KR20060093465A - 반도체기판 자동 이송장치 - Google Patents

반도체기판 자동 이송장치 Download PDF

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KR20060093465A
KR20060093465A KR1020050014303A KR20050014303A KR20060093465A KR 20060093465 A KR20060093465 A KR 20060093465A KR 1020050014303 A KR1020050014303 A KR 1020050014303A KR 20050014303 A KR20050014303 A KR 20050014303A KR 20060093465 A KR20060093465 A KR 20060093465A
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Abstract

본 발명은 반도체기판, PCB, LCD 등의 기판에 자외선 경화수지를 도포하고, 열경화처리하도록 자동으로 이송시킴에 있어, 기판이 적재되어 순환·이송되는 트레이의 폭을 기판 크기에 따라, 자동으로 조절할 수 있도록 한 것으로서, 실린더와 체인방식에 의해 도어가 동시에 자동 개폐되도록 하고, 히터에 의해 고온을 발생시킨 후, 휀으로 온풍을 순환시켜 기판이 순환·이동되는 이송장치의 내부 온도를 일정하게 유지되도록 하므로서, 작업성과 생산성을 높이고, 열경화처리에 따른 효율성을 향상시켜, 제품에 대한 불량율을 최소화하고 우수한 품질이 반도체기판을 제조할 수 있도록 한 반도체기판 자동 이송장치에 관한 것이다.
본 발명은 기판이 적재되어진 이송트레이가 고정레일 및 가변레일을 따라 순환·이송되며, 이송트레이의 폭을 자동 조절할 수 있으므로, 기판 이송에 따른 편리함을 제공하고, 반도체 기판이 적재되어 순환·이송되는 이송장치의 도어가 동시에 자동 개폐되도록 하고, 히터에 의해 발생된 고온의 온풍을 일정하게 유지시키고 균일하게 분포하므로서, 반도체기판의 열경화처리에 따른 효율성을 향상시키며, 작업성과 생산성을 높일 수 있어 경제적인 것이다.
반도체 기판, 공급부, 출력부, 이송트레이, 승강부, 폭조절부

Description

반도체기판 자동 이송장치{An automatic conveyer of semiconductor PCB}
도 1은 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송 장치의 이송트레이를 나타내는 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 이송트레이를 나타내는 정면도,
도 3은 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 이송트레이를 나타내는 측면도,
도 4는 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치를 나타내는 측면 개략도,
도 5(a), 5(b)는 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 요부를 나타내는 평면도 및 측면 개략도,
도 6(a), 6(b)는 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 도어 개폐기를 나타내는 측면도 및 개략도,
도 7은 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 히팅부를 나타내는 측면도,
도 8(a), 8(b), 8(c)는 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 요부 작동상태를 나타내는 평면 개략도,
도 9(a)는 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 요부를 나타내는 평 면도,
도 9(b)는 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 요부 확대도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1:이송장치 10:공급부
20:출력부 30:이송트레이
40:상부 이송부 50:하부 이송부
60:승강부 70:하강부
80:폭조절부 90:히팅부
100:도어부 110:구동부
본 발명은 반도체기판 자동 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체기판, PCB, LCD 등의 기판에 자외선 경화수지를 도포하고, 열경화처리하도록 자동으로 이송시킴에 있어, 기판이 적재되어 순환·이송되는 트레이의 폭을 기판 크기에 따라, 자동으로 조절할 수 있도록 한 반도체 기판 자동 이송장치에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 실린더와 체인방식에 의해 도어가 동시에 자동 개폐되도록 하고, 히터에 의해 고온을 발생시킨 후, 휀으로 온풍을 순환시켜 기판이 순환·이동되는 이송장치의 내부 온도를 일정하게 유지되도록 하므로서, 작업성과 생산성을 높이고, 열경화처리에 따른 효율성을 향상시켜, 제품에 대한 불량율을 최소화하고 우수한 품질이 반도체기판을 제조할 수 있도록 한 반도체기판 자동 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체기판, 인쇄회로기판(PCB), LCD 등 기판형태로 이루어진 전자부품은 제조과정에서, 표면에 자외선 경화수지가 도포되고, 도포된 수지의 열경화처리가 요구된다.
