KR20060078536A - 스토커 포트 스테이지 구조 - Google Patents

스토커 포트 스테이지 구조 Download PDF

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Abstract

본 발명은 글라스 기판이 적재된 카세트를 로딩 또는 언로딩할 때, 카세트를 손상과 이물질 발생 없이 스테이지에 놓을 수 있도록 한 스토커 포트 스테이지 구조를 개시한다. 개시된 본 발명은 지지판; 상기 지지판을 지지하는 힌지 브라켓; 상기 지지판의 유동을 위한 힌지핀; 및 상기 지지판의 일측 가장자리에 배치되어 있는 탄성수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에서는 스토커 포트 스테이지의 지지판을 탄성력에 의해 유동될 수 있도록 함으로써, 카세트 및 기판의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
액정표시장치, 기판, 스테이지, 지지판, 탄성, 카세트

Description

스토커 포트 스테이지 구조{STOCKER PORT STAGE STRUCTURE}
도 1은 일반적인 스토커의 정면도.
도 2는 스토커의 포트 스테이지의 문제점을 설명하기 위한 도면.
도 3은 본 발명에 따른 스토커 포트 스테이지에 카세트를 로딩하는 모습을 도시한 도면.
도 4는 본 발명에 따른 스토커 포트 스테이지의 구조를 도시한 도면.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
150: 카세트 300: 기판
135: 제 1 스토커 포트 스테이지 350: 제 2 스토커 포트 스테이지
135a,350a: 지지판 135b: 힌지핀
135c: 힌지 브라켓 350b: 지지부
140: 스토퍼 160: 탄성 수단
본 발명은 글라스 기판이 적재된 카세트를 로딩 또는 언로딩할 때, 카세트를 손상과 이물질 발생 없이 스테이지에 놓을 수 있도록 한 스토커 포트 스테이지 구 조에 관한 것이다.
최근, 액정표시장치는 콘트라스트(contrast) 비가 크고, 계조 표시나 동화상 표시에 적합하며 전력소비가 작다는 장점 때문에, CRT(cathode ray tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로써 점차 그 사용 영역이 확대되고 있다.
일반적으로, 액정표시장치의 액정패널은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소 영역에 박막트랜지스터와 화소전극을 구비한 하부기판과, 컬러필터층과 공통전극을 구비한 상부기판과, 상기 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다. 단, IPS 모드 액정표시장치 액정패널의 경우 상기 화소전극과 공통전극을 상기 하부기판 상에 형성한다.
이와 같이 구성된 액정표시장치의 제조공정은 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정으로 나눌 수 있다.
먼저, 기판 제조공정은 세정된 절연기판을 사용하여 각각 박막트랜지스터 제조와 칼라필터 제조공정으로 나뉜다.
따라서, 상기 박막트랜지스터 제조공정은 절연기판 상에 복수의 박막트랜지스터와 화소전극을 제조하는 공정을 말하는 것이며, 칼라필터 제조공정은 차광막이 형성된 절연기판 상에 염료나 안료를 사용하여 R. G. B 색상의 칼라필터층을 형성하는 공정을 일컫는다.
또한, 셀 공정은 박막트랜지스터 공정이 완료된 상기 하부기판과 칼라필터 공정이 완료된 상기 상부기판을 합착하고, 액정을 주입하여 액정표시장치 셀(액정패널)을 제조하는 공정이며, 마지막으로 모듈 공정은 신호처리를 위한 회로부를 제 조하고 박막트랜지스터 액정패널과 신호처리 회로부를 연결시켜 모듈을 제조하는 공정이다.
이와 같은 기판 제조공정, 셀 공정 및 모듈 공정과정을 거치기는 동안, 기판은 각각의 공정 챔버 또는 공정 장비로 순차적으로나 그룹형태로 반송 또는 이송된다.
현재에는 공정에서는 카세트(Cassette)에 기판들을 적재한 다음, 상기 카세트를 공정 챔버 또는 공정 장비로 이송하고 있다. 또한, 이송되어야할 기판 수의 증가로 인하여 상기 카세트를 스토커(stocker)라는 저장 장소에 저장한 다음, 반송대차를 이용하여 이송하고 있다.
도 1은 일반적인 스토커의 정면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래 기술의 스토커는 스토커(stocker: 11) 내부의 시스템을 통제하는 SMC(Stocker Master Controller)(도시하지 않음)와, 상기 SMC의 제어를 받아 카세트를 로딩(Loading)/언로딩(Unloading)하기 위한 랙 마스터 포크(rack master fork)(도시하지 않음)와, 상기 랙 마스터 포크에 의해 로딩된 카세트(15)를 각각 하나씩 보관하는 복수개의 쉘프(Shelf)(17)가 배치되어 있다.
그리고 상기 카세트(15)를 자동으로 운반시키는 AGV(Auto Guided Vehicle)(19)가 상기 스토커(11)에 배치된 AGV INPUT 포트(21)에 카세트를 내려놓고, 상기 스토커(11)에 배치된 AGV OUTPUT 포트(23)에 카세트를 출고한다.
