRS 필터)를 사용하였다. A/B=1. n=213={46π/(2×0.4)}×1.18.
필터 성능 평가
코팅 중량 250 g/cm2의 필터를 사용한 실시예 1 및 비교예 1 내지 3의 필터 장치에 대하여, 유체로서 JIS 8종의 더스트(입경 1 ㎛ 또는 5 ㎛)를 농도 100 ppm으로 함유하는 2종의 정제수를 사용하고, 공급 압력 0.05 kgf/cm2 및 0.1 kgf/cm2로 각각 유출 속도를 측정하고, 수명(공급-배출 압력 차이가 1 kgf/cm2에 도달할 때까지의 여과 부피) 및 입자 제거 성능(포집 효율; 리텐션)을 측정하였다. 결과를 하기 표 1에 나타내었다. 또한, 공급 압력을 0 내지 0.5 kgf/cm2로 변화시킨 경우의 필터 장치로부터의 유출 속도의 변화를 도 2에 나타내고(수온 25 ℃), 여과 시간의 변화를 도 3에 나타내었다(수온 22 ℃, 유출 속도 10 L/분).
실시예 1은 실용 가능한 입자 제거 성능을 가지며, 공급 압력에 대한 유출 속도, 수명이 매우 우수하였다.
비교예 1은 서포트 재료를 사용하지 않고, 좌굴을 방지하기 위해 실시예 1의 약 2배 면적의 동일한 필터를 사용하여 종래의 플리츠 폴딩을 행한 것이다(플리츠 폴딩수 약 2배). 실시예 1보다 입자 제거 성능은 매우 향상되었지만, 공급 압력에 대한 유출 속도, 수명이 매우 저하하여 실용에 견딜 수 없었다. 이것은 폴딩 밀도가 매우 높고, 유효 여과 면적이 좁아져 유체 및 함유되는 입자의 통과가 곤란해졌기 때문이다.
비교예 2는 비교예 1과 동일한 필터를 서포트재와 함께 사용하여 형상 유지 성능을 확보하고, 비교예 1보다 필터 면적 및 폴딩 수를 적게 한 것이다. 그러나, 서포트재의 존재에 의해 필터가 긴밀하게 폴딩된 결과, 공급 압력에 대한 유출 속도, 수명은 비교예 1보다는 향상되었지만, 역시 실용에 견딜 수 없었다.
비교예 3은 실시예 1과는 상이한 공경의 필터를 서포트재 없이 사용하고, 형상 유지 성능을 확보하기 위해 플리츠 폴딩의 밀도를 높여 실시예 1의 2배 필터 면적 및 플리츠 폴딩 수를 사용한 것이다. 비교예 3에서는 필터 공경이 크기 때문에 공급 압력에 대한 유출 속도는 실시예 1보다 컸지만, 입자 제거 성능이 매우 낮고, 통상적인 플리츠 폴딩이기 때문에 유효 여과 면적이 좁고, 수명은 반이었다.

Claims (4)

  1. 사각 필터재를 플리츠형으로 폴딩하고, 필터재의 플리츠 폴딩에 평행한 양단을 서로 밀봉하여 실질적으로 원통형으로서 얻어진 여과재와, 코어(다공질 안쪽통)와, 슬리브(다공질 바깥쪽통)와, 2개의 엔드 캡(상하 마개부)을 갖고, 상기 코어와 슬리브 사이에 상기 여과재를 삽입하여 상하 엔드 캡 사이에 끼워 여과재의 상하 단연부 부분을 엔드 캡에 액밀하게 열 용착한 것으로서,
    플리츠 폴딩에 직교하는 필터재 단면 중에는 1개의 산 폴딩선 (a), 그 양측에 2개의 골 폴딩선 (b) 및 그 양측에 2개의 산 폴딩선 (c)가 존재하여 슬리브측의 1개의 낮은 산부, 그 양측 코어측의 2개의 골부, 및 그 양측 슬리브측의 2개의 높은 산부가 형성되어 있는 W자형 부분을 포함하는, 아웃-인-패스 방식의 카트리지 필터 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 필터재의 적어도 한쪽면에 서포트재가 사용되는 카트리지 필터 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 낮은 산부를 형성하는 산 폴딩부 (a)와 골 폴딩부 (b)의 간격 A (mm)와, 높은 산부를 형성하는 골 폴딩부 (b)와 산 폴딩부 (c)의 간격 B (mm)의 비율(A/B)이 0.3 이상 1 미만인 카트리지 필터 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 코어의 외경 D (mm)와, 필터재 및 서포트재의 총 두께 t (mm)에 대한 필터재의 골 폴딩선의 총수 n은, n=(πD/2t)×(1.1 내지 1.9)의 관계에 있는 카트리지 필터 장치.
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