지금까지, 반도체기판을 제조하는 과정에서, 표면에 도포된 경화수지를 열경화기를 이용하여 열경화처리하는 과정에서, 챔버 내부 온도가 약 200℃ 이상을 유지하게 되고, 도포된 경화수지가 열경화되는 과정에서 일부가 내부에서 비산되어 끈적끈적한 부위가 존재하게 되며, 이로 인해 내부기기의 작동에 좋지 않은 영향을 끼치게 되어 불량의 원인을 제공하게 되었다.
최근에는 이러한 불량원인을 해소하기 위하여, 열경화기 내부로 기판이 위치하게 되는 팔레트를 적재하거나 열경화처리가 이루어진 기판이 위치하게 되는 팔레트를 분리하거나 또는, 열경화기의 내부에서 외부로 이송하는 자동화 기술이 요구되는 바, 현재, 기판을 자동으로 이송함에 있어, 위에서 언급한 바와 같은, 내부의 열악한 조건으로 인해 초기에는 어느 정도 정상적인 작동이 가능하였으나, 사용기간이 일정 경과하게 되면, 이송장치의 작동이 멈추게 되는 폐단을 안고 있으며, 비일비재(非一非再)하게 발생되는 고장으로 인해 이송장치를 이용하여 기판을 이송하여 단축되는 작업시간 보다, 오히려 수리 및 재가동하기 위해 소요되는 시간을 소모하게 되는 등 이송에 따른 많은 문제점이 발생하게 되었다.
뿐만 아니라, 열경화기, 즉, 기판의 이송이 멈추게 되면, 전체적인 제조라인의 작동을 중단시켜야 되는 지대한 문제점을 안고 있으므로, 전체적인 공정의 자동화가 실현되지 않고 있으며, 반도체 기판을 제조함에 있어, 열경화처리를 위해서는 별도의 장비를 구축해야 하므로, 비생산적이고 효율적이지 못함에도 불구하고, 이송작업을 수작업에 의존해야 하는 실정이다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 그 목적은 반도체 기판을 이송함에 있어, 기판이 적재되어진 이송트레이가 고정레일 및 가변레일을 따라 순환·이송되며, 이송하고자 하는 기판의 크기에 따라, 이송트레이의 폭을 자동 조절할 수 있도록 하여 므로서, 기판 이송에 따른 편리함을 제공하고, 생산성과 효율성을 향상시킬 수 있도록 된 새로운 형태의 반도체기판 자동 이송장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 반도체 기판이 적재되어 순환·이송되는 이송장치의 도어가 동시에 자동 개폐되도록 하고, 히터에 의해 발생된 고온의 온풍을 송풍휀으로순환시키되, 풍량조절판과 배압조절판을 이용하여 내부 온도를 균일하게 유지함에 따라, 효율적인 반도체기판의 이송을 이루고자 하는 것이다.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 반도체기판이 이송트레이에 적재된 상태로 이송되고, 이송되는 과정에서 표면에 경화수지가 도포되며, 열경화 처리를 위해 이송·공급됨에 있어서, 반도체 기판을 이송하여 공급 및 배출하는 입·출력부와; 공급되는 기판을 적재하여 이송하는 이송트레이와; 기판이 적재된 이 송트레이를 순환·이송하는 상·하부 이송부와; 공급부로부터 공급된 기판이 이송트레이에 적재되도록 하는 승강부와; 적재된 기판이 출력부로 배출되도록 이송트레이를 하강시키는 하강부와; 기판의 크기에 따라, 이송트레이의 적재공간 폭을 자동 조절하는 폭조절부와; 이송트레이의 위치를 이동시키는 구동부와; 이송·공급되는 기판의 열처리를 위한 히팅부와; 실린더를 이용한 체인 구동방식에 의해 개폐되는 도어부로 이루어진 특징을 갖는다.
