KR20080001760A - 기판공급장치 - Google Patents

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KR20080001760A
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이춘대
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 안정적으로 카세트의 내부에 수납된 기판을 공급하는 기판공급장치가 개시된다. 개시된 본 발명의 기판이송장치는 복수의 지지바와, 지지바의 내측 배면에 배치되어 카세트 내부의 기판을 이송하는 기판이송부와, 기판이송부 상에 구비되어 카세트가 로딩되는 안착부와, 안착부를 상하 이동시키는 이동부와, 안착부의 추락을 방지하는 스토퍼(stopper)를 포함하여 이루어진다.
기판감지수단, 스토퍼

Description

기판공급장치{BOARD SUPPLY DEVICE}
도 1은 본 발명에 따른 스토커 및 기판공급장치를 도시한 평면도.
도 2는 본 발명의 기판공급장치를 도시한 사시도.
도 3은 기판공급장치에 구비되는 스토퍼를 도시한 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
170 : 기판공급장치 171 : 지지바
173 : 안착부 175 : 상하이동부
177 : 기판이동부 178 : 롤러
179 : 바디부 180 : 스토퍼
181 : 실린더 182 : 고정부재
183 : 구동부 184 : 스위치
185 : 제어부 186 : 공기압 발생부
본 발명은 기판공급장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 안정적으로 카세트의 내부에 수납된 기판을 공급하는 기판공급장치에 관한 것이다.
액정표시장치는 콘트라스트(contrast) 비가 크고, 계조 표시나 동화상 표시에 적합하며 전력소비가 작다는 장점 때문에, CRT(cathode ray tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로써 점차 그 사용 영역이 확대되고 있다.
일반적으로, 액정표시장치의 액정패널은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소 영역에 박막트랜지스터와 화소전극을 구비한 박막트랜지스터 기판과, 컬러필터층과 공통전극을 구비한 컬러필터기판과, 상기 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다. 단, IPS 모드 액정표시장치 액정패널의 경우 상기 화소전극과 공통전극을 상기 박막트랜지스터 기판 상에 형성한다.
이와 같이 구성된 액정표시장치의 제조공정은 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나눌 수 있다.
먼저, 기판 제조공정은 투명한 절연기판 상에 박막트랜지스터(TFT)와 화소전극을 형성하여 박막트랜지스터 기판을 제조하는 공정과, 투명한 절연기판 상에 R. G. B 컬러필터층을 형성하여 컬러필터기판을 제조하는 공정이다.
상기 박막트랜지스터 기판과 컬러필터기판의 제조공정에는 여러번의 마스크 공정이 진행된다.
또한, 셀 공정은 박막트랜지스터 기판과 컬러필터기판 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하여 합착하고, 액정을 주입하여 액정셀(CELL)을 제조하는 공정이며, 마지막으로 모듈 공정은 신호처리를 위한 인쇄회로기판(Printed Circuit Board: PCB)을 조립하는 공정이다.
이와 같이 기판 제조공정, 셀 공정 및 모듈 공정에서는 공정이 완료된 반제 품을 순차적으로나 그룹 형태로 반송 또는 이송하는 작업이 이루어진다. 또한, 제조 공정 상 일부의 제조장치에 고장이 발생하거나 공정 시간이 다르기 때문에 반제품들을 일시적으로 스토커(STOCKER)에 저장한다.
상기 스토커에 저장된 카세트는 랙마스터 로봇(Rack master Robot)에 의해 스토커의 내부에서 이동된다. 상기 랙마스터 로봇으로부터 이동된 카세트는 AGV(Auto Guided Vehicle) 또는 MGV(Manual Guided Vehicle)에 의해 상기 스토커로부터 출고되어 후속공정이 진행되는 라인으로 옮겨진다.
이때, 상기 AGV 및 MGV는 상기 카세트를 저장하기 위해 상기 스토커에 입고시키거나, 상기 카세트를 상기 스토커로부터 출고시키고자 할 경우 사용되는 대차이다.
상기 카세트에 수납된 기판은 후속 공정을 진행하기 위해 로봇 암에 의해 한 장씩 반출되어 공정라인에 공급되는 구조를 갖는다.
