KR20060047803A - 페리클 프레임 조립체 - Google Patents

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KR20060047803A
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Abstract

본 발명은 반도체 장치를 제조할 때, 리소크래피 공정에서 사용되는 포토마스크나 레티클에 이물질이 부착되는 것을 방지하기 위한 페리클 막을 지지하기 위한 페리클 프레임에 관한 것이다. 보다 상세하게는 상기 페리클 막의 장력에 의하여 페리클 프레임이 변형되는 것을 방지할 수 있는 수단을 구비한 페리클 프레임 조립체에 관한 것이다.
본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체는, 상부면에 가장자리가 부착되는 페리클 막을 실질적으로 평평하게 지지하기 위한 복수의 변을 구비한 페리클 프레임과, 상기 페리클 프레임에 설치되어 상기 상부면에 부착되는 페리클 막의 장력에 의하여 페리클 프레임이 변형되는 것을 복원시키기 위한 복원력을 상기 페리클 프레임의 적어도 하나의 변에 작용하도록 하기 위한 적어도 하나의 복원력 작용부재 를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 적어도 하나의 복원력 작용부재에 연결되어 페리클 프레임의 적어도 하나의 변에 작용하는 복원력을 조절하기 위한 복원력 조절수단을 더 포함하는 것이 바람직하다. 상기 복원력 작용부재로는 와이어나 탄성부재를 사용할 수 있다.
대형페리클 플레임, 변형, 와이어, 장력, 복원

Description

페리클 프레임 조립체{PELLICLE FRAME ASSEMBLY}
도 1은 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 일실시예의 분해사시도
도 2는 도1의 실시예가 조립된 상태의 정면도
도 3은 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 복원력 작용부재인 와이어의 고정상태를 설명하기 위하여 도 1의 실시예를 A-A 선에서 바라본 단면도
도 4는 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 일실시예에 있어서, 다른 와이어의 고정상태의 설명도
도 5는 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 일실시예에 있어서, 또 다른 와이어의 고정상태의 설명도
도 6은 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 또 다른 실시예의 복원력 조절수단과 와이어의 고정상태의 설명도
도 7(a)는 도 3에 도시된 실시예의 와이어의 복원력 조절수단의 일실시예를 도시하고, 도 7(b)는 도 4에 도시된 실시예의 복원력 조절수단의 일 실시예를 도시하는 설명도
도 8은 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 또 다른 실시예의 분해사시도
도 9는 도 8의 실시예의 B-B 선에서 바라본 단면도
도 10은 도 8의 실시예의 C-C 선에서 바라본 단면도
도 11은 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 또 다른 실시예의 와이어가 고정된 상태를 도시하는 설명도
도 12는 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 또 다른 실시예의 사시도
도 13은 도 12의 D-D 선에서 바라본 단면도
도 14는 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 또 다른 실시예의 복원력 작용부재로 세장형 탄성부재가 설치된 상태를 도시하는 설명도
도 15는 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 또 다른 실시예의 복원력 작용부재로 앵글형 탄성부재가 설치된 상태를 도시하는 설명도
도 16은 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 또 다른 실시예의 복원력 작용부재로 앵글형 탄성부재가 설치된 상태를 도시하는 설명도
도 17은 종래의 페리클 프레임의 사시도
<도면 부호의 간단한 설명>
10 페리클 프레임 11, 13 단변
12, 14 장변 15, 16, 17, 18 모서리부
20 와이어 21 제1조절볼트(제1권선축)
22 제2조절볼트(제2권선축) 30 와이어지부재
40 턴버클 50 고정볼트
60 권선축 70 권선축 고정수단
본 발명은 반도체 장치를 제조할 때, 리소크래피 공정에서 사용되는 포토마스크나 레티클에 이물질이 부착되는 것을 방지하기 위한 페리클 막을 지지하기 위한 페리클 프레임에 관한 것이다. 보다 상세하게는 상기 페리클 막의 장력에 의하여 페리클 프레임이 변형되는 것을 방지할 수 있는 수단을 구비한 페리클 프레임 조립체에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에 있어서 리소그래피(lithography) 공정은 집적회로(IC)나 대규모 집적회로(LSI), 또는 박막트랜지스터 액정 디스플레이(TFTLCD)의 미세 패턴을 형성하는 공정이다. 상기 리소그래피 공정에서는 포토마스크나 레티클에 이물질이 부착되는 것을 방지하기 위하여 페리클이라고 부르는 방진수단을 사용한다. 포토마스크의 표면에 이물질이 부착될 경우 상기 이물질이 반도체 웨이퍼 상의 포토레지스트에 결상되어 회로 패턴 결함의 원인이 된다. 페리클을 설치할 경우에는 페리클 막의 표면에 이물질이 부착되어도 이물질이 포커스 위치에서 벗어나 수차(abberation)가 발생되어 웨이퍼 상의 포토레지스트에 결상되지 않게 되어 회로 패턴의 결함을 방지하게 된다.
