KR20060050353A - 평면표시장치용 패널 - Google Patents

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KR20060050353A
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Abstract

플라즈마 표시장치용 패널(1)은 기판(2)을 갖고, 기판(2)의 주면상에는, 각각이 y방향으로 뻗는 선상의 복수의 제 1 격벽(31)이 y방향에 수직인 x방향으로 일정한 피치로 배열 형성된다. 또한, 기판(2)의 주면상에는, 각각이 x방향으로 뻗는 선상의 복수의 제 2 격벽(32)이 일정한 피치로 y방향으로 배열 형성된다. 복수의 제 2 격벽(32)의 각각은, 서로 인접하는 2개의 제 1 격벽(31)의 사이에 있어서 기판(2)과의 사이에 간극(4)을 형성하고, y방향으로 인접하는 셀의 사이는, 간극(4)에 의해 서로 연결한다. 이것에 의해, 패널(1)에서는 간극(4)을 이용해서 발광재료를 각 셀에 적절하게 부여할 수 있고, 또한, 발광에 이용되는 가스를 각 셀에 적절하게 도입할 수 있다.

Description

평면표시장치용 패널{PANNEL FOR FLAT PANEL DISPLAY}
도 1은 플라즈마 표시장치용 패널을 나타내는 평면도이다.
도 2 및 도 3은 패널의 종단면도이다.
도 4는 패턴형성장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 5 및 도 6은 노즐부 근방을 확대해서 나타내는 도면이다.
도 7A 및 도 7B는 패턴 형성의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 8은 샌드블래스트법으로 형성되는 격벽을 설명하기 위한 도면이다.
도 9 내지 도 12는 패널의 다른 예를 나타내는 도면이다.
본 발명은 평면표시장치용 패널에 관한 것이다.
플라즈마 표시장치용 패널의 경우, 유리기판(이하, 「기판」이라 한다.)상의 격벽(ribs)의 패턴은, 통상, 스트라이프상 또는 격자상으로 된다. 스트라이프상의 격벽은, 구조가 단순하기 때문에 제조가 용이하고, 발광에 이용되는 가스를 각 셀(발광 영역(light emitting area))에 부여하는 경우에 셀 내의 배기를 단시간에 행할 수 있다는 장점이 있는 반면, 비발광 영역(non-light emitting area)이 필요하 게 되거나, 격자상의 격벽과 비교해서 1개의 셀에 있어서의 형광체(phosphor)의 표면적이 작아지게 되기 때문에, 플라즈마 표시장치의 휘도를 향상시키기 위해서는 격자상의 격벽의 패널이 유리하다. 따라서, 격자상의 격벽에 있어서도 배기를 단시간에 행하기 위해서, 일본국 특개2004-55495호 공보, 일본국 특개2001-155642호 공보, 일본국 특개2001-126621호 공보, 일본국 특개2002-134032호 공보, 일본국 특개2002 -216620호 공보에서는, 기판상에 격자상으로 배열 형성된 격벽에 있어서, 하나의 방향으로 뻗는 복수의 격벽의 높이를, 다른 방향으로 뻗는 복수의 격벽의 높이보다 낮게 한 패널이 제안되어 있다.
한편, 종래부터, 플라즈마 표시장치용 패널의 격벽 패턴을 형성하는 방법으로서, 샌드블래스트(sandblast)법(포토리소그래피법라고도 한다.), 스크린 인쇄(screen-printing)법, 리프트오프(lift-off)법 등이 알려져 있다. 그러나, 이들의 방법은 번잡하고, 생산비용을 증가시키는 요인으로 되고 있다.
따라서, 최근, 일본국 특개2002-184303호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 미세한 토출구를 갖는 노즐로부터 광경화성 수지(light-curing resin)를 포함하는 페이스트상의 패턴형성재료(patterning material)를 토출해서 기판상에 패턴을 형성한 후에, 자외선의 조사에 의해 패턴형성재료를 경화시키는 새로운 방법이 제안되어 있다. 이 방법에 의하면, 패턴의 형성공정을 간소화하고, 또한, 패턴형성재료의 이용률을 향상시키는 것에 의해, 패널의 생산비용을 줄일 수 있다.
그런데, 플라즈마 표시장치용 패널에는, 발광재료인 형광체가 각 셀에 부여되지만, 격자상으로 형성된 격벽을 갖는 패널에 있어서는, 각 셀에 형광체를 균일 하게 부여하는 것은 용이하지 않고, 번잡한 공정을 거치지 않고 균일하게 형광체를 부여하는 방법도 요구되고 있다.
