KR20060114472A - 진동감지장치를 갖는 웨이퍼 이송 시스템 - Google Patents

진동감지장치를 갖는 웨이퍼 이송 시스템 Download PDF

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KR20060114472A
KR20060114472A KR1020050036414A KR20050036414A KR20060114472A KR 20060114472 A KR20060114472 A KR 20060114472A KR 1020050036414 A KR1020050036414 A KR 1020050036414A KR 20050036414 A KR20050036414 A KR 20050036414A KR 20060114472 A KR20060114472 A KR 20060114472A
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vibration
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Abstract

진동감지장치를 갖는 웨이퍼 이송 시스템을 제공한다. 상기 시스템은 반도체웨이퍼를 실어 나르는 블레이드를 구비한다. 상기 블레이드에 적어도 하나의 관절을 갖는 로봇 팔이 기계적으로 연결된다. 상기 로봇 팔에 구동장치가 기계적으로 연결된다. 또한, 상기 시스템은 진동감지장치를 구비한다. 상기 진동감지장치는 상기 블레이드 및 상기 로봇 팔의 진동을 원격 감지하도록 배치된다. 상기 진동감지장치는 비접촉식 감지기를 구비하는 것일 수 있다.

Description

진동감지장치를 갖는 웨이퍼 이송 시스템{Wafer transfer system having vibration sensing apparatus}
도 1은 종래의 웨이퍼 이송 시스템을 보여주는 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예들에 따른 웨이퍼 이송 시스템의 구성을 도시한 블록도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예들에 따른 웨이퍼 이송 시스템의 주요부분을 도시한 평면도이다.
본 발명은 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로, 특히 진동감지장치를 갖는 웨이퍼 이송 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조공정의 자동화 경향에 따라 웨이퍼 반송 로봇의 활용영역이 점점 확대되고 있다. 상기 웨이퍼 반송 로봇은 사람의 일부 역할을 대신하여 여러 가지 장점을 갖는다. 예를 들면, 상기 사람에 의한 웨이퍼 이송 작업은 파티클 오염에 취약한 단점을 갖는다. 즉, 상기 사람의 동작은 상기 파티클을 다량 발생시키며, 상기 파티클 중 일부는 웨이퍼의 노출면에 부착된다. 상기 부착된 파티클은 상기 웨이퍼의 불량을 야기한다. 반면, 상기 웨이퍼 반송 로봇에 의한 웨이퍼 이송 작업은 상기 파티클 오염을 원천적으로 예방할 수 있다. 예를 들면, 상기 웨이퍼 반송 로봇의 부품들은 상기 파티클이 발생하기 어려운 재질을 사용한다. 또한, 상기 웨이퍼 반송 로봇은 주변으로부터 유입되는 상기 파티클이 상기 웨이퍼에 부착되기 어려운 구조를 가진다.
도 1은 종래의 웨이퍼 이송 시스템을 보여주는 평면도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 웨이퍼 이송 시스템은 프로세스 챔버(10) 내에 장착된 웨이퍼 반송 로봇(20)을 구비한다.
상기 웨이퍼 반송 로봇(20)은 회전축(21)을 포함한다. 상기 회전축(21)의 한쪽에 구동장치(도시하지 않음)가 접속된다. 상기 회전축(21)의 다른 한쪽에 곧은 팔(straight arm; 23)이 부착된다. 상기 곧은 팔(23)에 구부러진 팔(angled arm; 25)이 부착된다. 상기 구부러진 팔(25)에 블레이드(27)가 부착된다. 상기 곧은 팔(23) 및 상기 구부러진 팔(25)은 순서가 바뀌어 장착될 수도 있다. 상기 블레이드(27)는 웨이퍼를 실어 나르는 역할을 한다.
상기 프로세스 챔버(10)는 내벽(13) 및 바닥(14)을 갖는다. 상기 내벽(13) 및 상기 바닥(14)은 캐비티(cavity; 15)를 구성한다. 상기 캐비티(15)의 가운데에 상기 회전축(21)이 배치된다. 상기 회전축(21)은 상기 바닥(14)에 장착되며 상기 구동장치에 연결된다. 즉, 상기 곧은 팔(23), 상기 구부러진 팔(25) 및 상기 웨이퍼 블레이드(27)는 모두 상기 캐비티(15)의 내부에 배치되고, 상기 구동장치는 상기 캐비티(15)의 외부에 배치된다. 또한, 상기 회전축(21)은 상기 구동장치에 의하 여 시계방향 또는 반시계방향으로 회전동작을 하며 상하로 움직일 수도 있다.
