KR20060080897A - 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 중앙에 관통공(12)이 형성되고 상기 관통공(12)에 해당되는 위치에 검사대상 패널(3)이 안착되는 테이블(10)과, 상기 테이블(10)의 하부에 구비되고 상기 관통공(12)을 통해 패널(3)에 광을 선택적으로 제공하는 백라이트(14)와, 상기 테이블(10)의 관통공(12) 측면에 구비되어 상기 패널(3)의 후면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 후면 측광원(20)과, 상기 테이블(10)의 상부에 구비되어 상기 패널(3)의 전면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 전면 측광원(30)과, 상기 테이블(10)의 상부에 구비되어 상기 패널(2)의 이미지를 획득하는 카메라(40)를 포함하여 구성된다. 이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치 및 방법을 사용하여 패널의 결함을 보다 정확하게 검출할 수 있게 되는 이점이 있다.

평판 디스플레이, 패널, 이물, 결함

Description

평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치 및 방법{A defect detecting apparatus and method of panel for flat display}

도 1a는 종래 기술에 의한 결함검출장치의 구성을 보인 구성도.

도 1b는 도 1a에 도시된 장치를 사용하여 결함을 검출하는 것을 보인 순서도.

도 2a는 다른 종래 기술에 의한 결함검출장치의 구성을 보인 구성도.

도 2b는 도 2a에 도시된 장치를 사용하여 결함을 검출하는 것을 보인 순서도.

도 3은 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치의 바람직한 실시예를 보인 구성도.

도 4는 본 발명 실시예를 구성하는 테이블의 요부 구성을 보인 사시도.

도 5는 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치의 다른 실시예를 보인 구성도.

도 6은 도 5에 도시된 실시예를 구성하는 테이블의 요부 구성을 보인 사시도.

도 7은 본 발명 실시예에서 결함을 검출하는 것을 보인 순서도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10: 테이블 12: 관통공

14: 백라이트 20: 후면 측광원

22: 확산시트 30: 전면 측광원

32: 반사갓 40: 카메라

50: 이미지처리부

본 발명은 평판 디스플레이용 패널에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 패널의 검사공정에서 패널에 있는 결함을 검출하는 장치 및 방법에 관한 것이다.

액정패널이나 플라즈마 디스플레이 패널을 제조함에 있어서, 패널이 제대로 제조되었는지를 검사하는 공정을 거치게 된다. 이와 같은 공정중 하나가 프로브검사공정이다.

이와 같은 프로브검사공정에서는 패널의 표면에 묻은 먼지 등의 이물질을 패턴 불량으로 판단할 가능성이 있다. 이때, 검사공정에서 검출된 패턴 결함이 사실이 아니고, 단지 패널에 묻은 이물인 경우에는 정상 패널을 불량 패널로 판단하여 손실이 발생하는 문제점이 있다.

따라서, 프로브검사공정에서 이물을 따로 검출하여 정상패널을 불량패널로 판단하지 않도록 하여야 한다. 이를 위해 도 1a에 개략적으로 도시된 바와 같은 장치가 제공되었다.

즉, 테이블(1)상에는 검사대상인 패널(3)이 안착되고 상기 패널(3)의 상부에는 카메라(5)가 구비되어 패널(3) 표면의 이미지를 획득한다. 이물제거유니트(7)는 패널(3) 표면 상의 이물을 제거하는 역할을 한다. 상기 이물제거유니트(7)는 고압의 에어를 불어내는 것이거나, 이온나이징 방식으로 이물을 제거하는 것이다.

이와 같은 구성을 가지는 종래 기술에서 패널(3)의 결함을 검출하는 것을 도 1b를 참고하여 설명한다. 먼저, 이물제거유니트(7)를 사용하여 패널(3) 표면의 이물을 제거한다. 하지만, 상기 패널(3)의 표면에서 이물이 완전히 제거되지는 않는다. 이와 같은 상태에서 상기 카메라(5)가 패널(3) 표면의 이미지1을 획득한다.

다음으로, 다시 상기 이물제거유니트(7)를 사용하여 패널(3) 표면의 이물질 제거하고 다시 상기 카메라(5)가 패널(3) 표면의 이미지2를 획득한다. 이와 같이 얻어진 이미지1과 이미지2를 비교하여 이물과 결함을 구분하여 결함을 검출하게 된다. 이때, 이미지1과 이미지2를 비교하여 위치가 바뀐 것이나 없어진 것은 이물이고 위치가 바뀌지 않은 것은 결함이다.