본 발명은, 평면표시장치용 패널에 관한 것이고, 발광에 이용되는 가스나 발광 재료를 각 셀에 적절하게 부여하는 것이 가능한 패널을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명에 따른 패널은, 기판과, 상기 기판의 주면(主面)상에 있어서, 각각이 제 1의 방향으로 뻗는 선상이며, 상기 제 1의 방향에 수직인 제 2의 방향으로 배열 형성된 복수의 제 1 격벽과, 상기 주면상에 있어서, 각각이 상기 제 2의 방향으로 뻗는 선상이며, 상기 제 1의 방향으로 배열 형성된 복수의 제 2 격벽을 구비하고, 상기 복수의 제 2 격벽의 각각이, 서로 인접하는 2개의 제 1 격벽의 사이의 적어도 일부에 있어서 상기 기판과의 사이에 간극을 갖는다.
본 발명에 의하면, 제 2 격벽과 기판과의 사이의 간극을 이용하여, 발광재료를 각 셀에 적절하게 부여할 수 있고, 또는, 발광에 이용되는 가스를 각 셀에 적절하게 도입할 수 있다.
바람직하게는, 상기 복수의 제 1 격벽 및 상기 복수의 제 2 격벽의 각각이, 토출구로부터 토출된 패턴형성재료에 의해 형성된다.
또한, 상기 복수의 제 2 격벽은, 상기 기판과 비접촉으로 되어도 좋고, 상기 복수의 제 2 격벽의 각각이, 서로 인접하는 2개의 제 1 격벽의 사이의 중앙에 있어서 상기 기판과 접해도 좋다. 제 2 격벽이 기판과 접하는 것에 의해, 제 2 격벽의 강도를 향상할 수 있다.
더욱 바람직하게는, 상기 복수의 제 1 격벽과 상기 복수의 제 2 격벽과의 교차위치에 있어서, 상기 복수의 제 1 격벽이 노출할 때까지 연마처리가 실시되고, 제 2 격벽위에 재치되는 별도의 기판과의 접촉면적을 크게 해서 포개 맞춘 후의 패널의 강도를 향상할 수 있다.
이들 본 발명의 다른 목적들, 특징들 및 장점들은 첨부도면과 함께, 본 발명의 다음의 상세한 설명들로부터 좀 더 분명해질 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 플라즈마 표시장치용 패널(1)의 일부를 나타내는 평면도이고, 도 2는 도 1 중의 화살표 Ⅱ-Ⅱ의 위치에 있어서 패널(1)의 종단면도이고, 도 3은 도 1 중의 화살표 Ⅲ-Ⅲ의 위치에 있어서 패널(1)의 종단면도이다. 또, 도 1 내지 도 3의 패널(1)은, 플라즈마 표시장치에 있어서 서로 대향하여 설치되는 2개의 패널 중, 격자상으로 형성된 격벽을 갖는 쪽의 패널(통상, 리어 패널)로서 이용된다.
도 1의 플라즈마 표시장치용 패널(1)은, 유리의 기판(2)을 갖고, 기판(2)의 주면상에는, 각각이 도 1 중의 y방향으로 뻗는 선상의 복수의 제 1 격벽(31)이 설치된다. 복수의 제 1 격벽(31)은 y방향에 수직인 x방향으로, 예컨대, 280㎛ 피치로 배열 형성된다. 또한, 기판(2)의 주면상에는, 각각이 x방향으로 뻗는 선상의 복수의 제 2 격벽(32)이 더 설치되고, 복수의 제 2 격벽(32)은, 예컨대, 840㎛ 피치로 y방향으로 배열 형성된다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 제 1 격벽(31) 및 제 2 격벽(32)의 단면형상은 모두 사다리꼴에 근사한 형으로 되고, 평균적인 단면의 폭은 90㎛이며, 높이는 150㎛이다. 제 2 격벽(32)은, 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판(2)의 주면으로부터 일정한 높이만큼 떨어진 위치에서 제 1 격벽(31)으로 덮이도록 설치되어, 서로 인접하는 2개의 제 1 격벽(31)의 사이에 있어서, 제 2 격벽(32)과 기판(2)의 주면과의 사이에는, 미소한 간극(4)이 형성된다.