상기 프로세스 챔버(10)에는 서로 다른 웨이퍼 챔버들(31, 32, 33, 34)이 부착된다. 상기 블레이드(27)는 상기 서로 다른 웨이퍼 챔버들(31, 32, 33, 34) 중 선택된 곳에서 웨이퍼를 꺼내어 상기 캐비티(15)의 내부로 가져오거나, 상기 서로 다른 웨이퍼 챔버들(31, 32, 33, 34) 중 선택된 다른 곳에 상기 웨이퍼를 집어넣는 역할을 한다.
그런데 상기 블레이드(27), 상기 구부러진 팔(25), 상기 곧은 팔(23) 및 상기 회전축(21)을 상호 연결하는 부분들은 관절(B)을 갖는다. 상기 관절(B)은 반복적인 동작으로 인한 마모 등으로 상기 블레이드(27)의 떨림 현상을 유발한다. 상기 블레이드(27)의 떨림 현상은 오동작의 원인이 된다. 예를 들면, 상기 블레이드(27)에 실린 웨이퍼가 떨어지는 현상이 발생한다.
상기 웨이퍼 이송 시스템의 이상 유무를 감지하기 위한 방법이 미국특허 제6,708,565 B2호에 "초음파 웨이퍼 블레이드 진동 감지(Ultrasonic wafer blade vibration detecting)"라는 제목으로 린 등(Lin et al.)에 의해 개시된 바 있다.
린 등에 따르면, 반도체소자의 제조에 사용되는 로봇의 한부분에 블레이드가 부설된다. 내벽 및 바닥을 갖는 프로세스 챔버가 제공된다. 상기 내벽 및 상기 바닥은 캐비티(cavity)를 구성한다. 상기 블레이드는 상기 캐비티(cavity)의 가운데에 배치되고 상기 바닥에 부설된다. 상기 블레이드는 상기 프로세스 챔버의 가운데에서 상기 측벽까지 전진후퇴 동작을 한다. 또한, 상기 블레이드는 시계방향 또는 반시계방향으로 회전동작을 한다. 상기 측벽에서 인접한 상기 바닥 상에 하나 이상 의 초음파 센서들(ultrasonic sensors)이 장착된다. 상기 초음파 센서들은 상기 블레이드의 위치를 감지한다. 즉, 상기 블레이드의 떨림을 인식할 수 있다.
그러나 상기 초음파 센서들은 상기 프로세스 챔버의 크기에 따라 여러 개가 필요하다. 상기 여러 개의 초음파 센서들은 상기 로봇의 예방점검을 복잡하게 한다. 예를 들면, 상기 초음파 센서들 중 어느 하나에 이상이 있는 경우 상기 로봇은 사용을 중지하고 수리하여야 한다. 또한, 상기 초음파 센서들은 상기 바닥 상에 고정되므로 상기 블레이드의 지정된 부분에 한하여 떨림을 인식할 수 있다.
결론적으로, 상기 블레이드의 떨림을 조기에 인식할 수 있는 웨이퍼 이송 시스템이 필요하다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 종래기술의 문제점을 개선하기 위한 것으로서, 떨림 발생에 의한 오동작을 예방 할 수 있는 웨이퍼 이송 시스템을 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 웨이퍼 이송 시스템을 제공한다. 상기 시스템은 반도체 웨이퍼를 실어 나르는 블레이드를 포함한다. 상기 블레이드에 적어도 하나의 관절을 갖는 로봇 팔이 기계적으로 연결된다. 상기 로봇 팔에 구동장치가 기계적으로 연결된다. 또한, 상기 시스템은 진동감지장치를 구비한다. 상기 진동감지장치는 상기 블레이드 및 상기 로봇 팔의 진동을 원격 감지하도록 배치된다.
