KR20060117393A - 평판 표시 장치의 제조 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템은 복수개의 선반으로 형성되어 있으며, 복수개의 카세트가 적재되는 선반부, 선반부 사이의 주행로를 따라 이동하며, 수평 프레임, 수평 프레임에 수직한 수직 프레임, 수평 및 수직 프레임을 주행로를 따라 이동시키는 주행부, 수직 프레임에 설치되어 있으며 카세트를 선반부에 반입 및 반출하는 반송부를 포함하는 크레인을 포함하고, 수직 프레임의 일면에는 유선형 또는 삼각형의 크레인 커버가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템은 크레인의 수직 프레임의 일면에 유선형 또는 삼각형의 크레인 커버를 설치함으로써 크레인 주행 시 기류와의 접촉 저항을 최소화하고 난류의 발생을 억제시켜 이물질이 기판에 붙는 것을 방지한다. 또한, 크레인 커버의 표면에 볼록 또는 유선 형상을 형성함으로써 크레인의 주행 시 발생하는 난류의 발생을 억제한다.
대형기판, 카세트, 스토커, 기류, 파티클, 이물질, 크레인커버, 배기팬

Description

평판 표시 장치의 제조 시스템{MANUFACTURING SYSTEM OF FLAT PANEL DISPLAY}
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템을 나타낸 사시도이고,
도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 카세트의 개략적인 사시도이고,
도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 선반부의 프레임의 개략적인 사시도이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 크레인의 측면도이고,
도 3a 내지 도 3d는 여러 실시예의 크레인의 개략적인 사시도이고,
도 3e는 크레인 커버의 표면에 복수개의 볼록 형상이 형성된 상태를 도시한 도면이고,
도 3f는 크레인 커버의 표면에 복수개의 오목 형상이 형성된 상태를 도시한 도면이고,
도 4는 크레인의 주행부 및 반송부의 회전 구동부의 확대 도면이고,
도 5 및 도 6은 각각 풍도측에서 본 크레인의 단면도 및 배면측에서 본 크레인의 단면도이고,
도 7a 및 도 7b는 각각 평판 표시 장치의 제조 시스템의 전체 평면도 및 정면도이고,
도 8은 평판 표시 장치의 제조 시스템의 전체 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100: 선반부 200: 크레인
300: 주행로
본 발명은 평판 표시 장치의 제조 시스템에 관한 것으로서, 특히 카세트를 적재 및 반송하는 카세트 적송(積送) 시스템에 관한 것이다.
평판 표시 장치는 액정 표시 장치(LCD, liquid crystal display)와 유기 발광 다이오드(OLED, organic light emitting diode) 표시 장치 등 여러 종류가 있다.
이중, 액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 전계 생성 전극이 형성되어 있는 두 장의 표시판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 액정층을 통과하는 빛의 투과율을 조절하는 표시 장치이다.
이러한 액정 표시 장치의 표시판은 복수개의 기판이 카세트 적송 시스템을 통해 각 제조 공정의 공정 설비로 반송되어 액정 표시 장치로 완성된다.
카세트 적송 시스템은 복수개의 기판을 카세트(cassette)에 수납하고 이러한 카세 트를 크레인(crane)을 이용하여 스토커(stocker)에 적재하거나 반출하며, 스토커에 적재된 카세트를 인덱서(indexer)를 이용하여 각 제조 공정의 공정 설비로 반송한다.
그러나, 기판이 대형화 및 고중량화됨에 따라 카세트, 크레인 및 스토커도 대형화 및 고중량화됨으로써 여러 가지 문제점이 발생한다.
즉, 기판이 대형화됨에 따라 이물질(particle)의 수가 증가한다.
또한, 대형화된 카세트가 적재된 크레인이 주행로를 이동할 때 주행로 주변 및 양단의 기류가 난류 또는 와류 상태가 되기 쉽다. 따라서, 난류 또는 와류에 의해 주행로의 이물질이 카세트가 보관되는 선반부에 유입되어 기판의 회로부에 붙게된다. 이는 액정 표시 장치의 불량을 유발하는 원인이 된다.