패널(1)이 플라즈마 표시장치에 조립될 때에는, 기판(2)의 주면상에 있어서 제 1 격벽(31)의 사이에, 빨강(R), 초록(G), 파랑(B)의 어느 쪽의 색의 형광체가 부여된다(도 1에서는, 부여된 경우의 형광체를 부호(33)를 붙여서 파선으로 나타내고 있다.). 또, 제 2 격벽(32)의 상면(즉, 기판(2)으로부터 가장 떨어진 면)에는 후의 공정에서 별도의 기판인 프런트 패널(front panel)이 설치되고, 기판(2)과 프런트 패널과의 사이의 공간은, 격자상의 격벽(31, 32)에 의해 복수의 방전영역(放電領域)(즉, 셀)으로 구분된다. 이 때, y방향으로 서로 인접하는 2개의 셀의 사이는, 제 2 격벽(32)과 기판(2)과의 사이의 간극(4)에 의해 서로 연결하고, 후술하는 바와 같이, 각 셀에는, 이 간극(4)을 이용해서 발광에 이용되는 크세논(Xe) 등의 가스가 봉입된다.
플라즈마 표시장치에서는, 각 셀에 개별로 전압이 인가되는 것에 의해 플라즈마 방전이 행해져서 자외선이 발생하고, 각 셀 내에 형성된 형광층에 자외선이 입사하는 것에 의해 가시광이 발생한다. 또, 제 2 격벽(32)과 기판(2)과의 사이의 간극(4)의 크기는, 1개의 셀에 있어서 발생한 플라즈마가 인접하는 셀로 이동하는 일이 없도록, 소정의 크기 이하로 된다.
다음에, 패널(1)의 제조방법의 일에에 관해서 설명을 행한다. 도 4는 패널(1)의 제조에 이용되는 패턴형성장치(5)의 구성을 나타내는 도면이다. 패턴형성장치(5)는, 기판(2)상에 복수의 격벽에 상당하는 패턴을 형성하는 장치이다.
패턴형성장치(5)에서는, 기대(基臺)(51)상에 스테이지 이동기구(6)가 설치되고, 스테이지 이동기구(6)에 의해 기판(2)을 유지하는 스테이지(60)가 기판(2)의 주면을 따라 도 4 중에 나타나는 X방향으로 이동 가능하게 된다. 기대(51)에는 스테이지(60)를 건너 넘도록 프레임(52)이 고정되고, 프레임(52)에는 헤드부(7)가 설치된다.
스테이지 이동기구(6)는, 모터(61)에 볼 나사(62)가 접속되고, 더욱이, 스테이지(60)에 고정된 너트(63)가 볼 나사(62)로 설치된 구조로 되어 있다. 볼 나사(62)의 윗쪽에는 가이드 레일(64)이 고정되어, 모터(61)가 회전하면, 너트(63)와 함께 스테이지(60)가 가이드 레일(64)을 따라 X방향으로 매끄럽게 이동한다.
헤드부(7)는, 광경화성 수지(본 실시형태에서는 자외선 경화성 수지)를 포함하는 페이스트상의 패턴형성재료를 기판(2)의 (+Z)측의 주면(이하, 「상면」이라고도 한다.)으로 향해서 토출하는 노즐부(74), 및, 토출된 패턴형성재료를 향해서 자외선을 출사하는 광출사부(73)을 구비한다. 노즐부(74) 및 광출사부(73)는 지지부(72)에 설치되어 고정되고, 베이스(71)를 통해서 프레임(52)에 설치된다. 또, 노즐부(74)는 교체 가능하게 된다.
노즐부(74)에는, 지지부(72)를 통해서 패턴형성재료를 공급하는 공급관(741) 이 설치되고, 공급관(741)은 재료공급부(75)에 접속된다. 또, 패턴형성재료는 주성분으로 되는 저연화점 유리 프릿(low-melting glass frit)에 광경화성 수지를 혼합한 것이며, 그 이외에, 용제나 첨가제 등도 포함하고 있다. 광출사부(73)는 광섬유(731)를 통해서 자외선을 발생하는 광원 유닛(732)에 접속된다.
도 5는, 패턴 형성 도상에 있어서의 노즐부(74) 근방을 확대해서 나타내는 평면도이며, 도 6은, 노즐부(74) 근방을 (-Y)측으로부터 (+Y)방향을 향해서 본 확대도이다. 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 노즐부(74)의 선단부에는, Y방향으로 배열된 복수의 토출구(742)가 형성되어 있다. 또한, 도 6의 광출사부(73)는, 광출사부(73)로부터 출사되는 자외선이 노즐부(74)의 토출구(742)로부터 토출된 패턴형성재료에 조사되도록, (-X)측에 어긋나게 배치되어 있다.