본 발명의 몇몇 실시 예들에서, 상기 진동감지장치는 비접촉식 감지기를 구비하는 것일 수 있다. 이 경우에, 상기 진동감지장치는 스트로보스코프(stroboscope) 또는 레이저 스캐닝 진동측정기를 포함할 수 있다.
다른 실시 예들에서, 상기 시스템은 프로세스 챔버 및 회전축을 더 포함할 수 있다. 상기 프로세스 챔버는 내벽 및 바닥으로 형성된 캐비티(cavity)를 구비할 수 있다. 이 경우에, 상기 회전축은 상기 캐비티의 가운데에 배치될 수 있으며 상기 캐비티의 바닥에 장착될 수 있다. 상기 회전축의 한쪽은 상기 구동장치에 연결될 수 있고 다른 한쪽은 상기 로봇 팔에 연결될 수 있다. 상기 회전축은 상기 구동장치에 의하여 회전동작 및 상하동작을 할 수 있다. 상기 구동장치는 상기 캐비티의 외부에 배치될 수 있다. 상기 로봇 팔 및 상기 블레이드는 상기 캐비티의 내부에 배치될 수 있다.
또 다른 실시 예들에서, 상기 시스템은 중앙처리장치를 더 포함할 수 있다. 상기 중앙처리장치는 상기 구동장치 및 상기 진동감지장치와 신호적으로 연결될 수 있다. 이 경우에, 상기 중앙처리장치는 상기 진동감지장치에서 전달된 신호를 처리하여 상기 구동장치의 구동여부를 지시하는 역할을 할 수 있다.
또한, 본 발명은, 이송 시스템을 제공한다. 상기 시스템은 블레이드를 포함한다. 상기 블레이드에 적어도 하나의 관절을 갖는 로봇 팔이 기계적으로 연결된다. 상기 로봇 팔에 구동장치가 기계적으로 연결된다. 이에 더하여, 상기 시스템은 진동감지장치를 구비한다. 상기 진동감지장치는 상기 블레이드 및 상기 로봇 팔의 진동을 원격 감지하도록 배치된다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시 예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 의미한다.
도 2는 본 발명의 실시 예들에 따른 웨이퍼 이송 시스템의 구성을 도시한 블록도이고, 도 3은 본 발명의 실시 예들에 따른 웨이퍼 이송 시스템의 주요부분을 도시한 평면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예들에 따른 웨이퍼 이송 시스템은 프로세스 챔버(50), 구동장치(60), 웨이퍼 이송장치(70), 진동감지장치(80) 및 중앙처리장치(90)를 구비한다. 상기 중앙처리장치(90)는 상기 프로세스 챔버(50), 상기 구동장치(60), 상기 웨이퍼 이송장치(70) 및 상기 진동감지장치(80)와 신호를 주고받을 수 있도록 연결된다.
상기 프로세스 챔버(50)는 내벽(51) 및 바닥(52)을 갖는다. 상기 내벽(51) 및 상기 바닥(52)은 캐비티(cavity; 53)를 구성한다. 상기 프로세스 챔버(50)에는 서로 다른 웨이퍼 챔버들(95, 96, 97, 98)이 부착될 수 있다. 상기 서로 다른 웨이퍼 챔버들(95, 96, 97, 98) 내에는 웨이퍼 카세트가 장착되어 있을 수 있으며 낱장의 웨이퍼가 들어 있을 수도 있다.
상기 웨이퍼 이송장치(70)는 상기 캐비티(53) 내부에 제공된다. 또한, 상기 구동장치(60)는 상기 캐비티(53) 외부에 제공된다. 예를 들면, 상기 구동장치(60)는 상기 캐비티(53) 아래에 제공될 수 있다.
상기 웨이퍼 이송장치(70)는 회전축(71), 곧은 팔(straight arm; 72), 구부러진 팔들(angled arm; 73), 주 블레이드(primary blade; 78) 및 보조 블레이드(auxiliary blade; 79)를 포함할 수 있다. 상기 회전축(71)의 한쪽은 상기 구동장치(60)에 연결되고 다른 한쪽은 상기 곧은 팔(72)에 연결될 수 있다. 상기 회전축(71)은 상기 구동장치(60)에 의하여 시계방향 또는 반시계방향으로 회전동작을 할 수 있으며, 상하로 움직일 수도 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 회전축(71)은 상기 캐비티(53)의 가운데에 배치될 수 있다. 상기 곧은 팔(72)은 상기 구부러진 팔들(73)에 연결될 수 있다. 상기 구부러진 팔들(73) 중 지정된 곳에 상기 주 블레이드(78)가 연결될 수 있다. 상기 주 블레이드(78)의 반대편에 상기 보조 블레이드(79)가 연결될 수 있다.