본 발명의 기술적 과제는 크레인의 주행 시 발생하는 이물질이 선반부로 유입되지 않도록 하는 평판 표시 장치의 제조 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템은 복수개의 선반으로 형성되어 있으며, 복수개의 카세트가 적재되는 선반부, 상기 선반부 사이의 주행로를 따라 이동하며, 수평 프레임, 상기 수평 프레임에 수직한 수직 프레임, 상기 수평 및 수직 프레임을 상기 주행로를 따라 이동시키는 주행부, 상기 수직 프레임에 설치되어 있으며 상기 카세트를 상기 선반부에 반입 및 반출하는 반송부를 포함하는 크레인을 포함하고, 상기 수직 프레임의 일면에는 유선형 또는 삼각형의 크레인 커버가 설치 되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 크레인 커버의 표면에는 오목 또는 볼록 형상이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 수직 프레임의 측면 하단부에는 복수개의 제1 팬 필터가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 수직 프레임의 내부에는 복수개의 제2 팬 필터가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 수직 프레임의 측면에는 복수개의 제3 팬 필터가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 수평 프레임에는 복수개의 제4 팬 필터가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 크레인의 양 측면에는 차단판이 설치되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 반송부는 수평 지지부, 상기 수평 지지부 위에 설치되어 있는 로봇암을 포함하고, 상기 로봇암의 회전 구동부의 구동축 및 회전 링 사이에는 자성 씰이 설치되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 크레인의 상부에 설치되어 있는 가이드 롤러는 상기 크레인과 소정 간격 이격되어 상부에 설치되어 그 내부를 관통하고 있는 레일과 접촉되지 않는 것이 바람직하다.
또한, 상기 크레인의 반송부를 상승 및 하강시키는 복수개의 구동 모터를 연결하는 구동 벨트는 방진 벨트인 것이 바람직하다.
그러면, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
이제 본 발명의 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 개략적인 사시도이고, 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 카세트의 개략적인 사시도이며, 도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 선반부의 프레임의 개략적인 사시도이다.
도 1a에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템은 복수개의 선반으로 이루어진 선반부(100), 선반부(100) 사이의 주행로(300)를 따라 이동하는 크레인(200)을 포함한다.
선반부(100)는 복수개의 선반으로 이루어진 복수개의 층에 복수개의 카세트(Cassette)(10)가 적재된다. 선반부(100)는 수평 방향의 수평 프레임(110)과 수직 방향의 수직 프레임(120)의 조합으로 형성된다.
도 1b에 도시한 바와 같이, 카세트(10)의 프레임은 알루미늄(Al)으로 형성하는 것이 바람직하며, 카세트(10)의 저면에는 폴리카보네이트(poly carbonate)나 SUS(Steel Use Stainless, 스테인레스 강)(11)를 형성함으로써 카세트(10)의 반송 시 선반부(100)와의 접촉에 의한 마모를 방지한다. 또한, SUS가 저면에 형성된 카 세트(10)는 통전성이 있으므로 알루미늄으로 제조된 프레임을 통해 접지됨으로써 정전기를 방지한다.
또한, 도 1c에 도시한 바와 같이, 카세트(10)가 적재되는 선반부(100)의 카세트 접촉부(112) 위에는 SUS(113)를 형성함으로써 접촉 및 마모로 인한 파티클의 발생을 최소화한다. 그리고, 선반부(100)의 프레임에 형성되어 있는 여러 종류의 홈(111)들에 이물질이 유입되어 정체되는 것을 방지하고, 선반부(100)의 프레임의 크리닝(Cleaning)을 용이하게 하도록 프레임의 홈(111)은 커버(115)로 커버링(Covering)하는 것이 바람직하다.
크레인(200)은 카세트(10)를 핸들링하여 카세트(10)를 선반부(100)에 반입 및 반출한다.
도 2에는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템의 크레인(200)의 측면도가 도시되어 있고, 도 3a 내지 도 3d에는 여러 실시예의 크레인의 개략적인 사시도가 도시되어 있다.
도 2 및 도 3a에 도시한 바와 같이, 크레인(200)은 수평 프레임(210), 수직 프레임(220), 반송부(230) 및 주행부(240)로 이루어진다.
수평 프레임(210)의 아래에는 크레인(200)을 주행로(300)를 따라 이동시키는 주행부(240)가 설치되어 있으며, 수직 프레임(220) 위에는 포스트(Post) 형태로 수직 프레임(220)이 설치되어 있다. 구동 모터 및 이에 연결된 바퀴로 이루어진 주행부(240)는 크레인(200)이 카세트(10)를 적재하고 주행로(300)를 따라 이동할 수 있도록 한다.
반송부(230)는 카세트(10)를 선반부(100)에 반입 및 반출하는 작용을 하도록 로봇암의 형태로 형성하는 것이 바람직하다. 반송부(230)는 수평 지지부(231), 수평 지지부(231) 위에 설치되어 있는 로봇암(232)으로 이루어진다.