페리클은 내부가 비어 있는 페리클 프레임과, 상기 프레임의 일측면에 가장자리가 접착제로 부착된 페리클 막을 포함한다. 상기 페리클 프레임은 포토마스크나 레티클의 형상에 대응하는 형상이나, 통상 폭이 수 mm 인 대향하는 한쌍의 장변과 한쌍의 단변을 갖는 직사각형이고, 각각의 변의 두께는 수 mm 이며, 알루미늄 재질로 되어 있다. 상기 페리클 막은 두께가 10 ㎛ 이하의 니트로 셀룰로오스 또는 셀룰로오스 유도체 등으로 된 투명한 고분자 막이다. 또한, 상기 프레임의 페리클 막이 부착되지 않은 타측면에는 포토마스크나 레티클에 부착시키기 위한 접착제가 도포되어 있다.
최근 멀티미디어 기술의 발전에 따라서, 고화질의 대형 칼라 박막트랜지스터 액정 디스플레이(TFTLCD)의 수요가 급증하고 있다. 대형 박막트랜지스터 액정 디스플레이(TFTLCD)의 형상이 사각형상이므로, 이의 제조 공정에 사용되는 페리클 프레임도 사각형상으로 대향하는 한쌍의 장변과 단변을 구비하고 있다. 액정 디스플레이가 대형화 됨에 따라서, 사각형상의 페리클 프레임은 부착되는 페리클 막의 장력에 의해서 페리클 프레임의 각각의 변이 내측으로 변형되어 포토마스크나 레티클의 노광영역을 감소시키는 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 페리클 프레임으로, 일본 공개특허공보 특개2001-42507호(공개일 2001. 2. 16)에는, 도 17에 도시된 것과 같이, 페리클 프레임의 대향하는 한쌍의 장변(1a)을 프레임의 외측을 향하여 돌출되도록(완만하게 외측으로 볼록한 형상으로) 형성한 페리클 프레임이 공개되어 있다. 상기와 같이 프레임의 외측으로 돌출된 장변은, 접착면(1a1, 1b1)에 페리클 막이 부착되면 페리클 막의 장력에 의하여 프레임의 내부로 변형되어 직사각형 형상이 되도록 하여 노광 영역이 감소하는 것을 방지하게 된다.
상기와 같이 장변이 외측으로 돌출된 대형 페리클 프레임은, 페리클 막의 장력에 의한 변형량을 고려하여 사전에 페리클 프레임의 장변 또는 단변의 돌출량(프로파일)을 계산하여 가공하여야 한다. 그러나 상기와 같은 돌출된 변을 갖는 페리클 프레임은 페리클 막이나 프레임 자체의 재질의 변경이나, 프레임의 크기의 변경에 따라서 정확한 장변 또는 단변의 돌출량의 계산이 어렵고, 정확한 계산을 하더라도 실제로 정확하게 돌출된 형상을 가공하기는 더 어렵다는 문제점이 있다. 또한, 페리클 프레임의 사이즈가 커질 수록 변형량이 커지게 되므로 돌출량을 크게 하여야 한다. 돌출량이 커지면, 부착되는 막에 주름이 발생하게 될 염려도 있다.