이와 같은 본 발명에서, 이송트레이는 전,후방 네모서리부에 고정체가 수직되게 설치되는 상·하판과; 고정체의 전,후방 상,하부에 횡방향으로 설치되는 상·하부 가이드봉과; 하우징에 의해 고정체 사이에 위치되도록 설치되어 상·하부 가이드봉을 따라 슬라이드 이동되게 설치되는 이동체와; 상기 하판의 저면 네 모서리부에 결합되는 고정 로울러와; 상기 하우징의 저면에 결합되는 한 쌍의 폭조절용 로울러와; 상기 하판의 일측 상면에 상향돌출되게 결합되는 작동봉으로 이루어진 특징을 갖는다.
이와 같은 본 발명에서, 폭조절부는 소정 간격을 이루며 수평되게 설치되는 한 쌍의 고정레일과; 고정레일을 가로지르도록 결합된 다수개의 지지봉과; 고정레일 사이에 수평되게 설치되며, 전동모터에 의해 회전되는 구동스크류에 의해 위치가 가변되도록 설치되는 가변레일로 이루어진 특징을 갖는다.
이하, 본 발명을 첨부된 도면에 의해 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 9(b)에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 기판 자동 이송장치(1)의 입·출력부(10, 20)는 반도체 기판을 이송하여 공급 및 배출하도록 전,후방에 설치되고, 이송트레이(30)는 전,후방 네모서리부에 고정체(31)가 수직되게 상·하판(32, 33)이 설치되고, 고정체(31)의 전,후방 상,하부에는 상·하부 가이드봉(34, 35)이 횡방향으로 설치되며, 이동체(36)가 하우징(37)에 의해 고정체(31) 사이에 위치되도록 설치되어 상·하부 가이드봉(34, 35)을 따라 슬라이드 이동되도록 이루어진 것이다.
이때, 이송트레이(30)는 상기 하판(33)의 저면 네 모서리부에 고정 로울러(38)가 결합되고, 하우징(37)의 저면에는 한 쌍의 폭조절용 로울러(39)가 결합되며, 상기 하판(33)의 일측 상면에는 작동봉(33')이 상향돌출되게 결합된다.
본 발명에 따른 반도체 기판 자동 이송장치(1)의 상·하부 이송부(40, 50)는 기판이 적재된 이송트레이(30)가 순환·이송되게 설치되고, 승강부(60)는 공급부(10)로부터 공급된 기판이 이송트레이(30)에 적재되도록 설치되며, 하강부(70)는 적재된 기판이 출력부(20)로 배출되게 이송트레이(30)를 하강시키도록 설치되는 것이다.
또한, 폭조절부(80)는 기판의 크기에 따라, 이송트레이(30)의 적재공간 폭을 자동 조절하게 되며, 히팅부(90)는 이송·공급되는 기판의 열처리를 위해 균일한 온도를 유지하도록 설치되고, 도어부(100)는 실린더(102)를 이용한 체인(103)의 구동방식에 의해 양쪽에 설치된 도어(104, 105)가 동시에 자동 개폐되도록 설치된다.
이때, 상기 폭조절부(80)는 소정 간격을 이루며 수평되게 설치되는 한 쌍의 고정레일(81, 82)과; 고정레일(81, 82)을 가로지르도록 결합된 다수개의 지지봉 (83)과; 고정레일(81, 82) 사이에 수평되게 설치되며, 전동모터(84)에 의해 회전되는 구동스크류(85)에 의해 위치가 가변되도록 설치되는 가변레일(86)로 이루어진 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송 장치의 이송트레이를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 이송트레이를 나타내는 정면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 이송트레이를 나타내는 측면도로서, 이송트레이(30)는 반도체 기판이 적재되어 이송·공급되되, 기판의 크기에 따라, 기판이 적재되는 폭을 자동 조절할 수 있는 것이다.