도 2a에는 다른 방식으로 결함을 검출하는 장치가 도시되어 있다. 이에 따르면, 패널(3)이 안착되는 테이블(1)의 상부에는 측광원(9)이 구비된다. 상기 측광원(9)은 상기 패널(3)의 상부에서 경사지게 광을 패널(3)의 상면으로 조사하는 것이다. 상기 측광원(9)은 반사갓(9')을 구비하여 보다 많은 양의 광을 상기 패널(3)로 전달할 수 있다.

이와 같은 장치를 사용하여 패널(3)의 결함을 찾는 과정을, 도 2b를 참고하여, 설명하기로 한다. 먼저, 상기 측광원(9)을 켜서, 광이 상기 패널(3)의 표면에 경사지게 조사되도록 한다. 이와 같이 광이 패널(3)에 경사지게 조사되면 이물에 경사지게 입사한 것만이 난반사에 의해 상기 카메라(5)에 이미지1로 획득된다. 즉, 측광원(9)을 패널(3)에 경사지게 조사하면 광이 패널(3)상에 경사지게 조사되고, 패널(3) 표면의 먼지에 의해 광이 반사되어 카메라에 이물만이 찍히게 된다. 따라서, 일단 이물이 검출되었다.

다음으로, 측광원을 오프하고 이미지2를 획득한다. 상기 이미지2에는 이물과 결함이 함께 찍히게 된다. 따라서 상기 이미지1과 이미지2를 비교하여 동시에 나타나지 않은 점을 결함으로 검출하는 것이다.

그러나 상기한 바와 같은 종래 기술에서는 다음과 같은 문제점이 있다.

먼저, 도 1에 도시된 방식에서는 패널(3)에 고정된 이물이나 패널(3)의 후면에 묻은 이물(즉 다시 말해 이물제거유니트(7)를 통해 이동시킬 수 없는 것)을 검출할 수 없는 문제점이 있다.

다음으로, 도 2에 도시된 방식에서는 패널(3)의 후면에 있는 이물을 검출할 수 없다. 즉, 상기 패널(3)의 후면으로는 광을 조사할 수 없어 패널(3)의 후면에 있는 이물을 검출할 수 없다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 패널에 형성된 불량을 보다 정확하게 검출하여 내는 것이다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명 은 중앙에 관통공이 형성되고 상기 관통공에 해당되는 위치에 검사대상 패널이 안착되는 테이블과, 상기 테이블의 하부에 구비되고 상기 관통공을 통해 패널에 광을 선택적으로 제공하는 백라이트와, 상기 테이블의 관통공 측면에 구비되어 상기 패널의 후면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 후면 측광원과, 상기 테이블의 상부에 구비되어 상기 패널의 전면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 전면 측광원과, 상기 테이블의 상부에 구비되어 상기 패널의 이미지를 획득하는 카메라를 포함하여 구성된다.

상기 후면 측광원은 고휘도 LED가 사용되고, 그 전면에 확산시트가 구비된다.

상기 후면 측광원은 상기 테이블의 관통공 내면을 따라 간헐적으로 구비되고, 상기 후면 측광원에서 나오는 광을 확산시키는 확산시트에 의해 광이 확산되어 전달된다.

상기 후면 측광원은 상기 테이블의 외측면에서 관통공까지 관통되는 공간에 설치된다.

상기 후면 측광원은 상기 테이블의 관통공 내면에 형성된 설치요홈에 안착된다.

상기 전면 측광원은 상기 패널의 적어도 양측을 따라 길게 배치되는 냉음극관이나 고휘도 LED이다.

상기 전면 측광원은 반사갓을 구비하여 광을 패널의 전면에 경사지게 조사한다.

상기 카메라에서 획득된 이미지를 비교, 분석하는 이미지처리부가 더 구비된다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 본 발명은 검사대상 패널의 하부에 구비되어 패널에 광을 선택적으로 제공하는 백라이트와, 상기 패널의 하부 가장자리에 대응되는 위치에 구비되어 상기 패널의 후면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 후면 측광원과, 상기 패널의 상부에 구비되어 상기 패널의 전면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 전면 측광원과, 상기 패널의 상부에 구비되어 상기 패널의 이미지를 획득하는 카메라와, 상기 카메라에서 획득한 이미지를 비교, 분석하는 이미지처리부를 포함하여 구성된다.

