JP3678850B2 - 円筒状物内壁面の欠陥検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、円筒状物内壁面の欠陥検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
円筒状物内壁面の欠陥検査装置としては、1)先端部に魚眼レンズを設けた筐体を中空体内に挿入して内壁面の検査を行うもの(特開昭56-54410号公報)、2)中空体内面に反射鏡を介してレーザ光を投射し、この反射光を受光して内壁面に付着した物質の位置と形状を演算するもの(特開昭62-298703号公報)、及び3)中空体の内壁面を複数台のエリア型センサで読み取り、欠陥を検査するもの(特開平04-340450号公報)が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら前記従来技術1)では、円筒状物とエリア型センサ間距離が数mmまで近接するため、照明の設置ができないという問題があった。また、前記従来技術2)では、センサを円筒状物に挿入する方法であるために、移動する円筒状物の検査は不可能であった。更に前記従来技術3)では、移動する円筒状物の検査は可能であるが、検査領域が多角形状であるために、円筒状物全体特に周辺のエッジ部分の欠陥を検出することはできなかった。
【0004】
本発明の目的は、円筒状物の両開口端のエッジ部分を含む内壁面全体の欠陥検査が可能な円筒状物内壁面の欠陥検査装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の要旨は、両端部が開口状態の円筒状物の内壁面の欠陥を検査するための欠陥検査部とこの検査部からの信号を処理する画像処理部とからなる検査装置であって、欠陥検査部においては、その中心軸に沿ってエリア型センサ(1)、リング状照明器具(2)、光拡散板(3)、円筒状物の保持具(4)及びバックライト(5)が所定の間隔で順に配置されており、リング状照明器具(2)は中心軸と同心円状に配置されており、光拡散板(3)は、円筒状物の外径部のエッジをエリア型センサの視野から除き、且つ円筒状物の内径部のエッジをエリア型センサの視野に入れることが可能なように、その中心部に円形状の貫通穴を設けられた構造であって中心軸と同心円状に配置されており、エリア型センサ(1)は円筒状物の内壁面からの反射光を検出するためのものであって、中心軸に対して対称に複数個配置されている検査装置にある。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照しつつ本発明の検査装置及び検査方法を説明する。図1は、本発明の検査装置の概略図である。便宜上、図1に基づいて欠陥検査部に適宜上下関係をつけて説明する。
【0007】
円筒状物の保持具4(図示省略)は、検査対象物である円筒状物を、その円の中心が欠陥検査部の中心軸に一致するように設置できればよく、その構造は限定されない。通常は円筒状物の両端部以外の外側面を把持する構造である。円筒状物は保持具によって一個ずつ、間欠的に又は連続的に順次検査位置に設置される。検査装置を円筒状物の生産ラインに設置する場合は、搬送機を保持具として使用できる。図1は円筒状物が保持具によって右から左方向へ間欠的に供給される状態を示している。
【0008】
リング状照明器具2は円筒状物の一方の開口端部側からその内壁面を照明するためのものであり、欠陥検査部の中心軸と同心円状に配置される。円筒状物の内壁面を均一に照明する必要があるので出射光の斑がない構造であることが好ましい。例えば、光ファイバの出射端に拡散フィルタを取り付けたリング状光ファイバライトガイド等が使用される。
【0009】
光拡散板3には、円筒状物の外径部のエッジにおける反射光量の急激な変化を防止すること、及び円筒状物の内壁面の最上部を含む内壁面全体を検査可能とすることが要求される。従って円筒状物の外径部のエッジをエリア型センサの視野から除き、且つ 円筒状物の内径部のエッジをエリア型センサの視野に入れることが可能なように、光拡散板の中心部に円形状の貫通穴が設けられる(図2)。円筒状物と拡散板との距離Lは小さい方が好ましく通常は0.1〜2mm程度である。尚、貫通穴径Dsは次式で定められる。
【0010】
Ds=(Do+Di)/2−2Ltanθ (1)