수평 지지부(231)는 로봇암(232)을 지지하며, 로봇암(232)을 상승 및 하강시키는 역할을 한다. 반송부(230)의 로봇암(232)은 카세트(10)의 저면에 접촉하여 카세트(10)를 선반부(100)에서 반출 및 반입하는 역할을 한다.
도 4에는 크레인의 주행부 및 반송부의 회전 구동부가 확대 도시되어 있다.
도 4에 도시한 바와 같이, 반송부의 회전 구동부(233)는 구동축(2331), 구동축(2331)의 회전을 원활히 하기 위해 구동축(2331)을 둘러싸며 설치되어 있는 베어링(Bearing)(2332) 및 회전 링(2333)을 포함한다. 이 때, 크레인(200)의 회전 구동부(233)에서 마찰에 의해 이물질이 발생하는 것을 감소시키기 위해 자성 씰(Ferro Seal)(2334)을 구동축(2331)과 회전 링(2333)의 접착부에 설치하는 것이 바람직하다. 즉, 주행부(240)의 회전 구동부(243), 반송부(230)의 회전 구동부(233)에 자성 씰(2334)을 부착하는 경우에는 회전 구동부(233, 243)에서 발생하는 이물질이 외부로 유출되는 것이 차단되어 필터링(filtering) 된다.
그리고, 반송부(230)의 회전 구동부(233)에 설치되어 있는 베어링(2332)은 크리닝용 그리스(Grease)가 들어있는 베어링을 사용하는 것이 바람직하며, 반송부(230) 내부에서 발생하는 이물질은 별도의 팬 필터 유니트(234)를 이용하여 필터링 후 배출하고, 차압 제어하는 것이 바람직하다.
그리고, 도 2 및 도 3a에 도시한 바와 같이, 수직 프레임(220)의 외측에는 크레인 커버(610)가 설치되어 있다. 크레인 커버(610)는 수직 프레임(220)의 내부를 외부로부터 보호하는 역할을 한다.
본 발명의 일 실시예에서는 크레인 커버(610)는 유선형상으로 형성되어 있다. 수직 프레임(220)의 단면은 사각형상이므로 크레인(200)의 주행 시 수직 프레임(220)의 측면 일부 및 뒷부분에는 공기의 흐름이 늦어지며 저기압이 형성된다. 따라서, 저기압이 형성되는 수직 프레임(220)의 뒷부분으로 공기가 유입되어 난류가 발생하며, 이러한 난류에 의해 이물질이 모이게 되고 이렇게 모인 이물질이 기판에 붙게 된다.
그러나, 유선 형상의 크레인 커버(610)를 수직 프레임(220)의 외측에 설치함으로써, 수직 프레임(220)의 앞부분에 부딪히는 공기를 분산시키고 수직 프레임(220)의 측면을 따라 공기가 잘 흐르도록 함으로써 수직 프레임(220) 뒷부분에 저기압이 발생하는 것을 방지하여 난류의 발생을 억제한다.
또한, 유선 형상의 크레인 커버(610)는 수직 프레임(220)의 앞부분에 부딪히는 공기를 분산시킴으로써 공기의 저항을 감소시켜 난류의 발생을 감소시킨다.
그리고, 크레인(200)의 상부에는 가이드 롤러(Guide roller)(250)가 설치되어 있다. 이러한 가이드 롤러(250)는 크레인(200)과 소정 간격 이격되어 상부에 설치되어 있는 레일(Rail)(20)이 그 내부를 관통하고 있다. 이는 크레인(200)이 레일(20)을 따라 주행 시 크레인(200)이 주행 위치를 이탈하지 않고, 정해진 위치로 이동하도록 가이드하는 역할을 한다.
이러한 가이드 롤러(250)는 레일(20)과 접촉되지 않도록 설치되어 있다. 이는 비 상시에만 접촉되도록 함으로써 레일(20)과 가이드 롤러(250)의 접촉에 의한 이물질의 발생을 방지한다.
그리고, 크레인(200)의 반송부(230)를 상승 및 하강시키는 복수개의 구동 모터를 연결하는 구동 벨트(224)는 방진 벨트를 사용함으로써 이물질의 발생을 방지한다.