상기와 같이 상기 카세트에 수납된 기판은 로봇 암에 의해 반출되는 구조로써, 후속 공정라인에서 기판 공급 시간이 지연되는 문제가 발생한다.
본 발명은 스토퍼를 포함한 기판공급장치를 구비함으로써, 공정라인에 제공되는 기판을 보다 안정적으로 공급할 수 있는 기판공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 카세트 안착부의 추락을 방지하는 스토퍼가 구비됨으로써, 안전사고를 예방하고, 기판의 파손을 방지하는 기판공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 기판공급장치는,
복수의 지지바;
상기 지지바의 내측 배면에 배치되어 카세트 내부의 기판을 이송하는 기판이송부;
상기 기판이송부 상에 구비되어 카세트가 로딩되는 안착부;
상기 안착부를 상하 이동시키는 이동부; 및
상기 안착부의 추락을 방지하는 스토퍼(stopper)를 포함하여 이루어진다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 실시예를 자세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명에 따른 스토커 및 기판공급장치를 도시한 평면도이고, 도 2는 본 발명의 기판공급장치를 도시한 사시도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 스토커는 스토커 내부의 시스템을 통제하는 SMC(Stocker Master Controller)(도시하지 않음)와, 기판이 반입된 카세트(120)가 적재되는 선반(110)들과, 상기 스토커에서 카세트(120)의 입고 또는 출고가 이루어지는 IN/OUTPUT 포트(130)와, 상기 카세트(120)를 이송하여 상기 선반(110)에 반입 및 반출하는 랙마스터 로봇(150)을 포함하여 구성된다.
상기 스토커의 외각에는 기판공급장치(170)를 경유하여 기판 제조공정, 셀 공정 및 모듈 공정이 이루어지는 공정라인(190)들이 연결된다.
상기 카세트(120)는 IN/OUTPUT 포트(130)에 의해 상기 스토커 내부로 반입 또는 반출된다.
상기 랙마스터 로봇(150)은 승강과 주행이 가능한 이동장치로써, 반송된 카세트(120)를 각 선반(110)에 반입시키거나 다음공정으로 진행시키기 위해 입고된 카세트(120)를 반출하는 과정을 수행하게 된다.
상기 카세트(120)를 이동시키는 랙마스터 로봇(150)은 작업자가 입력하는 바에 따라 SMC에 의해 자동으로 이루어진다.
상기 기판공급장치(170)는 상기 카세트(120)에 반입된 기판을 반출하는 장비로써, 상기 기판 제조공정, 셀 공정 및 모듈 공정이 이루어지는 공정라인(190)으로 공급함으로써, 로봇 암을 이용하여 공급하는 종래 보다 기판 공급시간을 줄일 수 있다.
상기 기판공급장치(170)는 양측에 마련되는 지지바(171)와, 상기 지지바(171)의 내측에서 상기 카세트(120)가 로딩되는 안착부(173)와, 상기 안착부(173)를 상/하 이동시키는 상하이동부(175)와, 상기 카세트(120)의 내부에 반입된 기판을 반출시키는 기판이송부(177)와, 상기 기판이송부(177)를 컨트롤하는 구동부(미도시)가 내부에 배치된 바디부(179)를 포함한다.
상기 지지바(171)는 바디부(179)의 양측에 고정되고, 상기 바디부(179) 상에는 다수의 기판이송부(177)가 배치된다. 상기 기판이송부(177)의 단부에는 롤러(roller, 178)가 구비될 수 있다.
상기 카세트(120)는 상세하게 도시되지는 않았지만, 대략 직육면체의 프레임구조로 형성되어 있으며, 다수의 기판이 다층으로 장착될 수 있도록 사이드 플레이트에 기판 안착홈이 형성되고, 하부 플레이트는 다수의 홀이 형성된 망형태로 이루어지는 구조를 갖는다.
상기 카세트(120)는 상기 상하이동부(175)에 의해 화살표(→) 방향으로 이동하고, 상기 기판이송부(177)에서는 롤러(178)들이 일정한 방향으로 회전하면서 카세트(120)의 내부에 반입된 기판을 반출시킨다.