但し、Ds:穴径、Do:円筒状物の外径、Di:円筒状物の内径、L :円筒状物と拡散板との距離、θ :エリア型センサの受光角である。
【0011】
バックライト5は、円筒状物の底面部分全体を照明するものである。リング状照明器具による円筒状物の内壁部と底面部分との境界面における反射光量の急激な変化を防止する役割を有している。
【0012】
エリア型センサ1は円筒状物の内壁面からの反射光を検出するためのものであって、中心軸に対して所定角度をもって対称に複数個配置される。即ち円筒状物の内壁面を複数個に分割して、分割された各部分毎にエリア型センサを配置する。円筒状物のサイズ、検出すべき欠陥の内容等によってセンサの設置数は異なるが、通常3個以上であることが好ましく、コストを考慮すると6個以下が好ましい。またエリア型センサの中心軸に対する傾斜角度(受光角)は10〜30度程度であることが好ましい。
【0013】
図3及び図4は 拡散板とバックライトを使用した場合の効果を説明するためのものである。図3(a)は、拡散板とバックライトを使用せずにリング状照明器具のみを使用した場合の画像を示している。
【0014】
測定領域11は、エリア型センサ1台分の画像処理範囲を示している。エッジ検出領域12、12’は、円筒状物の位置ズレをチェックするためのものである。13は欠陥(黒点)、14は円筒状物の外径部のエッジ、15は円筒状物の内径部のエッジ、16は円筒状物の底面部分、17は円筒状物の内壁部分である。円筒状物の底面部分16は、その部分から反射光がないので、暗部である。
【0015】
図3(b)は、図3(a)のPからQ方向の1走査分のデータ波形を示している。縦軸はエリア型センサが受光した反射光量に対応するデータ値である。光量変化としては円筒状物の外径部のエッジと内径部のエッジに起因するX、欠陥13に起因するY、及び円筒状物の内壁部分と底面部分の境界に起因するZが検出される。従って、この状態ではノイズとしてX及びZが含まれているので、欠陥13のみを検出することはできない。
【0016】
図4(a)は、リング状照明器具とともに拡散板とバックライトを使用した場合の画像である。また図4(b)は、図4(a)のPからQ方向の1走査分のデータ波形を示している。このような構成にすると拡散板によって円筒状物の外径のエッジ14の影響が防止され、また、バックライトによって円筒状物の内壁と底面部分の境界面の影響が防止され、欠陥13のみを検出することが可能となる。
【0017】
尚、連続的に移動する円筒状物の欠陥を検査する場合は、電子シャッタ機能を有するエリア型センサの使用、または、ストロボ光源を使用しすることが好ましい。そして円筒状物が所定の位置にきたときに、エリア型センサの電子シャッタ、または、ストロボ光源を作動させることにより静止画像データを得ることができる。
【0018】
画像処理部は、図4(a)の画像を処理し、欠陥を検出するものである。リング状照明器具からの光が均一であっても、検査対象物が円筒状物であるので、図4(b)の検査領域における反射光量は必ずしも一定ではない。
【0019】
このため、図5に示した手順で画像処理が行われる。図5は、エリア型センサ1台分の処理手順である。
【0020】
ステップS1では、検査開始信号の入力待ちである。検査開始信号が入力されるとステップS2に進む。ステップS2では、エリア型センサ6から画像を入力する。
【0021】
ステップS3では、前回の画像との差分演算を行う。また、前記エッジ座標の位置により、演算時の位置を調整する。ステップS4では、この画像を2値化、ラベリングを行う。ステップS5では特徴抽出を行い、欠陥の数、面積等を求める。ステップS6では欠陥の数、面積などにより良否判定を行い、合格/不合格の信号を出力する。
【0022】
次に、図6で画像データ1走査におけるデータ変化を説明する。図6(a)は入力画像である。図6(b)は前回の入力画像である。図6(c)は、差分演算後の画像である。エッジ検出により、位置合わせを行っているため、欠陥以外の部分の出力は小であり、図6(d)の2値化により、欠陥のみが抽出される。
【0023】
【実施例】
実施例1