이송트레이(30)의 고정체(31)와 이동체(36)에는 상호간에 대향되는 위치에 대응되는 형태로 거치대(30')가 다단을 이루도록 결합되고, 하판(33)의 저면에는 원할한 이동을 위한 고정로울러(38)가 결합되며, 이동체(36)는 하우징(37)에 고정된 상태로 상·하부 가이드봉(34, 35)을 따라 슬라이드 되면서 위치가 가변되게 설치되는 것이다.
이때, 상기 하판(33)의 일측 상면 가운데 부위에는 위치 가변을 위한 작동봉(33')이 결합된다.
도 4는 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치를 나타내는 측면 개략도로서, 케이스본체(2)의 전,후방에 공급부(10)가 설치되어 타공정에서 가제조되어진 기판을 공급하게 되고, 공급되는 기판은 이송트레이(30)에 적재되어 상부 이송부(40)를 거쳐 출력부(20)로 이송된 후, 또 다른 가공을 위한 공정으로 이송·공급되게 이루어지는 것이다.
이때, 이송트레이(30)는 기판이 적재된 상태로 상부 이송부(40)를 통해 이송된 후, 하강부(70)에 의해 기판이 배출된 빈상태로 하부 이송부(50)로 이송된 다음, 승강부(60)에 의해 다시 공급부(10)에 공급되어 기판이 적재되는 순환·이동을 반복하게 된다.
도 5(a), 5(b)는 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 요부를 나타내는 평면도 및 측면 개략도로서, 반도체 기판이 적재된 상태의 이송트레이(30)가 상부 이송부(40)를 통해 이송되는 과정에서, 폭조절부(80)에 의해 이송트레이(30)의 폭 조절이 가변되는 것으로, 일정 간격을 이루며 설치되는 고정레일(81, 82)을 따라 이송트레이(30)가 이송되는 것이다.
이때, 고정레일(81, 82) 사이에는 가변레일(86)이 설치되며, 가변레일(86)은 구동스크류(85)에 의해 고정레일(81, 82) 사이에서 위치 가변이 이루어지게 되는 것이다.
상기 고정레일(81, 82)은 양쪽 끝단부에 내측방을 향해 경사지도록 테이퍼부(81', 82')가 형성된다.
상기 테이퍼부(81', 82')는 공급부(10) 또는, 출력부(20)로부터 승하강되어 이동되는 이송트레이(30)의 진입시, 이송트레이(30)의 고정로울러(38)가 간섭되지 않고 자연스럽게 고정레일(81, 82)을 따라 슬라이드 되도록 하기 위한 것으로서, 공급부(10)로부터 승강되어진 이송트레이(30)가 폭 조절부(80)의 고정레일(81, 82)에 접촉되면서 진입되는 과정에서, 고정레일(38)이 테이터부(81', 82')에 의해 접촉으로 인한 유동(떨림이나 흔들림)없이 원할하게 진입하여 슬라이드 되면서 자연 스럽게 이동되는 것이다.
도 6(a), 6(b)는 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 도어 개폐기를 나타내는 측면도 및 개략도로서, 케이스본체(2) 내부에 설치되어 상부 이송부(40)로 이송되는 이송트레이(30)의 개폐를 위해 설치된 도어(104, 105)가 실린더(102)에 의해 체인(103)으로 연결되도록 설치되어 동시에 자동 개폐되도록 이루어지는 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 히팅부를 나타내는 측면도로서, 기판이 적재된 이송트레이(30)가 이송되는 과정에서, 히터(91)로부터 발생된 고온의 온풍이 송풍휀(92)에 의해 공급되어 열처리가 이루어지는 것으로, 히터(91)에 의해 발생된 온풍은 풍량조절판(93)과 배압조절판(94)에 의해 송풍량이 자동 조절되고, 내부 온도를 항시 균일하게 분포·유지시키게 되는 것이다.
이때, 히팅부(90)의 배압조절판(94)이 형성된 부위에는 순환하는 공기에 혼합되어 있는 플럭스(flux)를 제거하기 위한 일리미네이터(eliminator, 95)가 설치된다.