상기 블레이드들(78, 79)은 실리콘 웨이퍼와 같은 반도체 웨이퍼를 실어 나르는 역할을 한다. 상기 곧은 팔(72) 및 상기 구부러진 팔들(73)은 로봇 팔(74)을 구성한다. 상기 로봇 팔(74)은 여러 개의 상기 곧은 팔(72) 및 상기 구부러진 팔들(73)을 가질 수 있다. 또한, 상기 블레이드들(78, 79), 상기 구부러진 팔들(73), 상기 곧은 팔(72) 및 상기 회전축(71)을 상호 연결하는 부분들은 관절(B)을 갖는다. 상기 관절(B)은 베어링(bearing)과 같은 부품을 구비할 수 있다. 그 결과, 상기 블레이드들(78, 79)은 상기 구동장치(60)에 의하여 수평이동, 수직이동 및 회전이동을 할 수 있다.
상기 진동감지장치(80)는 상기 프로세스 챔버(50)에 부착될 수 있다. 또한, 상기 진동감지장치(80)는 상기 중앙처리장치(90)에 신호를 전송할 수 있도록 유선 또는 무선으로 연결된다. 상기 진동감지장치(80)는 비접촉식 감지기(81) 및 표시장치(83)를 구비할 수 있다. 예를 들면, 상기 비접촉식 감지기(81)를 채택하는 상기 진동감지장치(80)에는 스트로보스코프(stroboscope) 또는 레이저 스캐닝 진동측정기를 들 수 있다. 상기 스트로보스코프(stroboscope)는 피 측정물체의 표면에 특정주파수의 광원을 주사하여 진동을 원격 측정하는 장치이다. 상기 레이저 스캐닝 진동측정기는 레이저 빔을 이용하여 피 측정물체의 진동을 원격 측정하는 장치이다. 즉, 상기 스트로보스코프(stroboscope) 및 상기 레이저 스캐닝 진동측정기는 모두 피 측정물체의 진동을 원격 측정하는데 적합한 장치들이다. 상기 비접촉식 감지기(81)는 상기 블레이드들(78, 79) 또는 상기 로봇 팔의 진동을 원격 측정할 수 있다. 상기 비접촉식 감지기(81)에서 측정된 진동은 상기 표시장치(83)를 통하여 보여 질 수 있다. 상기 표시장치(83)는 발광소자, 경고 등, 경고 음, 문자 메시지 등에 의하여 표시될 수 있다.
상기 블레이드들(78, 79)은 상기 서로 다른 웨이퍼 챔버들(95, 96, 97, 98) 중 선택된 곳에서 웨이퍼를 꺼내어 상기 캐비티(53)의 내부로 가져오거나, 상기 서로 다른 웨이퍼 챔버들(95, 96, 97, 98) 중 선택된 다른 곳에 상기 웨이퍼를 집어넣는 역할을 한다. 상기 관절(B)은 반복적인 동작으로 인한 마모 등으로 상기 블레이드들(78, 79)의 떨림 현상을 유발할 수 있다. 상기 블레이드들(78, 79)의 떨림 현상은 오동작의 원인이 될 수 있다. 예를 들면, 상기 블레이드들(78, 79)에 실린 웨이퍼가 떨어지는 현상이 발생할 수 있다. 또한, 상기 블레이드들(78, 79)에 실린 웨이퍼가 상기 서로 다른 웨이퍼 챔버들(95, 96, 97, 98) 내부에 접촉될 수도 있다.
그러나 본 발명의 실시 예들에 따르면, 상기 블레이드들(78, 79)의 떨림 현상은 조기에 진단될 수 있다. 예를 들어, 상기 관절(B)의 마모가 시작되어 상기 블레이드들(78, 79)의 떨림 현상이 발생하기 시작하는 단계에서 상기 진동감지장치(80)는 이상을 감지할 수 있다. 이에 따라, 상기 블레이드들(78, 79)에 오동작 현상이 발생하기 전에 조치할 수 있다.