그리고, 크레인(200)의 수직 프레임(220)의 하단부에는 제1 팬 필터(fan filter)(223)를 설치한다. 제1 팬 필터(223)는 구동 벨트(224)의 동작에 의해 수직 프레임 내부에서 발생하는 이물질을 바닥으로 방출하여 수직 프레임(220) 내부를 청결히 한다.
그리고, 가이드 롤러(250) 아래의 수직 프레임(220)에 배기 홈(221)을 형성하고, 수직 프레임(220)에 제2 팬 필터(222)를 설치한다. 제2 팬 필터(222)는 가이드 롤러(250)와 레일(20)이 접촉하여 발생한 이물질을 수직 프레임(220)의 내부로 흡입하고, 다시 제1 팬 필터(223)를 통해 이물질을 바닥으로 방출한다.
또한, 구동 벨트(224)의 동작에 의해 발생한 이물질은 반송부(230)로도 유출된다. 이를 방지하기 위해 수직 프레임(220)외부에 복수개의 제3 팬 필터(225)를 설치한다. 이러한 제3 팬 필터(225)는 크레인 커버(610)에 의해 덮여져 있으며, 크레인 커버(610)의 하부는 개방되어 있다. 제3 팬 필터(225)는 팬의 회전에 의해 수직 프레임(220) 내부를 저기압으로 유지함으로써 수직 프레임(220) 내부에서 발생한 이물질이 반송부(230)로 유출되는 것을 방지한다. 그리고, 제3 팬 필터(225)는 수직 프레임(220) 내부에서 발생한 이물질이 크레인 커버(610) 내부로 유출되도록 하고 크레인 커버(610)는 이물질이 바닥으로 방출되도록 유도한다.
이와 같이, 구동 벨트(224)의 동작에 의해 반송부(230)로 흐르는 기류의 방향을 제3 팬 필터(225) 및 크레인 커버(610)를 이용하여 바닥으로 유도함으로써 이물질이 반송부(230)로 유입되는 것을 방지한다.
그리고, 회전 구동부(243)에는 회전 구동부(243)를 감싸는 커버(241)가 설치되어 있다. 따라서, 주행부(240)의 회전 구동부(243)에서 발생한 이물질이 비산(飛散)하지 않게 한다.
그리고, 크레인(200)의 수평 프레임(210)에는 복수개의 제4 팬 필터(226)를 설치한다. 제4 팬 필터(226)는 팬의 회전에 의한 강한 바람으로 크레인(200)에 붙어 있는 이물질을 바닥으로 유출시켜 이물질을 제거한다.
또한, 도 3b에 도시한 바와 같이, 삼각 형상의 크레인 커버(620)를 설치함으로써 공기 저항을 최소화하고 수직 프레임(220) 뒷부분에 난류가 발생하는 것을 억제할 수 있다.
또한, 도 3c에 도시한 바와 같이, 크레인 커버(610)의 상부를 경사지게 형성함으로써 공기 저항을 최소화하고 수직 프레임(220) 뒷부분에 난류가 발생하는 것을 억제할 수 있다. 이 때 크레인 커버(610)의 상부의 경사각(θ)은 20도 내지 60도 인 것이 바람직하다.
도 3e에는 크레인 커버의 표면에 복수개의 볼록 형상이 형성된 상태를 도시하였고, 도 3f에는 크레인 커버의 표면에 복수개의 오목 형상이 형성된 상태를 도시하였다.
도 3d 및 도 3e에 도시한 바와 같이, 크레인 커버(610)의 표면에 복수개의 볼록 형상(611)을 형성할 수 있다. 이러한 복수개의 볼록 형상(611)에 의해 볼록 형상(611) 사이에는 복수개의 작은 난기류가 발생하며, 이러한 난기류는 작으므로 발생 후 즉시 소멸된다. 이 때, 볼록 형상(611) 사이에 발생한 복수개의 작은 난기류만큼 수직 프레임(220)의 뒷부분으로 흐르는 공기의 힘은 약해지므로 수직 프레임(220)의 뒷부분에 난류가 발생하기는 어렵다.
또한, 도 3f에 도시한 바와 같이, 크레인 커버(610)의 표면에 복수개의 오목 형상(612)을 형성한 경우에도 복수개의 볼록 형상(611)이 형성된 경우와 동일하게 수직 프레임(220)의 뒷부분에 난류가 발생하는 것을 방지한다.
도 7a에는 평판 표시 장치의 제조 시스템의 전체 평면도가 도시되어 있고, 도 7b에는 평판 표시 장치의 제조 시스템의 정면도가 도시되어 있고, 도 8에는 평판 표시 장치의 제조 시스템의 전체 단면도가 도시되어 있다.
