JP2019030923A - ロボットアーム、ロボット装置、ロボットシステム - Google Patents

Abstract

【課題】 リンクの回転角度をエンコーダにより検出し、エンドエフェクタ位置の位置精度を向上させるロボットアームにおいて、リンクの変形によるエンコーダの検出誤差を低減させる。【解決手段】 リンク部材から成るロボットアームにおいて、リンク部材を回転させる減速機出力軸１１ｂと、リンク部材が回転することで回転するリンク検出軸５と、リンク検出軸５の回転角度を検出するエンコーダ１６と、を有し、減速機出力軸１１ｂとリンク検出軸５が結合されたリンクに空隙７が設けられていることを特徴とするロボットアームを採用した。【選択図】 図３

Description

本発明は、多関節ロボットアームの各関節に設けられるロータリーエンコーダ（以下、エンコーダ）の検出高精度化を可能としたロボットアームの関節構造に関する。

従来、工場等において、様々なロボット装置が使用されており、より複雑な動作を行わせるために多軸多関節のロボットアームにエンドエフェクタを備えたロボット装置が広く普及している。このようなロボット装置を複数組み合わせて工業製品を製造し、製造ラインの自動化、人的コストの削減が図られている。

しかしロボット装置による製造ラインでは、構成するロボット装置のエンドエフェクタの位置（例えばハンドによる対象物の把持位置）精度が悪いと作業ミスにより不良製品が発生する。そのため、ロボット装置による組立での不良製品を少なくするために、ロボット装置のエンドエフェクタの位置精度の向上が望まれている。

そこでロボットアームの関節で、減速機出力の関節角度（以下、単に出力軸角）を直接計測するエンコーダ（以下、出力軸エンコーダ）を設け、ロボット装置のエンドエフェクタ位置の位置決め精度向上を図っている（特許文献１）。特許文献１でのエンドエフェクタの位置精度は、出力軸エンコーダの検出精度に左右されるために、出力軸エンコーダの検出精度向上が望まれる。

特許第５９４３６７６号公報

しかしながら特許文献１に記載の技術は、減速機出力軸からのトルクをリンクに伝達して回転させ、その回転角を出力軸エンコーダにより検出する。そのため減速機出力軸のトルクによるリンク変形が出力軸エンコーダの検出角度に重畳し、出力軸角の検出誤差が大きくなる。その結果、大きな誤差を含む出力軸角からエンドエフェクタ位置を計算すると、エンドエフェクタ位置の検出精度が悪くなってしまう。

そこで、本発明は、多関節ロボットアームに搭載する出力軸エンコーダの出力軸角の検出誤差を小さくし、エンドエフェクタの位置決め精度が高いロボットアームを提供することを目的とする。

本発明は上記課題に鑑み、駆動源を介してリンクを駆動させる関節を備えたロボットアームであって、減速機により減速された前記駆動源の駆動力を前記ロボットアームのリンクに伝える第１の出力軸と、前記リンクと結合し、前記リンクの駆動に追随して駆動する第２の出力軸と、前記第２の出力軸の回転角度を検出する角度検出手段と、を有し、前記第１の出力軸と前記第２の出力軸は、所定の空隙を介して互いに離隔された状態で前記リンクに結合されていることを特徴とするロボットアームを採用した。

本発明によれば、多関節ロボットアームの関節の出力軸エンコーダによるエンドエフェクタ位置の検出精度を高め、エンドエフェクタの位置精度を向上させることができる。

本発明の第１実施形態におけるロボットシステム５００を模式的に示す斜視図である。 本発明の第１実施形態における制御装置２００の概略構成を示したブロック図である。 本発明の第１実施形態における多関節ロボットアーム１００の関節１１２近傍の断面図である。 従来例における多関節ロボットアームの関節１１２ｐ近傍の断面図である。 本発明の第１実施形態における多関節ロボットアーム１００の関節１１２の変形例を示した断面図である。 本発明の第２実施形態における多関節ロボットアーム１００の関節１１２ａ近傍の断面図である。 図４で示した従来例における多関節ロボットアーム１００の関節１１２ｐで配線２０を実装した際の図である。 本発明の第３実施形態における多関節ロボットアーム１００の関節１１２ｂ近傍の断面図である。 第３実施形態における多関節ロボットアーム１００の関節１１２ｂの変形例を示した断面図である。