이에 더하여, 상기 진동감지장치(80)는 상기 중앙처리장치(90)에 신호를 전송할 수 있다. 상기 중앙처리장치(90)는 상기 진동감지장치(80)로부터 입력된 신호를 설정된 값과 비교하여 상기 구동장치(60)의 구동여부를 지시하는 역할을 할 수 있다. 예를 들어, 상기 블레이드들(78, 79)의 떨림 현상이 발생하기 시작하는 단계에서 상기 구동장치(60)가 정지되도록 지시할 수 있다.
이제 다시 도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 실시 예들에 따른 상기 웨이퍼 이송 시스템의 제조방법을 설명하기로 한다.
이 방법들은 상기 프로세스 챔버(50)의 내부에 상기 웨이퍼 이송장치(70)를 장착하는 단계를 포함한다. 구체적으로, 상기 프로세스 챔버(50)는 내벽(51) 및 바닥(52)을 갖는다. 상기 내벽(51) 및 상기 바닥(52)은 캐비티(cavity; 53)를 구성한다. 상기 웨이퍼 이송장치(70)는 상기 캐비티(53) 내부에 설치될 수 있다. 상기 구동장치(60)는 상기 캐비티(53) 외부에 장착한다. 예를 들면, 상기 구동장치(60)는 상기 캐비티(53) 아래에 장착할 수 있다. 상기 회전축(71)의 한쪽은 상기 캐비티(53)를 관통하여 상기 구동장치(60)에 기계적으로 연결하고 다른 한쪽은 상기 곧은 팔(straight arm; 72)에 연결한다. 즉, 상기 곧은 팔(72)은 상기 캐비티(53) 내부에 설치될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 회전축(71)은 상기 캐비티(53)의 가운데에 설치될 수 있다. 상기 곧은 팔(72)은 상기 구부러진 팔들(angled arm; 73)에 연결할 수 있다. 상기 구부러진 팔들(73) 중 지정된 곳에 상기 주 블레이드(primary blade; 78)를 연결할 수 있다. 상기 주 블레이드(78)의 반대편에 상기 보조 블레이드(auxiliary blade; 79)를 연결할 수 있다. 이와는 달리, 상기 곧은 팔(72) 및 상기 구부러진 팔들(73)은 순서를 바꾸어 연결할 수도 있다. 상기 곧은 팔(72) 및 상기 구부러진 팔들(73)은 상기 로봇 팔(74)을 구성한다. 상기 로봇 팔(74)은 여러 개의 상기 곧은 팔(72) 및 상기 구부러진 팔들(73)을 가질 수 있다. 또한, 상기 블레이드들(78, 79), 상기 구부러진 팔들(73), 상기 곧은 팔(72) 및 상기 회전축(71)을 상호 연결하는 부분들은 관절(B)을 삽입하여 체결할 수 있다. 상기 관절(B)은 베어링(bearing)과 같은 부품으로 조립할 수 있다. 그 결과, 상기 블레이드들(78, 79)은 상기 구동장치(60)에 의하여 수평이동, 수직이동 및 회전이동을 할 수 있다.
상기 프로세스 챔버(50)에는 상기 서로 다른 웨이퍼 챔버들(95, 96, 97, 98)이 부착될 수 있다. 상기 서로 다른 웨이퍼 챔버들(95, 96, 97, 98) 내에는 웨이퍼 카세트가 장착되어 있을 수 있으며 낱장의 웨이퍼가 들어 있을 수도 있다.
상기 프로세스 챔버(50)에 상기 진동감지장치(80)를 부착할 수 있다. 예를 들면, 상기 진동감지장치(80)는 상기 프로세스 챔버(50)의 사용하지 않는 외벽에 별도의 지그를 사용하여 부착할 수 있다. 상기 진동감지장치(80)는 상기 비접촉식 감지기(81) 및 상기 표시장치(83)를 구비할 수 있다. 이 경우에, 상기 비접촉식 감지기(81)는 상기 블레이드들(78, 79) 또는 상기 로봇 팔(74)의 진동을 원격 측정할 수 있도록 장착할 수 있다. 예를 들면, 상기 비접촉식 감지기(81)는 상기 블레이드들(78, 79) 또는 상기 로봇 팔(74)과 10 도 내지 80 도의 각도를 이루도록 설치할 수 있다. 이에 더하여, 상기 비접촉식 감지기(81)는 상기 블레이드들(78, 79)의 움직임을 자동 추적할 수 있도록 설치할 수도 있다. 또한, 상기 진동감지장치(80)는 상기 중앙처리장치(90)에 신호를 전송할 수 있도록 유선 또는 무선으로 연결할 수 있다.