상기 패널은 중앙을 관통하여 패널의 형상과 대응되는 형상의 관통공이 형성된 테이블 상에 안착된다.

상기 테이블의 관통공의 측벽을 둘러서 상기 관통공을 통해 패널에 광을 경사지게 조사하는 상기 후면 측광원이 배치된다.

상기 후면 측광원은 상기 관통공의 측벽에 간헐적으로 배치되고, 상기 후면 측광원에서 나온 광은 확산시트에 의해 확산되어 패널로 조사된다.

상기 후면 측광원은 상기 관통공의 측벽에 형성된 설치요홈에 일렬로 연속되게 배치된다.

상기 후면 측광원에서 나온 광을 확산시켜 주는 확산시트가 더 구비된다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 본 발명은 전면 및 후면 측광원이 패널의 전면과 후면에 경사지게 광을 조사하고, 백라이트가 후면에 수직으로 광을 조사하 며, 카메라가 상기 광을 선택적으로 이용하여 이미지를 획득하는 것에 있어서, 상기 전면 측광원만을 켜고 카메라를 사용하여 패널 전면의 이물이 표시되는 이미지를 획득하는 단계와, 상기 후면 측광원만을 켜고 카메라를 사용하여 패널의 후면의 이물이 표시되는 이미지를 획득하는 단계와, 상기 백라이트만을 켜고 카메라를 사용하여 패널 표면의 이물과 결함이 표시되는 이미지를 획득하는 단계와, 상기 이미지들을 비교하여 결함만을 검출하는 단계를 포함하여 구성된다.

상기 이미지를 획득하는 단계 들은 정해진 순서없이 진행될 수 있다.

상기 후면 측광원과 전면 측광원에서 나와 패널에 조사되는 광은 경사지게 패널에 조사된다.

이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치 및 방법을 사용하여 패널의 결함을 보다 정확하게 검출할 수 있게 되는 이점이 있다.

이하 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치 및 방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.

도 3에는 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치의 바람직한 실시예가 개략구성도로 도시되어 있고, 도 4에는 본 발명 실시예를 구성하는 테이블의 요부 구성이 사시도로 도시되어 있다.

이에 도시된 바에 따르면, 테이블(10)의 중앙에는 패널(3)의 면적보다 약간 작은 단면적을 가지는 관통공(12)이 천공되어 있다. 상기 관통공(12)의 가장자리에 해당하는 테이블(10)의 상면에 상기 패널(3)이 안착된다. 본 실시예에서 상기 테이 블(10)은 대략 사각형상이고, 상기 관통공(12) 역시 사각형상이다. 하지만, 상기 테이블(10)이 반드시 사각형상일 필요는 없고, 상기 관통공(12)은 패널(3)의 형상과 대응되는 형상이면 된다.

상기 테이블(10)의 하부에는 상기 관통공(12)을 통해 테이블(10)의 상부로 광을 전달할 수 있는 백라이트(14)가 구비된다. 상기 백라이트(14)의 광은 상기 패널(3)로 수직으로 조사된다.

상기 관통공(12)의 측벽을 따라서는 후면 측광원(20)이 구비된다. 상기 후면 측광원(20)은 상기 패널(3)의 후면에 광을 경사지게 조사한다. 이를 위해 상기 후면 측광원(20)은 상기 관통공(12)의 측면에 간헐적으로 다수개가 설치된다. 상기 후면 측광원(20)은 상기 테이블(10)의 외측면에서 상기 관통공(12)으로 관통되는 통공이나 파이프의 선단에 설치되는 고휘도 LED이다. 상기 후면 측광원(20)의 전면에는 확산시트(22)가 구비된다. 상기 확산시트(22)는 간헐적으로 설치된 상기 후면 측광원(20)에서 나온 광을 확산시켜 주는 역할을 한다. 상기 후면 측광원(20)으로 반드시 LED만을 사용하여야 하는 것은 아니나, 고휘도 LED가 가장 바람직하다.