以下、添付図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。なお、以下に示す実施形態はあくまでも一例であり、細部の構成については本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更できる。また、本実施形態で取り上げる数値は参考数値であって本発明を限定するものではない。

＜第１実施形態＞
図１は本発明の第１実施形態におけるロボットシステム５００を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、ロボットシステム５００は、ワークＷの組立てを行う多関節ロボットアーム１００と、多関節ロボットアーム１００を制御する制御装置２００と、制御装置２００に接続されたティーチングペンダント３００を備えている。

多関節ロボットアーム１００には先端に接続されたハンド（エンドエフェクタ）１０２と、ハンド１０２に作用する力等を検出可能な不図示の力センサを備えている。

ハンド１０２は、ワークＷを把持可能な複数のフィンガと、複数のフィンガを駆動する不図示のアクチュエータを備えており、複数のフィンガを駆動することでワークを把持可能に構成されている。力センサは、ハンド１０２が複数のフィンガでワークＷを把持する際等にハンド１０２に作用する力やモーメントを検出する。

多関節ロボットアーム１００は、作業台に固定されるベース部１０３と、変位や力を伝達する複数のリンク１２１〜１２６と、各リンク１２１〜１２６を旋回又は回転可能に連結する複数の関節１１１〜１１６と、を備えている。なお、本実施形態及び後述する実施形態においては、複数の関節１１１〜１１６は実質的な構成が同じであるため、リンク１２１とリンク１２２との間に設けられた関節１１２を例に説明することで他の関節１１１，１１３〜１１６の説明は省略する。また、関節１１２と同じ構成の関節は、多関節ロボットアーム１００の複数の関節１１１〜１１６のうちの少なくとも１カ所に備えていれば本実施形態を実施可能であり、全ての関節が関節１１２と同様の構成である必要はない。

図２は本発明の第１実施形態における制御装置２００の概略構成を示したブロック図である。図２よりＣＰＵ（演算部）２０１と、ＲＯＭ２０２と、ＲＡＭ２０３と、ＨＤＤ（記憶部）２０４と、記録ディスクドライブ２０５と、各種のインタフェース２１１〜２１５と、を備えている。

ＣＰＵ２０１には、ＲＯＭ２０２、ＲＡＭ２０３、ＨＤＤ２０４、記録ディスクドライブ２０５及び各種のインタフェース２１１〜２１５が、バス２１６を介して接続されている。ＲＯＭ２０２には、ＢＩＯＳ等の基本プログラムが格納されている。ＲＡＭ２０３は、ＣＰＵ２０１の演算処理結果を一時的に記憶する記憶装置である。

ＨＤＤ２０４は、ＣＰＵ２０１の演算処理結果である各種のデータ等を記憶する記憶部であると共に、ＣＰＵ２０１に、各種演算処理を実行させるためのプログラム（例えば、後述する減速機状態プログラム）３３０を記録するものである。ＣＰＵ２０１は、ＨＤＤ２０４に記録（格納）されたプログラム３３０に基づいて各種演算処理を実行する。記録ディスクドライブ２０５は、記録ディスク３３１に記録された各種データやプログラム等を読み出すことができる。

また、各関節の回転駆動系にはそれぞれインタフェースが備えられ、バス２１６を介してティーチングペンダント３００に接続されている。ティーチングペンダント３００は、入力された各関節１１１〜１１６の目標関節角度をインタフェース２１１及びバス２１６を介してＣＰＵ２０１に出力する。また、インタフェース２１２ａ，２１２ｂには、入力軸エンコーダ１０及び出力軸エンコーダ１６が接続されている。そして、入力軸エンコーダ１０及び出力軸エンコーダ１６は、パルス信号をインタフェース２１２ａ，２１２ｂ及びバス２１６を介してＣＰＵ２０１に出力する。

更に、インタフェース２１３，２１４には、各種画像が表示されるモニタ３１１や書き換え可能な不揮発性メモリや外付けＨＤＤ等の外部記憶装置３１２が接続されている。また、インタフェース２１５にはサーボ制御装置３１３が接続されている。ＣＰＵ２０１は、後述するサーボモータ１の回転軸２の回転角度の制御量を示す駆動指令のデータを所定間隔でバス２１６及びインタフェース２１５を介してサーボ制御装置３１３に出力する。