본 발명은 상술한 실시 예들에 한정되지 않고 본 발명의 사상 내에서 여러 가지의 다른 형태로 변형될 수 있다. 예를 들면, 본 발명은 물체를 이송하는 다른 종류의 이송 시스템에도 적용될 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 진동감지장치를 갖는 웨이퍼 이송 시스템이 제공된다. 상기 웨이퍼 이송 시스템은 프로세스 챔버 내부에 배치된 블레이드 및 로봇 팔을 구비한다. 상기 로봇 팔에 구동장치가 기계적으로 연결된다. 상기 블레이드 및 상기 로봇 팔의 진동을 원격 감지하도록 진동감지장치가 배치된다. 상기 진동감지장치는 스트로보스코프(stroboscope) 또는 레이저 스캐닝 진동측정기와 같은 비접촉식 감지기를 구비할 수 있다. 이에 따라, 상기 블레이드의 떨림 현상은 조기에 진단될 수 있다. 이어서, 상기 블레이드에 오동작 현상이 발생하기 전에 조치할 수 있다. 이에 더하여, 상기 진동감지장치는 중앙처리장치에 신호를 전송할 수 있다. 상기 중앙처리장치는 상기 진동감지장치로부터 입력된 신호를 설정된 값과 비교하여 상기 구동장치의 구동여부를 지시하는 역할을 할 수 있다. 예를 들어, 상기 블레이드의 떨림 현상이 발생하기 시작하는 단계에서 상기 구동장치가 정지되도록 지시할 수 있다. 결과적으로, 떨림 발생에 의한 오동작을 예방 할 수 있는 웨이퍼 이송 시스템을 구현할 수 있다.

Claims (8)

  1. 반도체 웨이퍼를 실어 나르는 블레이드;
    상기 블레이드에 기계적으로 연결되고 적어도 하나의 관절을 갖는 로봇 팔;
    상기 로봇 팔에 기계적으로 연결되는 구동장치; 및
    상기 블레이드 및 상기 로봇 팔의 진동을 원격 감지하도록 배치된 진동감지장치를 포함하는 웨이퍼 이송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 진동감지장치는 비접촉식 감지기를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 진동감지장치는 스트로보스코프(stroboscope) 또는 레이저 스캐닝 진동측정기를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    캐비티(cavity)를 갖는 프로세스 챔버; 및
    상기 캐비티의 가운데에 배치된 회전축을 더 포함하되, 상기 회전축은 상기 캐비티의 바닥에 장착되며 한쪽은 상기 구동장치에 연결되고 다른 한쪽은 상기 로 봇 팔에 연결되며 상기 구동장치에 의하여 회전동작 및 상하동작을 하고, 상기 구동장치는 상기 캐비티의 외부에 배치되며, 상기 로봇 팔 및 상기 블레이드는 상기 캐비티의 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동장치 및 상기 진동감지장치와 신호적으로 연결되는 중앙처리장치를 더 포함하되, 상기 중앙처리장치는 상기 진동감지장치에서 전달된 신호를 처리하여 상기 구동장치의 구동여부를 지시하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 시스템.
  6. 블레이드;
    상기 블레이드에 기계적으로 연결되고 적어도 하나의 관절을 갖는 로봇 팔;
    상기 로봇 팔에 기계적으로 연결되는 구동장치; 및
    상기 블레이드 및 상기 로봇 팔의 진동을 원격 감지하도록 배치된 진동감지장치를 포함하는 이송 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 진동감지장치는 비접촉식 감지기를 구비하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 진동감지장치는 스트로보스코프(stroboscope) 또는 레이저 스캐닝 진동측정기를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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