KR20060071554A - 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치 - Google Patents

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Abstract

써모커플 센서와 매치 플레이트 보드가 일체로 형성되어 있는 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치는 써모커플 코넥터를 통하여 상기 테스트 챔버의 트레이 홈에 접속 가능한 매치 플레이트 보드와, 상기 매치 플레이트 보드에 부착되어 있는 써모커플 헤드와, 매치 플레이트 보드에 설치되어 있는 써모커플 센서와, 상기 써모커플 센서로부터 얻어지는 온도 정보를 자동 검출 및 저장하는 자동 온도 리코더 시스템을 포함한다.
테스트 핸들러, 온도, 시뮬레이션, 매치 플레이트, 써모커플 센서. 트레이

Description

테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치{Apparatus for simulation of temperature of test handler}
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치의 구성을 설명하기 위한 요부 단면도이다.
도 2는 도 1의 매치 플레이트 보드의 요부를 도시한 평면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10: 테스트 챔버, 12: 트레이 홈, 20: 매치 플레이트 보드, 22: 써모커플 코넥터, 24: 써모커플 헤드, 26: 써모커플 센서, 30: 자동 온도 리코더 시스템, 40: 제어 장치, 50: 데이타 베이스.
본 발명은 반도체 집적회로 소자와 같은 전자 부품을 테스트하기 위한 테스트 장치에 관한 것으로, 특히 반도체 집적회로의 테스트시에 정확한 온도로 테스트를 행할 수 있도록 정확한 온도를 확인할 수 있는 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치에 관한 것이다.
반도체 칩 패키지 제조 과정에서 조립 공정이 완료된 반도체 패키지는 최종 적으로 소정의 기능을 발휘하는지의 여부를 체크하기 위한 테스트 공정을 거치게 된다. 이와 같은 테스트 공정을 행하는 데 있어서, 상온, 상온보다 높은 온도 조건, 또는 상온보다 낮은 온도 조건하에서 반도체 패키지를 테스트하기 위하여 테스트 핸들러가 사용된다.
테스트 핸들러는 테스트 공정에서 소자 혹은 모듈을 테스트를 하기 위한 적절한 온도와 환경을 조성해 주고, 전기적 테스트를 위하여 반도체 소자 혹은 모듈을 자동으로 테스트하고자 하는 위치로 이송시키며, 테스터와 전기적으로 연결되어있는 소켓에 소자 혹은 모듈을 자동적으로 꽂거나 빼고, 테스터와 통신을 하여 테스터 결과에 따라 소자 혹은 모듈의 불량여부를 판정하여 그 결과에 따라 등급별로 자동 분류하여 수납시키는 핸들링 장치이다.
상기와 같이 반도체 소자의 온도 테스트가 가능한 핸들러에서 테스트를 수행하는 데 있어서, 반도체 소자를 테스트 소켓에 전기적으로 접속시켜 테스트를 수행하는 도중 반도체 소자 자체에서 소정의 열이 발생하는 발열 현상이 발생된다. 이에 따라, 사용자가 원하는 정확한 온도에서 테스트가 이루어지지 못하는 경우가 발생하게 된다. 이러한 현상은 최근의 반도체 소자의 소형화 및 고집적화 추세에 따라 심화되며, 반도체 소자들은 설정된 테스트 온도보다 높은 온도에서 테스트가 이루어지게 되고, 이에 따라 정확한 온도범위 내에서 테스트가 이루어지지 못하여 수율(yield) 및 신뢰성이 저하되는 문제가 발생하게 된다. 이와 같은 문제는 테스트 및 실제 사용 환경에서 반드시 해결되어야 할 과제이다.
상기와 같은 문제를 해결하기 위하여, 통상적으로 테스트 핸들러의 온도를 확인 및 보상하기 위한 온도 캘리브레이션(calibration) 작업이 행해지고 있다.
종래 기술에 따른 테스트 핸들러의 온도 캘리브레이션 작업은 소정 주기, 예를 들면 1주일에 1회 행해지고 있어 실질적으로 다음의 캘리브레이션 시점이 도래하기 전에는 온도 이상 문제에 대하여 생산 공정중에 확인할 수 있는 방법이 없었다. 또한, 온도 캘리브레이션 작업을 위하여 온도 센서를 테스트 챔버의 매치 플레이트 (match plate) 및 트레이(tray)에 각각 별도의 작업으로 탈부착하여야 하는 등 탈부착 작업 횟수가 많아 작업이 번거롭고, 센서의 온도 설치 위치를 특정 위치에 정확하게 설치하지 않으면 온도 정확도가 떨어지며, 매치 플레이트와 트레이의 홈이 정확하게 맞지 않으면 정확한 온도 검증이 불가능하여 온도 캘리브레이션 작업을 처음부터 새로 시작하여야 하는 등 절차가 번거롭고 까다로운 문제가 있다. 또한, 온도 캘리브레이션 과정을 행할 때마다 설비 가동을 중단하여야 하므로 설비 가동율을 저하시킨다.
본 발명의 목적은 상기한 종래 기술에서의 문제점을 해결하고자 하는 것으로, 설비 가동을 중단시키지 않고도 온도 측정이 가능하여 설비 가동율을 높일 수 있고, 테스트 핸들러의 온도 캘리브레이션 작업의 효율성을 높이고 정확한 검사가 가능한 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치는 테스트 챔버와, 상기 테스트 챔버 내에서 써모커플 코넥터 (thermocouple connector)를 통하여 상기 테스트 챔버의 트레이 홈에 접속 가능한 매치 플레이트 보드 (match plate board)와, 상기 매치 플레이트 보드에 부착되어 있는 써모커플 헤드와, 상기 써모커플 헤드로부터 상기 써모커플 코넥터까지 연장되도록 상기 매치 플레이트 보드에 설치되어 있는 써모커플 센서와, 상기 써모커플 센서로부터 얻어지는 온도 정보를 자동 검출 및 저장하는 자동 온도 리코더 시스템과, 상기 자동 온도 리코더 시스템의 자동 제어를 위하여 상기 자동 온도 리코더 시스템에 연결되어 있는 제어 장치를 포함한다.