サーボ制御装置３１３は、ＣＰＵ２０１から入力を受けた駆動指令に基づき、サーボモータ１への電流の出力量を演算し、サーボモータ１へ電流を供給して、多関節ロボットアーム１００の関節１１１〜１１６の関節角度制御を行う。即ち、ＣＰＵ２０１は、サーボ制御装置３１３を介して、関節１１１〜１１６の角度が目標関節角度となるように、各関節におけるサーボモータ１の駆動を制御する。

図３は第１実施形態における多関節ロボットアーム１００の関節１１２近傍の断面図（図１Ａ−Ａ方向）である。図３より関節１１２は、サーボモータ（モータ）１と、サーボモータ１の回転角度（入力側回転角度）を検出するための入力軸エンコーダ１０と、サーボモータ１の出力を減速する減速機１１を備えている。また、減速機１１を介して伝達されるモータ１の出力によって回転されるリンク１２２の回転角度（出力側回転角度）を検出するための出力軸エンコーダ１６を備えている。

サーボモータ１は、電磁モータであり、ブラシレスＤＣモータやＡＣサーボモータが例示できる。入力側角度検出手段となる入力軸エンコーダ１０はサーボモータ１の回転軸に設けられており、サーボモータ１の回転に伴って入力側パルス信号を生成し、制御装置２００へと出力する。

同図より減速機１１は、平歯車列や波動歯車減速機等の任意の減速手段を備える。減速機１１は、モータ動力を入力する減速機入力軸１１ａ、上記減速手段、減速後のトルクを出力する減速機出力軸１１ｂ、および減速機の部材を保持する減速機ハウジング１１ｃから構成される。減速機ハウジング１１ｃはリンク１２１にボルト締結で取り付けられ、減速機出力軸１１ｂはリンク１２２の取付部１２２ａにボルト締結で取り付けられる。そして減速機出力軸１１ｂの回転トルクをリンク１２２に伝達する。１１２Ｊは減速機１１の入力軸１１ａ、出力軸１１ｂの回転軸である。これらサーボモータ１、減速機１１等の駆動源により駆動力がリンク１２２に伝達され駆動される。この減速機出力軸１１ｂが第１の出力軸として作用する。

リンク１２１とリンク１２２の間にはクロスローラベアリング１５（リンク間ベアリング）を設けており、これによってリンク１２１とリンク１２２は回転自在に支持される。サーボモータ１のトルクはタイミングプーリ２、タイミングベルト３、タイミングプーリ４を介して減速機入力軸１１ａに伝達される。そして減速機１１で１／Ｎに減速され減速機出力軸１１ｂを介してリンク１２２に伝達され、リンク１２１とリンク１２２は相対的に回転する。

出力軸エンコーダ（角度検出手段）１６は、減速機１１の出力側に設けられており、リンク１２１とリンク１２２との相対角度を検出する。出力軸エンコーダ１６は、リンク１２２の取付部１２２ｂに固定されたリンク検出軸５に取り付けられている。このリンク検出軸５がリンク１２２の回転に追随して回転する。そして回転角度情報を検出するためのスケール１６ａ、スケール１６ａ上のスケール情報を検出して読み出す検出器１６ｂと１６ｃ、リンク検出軸５を支持するベアリング１６ｄから構成される。

検出器１６ｂと１６ｃはスケール１６ａの偏心による検出誤差をキャンセルするため略１８０度に対向配置させる。対向配置した検出器１６ｂと１６ｃの値を平均化することで偏芯による精度劣化を小さくできる。同時にスケールの回転軸方向（図３の紙面左右方向）の振れによる精度劣化も小さくできる。尚、スケール１６ａの偏芯が小さく、出力軸エンコーダの検出値に問題がない場合は、検出器１６ｂと１６ｃの一方のみでもよい。

ベアリング１６ｄは、リンク１２１に対してリンク検出軸５を回転自在に支持するもので、位置的にはクロスローラベアリング１５と略同軸上に配置される。厳密にこの二つのベアリングの軸を同軸にすることは困難なため、深溝玉軸受けのように調整性のあるベアリングを備える。これによって、リンク１２２が減速機１１によって回転されると、リンク検出軸５がリンク１２２に追随して回転し、リンク検出軸５の回転角を出力軸エンコーダ１６によって検出することができる。このリンク検出軸５が第２の出力軸として作用する。