상기 테이블(10)의 상면 상부에는 상기 패널(3)의 전면에 경사지게 광을 조사하는 전면 측광원(30)이 구비된다. 상기 전면 측광원(30)은 상기 후면 측광원(20)과 같이 상기 패널(3)의 양단을 따라 배치된다. 물론, 보다 균일하게 광을 조사하기 위해 패널(3)의 가장자리를 따라 전면 측광원(30)이 배치되도록 할 수도 있다. 상기 전면 측광원(30)으로는 냉음극관을 사용할 수 있다. 하지만, 상기 전면 측광원(30)의 다른 예로서 LED를 들 수 있다. 상기 전면 측광원(30)은 반사갓(32) 을 사용하여 패널(3)의 전면 전체로 광을 경사지게 조사한다. 물론 상기 반사갓(32)이 반드시 필요한 것은 아니다. 상기 전면 측광원(30)은 그 설치형태가 경사지든 수평이든 상관없이 적어도 그 광의 일부가 상기 패널(3)로 경사지게 입사되면 된다.

상기 테이블(10)의 중앙 상부에는 카메라(40)가 구비된다. 상기 카메라(40)는 상기 패널(3)의 이미지를 획득하는 역할을 한다. 상기 카메라(40)에서 획득된 이미지는 이미지처리부(50)에서 처리된다. 상기 이미지처리부(50)에서는 카메라(40)에서 획득된 이미지들을 비교 분석하여 결함을 찾아내는 작업을 한다.

다음으로, 도 5 및 도 6에는 본 발명의 다른 실시예가 도시되어 있다. 본 실시예에서는 위에서 설명된 실시예와 대응되는 구성에 100단위의 도면부호를 부여하여 설명한다.

도면에 따르면, 테이블(110)의 중앙에는 패널(3)의 면적보다 약간 작은 단면적을 가지는 관통공(112)이 천공되어 있다. 상기 관통공(112)의 가장자리에 해당하는 테이블(110)의 상면에 상기 패널(3)이 안착된다. 상기 관통공(112)은 패널(3)의 형상과 대응되는 형상으로 구성된다.

상기 테이블(110)의 하부에는 상기 관통공(112)을 통해 테이블(110)의 상부로 광을 전달할 수 있는 백라이트(114)가 구비된다. 상기 백라이트(114)의 광은 상기 패널(3)로 수직으로 조사된다.

상기 관통공(112)의 측벽을 따라서는 설치요홈(116)이 형성된다. 상기 설치요홈(116)에는 후면 측광원(120)이 구비된다. 상기 후면 측광원(120)은 상기 패널 (3)의 후면에 광을 경사지게 조사한다. 이를 위해 상기 후면 측광원(120)은 상기 관통공(112)의 측면에 설치된다. 상기 후면 측광원(120)은 상기 설치요홈(116)에 안착된 상태로 광을 조사한다. 상기 측광원(120)으로 전원을 공급하는 것은 테이블(110)의 외부와 설치요홈(116)을 연통하게 테이블(110)을 관통하는 통공(도시되지 않음)을 통해 이루어진다.

본 실시예에서 상기 후면 측광원(120)은 일렬로 연속적으로 구비된다. 상기 후면 측광원(120)이 일렬로 연속적으로 구비됨에 의해 보다 균일하게 광을 패널(3)에 조사할 수 있다. 본 실시예에서도 상기 후면 측광원(120)의 광을 확산시키기 위해 확산시트(122)를 설치한다. 하지만, 상기 확산시트(122)는 상기 후면 측광원(120)이 일렬로 연속적으로 배치되어 있는 경우에는 실제로 사용하지 않아도 상관없다. 상기 후면 측광원(120)으로 반드시 LED만을 사용하여야 하는 것은 아니나, 고휘도 LED가 가장 바람직하다.

상기 테이블(110)의 상면 상부에는 상기 패널(3)의 전면에 경사지게 광을 조사하는 전면 측광원(130)이 구비된다. 상기 전면 측광원(130)은 상기 후면 측광원(120)과 같이 상기 패널(3)의 양단을 따라 배치된다. 물론, 상기 전면 측광원(130)은 상기 패널(3)의 가장자리를 따라 배치될 수 있다. 상기 전면 측광원(130)으로는 고휘도 LED를 사용할 수 있다. 하지만, 상기 전면 측광원(130)의 다른 예로서 냉음극관을 들 수 있다. 상기 전면 측광원(130)은 반사갓(132)을 사용하여 패널(3)의 전면 전체로 광을 경사지게 조사한다. 하지만 상기 반사갓(132)을 사용하지 않고도 원하는 방향으로 광을 보낼 수 있다면, 반사갓(132)을 사용하지 않아도 된다. 상기 전면 측광원(130)은 그 설치형태가 경사지든 수평이든 상관없이 적어도 그 광의 일부가 상기 패널(3)로 경사지게 입사되면 된다.