도 4에 나타낸 바와 같이 패턴형성장치(5)에서는, 스테이지 이동기구(6), 재료공급부(75) 및 광원 유닛(732)이 제어부(50)에 접속되어 있고, 이들의 구성이 제어부(50)로 제어되는 것에 의해, 기판(2)상에 복수의 제 1 격벽(31) 및 복수의 제 2 격벽(32)의 패턴이 배열 형성된다.
도 7A 및 도 7B는, 기판(2)상에 제 1 격벽(31) 및 제 2 격벽(32)의 패턴을 형성하는 흐름을 나타내는 도면이다. 패턴이 형성되는 경우에는, 우선, 280㎛ 피치로 토출구(742)가 배열 형성된 노즐부(74)가 패턴형성장치(5)의 지지부(72)에 설치된다(스텝 S11). 계속해서, 도 4에 나타나는 제어부(50)에 의해 스테이지 이동기구(6)가 제어되어, 기판(2)이 스테이지(60)와 함께 도 4 중에 2점 쇄선으로 나타나는 위치로부터 (-X)방향으로 이동을 개시한다(스텝 S12). 노즐부(74)가 기판(2)상의 패턴 형성의 시점상에 도달하면, 토출구(742)로부터 기판(2)의 상면으로 향해서 패턴형성재료의 토출이 개시된다(스텝 S13). 그리고, 광원 유닛(732)에 설치된 셔터(도시 생략)가 개방되고, 기판(2)상에 토출된 직후의 패턴형성재료로의 광출사부(73)에 의한 자외선의 조사가 개시된다(도 6 참조)(스텝 S14). 이것에 의해, 기판(2)의 주면상에 있어서, 각각이 기판(2)의 이동 방향으로 뻗는 선상의 복수의 제 1 격벽(31)의 패턴이 280㎛ 피치로 Y방향으로 배열 형성된다.
노즐부(74)의 토출구(742)가 기판(2)상의 패턴 형성의 종점상에 도달하면, 패턴형성재료의 토출이 정지된다(스텝 S15). 종점 근방의 패턴형성재료를 경화시키기 위해서 기판(2)은 이동을 속행하고, 그 후, 스테이지(60)의 이동이 정지되고(스텝 S16), 자외선의 출사가 정지되어 제 1 격벽(31)의 패턴 형성이 종료한다(스텝 S17). 이와 같이, 패턴 형성에서는, 기판(2)의 노즐부(74)에 대한 상대이동, 패턴형성재료의 토출, 및 자외선의 조사가 병행하여 행해진다.
제 1 격벽(31)의 패턴 형성이 종료하면, 일단, 기판(2)이 패턴형성장치(5)로부터 반출되고, 다른 장치에 의해, 기판(2)상의 제 1 격벽(31)이 소성되어(burn)(예컨대, 약 550도에서 10분간 소성한다.)(스텝 S18), 패턴형성재료 중의 수지 성분이 제거됨과 동시에 저연화점 유리 프릿이 융착한다(fuse into a solid mass).
계속해서, 스테이지(60)가 (+X)측으로 되돌려지고, 노즐부(74)가 840㎛ 피치로 토출구(742)가 배열 형성된 것으로 교환된다(스텝 S21). 또한, 작업자에 의해 기판(2)상의 제 1 격벽(31)이 Y방향으로 뻗도록 스테이지(60)상에 기판(2)이 재치된다. 그리고, 제 1 격벽(31)의 경우와 동일하게, 기판(2)이 (-X)방향으로 이동하 고, 패턴형성재료의 토출 및 자외선의 조사가 행해지는 것에 의해(도 5 및 도 6 참조), 기판(2)의 주면상에 있어서, 각각이 제 1 격벽(31)의 방향으로 수직인 방향(X방향)으로 뻗는 선상의 복수의 제 2 격벽(32)의 패턴이 840㎛ 피치로 Y방향으로 배열 형성된다(스텝 S22∼S24). 또, 본 실시형태에서 이용되는 패턴형성재료에서는, 소성후의 것에 대한 젖음성(wetting)이, 소성전의 것(자외선에 의해 가(假)경화된 것)에 대한 젖음성보다 나빠진다.