그리고 상기 스토커(11)에는 작업자(25)에 의해 수동으로 이동되는 MGV(Manual Guided Vehicle)(27)를 사용하여 상기 카세트(15)를 입출고하기 위한 MGV IN/OUTPUT 포트(13)를 포함하여 구성된다.
도시하지는 않았지만, 상기 스토커(11)는 상기 카세트(15)를 상기 AGV(19) 및 MGV(27)와 상기 랙 마스터 포크 사이에서 카세트(15)를 이동시키는 컨베이어를 더 구비하고있다.
이와 같은 구조를 갖는 스토커(11)는 다음과 같은 방법으로 카세트(15)를 입출고시킨다.
먼저, 상기 스토커(11)는 먼저 AGV(19)를 통해 이송된 카세트(15)를 AGV INPUT 포트(21)에서 컨베이어에 탑재하고, 상기 컨베이어를 통해 이송한다.
다음, 상기 컨베이어로 이송된 카세트(15)를 랙 마스터 포크(도시하지 않음)로 운반한 다음, 상기 쉘프(17)에 적재함으로써 상기 카세트(15)의 입고가 완료된다.
반면, 상기 카세트(15)를 출고하고자 할 경우, 먼저, 상기 카세트(15)를 상기 쉘프(17)로부터 로딩하고 컨베이어로 이송한 후, 상기 컨베이어에 언로딩하고, 상기 컨베이어가 상기 카세트를 상기 AGV OUTPUT 포트(23)까지 반송시킨 다음, 상기 컨베이어에 의해 반송된 카세트(15)를 상기 AGV(19)가 로딩함으로써 상기 카세트(15)의 출고가 완료된다.
도 2는 스토커의 포트 스테이지의 문제점을 설명하기 위한 도면이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 랙 마스터 포크에 의하여 기판(30)이 적재된 카세트(15)가 스토커 포트 스테이지(35)에 놓일 때, 카세트(15) 손상이 발생하고 있다.
특히, 최근 액정표시장치의 대형화로 인하여 기판의 크기가 커지고 그 중량 도 증가하기 때문에 카세트(15)를 이동시키는 랙 마스터 포크의 처짐이 커지기 때문에 상기 카세트(15)의 스크래치 또는 이물 발생이 증가한다.
왜냐하면, 상기 랙 마스터의 포크가 카세트(15)를 이동시킨 다음, 상기 스토커 포트 스테이지(35)에 안착시킬 때, 4개의 스토리지 포트 스테이지(35)중 앞부분에 배치되어 있는 스토커 포트 스테이지(35)에 먼저 카세트(15)가 놓이고, 이후뒷부분에 배치된 스토커 포트 스테이지(35)에 카세트(15)가 놓인다.
특히, 랙 마스터 포크의 처짐이 큰 경우에는 고정된 스토커 포트 스테이지(35)와 카세트(15)가 부딪혀 스크래치 발생, 카세트 파손 또는 기판 손상 및 파티클 불량이 발생한다.
본 발명은, 카세트가 안착될 스토커 포트 스테이지를 힌지핀과 힌지 브라켓을 사용하여 유동할 수 있도록 함으로써, 카세트를 스테이지에 놓을 때, 카세트 스크래치 불량과 기판 손상 및 파티클 발생을 방지할 수 있도록 한 스토커 포트 스테이지 구조를 제공함에 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 스토커 포트 스테이지 구조는,
지지판;
상기 지지판을 지지하는 힌지 브라켓;
상기 지지판의 유동을 위한 힌지핀; 및
상기 지지판의 일측 가장자리에 배치되어 있는 탄성수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 스토커 포트 스테이지 구조는,
지지판과, 상기 지지판을 지지하는 힌지 브라켓과, 상기 지지판의 유동을 위한 힌지핀; 및 상기 지지판의 일측 가장자리에 배치되어 있는 탄성수단으로 구성되어 있는 복수개의 제 1 스토커 포트 스테이지; 및
상기 제 1 스토커 포트 스테이지와 소정의 간격을 두고, 나란히 배치되며, 지지판과, 상기 지지판을 지지하는 지지부로 구성된 복수개의 제 2 스토커 포트 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 카세트가 안착될 스토커 포트 스테이지를 힌지핀과 힌지 브라켓을 사용하여 유동할 수 있도록 함으로써, 카세트를 스테이지에 놓을 때, 카세트 스크래치 불량과 기판 손상 및 파티클 발생을 방지할 수 있도록 하였다.
이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 자세히 설명하도록 한다.
도 3은 본 발명에 따른 스토커 포트 스테이지에 카세트를 로딩하는 모습을 도시한 도면이다.
도 3에 도시한 바와 같이, 기판(300)들이 적재되어 있는 카세트(150)를 지지하기 위하여 4개의 스토커 포트 스테이지(135, 350)가 배치되어 있다.
상기 4개의 스토커 포트 스테이지(135, 350)중 전방에 나란히 배치되어 있는 제 1 스토커 포트 스테이지(135)는 지지판(135a)과, 상기 지지판(135a)을 지지하는 힌지 브라켓(135c)과, 상기 지지판(135a)의 유동을 위한 힌지핀(135b)으로 구성되어 있다.
여기서, 상기 지지판(135a)은 MC 나일론 또는 서스(SUS) 재질을 사용하고, 힌지핀(135b)과 힌지 브라켓(135c)은 서스 재질을 사용한다.