본 발명은 페리클 막의 장력에 의하여 프레임이 변형되어 노광 영역 감소되는 문제를 해결할 수 있도록 페리클 프레임이 변형되는 것을 방지하거나 변형된 페리클 프레임을 복원시키기 위한 수단을 구비한 페리클 프레임 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다. 특히, 본 발명에 의한 페리클 프레임 조립체는 사전에 변형량을 계산하여 페리클 프레임의 각각의 변의 돌출량을 계산하여 가공하지 않고, 통상의 페리클 프레임에 페리클 막을 부착하기 전이나 부착한 후에 프레임의 변형을 조절하여 본래의 형상을 유지하도록 할 수 있는 페리클 프레임 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체는, 상부면에 가장자리가 부착되는 페리클 막을 실질적으로 평평하게 지지하기 위한 복수의 변을 구비한 페리클 프레임과, 상기 페리클 프레임에 설치되어 상기 상부면에 부착되는 페리클 막의 장력에 의하여 페리클 프레임이 변형되는 것을 복원시키기 위한 복원력을 상기 페리클 프 레임의 적어도 하나의 변에 작용하도록 하기 위한 적어도 하나의 복원력 작용부재(RESTORING FORCE GIVING MEMBER)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 적어도 하나의 복원력 작용부재에 연결되어 페리클 프레임의 적어도 하나의 변에 작용하는 복원력을 조절하기 위한 복원력 조절수단을 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 복원력 작용부재는 탄성부재를 이용하여 탄성변형에 의한 복원력을 페리클 프레임에 작용하도록 하거나, 와이어와 같은 부재에 걸리는 장력이 페리클 프레임에 작용토록 하여, 페리클 프레임의 변형을 방지하거나 변형된 페리클 프레임을 복원하도록 할 수 있다.
와이어를 사용하여 페리클 프레임에 복원력이 작용하도록 할 경우에, 상기 와이어의 일단은 상기 적어도 하나의 변에 고정되고 변의 길이방향을 따라서 설치되어 있으며, 복원력으로 작용하는 와이어의 장력을 조절할 수 있도록 타단은 상기 복원력 조절수단에 연결된다. 상기 복원력 조절수단은, 연결된 와이어의 타단을 감아서 와이어의 길이를 조절할 수 있도록 상기 페리클 프레임에 회전가능하게 설치된 권선축과, 상기 권선축의 회전을 방지하기 위한 권선축 고정수단을 포함하도록 하여 구성하는 것이 바람직하다. 권선축을 회전시켜서 와이어가 권선축에 감기도록 하여 와이어의 길이를 조절하여 페리클 프레임에 장력을 가한 후, 권선축이 회전되는 것을 방지하기 위한 고정수단으로 권선축에 나사를 형성하거나, 권선축이 페리클 프레임에 밀착되도록 가압하여 마찰력에 의하여 고정되도록 할 수 있다.
권선축을 페리클 프레임에 가압하여 고정할 때, 권선축이 페리클 프레임의 외측면에서 내측면을 향하여 형성된 구멍에 삽입되어 회전이 가능하게 설치된 경우 에, 상기 권선축 고정수단은 상기 권선축을 반경 방향으로 가압하여 고정하기 위한 가압부재를 포함하는 것이 바람직하다. 또한 권선축이 페리클 프레임의 하부면에서 상부면을 향하여 형성된 구멍에 삽입되어 회전이 가능하도록 설치된 경우에, 상기 권선축 고정수단은 상기 권선축을 축방향으로 가압하여 고정하기 위한 가압부재를 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 권선축은 상기 와이어의 일단이 고정된 변과 이웃하는 변에 설치하거나, 이웃하는 변과 연결되는 모서리에 설치할 수도 있다. 또한, 서로 대향하는 모서리에 복수의 와이어와 권선축을 설치할 경우 서로 대칭이 되도록 설치하는 것이 바람직하다. 특히, 상기 페리클 프레임의 상기 와이어가 설치된 변의 외측면에는 변의 길이방향을 따라서 홈을 형성하고, 상기 와이어가 상기 홈에 삽입도록 설치하여 와이어가 외부로 돌출되지 않도록 하는 것이 보다 바람직하다.
본 발명에 따르면, 페리클 프레임에 설치된 와이어를 와이어를 복원력 조절수단으로 팽팽하게 잡아당겨서, 페리클 막의 장력에 의하여 페리클 프레임이 변형되는 것을 방지하거나 변형된 페리클 프레임을 복원시킬 수 있게 된다.
또한 본 발명에 의한 페리클 조립체에 있어서, 상기 복원력 작용부재로 적어도 하나의 변의 길이방향을 따라서 와이어를 설치하고, 상기 장력조절수단에 의하여 와이어의 장력을 조절할 때 상기 와이어와 상기 페리클 프레임의 변과의 연결은 슬라이딩에 의하여 상대운동이 가능하도록 설치할 수 도 있다.