상기 테이블(110)의 중앙 상부에는 카메라(140)가 구비된다. 상기 카메라(140)는 상기 패널(3)의 이미지를 획득하는 역할을 한다. 상기 카메라(140)에서 획득된 이미지는 이미지처리부(150)에서 처리된다. 상기 이미지처리부(150)에서는 카메라(140)에서 획득된 이미지들을 비교 분석하여 결함을 찾아내는 작업을 한다.

이하 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치의 작용을 상세하게 설명한다.

먼저, 본 발명의 결함검출장치를 사용하여 패널의 결함을 찾아내는 것을 설명한다. 이와 같은 과정은 도 4에 순서도로 잘 도시되어 있다.

먼저, 상기 테이블(10) 상에 패널(3)을 안착시킨다. 이때, 상기 패널(3)은 상기 관통공(12)상에 위치되어 그 가장자리가 상기 관통공(12)의 가장자리에 해당되는 테이블(10)의 상면에 안착된다.

이와 같은 상태에서 상기 전면 측광원(30)을 켜고, 상기 카메라(40)를 동작시켜 이미지1을 획득한다. 상기 이미지1은 상기 전면 측광원(30)의 광이 패널(3)에 경사지게 조사되므로, 패널(3)의 전면에 있는 이물만이 점으로 표시된다. 따라서, 이미지1을 확인하면 패널(3)의 전면에 있는 이물만이 검출된다.

다음으로, 전면 측광원(30)을 끄고 후면 측광원(20)을 켠다. 상기 후면 측광원(20)을 켜면, 후면 측광원(20)에서 나온 광은 확산시트(22)를 통과하여 확산되어 패널(3)의 후면으로 경사지게 조사된다.

그리고는 상기 카메라(40)를 조작하여 이미지2를 획득한다. 상기 이미지2는 상기 후면 측광원(20)이 패널(3)의 후면에 경사지게 조사되므로, 상기 패널(3)의 후면에 있는 이물만이 점으로 표시된다. 따라서, 이미지2를 확인하면 패널(3)의 후면에 있는 이물만이 검출된다.

다음으로, 후면 측광원(20)을 끄고, 백라이트(14)를 켠다. 상기 백라이트(14)는 상기 관통공(12)을 통해 상기 패널(3)의 후면에 조사된다. 이와 같은 상태에서 상기 카메라(40)를 조작하여 이미지3을 획득한다. 상기 이미지3에는 패널(3)의 전면 및 후면에 있는 이물과 결함이 모두 표시된다.

상기와 같이 카메라(40)에 의해 획득된 이미지1,2,3는 이미지처리부(50)로 전달되고, 상기 이미지처리부(50)에서는 이미지들을 비교하여 결함만을 검출하게 된다. 즉, 상기 이미지1과 2에 있는 것과 이미지3에 있는 것중 겹치는 것은 이물이고, 이미지1과 2에는 없고 이미지3에만 있는 것은 결함이다.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.

예를 들어, 도시된 실시예에서는 전면 측광원(30), 배면 측광원(20) 그리고 백라이트(14)를 순차적으로 사용하여 카메라(40)가 이미지를 획득했으나, 그 순서는 달리되어도 아무 상관이 없다.

또한, 본 발명에서 예를 들어 실제로 패널(3)의 하면만을 검사하여도 되는 경우에는 상기 전면 측광원(30)을 사용하지 않을 수도 있다. 즉, 하면 측광원(20) 과 백라이트(14)를 사용하여 조명을 수행하여 이미지를 얻어 이물을 검출할 수도 있다.

위에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명에 의한 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치 및 방법에 의하면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

본 발명에서는 패널의 표면에 경사지게 광을 조사하여 카메라가 이물만을 감지하게 하는 측광원을 패널의 전면과 후면에 대응되게 각각 배치하였다. 따라서, 패널의 전면과 후면에 있는 이물이 카메라에 의해 모두 검출되고, 별도의 백라이트를 사용하여 조명하면 카메라에 의해 이물과 결함이 동시에 검출되므로, 검출된 이미지를 비교하여 결함만을 확실하게 찾을 수 있게 되는 효과가 있다.