또한, 상기 지지판(135a)의 일측 가장자리에는 소정의 탄성력을 인가하는 탄성수단(160)이 배치되어 있고, 상기 탄성수단(160)과 힌지 브라켓(135c) 사이에는 상기 지지판(135a)의 유동을 멈추게 하기 위한 스토퍼(stopper:140)가 배치되어 있다.
상기 탄성수단(160)은 스틸 스프링을 사용하고, 상기 스토퍼(140)는 MC 나일론을 사용한다.
그리고 상기 제 1 스토커 포트 스테이지(135)에 대응되도록 후방에는 소정의 간격을 두고 나란하게 제 2 스토커 포트 스테이지(350)가 배치되어 있다.
상기 제 2 스토커 포트 스테이지(350)는 상기 제 1 스토커 포트 스테이지(135)와 달리 고정된 지지판(350a)과 상기 지지판(350a)을 지지하는 지지부(350b)로 구성되어 있다.
본 도 3에서는 카세트(150)의 4 모서리 영역을 지지하기 위하여 4개의 스토커 포트 스테이지(135, 350)를 배치하였지만, 경우에 따라서는 제 1 스토커 포트 스테이지(135)와 제 2 스토커 포트 스테이지(350)를 복수개 배치할 수 있다.
상기와 같이 배치된 제 1 스토커 포트 스테이지(135)와 제 2 스토커 포트 스테이지(350)에 카세트(150)가 안착되는 과정은 다음과 같다.
먼저, 랙 마스터 포크에 의해 카세트(150)가 들려지면, 상기 카세트(150)에 적재된 기판(300)의 개수, 중량으로 인하여 상기 포크 앞부분이 하측으로 휘어진다.
이렇게 랙 마스터 포크에 의해서 들려진 카세트(150)는 상기 제 1 스토커 포트 스테이지(135)와 제 2 스토커 포트 스테이지(350)에 안착되는데(놓여지는데), 포크가 하측으로 처져 상기 카세트(150) 앞부분이 상기 제 1 스테이지 포트 스테이지(135)에 먼저 닿게 된다.
종래에는 모든 스토커 포트 스테이지가 고정된 구조로 되어 있기 때문에 이와 같은 포크 처짐에 의하여 카세트에 스크래치 또는 충격이 가해지는 문제가 있었다.
하지만, 본 발명에서는 카세트(150)와 먼저 닿는 상기 제 1 스테이지 포트 스테이지(135)를 힌지핀(135b), 힌지 브라켓(135c)에 의해 유동하도록 함으로써, 카세트(150)에 충격이나 스크래치 불량이 발생하지 않도록 하였다.
그리고 상기 제 1 스토커 포트 스테이지(135)의 지지판(135a)의 일측 가장자리에 탄성수단(150)을 배치함으로써, 상기 지지판(135a)이 소정의 탄성력으로 유동될 수 있도록 하였다.
그래서 상기 카세트(150)가 내려지면, 제 1 스토커 포트 스테이지(135) 지지판(135a)이 하측 방향으로 유동함과 동시에 상기 탄성 수단(160)에 의하여 상측으로 상승하게 되어 수평을 유지하게 된다.
특히, 상기 탄성 수단(150)에 의하여 지지판(135a)이 계속적으로 유동하는 것을 방지하기 위하여 상기 탄성 수단(160)과 힌지 브라켓(135c) 사이에 스토퍼(140)를 배치하였다.
이와 같이, 상기 카세트(150)가 랙 마스터 포크로부터 내려질 때, 먼저 닿는 제 1 스토커 포트 스테이지(135)의 완충기능으로 안전하게 놓여지면, 상기 카세트(150)의 뒷부분이 상기 제 2 스토커 포트 스테이지(350)에 안전하게 놓이게 된다.
따라서, 본 발명에서는 랙 마스터 포크로 스테이지에 카세트(150)를 로딩시킬 때, 상기 카세트(150)에 스크래치 불량을 방지할 뿐 아니라, 충격을 완화시켜 이물질 발생을 최소화 할 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 스토커 포트 스테이지의 구조를 도시한 도면이다.
도 4에 도시한 바와 같이, 유동성이 있는 스토커 포트 스테이지는 지지판(135a)과, 상기 지지판을 지지하는 힌지 브라켓(135c)과, 상기 지지판(135a)의 유동을 위한 힌지핀(135b)로 구성되어 있다.
그리고 상기 지지판(135a)의 일측 가장자리에는 탄성수단(160)을 배치하여 상기 지지판(135a)이 유동할 때, 소정의 탄성력을 갖도록 하였다.
따라서, 상기 지지판(135a) 상에 카세트와 같은 하중이 인가되더라도, 상기 지지판(135a)이 하측으로 완전히 접혀지지 않고, 상기 탄성 수단(135c)의 탄성력에 의하여 수평 방향으로 복귀될 수 있도록 하였다.
그리고 상기 탄성 수단(160)과 힌지 브라켓(135c) 사이에 스토퍼(140)를 배치함으로써, 탄성력으로 유동하는 지지판(135a)이 상기 탄성 수단(150)에 의하여 반복적으로 유동하지 않고, 카세트가 놓이면 지지판(135a)이 하측으로 유동후 곧바로 멈출 수 있도록 하였다.
따라서, 본 발명에서는 카세트가 스토커 포트 스테이지에 놓일 때, 카세트 스크래치 불량 및 파티클 발생을 방지하면서, 적재된 기판을 보호하는 효과가 있다.
이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명은 카세트가 안착될 스토커 포트 스테이지를 힌지핀과 힌지 브라켓을 사용하여 유동할 수 있도록 함으로써, 카세트를 스테이지에 놓을 때, 카세트 스크래치 불량과 기판 손상 및 파티클 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하 청구 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.