상기와 같은 상기 기판공급장치(170)는 작동중에 기판이 깨지거나, 오작동에 의해 작동이 멈추는 경우에 상기 안착부(175) 하부에서 청소 또는 구동부 점검시 상기 안착부(175)의 추락에 의한 안전사고를 방지하기 위해 지지바(171)의 측면에 적어도 하나 이상으로 구비되는 스토퍼(stopper, 180)를 더 포함한다.
상기 스토퍼(180)는 피스톤 구조로써, 공기의 압력을 이용하여 작동되고, 작동시에 실린더(미도시) 내부로부터 고정부재(미도시)가 돌출되는 형태를 갖는다.
상기 스토퍼(180)는 공기의 압력을 이용하여 작동되고, 상기 기판공급장치(170) 내부의 이물질 제거 및 점검시에 작업자에 의해 작동된다.
상기 스토퍼(180)는 상기 안착부(173)의 위치에 따라 상하로 이동할 수도 있다.
상기 스토퍼(180)는 상기 지지바(171)의 측면에 배치되어 작동시에 상기 지지바(171)의 내측으로 상기 고정부재가 돌출되어 상기 안착부(173)의 추락을 방지할 수 있다.
상기 스토퍼(180)의 구조는 도 3을 통해 상세히 설명하도록 한다.
도 3은 기판공급장치에 구비되는 스토퍼를 도시한 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명하면, 기판공급장치(170)의 스토퍼(180)는 피스톤 형태의 구조로 이루어진다.
상기 스토퍼(180)는 실린더(181)와, 상기 실린더(181)의 내부에서 공기의 압력에 의해 왕복운동을 하는 고정부재(182)와, 스토퍼 구동부(183)를 포함하여 구성된다.
상기 스토퍼 구동부(183)는 스위치(184)와, 상기 스위치(184)에 의해 제어신호를 생성하는 제어부(185), 상기 제어부(185)로부터 입력되는 제어신호에 따라 상기 실린더(181)의 내부에 공기의 압력을 발생시키는 공기압 발생부(186)를 포함하여 구성된다.
상기 기판공급장치(170)의 내부 청소 및 점검시 작동되는 스토퍼(180)는 작업자에 의해 스위치 버튼을 누름으로써, 상기 제어부(185)에서 온(ON) 제어신호를 생성하고, 상기 제어부(185)로부터 온(ON) 제어신호가 입력된 공기압 발생부(186)에서는 상기 실린더(181)에 소정의 공기를 주입함으로써, 상기 실린더(181)의 내부에 구비된 고정부재(182)는 공기의 압력에 의해 실린더(181) 외부로 돌출된다.
이상에서 설명한 기판공급장치(170)는 안착부(173)의 추락을 방지하는 스토퍼(180)를 구비함으로써, 안전사고를 예방함과 동시에 상기 안착부(180)의 추락에 의한 기판 파손을 방지할 수 있다.
따라서, 본 발명은 새로운 구조의 기판공급장치(170)를 제공함으로써, 카세 트(120)에 반입된 기판을 공정라인으로 공급하는 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 기판공급장치(170)에 스토퍼(180)를 구비함으로써, 기판공급장치(170) 내부의 이물질 제거 및 점검시 작업자의 인명사고를 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 새로운 구조의 기판공급장치를 제공함으로써, 공정라인에 공급되는 카세트 내부에 반입된 기판의 반출시간을 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 기판공급장치에 스토퍼를 구비함으로써, 이물질 제거 및 점검시에 작업자의 인명사고를 방지하고, 충격에 의한 기판의 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.
이상 설명한 내용을 통해 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (4)

  1. 복수의 지지바;
    상기 지지바의 내측 배면에 배치되어 카세트 내부의 기판을 이송하는 기판이송부;
    상기 기판이송부 상에 구비되어 카세트가 로딩되는 안착부;
    상기 안착부를 상하 이동시키는 이동부; 및
    상기 안착부의 추락을 방지하는 스토퍼(stopper)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판공급장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스토퍼는 피스톤 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판공급장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 스토퍼는 상기 지지바의 측면에 적어도 하나 이상 구비된 것을 특징으로 하는 기판공급장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 스토퍼는 실린더와, 상기 실린더 내부에서 왕복운동을 하는 고정부재와, 작동신호를 생성하고 공기를 주입하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판공급장치.
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