와이어와 페리클 프레임이 상대 운동이 가능하게 설치할 경우, 상기 페리클 프레임의 상기 와이어가 설치된 변의 외측면에는 변의 길이방향을 따라서 홈을 형 성하고, 상기 홈에는 홈의 바닥면과 일정거리 이격되어 고정된 적어도 하나의 와이어지지부재를 설치한다. 또한, 와이어의 일단은 상기 적어도 하나의 변의 일단과 이웃하는 변이 연결되는 모서리부에 고정하고, 타단은 상기 홈의 바닥면과 상기 와이어 지지부재 사이의 공간을 통과시켜서 상기 이웃하는 변의 타단과 이웃하는 변이 연결되는 모서리부에 고정한다. 또한, 상기 와이어지지부재가 고정된 변의 내측면으로부터 상기 와이어의 각각의 단부가 고정된 위치까지의 높이가, 상기 와이어지지부재가 고정된 변의 내측면으로부터 상기 와이어지지부재의 상기 홈의 바닥면을 향한 면까지의 높이보다 높게 설치하여 와이어에 장력이 걸릴 경우 상기 와이어지지부재에 프레임의 외측을 향하는 힘이 걸리도록 한다.
보다 바람직하기로는 하나의 와이어가 프레임의 외측면을 한바퀴 둘러서 감싸도록 설치하고, 내측으로 변형된 페리클 프레임의 모든 변에 와이어의 장력에 의하여 페리클 프레임의 외측으로 향하는 힘이 가해지도록 하는 것이다. 즉, 상기 페리클 프레임의 각각의 변의 외측면에는 변의 길이방향을 따라서 홈을 형성하고, 상기 각각의 변에 형성된 홈에는 홈의 바닥면과 일정거리 이격되도록 적어도 하나의 와이어지지부재를 설치한다. 또한, 상기 와이어의 일단은 상기 홈의 바닥면과 상기 와이어지지부재 사이의 공간을 통과하여 상기 홈을 따라서 프레임을 둘러서 상기 와이어의 타단과 연결된다. 또한, 상기 와이어지지부재가 고정된 변의 내측면으로부터 상기 와이어와 접촉하는 변의 모서리부까지의 높이는, 상기 와이어지지부재가 고정된 변의 내측면으로부터 상기 와이어지지부재의 상기 홈의 바닥면을 향한 면까지의 높이보다 높게 설치하여, 와이어에 장력이 걸려서 팽행해질 경우, 와 이어가 와이어 지지부재를 페리클 프레임의 외측으로 가압하도록 한다.
또한 본 발명의 페리클 조립체에 있어서, 복원력 작용부재로 탄성부재를 이용할 경우, 상기 복원력 작용부재로 상기 페리클 프레임보다 큰 강성을 갖는 세장형 탄성부재를 사용할 수 있다. 상기 복원력이 작용되는 적어도 하나의 변의 외측면의 일부에는 이웃하는 변이 연결되는 모서리까지 단을 형성하고, 세장형 탄성부재의 일단은 상기 적어도 하나의 변의 외측면에 고정하고, 타단은 상기 단이 형성된 모서리부까지 자유단으로 연장되도록 한다. 복원력 조절수단으로, 이웃하는 변에 설치된 조절볼트를 사용하여 상기 세장부재의 타단을 단이 형성된 모서리부의 하부를 향하여 가압하도록 하여 페리클 프레임에 탄성변형에 의한 복원력이 가해지도록 한다.
또한 본 발명의 페리클 조립체에 있어서, 복원력 작용부재로 상기 적어도 하나의 변과 이웃하는 변이 연결되는 모서리부의 내측면이 형성하는 각보다 큰 갖을 갖도록 절곡 형성된 앵글형 탄성부재를 이용할 수도 있다. 절곡 형성된 앵글형 탄성부재의 양단이 상기 모서리부의 내측면에 밀착되도록 설치하고, 복원력 조절수단으로 일단이 상기 앵글형 탄성부재에 고정되어 페리클 프레임에 설치된 조절볼트를 사용하여, 상기 탄성부재를 상기 모서리부의 내측면을 향하여 잡아 당겨서 변형된 앵글형 탄성부재가 적어도 하나의 변과 이웃하는 변에 복원력을 가하도록 한다. 또한 본 발명의 페리클 조립체에 있어서, 복원력 작용부재로 상기 적어도 하나의 변과 이웃하는 변이 연결되는 모서리부의 외측면이 형성하는 각보다 큰 갖을 갖고, 상기 모서리부에 중앙부가 밀착되도록 설치된 앵글형 탄성부재를 사용할 수도 있 다. 이경우 상기 복원력 조절수단으로는 상기 앵글형 탄성부재의 양단을 페리클 프레임의 외측면을 향하여 잡아당겨서 변형된 앵글형 탄성부재가 적어도 하나의 변과 이웃하는 변에 복원력을 가하도록 할 수 있는 것이면 어느 것이나 가능하다.