토출구(742)가 패턴 형성의 종점상에 도달하면, 패턴형성재료의 토출이 정지되고, 이어서, 스테이지(60)의 이동 및 자외선의 출사가 정지되어, 제 2 격벽(32)의 패턴 형성이 종료한다(스텝 S25~S27). 또, 제 2 격벽(32)의 패턴 형성시, 제 1 격벽(31)과는 다른 패턴형성재료가 이용되어도 좋다. 또한, 도 7B의 스텝 S28은 도 1 및 도 2의 패턴형성의 경우에는 생략된다.
제 2 격벽(32)의 패턴 형성이 종료하면, 제 1 격벽(31)과 마찬가지로 기판(2)이 패턴형성장치(5)로부터 반출되고, 다른 장치에 의해, 기판(2)상의 제 2 격벽(32)이 소성된다(스텝 S29). 이것에 의해, 기판(2)상에 복수의 제 1 격벽(31) 및 복수의 제 2 격벽(32)에 의한 격자상(우물 정(井)자 난간형 상)의 격벽에 있어서, 복수의 제 2 격벽(32)의 각각이, 서로 인접하는 2개의 제 1 격벽(31)의 사이(또는, 사이의 적어도 일부, 후술하는 도 12 참조)에 있어서 기판(2)과의 사이에 간극을 갖는 것이 토출구(742)로부터 토출된 패턴형성재료에 의해 용이하게 형성된다.
이상, 패널(1)의 제조방법에 관해서 설명했지만, 패널(1)은 또 다른 장치로 반송되어, 격자상의 격벽(31, 32)에 의해 구분된 기판(2)상의 각 셀(구획)에 발광 재료인 형광체가 부여된다. 예컨대, 제 1 격벽(31)이 뻗는 방향을 따라 형광체 토출장치의 토출구를 패널(1)에 대하여 상대적으로 이동하면서, RGB의 어느 색의 형광체를 토출하는 것에 의해, 서로 인접하는 2개의 제 1 격벽(31)의 사이에 형광체가 연속적으로 부여된다. 이 때, 제 1 격벽(31)의 사이(즉, 280㎛ 피치로 형성되는 격벽간)에서는 모관현상에 의해 형광체가 제 1 격벽(31)을 따라 넓어지지만, 제 2 격벽(32)의 사이(즉, 840㎛ 피치로 형성되는 격벽간)에서는 형광체가 제 2 격벽(32)을 따라 넓어지지 않도록, 형광체의 점도나, 형광체와 제 1 격벽(31) 및 제 2 격벽(32)의 각각의 젖음성 등이 조정된다(도 1의 패널(1) 참조). 또한, 제 1 격벽(31)이 뻗는 방향(y방향)에 관해서 서로 인접하는 2개의 셀의 사이는, 제 2 격벽(32)과 기판(2) 사이의 간극(4)에 의해 서로 연결하기 위해서, 형광체가 각 셀에 균일하게 부여된다.
그 후, 패널(1)은 여러가지 다른 처리가 실시된 위에, 프런트 패널인 별도의 유리 기판이 격벽(31, 32)을 끼워서 기판(2)에 설치된다. 프런트 패널의 설치에 있어서는, 우선, 기판(2)의 격벽의 프런트 패널에 접촉하는 부위(즉, 제 2 격벽(32)의 상면), 및, 프런트 패널의 대응하는 부위에 접착제로 되는 저연화점 유리층이 형성된다. 그리고, 양쪽 패널의 위치결정이 행하여져 임시로 움직이지 않게 한 후에 소성처리가 실시되어 양쪽 패널이 고착한다. 프런트 패널이 설치되면, 제 2 격벽(32)과 기판(2)과의 사이의 간극(4)을 이용해서 각 셀로부터 에어가 효율 좋게 배기되어 발광에 이용되는 가스가 봉입되고(즉, 셀내의 에어가 발광용 가스로 치환되고), 양쪽 기판의 주위가 봉지(封止)된다. 이것에 의해, 패널(1)을 이용한 플라 즈마 표시장치의 기본구조가 완성된다.
이상과 같이, 도 1의 패널(1)에서는, 서로 인접하는 2개의 제 1 격벽(31)의 사이에 있어서 복수의 제 2 격벽(32)의 각각과 기판(2)과의 사이에 간극(4)이 형성된다. 이것에 의해, 발광에 이용되는 형광체를 부여할 경우에, 만일, 형광체의 토출이 약간의 시간만큼 도중에서 끊긴 경우에서도, 제 1 격벽(31)이 뻗는 방향으로 서로 인접하는 2개의 셀의 사이에서는 제 2 격벽(32)과 기판(2)과의 사이의 간극(4)을 통해서 형광체가 균일한 두께로 넓어지기 때문에 형광체를 각 셀에 적절하게 부여할 수 있고, 발광에 이용되는 가스의 부여(봉입)의 경우에도, 간극(4)을 이용해서 가스를 각 셀에 적절하게 도입할 수 있다.
