KR20060075920A - 파티클 제거 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 파티클 제거 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 파티클 제거 장치는 파티클 체크 박스의 삽입부에 결합하여 공기가 공급되는 공기 공급 라인, 상기 공기 공급 라인을 통하여 공급되는 공기를 레티클 표면에 도출하는 노즐 도출부, 상기 공기 공급 라인 및 상기 노즐 도출부를 포함하는 공기 공급부의 맞은 편에 위치하여 상기 공기 공급부에서 공급된 공기 및 파티클을 흡입하는 노즐 흡입부 및 상기 노즐 흡입부에 연결되어 흡입된 공기를 배출하는 공기 배출 라인을 포함하는 공기 흡입부를 포함한다.

레티클, 파티클, 공기 공급부, 진공 흡입부

Description

파티클 제거 방법 및 장치{Method and apparatus for removing particle}

도 1은 종래 파티클을 제거하는 방법을 설명하기 위한 순서도.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 파티클 제거 장치가 구비된 파티클 체크 박스의 구조를 나타낸 도면.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 파티클 제거 방법을 나타낸 순서도.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 파티클 검사 및 제거 과정을 나타낸 예시도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

201…파티클 체크 박스 205…파티클 제거기

207…공기 공급부 213…진공 흡입부

본 발명은 노광시 레티클(reticle)에 부착된 파티클(particle)을 제거하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 노광 공정은 웨이퍼 스테이지(stage)에 장착된 웨이퍼에 도포된 포토레지스트(photoresist)의 일정 지역에만 빛을 쬐여 레티클의 패턴을 웨이퍼에 옮기는 공정이다. 노광 공정에서 사용하는 레티클 표면에 파티클이 있을 경우 원하지 않는 패턴이 형성된다. 그러므로 웨이퍼에 원하지 않는 패턴에 의해 반도체 소자가 오동작하는 결점이 생길 수 있다. 그러므로 레티클과 페리클(pellicle)에 파티클이 있는지를 검사하여 파티클을 제거하는 과정이 필요하다. 이하, 도 1을 참조하여 종래 파티클을 제거하는 방법을 설명하기로 한다.

도 1은 종래 파티클을 제거하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 1을 참조하면, 레티클의 표면에 파티클이 존재하는지를 검사하기 위해서 레티클을 파티클 체크 박스에 로딩한다(단계 101). 체크 박스는 레티클 표면을 검사하고 파티클이 존재하는지를 판단한다(단계 103, 105). 레티클이 존재한다고 판단되면 작업자는 레티클을 체크 박스에서 언로딩하여 레티클 투입을 실시하는 곳으로 이동시킨다(단계 113). 레티클을 이동시킨 후, 작업자는 레티클에 부착된 파티클을 수작업으로 제거한다(단계 111). 레티클을 제거한 후, 다시 레티클을 체크 박스에 로딩하여 파티클 검사를 시작한다. 체크 박스는 레티클이 존재하지 않는다고 판단하면 레티클을 레티클 스테이지에 장착시킨 후(단계 107), 레티클을 사용하여 웨이퍼를 노광한다(단계 109).

종래 기술은 레티클 표면에서 파티클을 제거한다는 효과를 가지지만 해결되어야만 할 몇가지 문제점을 가지고 있다. 즉, 종래 기술은 레티클에 파티클이 존재 하는 경우 레티클을 언로딩하여 파티클을 제거한 후 다시 검사한다는 점에서 공정 시간이 지연되며 번거롭다는 문제점이 있다. 또한, 종래 기술은 작업자가 직접 조작하여 파티클을 제거한다는 점에서 파티클을 완전히 제거하지 못하는 경우가 발생할 수 있고, 이 경우 지연 시간이 상당히 소요되며 작업자의 부주의로 인해 레티클이 파손되는 등의 문제점이 발생할 수 있다.

본 발명은 상술한 종래 기술들의 문제점들을 극복하기 위하여 안출된 것으로, 파티클 체크 박스에 파티클을 제거하는 장치를 구비하여 파티클 검사와 제거가 동시에 행해짐으로써 공정 시간이 단축되는 파티클 제거 방법 및 장치를 제공하는 것이다.