이하에서는 첨부의 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 일실시예의 분해사시도이고, 도 2는 도1의 실시예가 조립된 상태의 정면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 복원력 작용부재인 와이어의 고정상태를 설명하기 위하여 도 1의 실시예를 A-A 선에서 바라본 단면도이다.
본 실시예의 페리클 프레임 조립체(100)는, 페리클 프레임(10)과 프레임(10)의 상부면(11c, 12c, 13c, 14c)에 부착되는 페리클 막(미도시)의 장력에 의하여 페리클 프레임(10)이 변형되는 것을 방지하거나, 변형된 페리클 프레임(10)을 복원시키도록 복원력을 제공하기 위하여 설치된 한쌍의 와이어(20, 20')를 포함한다. 또한, 와이어(20)의 장력을 조절하기 위하여 와이어의 양단에 연결된 조절볼트(21, 21', 22, 22')를 포함한다.
본 실시예에 있어서 페리클프레임(10)은 사각형상이나 이에 한정되는 것은 아니다. 페리클프레임(10)은 대향하는 한쌍의 단변(11, 13)과, 대향하는 한쌍의 장변(12, 14)으로 구성된다. 각각의 변(11, 12, 13, 14)의 단부가 연결된 부분을 각각 모서리부(15, 16, 17, 18)라고 한다. 본 실시예에 있어서 상기 페리클 프레임(10)은 알루미늄으로 일체로 형성되어 있으나, 각각의 변을 별도로 가공하여 조 립할 수도 있다. 또한, 각각의 변(11, 12, 13, 14)의 외측면(11d, 12d, 13d, 14d)에는 길이방향으로 홈(11e, 12e, 13e, 14e)이 형성되어 있다. 도 1의 점선원 안의 단면은 홈이 형성된 단변(11)의 상부면(11c), 하부면(11a), 내측면(11b), 외측면(11d), 그리고 홈(11e) 및 홈의 바닥면(11f)으로 구성된다. 다른 변도 동일한 방식의 부호로 상부면, 하부면, 내측면, 외측면, 홈 및 홈의 바닥면을 표시한다. 한쌍의 와이어(20, 20')는 간섭을 방지하기 위하여 상기 페리클 프레임(10)의 장변의 외측면(12d, 14d)에 형성된 홈(12e, 14e)에 각각 삽입되어 설치되어 있다.
도 2 및 도 3에 도시된 것과 같이, 각각의 장변(12, 14)의 홈(12e, 14e)에는 각각 두 곳에 와이어지지부재(30, 30', 31, 31')가 삽입되어 볼트(32, 32', 33, 33')로 고정되어 있다. 볼트(32, 32', 33, 33')는 각각의 장변의 홈(12e, 14e)의 하부면(12a, 14a)에 형성된 관통구멍(12g, 14g)과 와이어지지부재에 형성된 관통구멍(30a)을 통하여 홈(12e, 14e)을 관통하여 프레임의 장변(12, 14)에 각각 체결되어 있다. 와이어 지지부재(30, 30', 31, 31')는 도시된 것과 같이 중앙에 관통구멍(30a)이 형성된 디스크 형상으로 되어 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 특히 와이어 지지부재(30, 30', 31, 31')가 디스크 형상인 경우에는, 회전이 가능하도록 볼트(32, 32', 33, 33') 대신에 핀으로 고정할 수 도 있다. 또한, 상기 각각의 와이어지지부재(30, 30', 31, 31')는 외주면이 홈(12e, 14e)의 바닥면(12f, 14f)으로 부터 일정한 거리 만큼 이격되도록 고정되어, 홈(12e, 14e)의 바닥면(12f, 14f)과 와이어지지부재(30, 30', 31, 31') 사이로 각각의 와이어(20, 20')가 통과할 수 있는 공간이 확보되어 있다. 또한, 각각의 와이어지지부재(30, 30', 31, 31')의 외주면에는 와이어가 이탈하지 않도록 지지하기 위한 지지홈(30b, 30'b, 31b, 31'b)이 형성되어 있다.