Claims (6)

  1. 지지판;
    상기 지지판을 지지하는 힌지 브라켓;
    상기 지지판의 유동을 위한 힌지핀; 및
    상기 지지판의 일측 가장자리에 배치되어 있는 탄성수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 포트 스테이지 구조.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성수단이 배치되어 있는 지지판 일측 가장자리에 배치된 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 포트 스테이지 구조.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지판은 상기 힌지핀과 탄성수단에 의해서 일측이 상하로 유동하는 탄성력을 갖는 것을 특징으로 하는 스토커 포트 스테이지 구조.
  4. 지지판과, 상기 지지판을 지지하는 힌지 브라켓과, 상기 지지판의 유동을 위한 힌지핀; 및 상기 지지판의 일측 가장자리에 배치되어 있는 탄성수단으로 구성되어 있는 복수개의 제 1 스토커 포트 스테이지; 및
    상기 제 1 스토커 포트 스테이지와 소정의 간격을 두고, 나란히 배치되며, 지지판과, 상기 지지판을 지지하는 지지부로 구성된 복수개의 제 2 스토커 포트 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커 포트 스테이지 구조.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 스토커 포트 스테이지는 복수개가 소정의 간격으로 배치되어 있고, 상기 제 2 스토커 포트 스테이지는 상기 제 1 스토커 포트 스테이지 각각과 대응되도록 소정의 간격으로 나란히 이격 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 스토커 포트 스테이지 구조.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 스토커 포트 스테이지에는 유동하는 지지판을 멈추게 하기 위한 스토퍼가 각각 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 스토커 포트 스테이지 구조.
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