또한 본 발명의 다른 목적은 자동으로 파티클을 제거한다는 점에서 편리하고 안전한 파티클 제거 방법 및 장치를 제공하는 것이다.

상술한 목적들을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따르면 파티클 체크 박스의 삽입부에 결합하여 공기가 공급되는 공기 공급 라인, 상기 공기 공급 라인을 통하여 공급되는 공기를 레티클 표면에 도출하는 노즐 도출부, 상기 공기 공급 라인 및 상기 노즐 도출부를 포함하는 공기 공급부의 맞은 편에 위치하여 상기 공기 공급부에서 공급된 공기 및 파티클을 흡입하는 노즐 흡입부 및 상기 노즐 흡입 부에 연결되어 흡입된 공기를 배출하는 공기 배출 라인을 포함하는 공기 흡입부 를 포함하는 파티클 제거 장치를 제공할 수 있다.

바람직한 실시예에서, 상기 공기 공급부와 상기 진공 흡입부는 레티클 삽입부와 파티클 검사부 사이에 위치한 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 공기 공급부를 통해 공급되는 가스는 질소인 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 측면에 따르면 파티클 제거 장치에서 수행하는 파티클 제거 방법에 있어서, 삽입된 레티클을 인식하는 단계, 상기 레티클에 고압의 가스를 공급하는 단계, 상기 공급된 가스 및 레티클 표면에 부착된 파티클을 흡입하여 배출하는 단계, 상기 레티클 표면에 파티클이 존재하는지를 검사하는 단계 및 상기 레티클 표면에 파티클이 존재하는 경우에는 다시 파티클을 제거하는 단계를 포함하는 파티클 제거 방법을 제공할 수 있다.

이어서, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 파티클 제거 장치가 구비된 파티클 체크 박스의 구조를 나타낸 도면이다.

도 2를 참조하면, 파티클 체크 박스(201)는 내부에 파티클 검사부(203)와 파티클 제거기(205)를 구비하고 있다. 파티클 제거기(205)는 공기 공급부(207)와 진공 흡입부(213) 및 센서(미도시)를 포함한다. 파티클 제거기(205)에 장착된 센서는 레티클이 접근하면 레티클을 감지하여 공기 공급부(207)와 진공 흡입부(213)에 구 동 신호를 전송한다. 공기 공급부(207)와 진공 흡입부(213)는 센서로부터 신호를 수신하여 공기를 공급하고 흡입하도록 공급부(207)와 흡입부(213)를 동작시키는 밸브 스위치가 장착되어 있다.

센서가 레티클을 감지하면 공기 공급부(207)와 진공 흡입부(213)에 장착된 밸브 스위치를 온(ON)시킨다. 밸브 스위치가 켜지면 공기 공급부(207)에서는 공기나 질소 등의 고압 가스가 분사된다. 공기 공급부(207)는 공기가 외부에서 도입되는 공기 공급 라인(209) 및 공기 공급 라인(209)을 통하여 공급된 공기를 레티클 표면에 분사하는 노즐 도출부(211)를 포함한다. 공기 공급부(207)는 레티클의 길이 이상의 길이를 가진 길쭉한 모양으로 구성되며 고압 가스가 들어와 길쭉한 슬릿 모양의 노즐 도출부(211)로 분사된다. 고압 가스는 레티클에 있는 파티클을 제거할 수 있을 만큼의 고속, 고압이다. 이와 동시에 진공 흡입부(213)가 작동하여 고압 가스에 의해 레티클로부터 이탈된 파티클과 공기 흡입부에서 나와 레티클 면을 때린 고압 가스가 흡입되어져 외부로 배출된다. 진공 흡입부(213)는 고압, 고속의 가스가 신속히 배출될 수 있을 정도의 흡입력을 가지고 있어야 한다. 진공 흡입부(213)는 공기 공급부(207) 맞은편에 위치하여 공기 및 파티클을 흡입하는 노즐 흡입부(215) 및 노즐 흡입부(215)에 연결되어 공기를 외부로 배출하는 공기 배출 라인(217)을 포함한다.