도 3에 도시된 것과 같이, 본 실시예의 각각의 와이어(20, 20')는 일단이 제1조절볼트(21, 21')에 연결되어 있고, 타단은 각각의 홈(12e, 14e)의 바닥면(12f, 14f)과 와이어지지부재(30, 30', 31, 31') 사이의 공간을 통과하여 제2조절볼트(22, 22')에 연결되어 있다. 또한, 상기 제1 및 제2 조절볼트(21, 21', 22, 22')는 페리클 프레임(10)의 모서리부(15, 16, 17, 18)에 고정되어 있다. 본 실시예에서 상기 와이어(20, 20')는 피아노선을 사용하였으나, 이에 한정되는 것은 아니고 적당한 인장 강도를 구비한 와이어이면 어느 것이나 가능하다.
각각의 와이어(20, 20')의 길이를 조절하여 와이어(20, 20')에 걸리는 장력은 도 7(a) 및 도 7(b)에 도시된 것과 같은 방식으로 조절할 수 있다. 도 7(a)에 도시된 방식은 조절볼트(21)의 높이를 조절하여 와이어(20)의 장력을 조절하는 방식이다. 즉, 모서리부(17)에 형성된 나사구멍(17c)에 나사결합되어 고정된 조절볼트(21)를 회전시키면 조절볼트(21)가 상하로 이동하도록 되어 있다. 또한, 와이어(20)의 단부는 조절볼트(21)에 형성된 단턱(21a)의 외주면을 한바퀴 감아서 클립(20a)으로 고정되어 있다. 와이어(20)는 팽팽하게 잡아 당겨져서 긴장되어 있으므로 아래로 흘러내리지 않으며, 조절볼트(21)가 회전하여도 나사에 감기지 않는다. 따라서 조절볼트(21)를 회전시키면 와이어(20)의 단부가 상하로 이동하게 되어 와이어(20)에 걸리는 장력이 조절된다. 도 7(b)에 도시된 방식은, 권선축(25)을 회전시켜 와이어(20)를 감아서 와이어(20)의 길이를 조절함으로서 와이어(20)에 걸리 는 장력을 조절하는 방식이다. 즉, 권선축(25)는 회전시켜도 상하로 이동하지 않도록 모서리부(17)에 형성된 구멍(17c)에 가압부재(23)에 의해서 회전이 가능하도록 고정되어 있다. 또한, 와이어(20)의 단부는 조절볼트(25)에 형성된 관통구멍(25a)에 삽입되어 클립(20b)으로 빠지지 않도록 고정된다. 조절볼트(25)를 회전시키면 와이어가 조절볼트(25)의 외주면에 감기게 되므로 와이어의 길이를 조절하여 와이어(20)의 장력을 조절할 수 있다. 장력을 조절한 후에, 가압부재(23)를 볼트(24)로 체결하여 와이어(20)가 풀리지 않도록 조절볼트(25)를 고정한다. 본 실시예에 있어서, 와이어(20, 20')의 장력 조절 방식은 도 7(a)의 방식을 이용하였으나, 도 7(b)에 도시된 방식을 이용할 수도 있다. 또한, 당업자라면, 상기 도시된 방식 이외에 와이어의 장력을 조절하는 방식을 용이하게 고안할 수 있을 것이다. 도시하지는 않았으나, 예를 들면 와이어지지부재가 설치된 홈 내에서 이동하는 것을 안내하기 위한 안내수단과, 안내수단에 안내되어 이동된 와이어지지부재를 고정하기 위한 고정수단을 이용하여 장력을 조절할 수도 있다. 즉, 와이어지지부재의 위치이동에 의하여 와이어지지부재가 와이어를 가압하는 압력을 조절하여 와이어의 장력을 조절할 수 도 있다.
이하에서는 본 실시예에 의한 페리클 조립체가 페리클 막의 장력에 의한 변형을 방지하는 작용에 대하여 설명한다.