또한, 샌드블라스트법에 있어서, 배기를 용이하게 행하기 위해서 도 8에 나타낸 바와 같이 제 1 격벽(91)과 제 2 격벽(92)과의 사이에 높이의 차이를 부여하는 경우에는, 에칭공정을 2회 행하지 않으면 안되어, 작업이 번잡하게 되어 버린다. 또한, 일반적으로, 샌드블라스트법에서는 격벽을 형성하는 재료의 이용률이 낮아져서, 패널의 제조비용이 높아지게 된다. 이것에 대하여, 도 1의 패널(1)에서는 제 1 격벽(31) 및 제 2 격벽(32)의 각각이, 토출구(742)로부터 토출된 패턴형성재료에 의해 형성되기 때문에, 제 2 격벽(32)과 기판(2)과의 사이의 간극(4)을 용이하게 형성할 수 있음과 동시에, 재료절약에 의한 패널의 제조비용의 삭감을 도모할 수 있다.
도 9는 플라즈마 표시장치용 패널의 다른 예를 나타내는 도면이다. 도 9의 패널(1a)에서는, 제 1 격벽(31)의 상면과 제 2 격벽(32)의 상면이 거의 같은 높이 로 되어 있다. 패널(1a)을 제조하는 경우에는, 상술한 패널 제조방법의 예에 있어서, 제 2 격벽(32)의 패턴 형성이 종료한 단계에서, 다른 공정에 의해, 제 1 격벽(31)과 제 2 격벽(32)과의 교차 위치에 있어서, 제 1 격벽(31)이 노출할 때까지 연마처리가 실시되고(도 7B의 스텝 S28), 그 후, 제 2 격벽(32)이 소성된다(스텝 S29). 이것에 의해, 제 2 격벽(32)상에 재치되는 별도의 기판(프런트 패널)에 제 1 격벽(31)의 상면 및 제 2 격벽(32)의 상면을 격자상으로 당접시켜 접촉면적을 크게 하고, 포개 겹쳐진 후의 패널(1)의 강도를 향상할 수 있다.
도 10은, 패널의 또 다른 예를 나타내는 도면이다. 도 10의 패널(1b)은, 상술한 패널 제조방법의 예에 있어서, 제 1 격벽(31)의 패턴을 소성하기 전에, 제 2 격벽(32)의 패턴이 형성되고, 그 후, 제 1 격벽(31) 및 제 2 격벽(32)이 동시에 소성되는 것에 의해 제조된다. 즉, 도 7A의 스텝 S18이 생략된다. 이것에 의해, 제 2 격벽(32)의 패턴형성시에 있어서, 제 2 격벽(32)의 패턴형성재료의 제 1 격벽(31)의 패턴에 대한 젖음성이 향상하고, 도 10에 나타낸 바와 같이, 서로 인접하는 2개의 제 1 격벽(31)의 사이에 있어서, 제 2 격벽(32)과 기판(2)과의 사이의 간극(4)의 상부가 아치상으로 된다. 그 결과, 제 2 격벽(32)의 제 1 격벽(31)에 대한 접착성을 향상하고, 제 2 격벽(32)의 강도를 높일 수 있다. 또, 제 1 격벽(31)의 패턴의 소성후이더라도, 광경화성 수지를 소정의 용제에 섞은 것을 소성후의 제 1 격벽(31)에 도포하는 등 하여 제 1 격벽(31)에 표면처리를 실시하는 것에 의해, 제 2 격벽(32)의 패턴형성재료의 제 1 격벽(31)에 대한 젖음성을 향상하는 것이 가능하다.
도 11은, 패널의 또 다른 예를 나타내는 도면이다. 도 11의 패널(1c)은, 도 1의 패널(1)의 경우보다도 제 2 격벽(32)의 패턴형성재료의 점도를 낮게 하거나, 패턴형성재료의 토출후, 자외선이 조사될 때까지의 시간을 길게 하는 등 하여 제조되고, 이것에 의해, 제 2 격벽(32)을 기판(2)을 향해서 현수(懸垂)시켜 간극(4)의 높이 방향의 폭을 필요에 따라서 좁게할 수 있다. 또, 도 10 및 도 11에서는, 연마가 행해진 경우의 제 2 격벽(32)의 상면을 파선으로 나타내고 있고, 이 경우도, 연마에 의해 프런트 패널을 포개 겹친 후의 패널(1)의 강도의 향상이 도모된다.