なお、サーボモータ１と入力軸エンコーダ１０との間には、必要に応じて、電源ＯＦＦ時に多関節ロボットアーム１００の姿勢を保持するためのブレーキユニットを設けてもよい。入力軸エンコーダ１０及び出力軸エンコーダ１６は、一般的なロータリエンコーダと同様に、光学式或いは磁気式の何れでもよい。

リンク検出軸５と、減速機出力軸１１ｂとが位置的には略同軸となるように配されている。ここで重要なのは、減速機出力軸１１ｂが固定されている取付部１２２ａと、リンク検出軸５が固定されている取付部１２２ｂとの間には空隙７が形成され、減速機出力軸１１ｂとリンク検出軸５を直接連結せず、離隔されている点である。

これによって、減速機出力軸１１ｂの回転によってリンク１２２が回転された際、その回転トルクによる応力がリンク駆動軸５に伝達して出力軸エンコーダ１６の出力に影響することを防止できる。そして、リンク１２２の回転角そのものをエンコーダ１６によって正確に検出することができる。

尚、空隙７は、リンク１２２の回転時の応力による歪み、ねじれ等の弾性変形の影響を効果的に小さくするため、減速機出力軸１１ｂのＢ−Ｂ方向の断面積とリンク検出軸５のＣ−Ｃ方向断面積よりも大きい断面積をＤ−Ｄ方向に有するように設けられている。

ここで、比較例としての多関節ロボットアーム１００の関節１１２に空隙を設けていない場合の断面図を図４に示す。比較例の関節を説明の便宜上１１２ｐと呼称し、駆動するリンクを１２２ｐと呼称する。図４の関節１１２ｐの断面図は図３の関節１１２の断面図と同方向の断面である。

リンク１２１、１２２ｐは主にアルミ合金等で構成される。そのため、特にモータの起動、停止、或いは質量の大きなワーク搬送時に減速機出力軸１１ｂから大きなトルクが発生してリンク１２１、１２２ｐの減速機出力軸１１ｂ近傍（図３領域Ａ、図４領域Ｂ）が弾性変形する。また、剛性の高い素材をリンクに使用しても精度の高いエンコーダの場合、微小な弾性変形でも角度変位を検出し、誤差となってしまう。

特に図４に示す破線Ｂ領域が減速機出力軸１１ｂのトルクによって大きく弾性変形が生じる領域である。従来では減速機出力軸１１ｂのトルクによる弾性変形が直接、リンク１２２ｐの領域Ｂを介してリンク検出軸５に伝達し、出力軸エンコーダ１６のスケール１６ａに重畳するため検出誤差が生じる。

しかし図３より、本実施形態の関節は弾性変形が伝達する部分に空隙７を設けているため、減速機出力軸１１ｂのトルクによって弾性変形する領域が従来例より小さくなり（破線Ａ）、かつ空隙を設けることで弾性変形が発散される。そしてリンク検出軸５へ伝達される弾性変形量を小さくできる。以上により出力軸エンコーダ１６の検出誤差を小さくすることができる。

また、図３のようにリンク１２２に切り込みによって空隙７を設けるのではなく、図５のようにリンク検出軸５とリンク１２２を結合させる結合部材８を用いてリンク検出軸５を支持する。こうすることでリンク１２２内に空隙７設ける場合と同様の機能を実現することもできる。

結合部材８は締結部８ａと締結部８ｂでボルト締結によりリンク１２２に締結されている。また締結部８ｂは、締結部８ａよりも剛性が低くなるよう、リンク１２２に対する締結部８ｂの接触面積が締結部８ａの接触面積よりも小さくなるように構成されている。こうすることで、リンク検出軸５よりも遠い位置にある締結部８ａに弾性変形量が逃げるようにしている。

なお、結合部材８の剛性が十分大きく、締結部８ｂ側を遊端としても振動等が生じない場合には、締結部８ｂを設けず締結部８ａのみで結合部材８を構成し、第１の実施形態のような空隙を設けても良い。

以上より、部材８により空隙を設けることができるのでリンク１２２回転時の弾性変形量のリンク検出軸５への伝達を低減することができ、出力軸エンコーダの検出誤差を低減することができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態における多関節ロボットアーム１００の関節１１２ａについて、添付図面を参照しながら説明する。第１実施形態では、減速機出力軸１１ｂのトルクによるリンクの弾性変形を空隙により発散させていたが、空隙にリンクとは別の部材を設けても良い。以下で詳述する。