도 1 및 도 8에 도시한 바와 같이, 평판 표시 장치의 제조 시스템의 선반부(100) 및 크레인(200)은 크린 영역(1000)에 설치되어 있으며, 크린 영역(1000)은 상부의 천정(1001)과 하부의 바닥(1002)에 의해 정의된다. 크린 영역(1000)의 바닥(1002)의 아래에는 층간 영역(2000)이 형성되어 있다. 그리고, 크린 영역(1000)의 천정(1001)과 바닥(1002)은 수직 하강 기류가 통과할 수 있도록 복수개의 격자(Grating)로 형성되어 있다.
선반부(100) 및 크레인(200)으로 이루어진 평판 표시 장치의 제조 시스템에서 크레인(200)이 주행로(300)를 따라 주행하는 경우에는 편기류가 발생하여 크레인(200)의 좌측 및 우측에 설치되어 있는 선반부(100)에 와류 또는 난류가 유입된다.
즉, 크레인(200)이 주행로(300)를 따라 이동하는 순간에 편기류가 선반부(100)로 유입되며, 크레인(200)의 통과 직후에는 편기류는 그대로 수직 하방으로 흐른다.
이와 같은 편기류의 선반부(100)로의 유입량은 크레인(200)이 카세트(10)를 적재한 상태에서 주행하는 경우, 고속으로 주행하는 경우, 승강 및 하강 동작 시 및 1층 선반인 경우에 더욱 증가한다.
이와 같은 편기류의 선반부(100)로의 유입을 방지하기 위해 도 1에 도시한 바와 같이, 크레인(200)의 양 측면에 차단판(500)을 설치하는 것이 바람직하다. 이러한 차단판(500)은 크레인(200)의 주행으로 발생하는 편기류가 선반부(100)로 유입되는 것을 방지함으로써 기류 유동에 의해 이물질이 선반부(100)로 유입되는 것을 최소화한다.
도 7a 및 도 7b에 도시한 바와 같이, 크레인(200)이 주행하는 주행로(300)의 양단 중 크레인(200)의 주행 방향의 끝부분(310)에 대응하는 선반부(100)에는 풍도(190)가 형성되어 있다. 풍도(190)는 크레인(200)이 주행하며 밀고 온 기체를 외부로 방출하기 위한 기체의 유출로이다. 이러한 풍도(190)에는 난류 또는 와류가 많이 발생하므로 크린 영역(1000)의 천정(1001)에서 바닥(1002)으로 흐르는 하강 기류의 경사각이 커서 이물질이 선반부(100)로 많이 유입된다. 따라서, 이를 방지하기 위해 풍도(190)에서 기류가 통과하는 격자의 오픈율은 다른 위치에 비해 크도록 형성하는 것이 바람직하다.
따라서, 다량의 기체가 풍도(190)를 통해 외부로 방출됨으로써 난류 또는 와류의 발생이 줄어들게 된다. 따라서, 하강 기류의 경사각이 작아지며, 수직 하강 기류가 되므로, 선반부(100)로 이물질이 유입되는 확률이 적어진다.
또한, 도 7a 및 도 7b에 도시한 바와 같이, 좌측 및 우측 풍도(190)에 풍도 배기 팬(150)을 설치함으로써 크레인(200)의 주행에 의해 풍도(190)에서 발생하는 압축 기류에 의한 난류 또는 와류를 신속하게 제거하여 이물질이 선반부(100)로 유입되는 것을 방지한다. 또한, 이러한 풍도 패기 팬(150)은 크레인(200)이 주행로(300)의 양단을 왕복 이동하는 경우 발생하는 압축 기류의 역류를 방지한다.
그리고, 도 8에 도시한 바와 같이, 평판 표시 장치의 제조 시스템의 천정(1001)에는 크린 영역(1000)에 이물질이 비산하는 것을 방지하도록 수직 하강 기류를 형성하는 복수개의 천정 팬 필터 유니트(FFU)(1002)가 설치되어 있다. 이러한 천정 팬 필터 유니트(1002)는 천정(1001)의 모든 영역에 설치함으로써 부분별 기류의 정체 영역을 제거한다. 즉, 천정 팬 필터 유니트(1002)의 설치율이 100%인 것이 바람직하다.