Claims (17)

1. 중앙에 관통공이 형성되고 상기 관통공에 해당되는 위치에 검사대상 패널이 안착되는 테이블과,

   상기 테이블의 하부에 구비되고 상기 관통공을 통해 패널에 광을 선택적으로 제공하는 백라이트와,

   상기 테이블의 관통공 측면에 구비되어 상기 패널의 후면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 후면 측광원과,

   상기 테이블의 상부에 구비되어 상기 패널의 전면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 전면 측광원과,

   상기 테이블의 상부에 구비되어 상기 패널의 이미지를 획득하는 카메라를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 후면 측광원은 고휘도 LED가 사용되고, 그 전면에 확산시트가 구비됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 후면 측광원은 상기 테이블의 관통공 내면을 따라 간헐적으로 구비되고, 상기 후면 측광원에서 나오는 광을 확산시키는 확산시트에 의해 광이 확산되어 전달됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결람검출장치.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 후면 측광원은 상기 테이블의 외측면에서 관통공까지 관통되는 공간에 설치됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.
5. 제 3 항에 있어서, 상기 후면 측광원은 상기 테이블의 관통공 내면에 형성된 설치요홈에 안착됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 전면 측광원은 상기 패널의 적어도 양측을 따라 길게 배치되는 냉음극관이나 고휘도 LED임을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 전면 측광원은 반사갓을 구비하여 광을 패널의 전면에 경사지게 조사함을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.
8. 제 1 항 내지 제 7 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 카메라에서 획득된 이미지를 비교, 분석하는 이미지처리부가 더 구비됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.
9. 검사대상 패널의 하부에 구비되어 패널에 광을 선택적으로 제공하는 백라이 트와,

   상기 패널의 하부 가장자리에 대응되는 위치에 구비되어 상기 패널의 후면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 후면 측광원과,

   상기 패널의 상부에 구비되어 상기 패널의 전면에 경사지게 조사되는 광을 제공하는 전면 측광원과,

   상기 패널의 상부에 구비되어 상기 패널의 이미지를 획득하는 카메라와,

   상기 카메라에서 획득한 이미지를 비교, 분석하는 이미지처리부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 패널은 중앙을 관통하여 패널의 형상과 대응되는 형상의 관통공이 형성된 테이블 상에 안착됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.
11. 제 10 항에 있어서, 상기 테이블의 관통공의 측벽을 둘러서 상기 관통공을 통해 패널에 광을 경사지게 조사하는 상기 후면 측광원이 배치됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.
12. 제 11 항에 있어서, 상기 후면 측광원은 상기 관통공의 측벽에 간헐적으로 배치되고, 상기 후면 측광원에서 나온 광은 확산시트에 의해 확산되어 패널로 조사됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.
13. 제 11 항에 있어서, 상기 후면 측광원은 상기 관통공의 측벽에 형성된 설치요홈에 일렬로 연속되게 배치됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.
14. 제 13 항에 있어서, 상기 후면 측광원에서 나온 광을 확산시켜 주는 확산시트가 더 구비됨을 특징으로 평판 디스플레이용 패널의 결함검출장치.
15. 전면 및 후면 측광원이 패널의 전면과 후면에 경사지게 광을 조사하고, 백라이트가 후면에 수직으로 광을 조사하며, 카메라가 상기 광을 선택적으로 이용하여 이미지를 획득하는 것에 있어서,

    상기 전면 측광원만을 켜고 카메라를 사용하여 패널 전면의 이물이 표시되는 이미지를 획득하는 단계와,

    상기 후면 측광원만을 켜고 카메라를 사용하여 패널의 후면의 이물이 표시되는 이미지를 획득하는 단계와,

    상기 백라이트만을 켜고 카메라를 사용하여 패널 표면의 이물과 결함이 표시되는 이미지를 획득하는 단계와,

    상기 이미지들을 비교하여 결함만을 검출하는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출방법.
16. 제 15 항에 있어서, 상기 이미지를 획득하는 단계 들은 정해진 순서없이 진행될 수 있음을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출방법.
17. 제 15 항 또는 제 16 항에 있어서, 상기 후면 측광원과 전면 측광원에서 나와 패널에 조사되는 광은 경사지게 패널에 조사됨을 특징으로 하는 평판 디스플레이용 패널의 결함검출방법.

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