なお、以下では第１実施形態とは異なるハードウェアや制御系の構成の部分について図示し説明する。また、第１実施形態と同様の部分については上記と同様の構成ならびに作用が可能であるものとし、その詳細な説明は省略するものとする。

また、第１実施形態と同一ないし同等の部材や制御機能については、同一の参照符号表記を用いる。特に多関節ロボットアーム１００の関節部分の駆動伝達系の配置に関しては第１実施形態と同様である。

図６は第２実施形態における多関節ロボットアーム１００の関節１１２ａ近傍の断面図である。図示のように、リンク検出軸５とリンク１２２の間の空隙７に吸収部材９を設ける。この吸収部材９はリンク１２２とリンク検出軸５よりも十分に小さい剛性（弾性率）、例えば、シリコーンゴム等を用いる。

吸収部材９の剛性が十分小さければ、この吸収部材９により減速機１１近傍で生じる振動成分が吸収され、リンク検出軸５への振動成分の伝達を小さくできる。

以上説明したように、第２実施形態に係る関節１１２ａによれば、リンク１２２と出力軸エンコーダ１６の結合部の間にリンク検出軸５を設ける。更にリンク１２２とリンク検出軸５よりも低剛性な吸収部材９を、減速機出力軸１１ｂとリンク検出軸５の間に設けることで、減速機１１近傍で生じる振動成分を吸収できる。その結果、リンク検出軸５への振動成分の伝達量が少なくなり出力軸エンコーダの精度誤差を低減できる。

また、本実施形態では吸収部材９として剛性の小さいシリコーンゴムを使用したがリンク１２２よりも熱伝導率の小さい部材を用いても良い。例えばウレタンフォーム等が挙げられる。熱伝導率の小さい部材を用いることで、減速機出力軸１１ｂで生じる摩擦熱が出力軸エンコーダ１６に伝わることを防ぐことができる。こうすることで温度ドリフトによる出力軸エンコーダ１６の検出誤差を低減でき、さらなる検出精度向上を図ることができる。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態における多関節ロボットアーム１００の関節１１２ｂについて、添付図面を参照しながら説明する。第２実施形態では、空隙７を利用し、吸収部材を設けて振動成分を吸収、あるいは熱伝導率の小さい部材を設けて熱の伝導を抑制している。しかしこれらの部材は本質的に必須のものではないので、これらを必要としない場合には、空隙７を、ロボットアームを駆動させるための電機的な配線の収納スペースとして使用しても良い。以下で詳述する。

なお、以下では第１実施形態、第２実施形態とは異なるハードウェアや制御系の構成の部分について図示し説明する。また、第１実施形態、第２実施形態と同様の部分については上記と同様の構成ならびに作用が可能であるものとし、その詳細な説明は省略するものとする。

また、第１の実施形態、第２実施形態と同一ないし同等の部材や制御機能については、同一の参照符号表記を用いる。特に多関節ロボットアーム１００の関節部分の駆動伝達系の配置に関しては第１の実施形態、第２の実施形態と同様である。

図７は図４で示した従来の多関節ロボットアーム１００の関節１１２ｐで配線２０を実装した際の図である。リンク１２１から１２２ｐへ配線２０を実装する場合、スペースの問題から関節の外側に実装することになる。ゆえに別途配線用の通路３００ａ、配線２０を隠して弛みを防ぐためのカバー３００ｂ等を設けなければならなくなるため関節部のサイズが大きくなってしまう。

図８は第３実施形態における多関節ロボットアーム１００の関節１１２ｂ近傍の断面図である。図８では減速機出力軸１１ｂとリンク検出軸５の間の空隙７ｂにリンク１２１からリンク１２２ｂへ通す配線２０を実装した。また、配線２０を通すためにリンク１２１、１２２ｂにそれぞれ孔３１、３２を設けている。

図３と同様に図８中の領域Ａが減速機出力軸１１ｂのトルクによって弾性変形する。しかし、空隙７ｂを設けたことによりリンク検出軸５へ伝達する弾性変形量を小さくできる。更に、配線２０を空隙７ｂに実装することにより関節構造のサイズを小さくすることができる。

また、図９は、減速機出力軸１１ｂの回転軸１１２Ｊの周囲に螺旋状に配線２０を巻きつける保持部３０を設けた例を示している。こうすることで、回転部分において配線にストレスのない引き回しが可能となる。