그리고, 도 8에 도시한 바와 같이, 층간 영역(2000)의 하단(2001)에 층간 배기 팬(2002, 2003)을 설치함으로써 크린 영역(1000)의 천정(1001)에서 바닥(1002)으로 흐르는 주 기류를 선 순환시켜 원활하게 수직 하강 기류가 형성되도록 한다.
도 5 및 도 6에는 각각 풍도측에서 본 크레인의 단면도 및 배면측에서 본 크레인의 단면도가 도시되어 있다.
도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 크레인(200)의 서보 박스(Servo AMP Box)(260)는 분리 및 소형화하여 수직 프레임(220)의 양측에 근접하게 설치한다. 그리고, 캐패시터 박스(Capacitor Box)(280)를 수평 방향으로 눕혀서 설치함으로써 크레인(200)의 정면 단면적을 작게 한다. 이와 같이, 크레인(200)의 정면 단면적 을 작게 함으로써 압축 기류의 양를 작게 할 수 있으며, 따라서, 난류 또는 와류의 양을 작게 할 수 있다.
그리고, 크레인(200) 주행로(300) 근접부 및 천정 상부에 파티클 카운트 프로브(count probe)를 설치하여 실시간으로 모니터링(monitoring)함으로써 이물질의 발생을 지속적으로 체크할 수 있다.
본 발명에 따른 평판 표시 장치의 제조 시스템은 크레인의 수직 프레임의 일면에 유선형 또는 삼각형의 크레인 커버를 설치함으로써 크레인 주행 시 기류와의 접촉 저항을 최소화하고 난류의 발생을 억제시켜 이물질이 기판에 붙는 것을 방지한다.
또한, 크레인 커버의 표면에 볼록 또는 유선 형상을 형성함으로써 크레인의 주행 시 발생하는 난류의 발생을 억제한다.
또한, 수직 프레임의 측벽 또는 수평 프레임에 복수개의 팬 필터를 설치함으로써 이물질을 바닥으로 유도하여 이물질에 의한 기판의 오염을 방지한다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 권리 범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

Claims (10)

  1. 복수개의 선반으로 형성되어 있으며, 복수개의 카세트가 적재되는 선반부,
    상기 선반부 사이의 주행로를 따라 이동하며, 수평 프레임, 상기 수평 프레임에 수직한 수직 프레임, 상기 수평 및 수직 프레임을 상기 주행로를 따라 이동시키는 주행부, 상기 수직 프레임에 설치되어 있으며 상기 카세트를 상기 선반부에 반입 및 반출하는 반송부를 포함하는 크레인
    을 포함하고,
    상기 수직 프레임의 일면에는 유선형 또는 삼각형의 크레인 커버가 설치되어 있는 평판 표시 장치의 제조 시스템.
  2. 제1항에서,
    상기 크레인 커버의 표면에는 오목 또는 볼록 형상이 형성되어 있는 평판 표시 장치의 제조 시스템.
  3. 제1항에서,
    상기 수직 프레임의 측면 하단부에는 복수개의 제1 팬 필터가 설치되어 있는 평판 표시 장치의 제조 시스템.
  4. 제1항에서,
    상기 수직 프레임의 내부에는 복수개의 제2 팬 필터가 설치되어 있는 평판 표시 장치의 제조 시스템.
  5. 제1항에서,
    상기 수직 프레임의 측면에는 복수개의 제3 팬 필터가 설치되어 있는 평판 표시 장치의 제조 시스템.
  6. 제1항에서,
    상기 수평 프레임에는 복수개의 제4 팬 필터가 설치되어 있는 평판 표시 장치의 제조 시스템.
  7. 제1항에서,
    상기 크레인의 양 측면에는 차단판이 설치되어 있는 평판 표시 장치의 제조 시스템.
  8. 제1항에서,
    상기 반송부는 수평 지지부,
    상기 수평 지지부 위에 설치되어 있는 로봇암
    을 포함하고,
    상기 로봇암의 회전 구동부의 구동축 및 회전 링 사이에는 자성 씰이 설치되어 있 는 평판 표시 장치의 제조 시스템.
  9. 제1항에서,
    상기 크레인의 상부에 설치되어 있는 가이드 롤러는 상기 크레인과 소정 간격 이격되어 상부에 설치되어 그 내부를 관통하고 있는 레일과 접촉되지 않는 평판 표시 장치의 제조 시스템.
  10. 제1항에서,
    상기 크레인의 반송부를 상승 및 하강시키는 복수개의 구동 모터를 연결하는 구동 벨트는 방진 벨트인 평판 표시 장치의 제조 시스템.
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