도 1 및 도 9 내지 도 11의 패널(1, 1a∼1c)에서는, 제 2 격벽(32)이 기판(2)과 비접촉으로 되기 때문에, 각 셀로의 발광재료의 부여나 발광에 이용되는 가스의 도입을 효율좋게 행할 수 있지만, 패널의 설계에 따라서는, 제 2 격벽(32)과 기판(2)이 접촉하고 있어도 좋다. 예컨대, 도 11의 패널(1c)의 경우보다, 패턴형성재료의 점도를 더 낮게 하거나, 자외선이 조사될 때까지의 시간을 더 길게 하는 것에 의해, 도 12에 나타낸 바와 같이, 제 2 격벽(32)의 각각이 더 아래로 드리워지고, 서로 인접하는 2개의 제 1 격벽(31)의 사이의 중앙에 있어서 기판(2)과 접한 패널(1d)을 제조할 수 있다. 패널(1d)에서는, 제 2 격벽(32)과 기판(2)과의 사이의 간극(4)이, 제 1 격벽(31)의 근방에 있어서만 형성되어, 이것에 의해, 간극(4)을 이용해서 발광에 이용되는 가스나 발광재료를 각 셀에 적절하게 부여할 수가 있음과 동시에, 제 2 격벽(32)이 기판(2)과 접하는 것에 의해, 제 2 격벽(32)의 강도를 향상할 수 있다. 또한, 패널(1d)에 있어서도, 도 12중에 파선으로 나타낸 바와 같이 연마가 행하여져도 좋고, 이 경우, 패널(1d)에서는 제 1 격벽(31) 사이에 있어 서의 제 2 격벽(32)의 높이(높이 방향의 폭)가 확보되어, 패널(1d)의 강도의 향상이 더 도모된다.
이와 같이, 복수의 제 2 격벽(32)의 각각이, 서로 인접하는 2개의 제 1 격벽(31)의 사이의 적어도 일부에 있어서 기판(2)과의 사이에 간극(4)을 갖는 것이면, 도 7A 및 도 7B에 나타내는 공정을 거쳐서 제조되는 패널에 있어서의 간극(4)의 형상(즉, 제 2 격벽(32)과 제 1 격벽(31)과의 겹쳐진 상태나 제 1 격벽(31) 사이에 있어서의 제 2 격벽(32)의 가라앉은 상태)을 여러가지 것으로 할 수 있고, 간극(4)의 형상은, 제 2 격벽(32)의 패턴형성재료의 점도나 제 1 격벽(31)에 대한 젖음성, 또는, 자외선의 조도나 토출후의 패턴형성재료에 조사할 때까지의 시간 등의 조정, 그 위에, 제 2 격벽(32)의 패턴형성재료의 변경 등에 의해, 어느 정도 조정가능하다.
또한, 상기의 패널에서는, 복수의 제 1 격벽(31)의 피치를 복수의 제 2 격벽(32)의 피치보다도 작게 하는 것에 의해, 제 2 격벽(32)의 일정한 강도가 확보되지만, 예컨대, 제 1 격벽(31)의 피치가 840㎛로 되고, 제 2 격벽(32)의 피치가 280㎛가 되어도 좋다. 이 경우, 서로 인접하는 2개의 제 2 격벽(32)의 사이에 형광체가 부여되지만, 형광체의 기판(2)(정확하게는, 기판(2)의 표면에 형성되는 유전체층(誘電體層))에 대한 젖음성을 낮게함과 동시에, 형광체가 제 2 격벽(32)의 측면상으로부터 아래로 드리워져서 기판(2)에 연결되도록 형광체를 부여하는 것에 의해, 소성후의 형광체가, 제 2 격벽(32)의 측면상과 기판(2)의 상면에 잔류한다.
이상, 본 발명의 실시형태에 관해서 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시형 태에 한정되는 것은 아니고, 여러가지 변형이 가능하다.
패턴형성재료에 포함되는 경화성 수지는 반드시 자외선에 의해 경화하는 수지일 필요는 없고, 예컨대, 열에 의해 경화하는 수지이어도 좋다. 또한, 패턴형성재료는 유리 프릿 이외의 미소한 입자를 포함하는 것이어도 좋다.