페리클 프레임(10)에 상기와 같이 와이어의 설치를 완료한 후에, 상기 각각의 변의 상부면(11c, 12c, 13c, 14c)에 페리클 막(미도시)을 접착제로 부착하고, 각각의 변의 하부면(11a, 12a, 13a, 14a)에는 페리클을 포토마스크나 레티클에 부 착시키기 위한 접착제를 도포한다. 페리클 막이 접착되면, 도 3에 도시된 것과 같이 페리클 막의 장력에 의하여 페리클 프레임(10)을 내측으로 변형시키는 힘(Tp)이 작용하여 페리클프레임(10)의 각각의 변이 내측으로 수축 변형하게 되어 노광 영역을 감소시키게 된다. 그러나, 본 실시예의 페리클 프레임 조립체(100)는, 장력(Tw)에 의하여 팽팽하게 긴장된 와이어(20, 20')가 와이어지지부재(30, 30', 31, 31')를 페리클프레임(10)의 외측으로 가압하여(장력 Tp의 합력과 거의 균형을 이루는 힘(F)의 합력으로 가압하여) 페리클 프레임(10)이 사각형상을 유지하도록 한다.
도 3에 도시된 것과 같이, 본 실시예의 페리클 프레임 조립체(100)는, 상기 각각의 장변(12, 14)의 내측면(12b, 14b)으로부터 상기 조절볼트(21, 21', 22, 22')에 와이어(20, 20')의 각각의 단부가 연결된 위치까지의 거리(높이)가, 각각의 장변(12, 14)의 내측면(12b, 14b)으로부터 각각의 와이어지지부재(30, 30', 31, 31')의 각각의 홈(12e, 14e)의 바닥면(12f, 14f)을 향하는 면까지의 거리(높이)보다 크게(높게) 되어 있다. 따라서 조절볼트(21, 21', 22, 22')를 회전시키면,고정된 와이어(20, 20')의 단부가 페리클프레임(10)의 외측으로 이동하게 되어 와이어의 장력(Tw)을 조절할 수 있다. 조절볼트가 풀리는 방향으로 회전시키면, 각각의 와이어(20, 20')의 장력이 증가되어 와이어지지부재(30, 30', 31, 31')와 슬라이딩 가능하도록 접촉하고 있는 와이어(20, 20')가 와이어지지부재(30, 30', 31, 31')를 페리클 프레임(10)의 외측 방향으로 더 세게 밀게 된다. 이 때, 상기 와이어의 장력(Tw)을 적절히 조절하여 지지부재가 프레임의 변을 외측으로 미는 힘(F)의 합과 페리클 막이 프레임을 내측으로 당기는 장력(Tp)의 합이 균형을 이루도록 하면, 페 리클 프레임(10)의 페리클 막으로 인한 변형을 방지할 수 있게 된다.
도 4는 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 일실시예에 있어서, 다른 와이어의 고정상태의 설명도이다. 도 4에 도시된 실시예가 도 3에 도시된 실시예와 다른 점은 와이어의 장력조절 수단으로, 도 7(b)에 도시된 것과 같은 권선축(25)을 사용하여 와이어의 장력을 조절할 수 있도록 한 점이다.
도 5는 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 일실시예에 있어서, 또 다른 와이어의 고정상태의 설명도. 도 5에 도시된 실시예가 도 3 및 도 4에 도시된 실시예와 다른 점은 복원력 조절수단으로 조절볼트나 권선축 대신에 와이어에 연결된 턴버클(40, turnbuckle)을 사용한 점이다. 턴버클(40)은 와이어의 장력을 조절하는 데 사용되는 공지의 장치로서 상세한 설명은 생략한다. 또한, 와이어의 양단이 고정되는 모서리부(15, 16, 17, 18)에는 와이어 고정볼트(15a, 16a, 17a, 18a)가 설치되어 있다. 상기 와이어 고정볼트(15a, 16a, 17a, 18a)에 고정된 와이어의 단부는 홈(12e, 14e)의 바닥면(12f, 14f)과 와이어지지부재(30, 30', 31, 31') 사이의 간격보다 높게 설치된다. 따라서, 와이어(20, 20')에 장력이 가해져서 팽팽하게 긴장될 경우 와이어(20, 20')가 와이어지지부재(30, 30', 31, 31')를 페리클 프레임(10)의 외측으로 가압하게 된다.