図1の配置構造の検査装置を製造した。リング状照明器具として、三菱レイヨン(株)製リング状光ファイバライトガイド(PR85-TK28)を使用した。この照明器具は、外径160mm,内径86mmであり、複数本の光ファイバの出射端を同心円状に配置し、拡散板を介して照明する構造を有している。バックライトとしては、三菱レイヨン(株)製バックライト(BL055-TK29)を使用した。バックライトのサイズは55mm角である。拡散板としては中心部に8.3mmの穴があいた50mm角の半透明メタクリル樹脂板を使用した。
【0024】
光源としては、三菱レイヨン(株)製光源装置(ELI-100)を使用した。光源18及び19の輝度を調整することで、円筒状物6の内壁面と底面の境界における画像の急激な変化を防止した。エリア型センサは4台使用し、1台で90度分ずつ分割して検査した。受光角は20度とした。
【0025】
エリア型センサの出力信号は、画像処理装置7で処理した。画像データは、画像モニター8に表示した。検査開始信号、良否判定信号は、シーケンサ10を通して入力した。ホストコンピュータ9は日本電気(株)製FA用パソコン(FC9821)を使用した。
【0026】
連続製造ラインで製造され搬送機で外周部が保持された、外径10mm、内径8mm、高さ10mmの円筒状物を間欠的に順次検査位置に設置し、分解能0.1mmで内壁面の欠陥を検査したところ、0.2mmφ以上の汚れが検出できた。
【0027】
【発明の効果】
本発明の検査装置によれば、円筒状物の両開口端のエッジ部分を含む内壁面全体の欠陥検査が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の検査装置の概略図である。
【図2】円筒状物と拡散板の配置関係を説明するための図である。
【図3】拡散板とバックライトを使用しない場合の円筒状物の照明状態とデータ値を示す図である。
【図4】拡散板とバックライトを使用した場合の効果を説明するための図である。
【図5】欠陥検査の手順を示すフローチャートである。
【図6】多値画像データ1走査におけるデータ変化を示す信号レベル図である。
【符号の説明】
1 エリア型センサ
2 リング状照明器具
3 光拡散板
5 バックライト
6 円筒状物
7 画像処理部
8 画像用モニター
9 ホストコンピュータ
10 シーケンサ
11 測定領域
12、12’エッジ検出領域
13 欠陥
14 円筒状物の外径のエッジ
15 円筒状物の内径のエッジ
16 円筒状物の底面部分
17 円筒状物の内壁部分
18、19 光源
Claims (1)
- 両端部が開口状態の円筒状物の内壁面の欠陥を検査するための欠陥検査部とこの検査部からの信号を処理する画像処理部とからなる検査装置であって、欠陥検査部においては、その中心軸に沿ってエリア型センサ(1)、リング状照明器具(2)、光拡散板(3)、円筒状物の保持具及びバックライト(5)が所定の間隔で順に配置されており、リング状照明器具(2)は中心軸と同心円状に配置されており、光拡散板(3)は、円筒状物の外径部のエッジをエリア型センサの視野から除き、且つ円筒状物の内径部のエッジをエリア型センサの視野に入れることが可能なように、その中心部に円形状の貫通穴を設けられた構造であって中心軸と同心円状に配置されており、エリア型センサ(1)は円筒状物の内壁面からの反射光を検出するためのものであって、中心軸に対して対称に複数個配置されている検査装置。
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JP21762796A JP3678850B2 (ja) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | 円筒状物内壁面の欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP21762796A JP3678850B2 (ja) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | 円筒状物内壁面の欠陥検査装置 |
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JP21762796A Expired - Fee Related JP3678850B2 (ja) | 1996-08-19 | 1996-08-19 | 円筒状物内壁面の欠陥検査装置 |
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