패널의 제조방법은, 유기EL표시장치(organic electroluminescence (EL) display)나 액정표시장치 등의 다른 종류의 평면표시장치(플랫패널 디스플레이:flat-panel display)에 응용되어도 좋다. 이 경우, 제 2 격벽(32)을 형성하는 패턴형성재료의 점도를 높게 하는 등 하여, 제 2 격벽(32)의 하면이 제 1 격벽(31)의 상면과 거의 같은 높이가 되도록, 제 2 격벽(32)이 형성되고, 제 2 격벽(32)과 기판(2)과의 사이의 간극(4)이 크게 되어도 좋다. 또한, 기판(9)은 유리기판에 한정되지 않고, 다른 기판이더라도 좋다.
본 발명이 상세하게 나타내어지고 기술되었지만, 상기 명세서는 예시적인 측면일 뿐 이것에 국한되지는 않는다. 따라서, 다양한 변형들과 변화들이 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 고안될 수 있다.

Claims (5)

  1. 기판과,
    상기 기판의 주면상에 있어서, 각각이 제 1의 방향으로 뻗는 선상이며, 상기 제 1의 방향에 수직인 제 2의 방향으로 배열 형성된 복수의 제 1 격벽과,
    상기 주면상에 있어서, 각각이 상기 제 2의 방향으로 뻗는 선상이며, 상기 제 1의 방향으로 배열 형성된 복수의 제 2 격벽
    을 구비하고,
    상기 복수의 제 2 격벽의 각각이, 서로 인접하는 2개의 제 1 격벽의 사이의 적어도 일부에 있어서 상기 기판과의 사이에 간극을 갖는 평면표시장치용 패널.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 복수의 제 1 격벽 및 상기 복수의 제 2 격벽의 각각이, 토출구로부터 토출된 패턴형성재료에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 평면표시장치용 패널.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 복수의 제 2 격벽이, 상기 기판과 비접촉으로 되는 것을 특징으로 하는 평면표시장치용 패널.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 복수의 제 2 격벽의 각각이, 서로 인접하는 2개의 제 1 격벽의 사이의 중앙에 있어서 상기 기판과 접하는 것을 특징으로 하는 평면표시 장치용 패널.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 복수의 제 1 격벽과 상기 복수의 제 2 격벽과의 교차 위치에 있어서, 상기 복수의 제 1 격벽이 노출할 때까지 연마처리가 실시되고 있는 것을 특징으로 하는 평면표시장치용 패널.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010055921A (ja) * 2008-08-28 2010-03-11 Toray Ind Inc 構造体の製造方法
JP5022462B2 (ja) * 2010-03-18 2012-09-12 大日本スクリーン製造株式会社 電極形成方法および電極形成装置
JP5819621B2 (ja) * 2011-03-25 2015-11-24 株式会社Screenホールディングス パターン形成方法およびパターン形成装置
JP5734790B2 (ja) * 2011-08-23 2015-06-17 株式会社Screenホールディングス 電池用電極の製造方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5526151A (en) * 1994-09-27 1996-06-11 Sony Corporation Method of manufacturing a plasma addressed liquid crystal display device having planarized barrier ribs
JPH0992134A (ja) * 1995-09-22 1997-04-04 Dainippon Printing Co Ltd ノズル塗布方法及び装置
US6713959B1 (en) * 1998-08-28 2004-03-30 Fujitsu Limited Plasma display panel and method for producing the same
TW466537B (en) * 2000-07-14 2001-12-01 Acer Display Tech Inc Plasma display panel and the manufacturing method thereof
JP3701185B2 (ja) * 2000-09-06 2005-09-28 富士通日立プラズマディスプレイ株式会社 プラズマディスプレイパネルの製造方法
KR100788384B1 (ko) * 2001-05-08 2007-12-31 엘지.필립스 엘시디 주식회사 평판형 형광 방전램프
TW589602B (en) * 2001-09-14 2004-06-01 Pioneer Corp Display device and method of driving display panel
JP3608559B2 (ja) * 2002-03-26 2005-01-12 ソニー株式会社 素子内蔵基板の製造方法
KR100471980B1 (ko) * 2002-06-28 2005-03-10 삼성에스디아이 주식회사 격벽이 내장된 플라즈마 디스플레이 패널 및 이 격벽의제조 방법
JP2004127933A (ja) * 2002-09-11 2004-04-22 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置およびその作製方法

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