도 8(a), 8(b), 8(c)는 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 요부 작동상태를 나타내는 평면 개략도로서, 반도체 기판이 적재된 이송트레이(30)를 이송시키기 위한 구동부(110)를 나타내는 것으로서, 먼저, 도 8(a)에서와 같이, 이송트레이(30)가 위치된 상태에서, 제 1실린더(111)가 작동되면, 도 8(b)에서와 같이, 구동체(112)가 종방레일(113)을 따라 세로방향으로 이동되어 협지편(114)이 이송트레이(30)에 형성된 작동봉(33')에 감싸 끼워진 위치를 이루게 된다.
이상태에서, 제 2실린더(115)가 작동되면, 구동체(112)가 횡방레일(116)을 따라 전진이동되면서 작동봉(33')을 밀게 되므로, 이송트레이(30)가 위치이동되는 것이다.
이와 같이, 이송트레이(30)의 위치 이동이 완료되면, 제 1실린더(111)가 반대로 작동되어 종방레일(113)을 따라 위치이동되고, 제 2실린더(115)가 반대로 작동되어 후진이동되므로서, 도 8(a)에서와 같은 초기 상태를 이루게 된다.
도 9(a)는 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 요부를 나타내는 평면도, 도 9(b)는 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치의 요부 확대도로서, 이송장치의 공급부(10)에 설치된 폭 조절용 카운터(120)를 나타내는 것이다.
폭 조절 카운터(120)는 모터(121)에 의해 회전되는 스크류(122)의 끝단부에 분할판(123)이 결합되고, 분할판(123)의 하방에는 카운터를 위한 전자센서(124)가 설치되므로서, 스크류(122)를 따라 회전되는 분할판(123)에는 방사상으로 등간격을 이루며 분할홈(123')이 형성된다.
따라서, 모터(121)에 의해 스크류(122)가 회전되면서, 승강되는 이송트레이(도면에 도시되지 않음)의 폭 조절이 이루어지며, 스크류(122)를 따라 회전되는 분할판(123)에 의해 조절되는 폭 길이가 전자센서(124)에 감지되어 숫자로 표기되는 것이다.
예컨데, 스크류(122)에 의해 분할판(123)이 회전되는 과정에서, 등간격을 이루도록 형성된 분할홈(123')이 전자센서(124)에 의해 감지되면서 조절되는 폭 길이가 카운터되어 숫자로 표기되며, 이때, 분할홈(123')과 분할홈(123') 사이의 피치 는 스크류(122)의 피치 즉, 1회전시 이동되는 거리와 비례하게 되는 것이다.
본 발명에 따른 폭 조절용 카운터(120)는 공급부(10)는 물론, 출력부(20)와 폭 조절부(80)에도 설치되어 이송트레이(30)의 폭 조절을 카운터하게 된다.
이상에서와 같이, 본 발명에 따른 반도체기판 자동 이송장치(1)에서는 기판이 적재되는 이송트레이(30)의 이동체(36)가 폭조절부(80)의 가변레일(86)에 의해 폭 조절이 자동으로 이루어지고, 구동부(110)에 의해 위치 이동이 자동으로 이루어지며, 히팅부(90)에 의해 내부 온도가 일정하게 유지되고 균일하게 분포되게 이루어지는 것이다.
이와 같이, 본 발명의 반도체기판 자동 이송장치를 이용함에 따라, 기판이 적재되어진 이송트레이가 고정레일 및 가변레일을 따라 순환·이송되며, 이송하고자 하는 기판의 크기에 따라, 이송트레이의 폭을 자동 조절할 수 있으므로, 기판 이송에 따른 편리함을 제공하고, 생산성과 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 반도체 기판이 적재되어 순환·이송되는 이송장치의 도어가 동시에 자동 개폐되도록 하고, 히터에 의해 발생된 고온의 온풍을 일정하게 유지시키고 균일하게 분포하므로서, 반도체기판의 열경화처리에 따른 효율성을 향상시키며, 작업성과 생산성을 높일 수 있어 경제적일 뿐만 아니라, 제품에 대한 불량율을 최소화하여 품질에 높일 수 있는 효과를 얻을 수 있는 것이다.