공기 공급부(207)와 진공 흡입부(213)는 레티클 면에 대해 일정한 경사각을 유지하여 공기 공급부(207)에서 나온 고압 가스가 레티클 면을 때리고 진공 흡입부(213)에서 바로 흡수되도록 한다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 파티클 제거 방법을 나타낸 순서도이다.

도 3을 참조하면, 레티클의 표면에 파티클이 존재하는지를 검사하기 위해서 레티클을 파티클 체크 박스에 로딩한다(단계 301). 체크 박스는 파티클 제거기를 구비하고 있다. 체크 박스는 레티클 표면을 검사함과 동시에 레티클 표면에 붙어있는 파티클을 제거한다(단계 303). 이 후, 체크 박스는 파티클이 존재하는지를 판단한다(단계 305). 레티클 표면에 파티클이 존재한다고 판단되면 다시 파티클 검사 및 제거를 시작하여 자동으로 파티클을 제거한다.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 파티클 검사 및 제거 과정을 나타낸 예시도이다.

도 4를 참조하면, 파티클 제거기가 구비된 체크 박스에 레티클을 로봇(fork arm)이 삽입한다(단계 401). 체크 박스는 레티클 삽입부에 근접하여 파티클 제거기를 구비하고 있으며 그 후단에 파티클 검사부를 구비하고 있다.

로봇이 레티클을 체크 박스에 삽입하면 제거기에 설치된 센서는 레티클의 존재를 인식하고 공기 공급부와 진공 흡입부를 작동시킨다(단계 403). 공기 공급부는 고압의 가스를 분출하고 진공 흡입부는 고압 가스 및 레티클 표면에 붙어있는 파티클을 흡입하여 배출한다. 레티클은 제거기를 거치면서 동시에 레티클 삽입부 후단에 위치한 검사부를 거친다. 검사부는 레티클의 표면에 파티클이 존재하는지를 검 사한다.

로봇이 레티클을 체크 박스 안으로 더 삽입하여 레티클이 제거기를 통과하면 파티클 검사 단계만이 진행된다(단계 405). 검사부는 레티클 표면에 파티클이 존재하는지를 검사하여 파티클이 존재하는 경우에는 로봇에 신호를 보내 로봇이 레티클을 이동시켜 다시 파티클을 제거하도록 한다.

레티클 표면에 파티클이 존재하지 않는 경우에는 과정이 종료된다(단계 407).

본 발명에 의하면 파티클 체크 박스에 파티클을 제거하는 장치를 구비하여 파티클 검사와 제거가 동시에 행해짐으로써 공정 시간이 단축되는 파티클 제거 방법 및 장치를 제공할 수 있다.

또한 본 발명에 의하면 자동으로 파티클을 제거하여 편리하고 안전한 파티클 제거 방법 및 장치를 제공할 수 있다.

Claims (4)

1. 파티클 체크 박스의 삽입부에 결합하여 공기가 공급되는 공기 공급 라인;

   상기 공기 공급 라인을 통하여 공급되는 공기를 레티클 표면에 도출하는 노즐 도출부;

   상기 공기 공급 라인 및 상기 노즐 도출부를 포함하는 공기 공급부의 맞은 편에 위치하여 상기 공기 공급부에서 공급된 공기 및 파티클을 흡입하는 노즐 흡입부; 및

   상기 노즐 흡입부에 연결되어 흡입된 공기를 배출하는 공기 배출 라인을 포함하는 공기 흡입부

   를 포함하는 파티클 제거 장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 공기 공급부와 상기 진공 흡입부는 레티클 삽입부와 파티클 검사부 사이에 위치한 것

   을 특징으로 하는 파티클 제거 장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 공기 공급부를 통해 공급되는 가스는 질소인 것

   을 특징으로 하는 파티클 제거 장치.
4. 파티클 제거 장치에서 수행하는 파티클 제거 방법에 있어서,

   삽입된 레티클을 인식하는 단계;

   상기 레티클에 고압의 가스를 공급하는 단계;

   상기 공급된 가스 및 레티클 표면에 부착된 파티클을 흡입하여 배출하는 단계;

   상기 레티클 표면에 파티클이 존재하는지를 검사하는 단계; 및

   상기 레티클 표면에 파티클이 존재하는 경우에는 다시 파티클을 제거하는 단계

   를 포함하는 파티클 제거 방법.

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