更に、この空隙に第２の出力軸に影響しないようにモータ１を駆動するための回路基板、出力軸エンコーダの処理基板等を設けてもよい。

上記は配線の収納について説明したが、エアチューブなどの配管を収納しても良い。これにより配管に流れる物体にストレスを与えることなく、配管を引き回すことができる。

以上より、減速機出力軸からの弾性変形がリンク検出軸に伝達する部分に空隙を設けることで弾性変形の伝達により生じる出力軸エンコーダの検出誤差を低減することができる。また、その空隙に剛性の小さい吸収部材や熱伝導率の小さい部材を設けることでも検出誤差を低減することができる。また、多関節ロボットアームの配線や配管の引き回しに空隙を用いることで、関節構造のサイズを小さくすることも可能となる。

各実施形態においては、多関節ロボットアーム１００が、垂直多関節ロボットアームである場合について説明したが、水平多関節ロボットアーム（スカラロボット）、パラレルリンクロボットなどであってもよい。

１ サーボモータ（モータ）
２ タイミングプーリ
３ タイミングベルト
４ タイミングプーリ
５ リンク検出軸
７ 空隙
８ 結合部材
９ 吸収部材、熱伝導率の小さい部材
１０ 入力軸エンコーダ
１１ 減速機
１１ａ 減速機入力軸
１１ｂ 減速機出力軸
１１ｃ 減速機ハウジング
１５ クロスローラベアリング
１６ 出力軸エンコーダ（出力側角度検出手段）
１６ａ スケール
１６ｂ、１６ｃ 検出器
１６ｄ ベアリング
２０ 配線
保持部 ３０
３１、３２ 孔
１００ 多関節ロボットアーム
１０２ ハンド
１０３ ベース部
１１１、１１２、１１２ｐ、１１２ａ、１１２ｂ、１１３、１１４、１１５、１１６ 関節
１１２Ｊ 減速機出力軸回転軸
１２１、１２２、１２２ｐ、１２２ｂ、１２３、１２４、１２５、１２６ リンク
２００ 制御装置
２０１ ＣＰＵ
２０４ ＨＤＤ
３００ ティーチングペンダント
５００ ロボットシステム

Claims (9)

1. 駆動源を介してリンクを駆動させる関節を備えたロボットアームであって、
   減速機により減速された前記駆動源の駆動力を前記ロボットアームのリンクに伝える第１の出力軸と、
   前記リンクと結合し、前記リンクの駆動に追随して駆動する第２の出力軸と、
   前記第２の出力軸の回転角度を検出する角度検出手段と、を有し、
   前記第１の出力軸と前記第２の出力軸は、所定の空隙を介して互いに離隔された状態で前記リンクに結合されていることを特徴とするロボットアーム。
2. 請求項１に記載のロボットアームにおいて、前記第１の出力軸と前記第２の出力軸は、前記第１の出力軸の回転軸と前記第２の出力軸の回転軸が同軸上となるように前記リンクに結合されていることを特徴とするロボットアーム。
3. 請求項１また請求項２に記載のロボットアームにおいて、前記空隙は前記第１の出力軸及び前記第２の出力軸の断面積よりも大きい断面積を有して設けられていることを特徴とするロボットアーム。
4. 請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のロボットアームにおいて、前記第１の出力軸は前記リンクの第１の取付部に結合され、前記第２の出力軸は前記リンクの第２の取付部に結合されており、前記リンクの前記第１の取付部と前記第２の取付部の間には、前記第１の出力軸の駆動によって生じる応力の前記第２の出力軸への伝達を低減する空隙が形成されていることを特徴とするロボットアーム。
5. 請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のロボットアームにおいて、前記空隙に振動成分を吸収する部材が設けられ、該部材の剛性は、前記リンクの剛性よりも小さいことを特徴とするロボットアーム。
6. 請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のロボットアームにおいて、前記空隙に前記リンクの熱伝導率よりも小さい熱伝導率を持つ部材が設けられていることを特徴とするロボットアーム。
7. 請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のロボットアームにおいて、前記空隙に配線およびまたは配管が配置されていることを特徴とするロボットアーム。
8. 請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のロボットアームにエンドエフェクタを備えたロボット装置。
9. 請求項８に記載のロボット装置を用いた、対象物の組立方法。

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