Claims (7)

  1. 반도체기판이 이송트레이에 적재된 상태로 이송되고, 이송되는 과정에서 표면에 경화수지가 도포되며, 열경화 처리를 위해 이송·공급함에 있어서,
    반도체 기판을 이송하여 공급 및 배출하는 입·출력부(10, 20)와;
    공급되는 기판을 적재하여 이송하는 이송트레이(30)와;
    기판이 적재된 이송트레이(30)를 순환·이송하는 상·하부 이송부(40, 50)와;
    공급부(10)로부터 공급된 기판이 이송트레이(30)에 적재되도록 하는 승강부(60)와;
    적재된 기판이 출력부(20)로 배출되도록 이송트레이(30)를 하강시키는 하강부(70)와;
    기판의 크기에 따라, 이송트레이(30)의 적재공간 폭을 자동 조절하는 폭조절부(80)와;
    이송·공급되는 기판의 열처리를 위한 히팅부(90)와;
    실린더(102)를 이용한 체인(103) 구동방식에 의해 도어(104, 105)가 동시에 개폐되는 도어부(100)와;
    기판이 적재된 이송트레이(30)의 위치를 이동시키는 구동부(110)로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체기판 자동 이송장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 이송트레이(30)는 전,후방 네모서리부에 고정체(31)가 수직되게 설치되는 상·하판(32, 33)과;
    고정체(31)의 전,후방 상,하부에 횡방향으로 설치되는 상·하부 가이드봉(34, 35)과;
    하우징(37)에 의해 고정체(31) 사이에 위치되도록 설치되어 상·하부 가이드봉(34, 35)을 따라 슬라이드 이동되게 설치되는 이동체(36)와;
    상기 하판(33)의 저면 네 모서리부에 결합되는 고정 로울러(38)와;
    상기 하우징(37)의 저면에 결합되는 한 쌍의 폭조절용 로울러(39)와;
    상기 하판(33)의 일측 상면에 상향돌출되게 결합되는 작동봉(33')으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체기판 자동 이송장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 폭조절부(80)는 소정 간격을 이루며 수평되게 설치되는 한 쌍의 고정레일(81, 82)과;
    고정레일(18, 82)을 가로지르도록 결합된 다수개의 지지봉(83)과;
    고정레일(81, 82) 사이에 수평되게 설치되며, 전동모터(84)에 의해 회전되는 구동스크류(85)에 의해 위치가 가변되도록 설치되는 가변레일(86)로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체기판 자동 이송장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 히팅부(90)는 히터(91)로부터 발생된 고온의 온풍이 송풍휀(92)에 의해 공급되어 열처리가 이루어지고, 히터(91)에 의해 발생된 온풍은 풍량조절판(93)과 배압조절판(94)에 의해 송풍량이 자동 조절되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체기판 자동 이송장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 도어부(100)는 케이스본체(2) 양쪽에 설치되는 도어(104, 105)가 실린더(102)와 체인(103)에 의해 동시에 개폐되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체기판 자동 이송장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 구동부(110)는 제 1실린더(111)에 의해 구동체(112)가 종방레일(113)을 따라 세로방향으로 이동되어 협지편(114)이 이송트레이(30)에 형성된 작동봉(33')에 감싸 끼워지고, 제 2실린더(115)가 작동되어 구동체(112)가 횡방레일(116)을 따라 전진이동되어 작동봉(33')을 밀어 이송트레이(30)를 위치이동하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체기판 자동 이송장치.
  7. 제 3항에 있어서,
    상기 고정레일(81, 82)의 양쪽 끝단부에는 내측방을 향해 경사지도록 테이퍼 부(81', 82')가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체기판 자동 이송장치.
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