본 발명에 따른 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치는 제품 수율 저하시 마다 온도의 영향성을 상시 확인할 수 있으며, 정기적인 테스트 핸들러 온도 측정시에도 설비를 다운시킬 필요 없이 온도 측정이 가능하여 설비의 가동율을 높일 수 있다. 또한, 테스트 핸들러의 온도 캘리브레이션 작업 효율을 향상시킬 수 있고, 정확한 검사를 행할 수 있다.
다음에, 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치의 구성을 설명하기 위한 요부 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치(100)는 테스트 챔버(10)와, 상기 테스트 챔버(10)에 연결 가능한 매치 플레이트 보드 (match plate board)(20)를 포함한다.
도 2는 도 1의 매치 플레이트 보드(20)의 요부를 도시한 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 매치 플레이트 보드(20)는 상기 테스트 챔버(100) 내에서 써모커플 코넥터 (thermocouple connector)(22)를 통하여 상기 테스트 챔버(10)의 트레이 홈(12)에 접속 가능하다.
상기 매치 플레이트 보드(20)에는 써모커플 헤드(24)가 부착되어 있다. 상기 써모커플 헤드(24)는 전자석식 써모커플 헤드로 구성되는 것이 바람직하다. 상기 매치 플레이트 보드(20)에서 상기 써모커플 헤드(24)와 상기 써모커플 코넥터(22)와의 사이에는 써모커플 센서(26)가 연결되어 있다. 바람직하게는, 상기 써모커플 센서(26)는 상기 매치 플레이트 보드(20) 내에 매설(埋設)되어 상기 매치 플레이트 보드(20)와 일체로 형성된다.
상기 써모커플 센서(26)로부터 얻어지는 온도 정보를 자동 검출 및 저장하기 위하여 상기 테스트 챔버(10) 근방에 자동 온도 리코더 시스템(30)이 설치되어 있다. 상기 자동 온도 리코더 시스템(30)에는 상기 자동 온도 리코더 시스템(30)의 자동 제어를 위하여 제어 장치(40)가 연결되어 있다. 상기 제어 장치(40)는 데이타 베이스(50)에 연결되어 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치(100)에서는 상기 자동 온도 리코더 시스템(30)을 도입함으로써, 소정의 설정 시간 동안 온도를 자동으로 검출 및 저장하도록 할 수 있으며, 상기 제어 장치(40)와의 연계 및 연동을 통하여 자동 제어가 가능하다. 또한, 상기 써모커플 헤드(24)를 전자석식 써모커플 헤드로 구성함으로써, 온도 캘리브레이션 작업을 하지 않는 평상시에는 상기 매치 플레이트 보드(20)에서 각각의 써모커플 센서(26)를 분 리시켜 놓는 것이 가능하다.
또한, 상기 매치 플레이트 보드(20) 및 여기에 매설되어 있는 써모커플 코넥터(22)가 일체로 탈부착 가능하도록 구성되어 있다. 그리고, 매치 플레이트 보드(20)에 매설되어 있는 써모커플 센서(26)가 트레이 홈(12)의 중간 위치까지 연장되어 있으므로 정확한 온도 검증이 가능하다.
본 발명에 따른 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치는 제품 수율 저하시 마다 온도의 영향성을 상시 확인할 수 있으며, 정기적인 테스트 핸들러 온도 측정시에도 설비를 다운시킬 필요 없이 온도 측정이 가능하여 설비의 가동율을 높일 수 있다. 또한, 테스트 핸들러의 온도 캘리브레이션 작업 효율을 향상시킬 수 있고, 정확한 검사를 행할 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러가지 변형 및 변경이 가능하다.

Claims (3)

  1. 테스트 챔버와,
    상기 테스트 챔버 내에서 써모커플 코넥터 (thermocouple connector)를 통하여 상기 테스트 챔버의 트레이 홈에 접속 가능한 매치 플레이트 보드 (match plate board)와,
    상기 매치 플레이트 보드에 부착되어 있는 써모커플 헤드와,
    상기 써모커플 헤드로부터 상기 써모커플 코넥터까지 연장되도록 상기 매치 플레이트 보드에 설치되어 있는 써모커플 센서와,
    상기 써모커플 센서로부터 얻어지는 온도 정보를 자동 검출 및 저장하는 자동 온도 리코더 시스템과,
    상기 자동 온도 리코더 시스템의 자동 제어를 위하여 상기 자동 온도 리코더 시스템에 연결되어 있는 제어 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 써모커플 센서는 상기 매치 플레이트 보드 내에 매설(埋設)되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 써모커플 헤드는 전자석식 써모커플 헤드로 구성된 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 온도 시뮬레이션 장치.
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