도 6은 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 또 다른 실시예(200)의 복원력 조절수단과 와이어의 고정상태의 설명도이다. 도 6에 도시된 실시예(200)가 도5에 도시된 실시예(100)와 다른 점은, 장변 및 단변 모두에 와이어지지부재가 고정된 점과, 와이어(20)가 각각의 변(11, 12, 13, 14)의 외측면(11d, 12d, 13d, 14d) 에 형성된 홈을 한 바퀴 감아서 양단이 턴버클(40)에 의하여 연결되어 장력을 조절할 수 있도록 된 점이다. 따라서, 대향하는 한쌍의 장변과 단변의 변형을 하나의 와이어로 간단하게 바로 잡을 수 있다. 또한, 각각의 모서리부(15, 16, 17, 18)에는 각각의 변에 형성된 홈보다 돌출된 와이어안내부재(15a, 16a, 17a, 18a, 15b, 16b, 17b, 18b)가 설치된다. 물론 별도의 와이어안내부재를 설치하지 않고, 모서리부의 홈을 가공할 때, 홈보다 돌출되도록 안내부재를 형성할 수도 있다. 상기 각각의 와이어안내부재(15a, 16a, 17a, 18a, 15b, 16b, 17b, 18b)는 홈(12e, 14e)의 바닥면(12f, 14f)과 와이어지지부재(30, 30', 31, 31', 32, 32') 사이의 간격보다 돌출되도록 설치되어 있다. 따라서, 와이어(20)가 장력에 의하여 팽팽하게 긴장될 경우, 와이어의 장력에 의하여 각각의 홈(11e, 12e, 13e, 14e)에 고정된 와이어지지부재(30, 30', 31, 31', 32, 32')를 페리클 프레임의 외측으로 가압하게 된다.
도 8은 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 또 다른 실시예의 분해사시도이고, 도 9는 도 8의 실시예의 B-B 선에서 바라본 단면도이고, 도 10은 도 8의 실시예의 C-C 선에서 바라본 단면도이다.
도 8에 도시된 실시예(300)가, 도 1에 도시된 실시예(100)와 다른 점은, 4개의 와이어(20)가 이웃하는 장변(12, 14)과 단변(11, 13)이 연결되는 각각의 모서리(15, 16, 17, 18)에 걸처서 일단은 단변(11, 13)에 형성된 홈(11e, 13e)에 삽입되어 고정볼트(50)로 고정되고, 타단은 장변(12, 14)에 형성된 홈(14e)에 삽입되어 권선축(60)에 고정된 점이다. 또한, 각각의 와이어(20)의 타단은 페리클 프레임 (10)의 장변에 회전이 가능하게 설치된 권선축(60)에 형성된 구멍(61)에 삽입되어, 와이어(20)는 권선축(60)의 회전에 의하여 감겨져서 길이가 조절되도록 되어 있다. 또한, 권선축(60)은 페리클 프레임(10)의 하부면(14a)에서 상부면을 향하여 형성된 구멍(14k)에 삽입되어 회전이 가능하도록 설치되어 있다. 또한, 페리클 프레임(10)의 각각의 변에는 권선축(60)의 회전에 의하여 팽팽하게 긴장된 와이어(20)가 풀리지 않도록 권선축(60)을 고정하기 위한 셋스크류홈(14k)이 형성되어 있고, 셋스크류홈(14k)에는 셋스크류(70)가 삽입되어 있다.
페리클 막의 장력에 의하여 페리클 프레임(10)이 변형되는 것을 방지하거나, 변형된 페리클 프레임을 복귀시키기 위하여, 권선축(60)을 회전시켜서 와이어(20)의 길이를 짧게 조절하여 와이어(20)가 팽팽하게 긴장되도록 한다. 와이어(20)가 긴장되면 와이어(20)의 양단에 연결된 고정스크류(50)와 권선축(60)을 잡아당겨서, 각각의 와이어(20)는 접촉된 모서리부(15, 16, 17, 18)에 대하여 이웃하는 페리클 프레임(10)의 변을 외측으로 벌어지도록 한다. 다음으로 셋크스류(70)로 권선축(60)이 풀리지 않도록 권선축(60)을 고정한다. 페리클 막을 페리클 프레임에 접착시키기 전에 와이어를 긴장시켜서 페리클 막에 의하여 페리클 프레임이 변형되는 것을 방지하고, 페리클 막을 페리클 프레임에 접착시킨 후에 와이어를 긴장시켜서 변형된 페리클 프레임을 원상태에 가깝게 복귀시킬 수 있다.
도 11은 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 또 다른 실시예의 와이어가 고정된 상태를 도시하는 설명도이다. 도 11에 도시된 실시예(400)가 도 8에 도시된 실시예(300)와 다른 점은, 장변(12, 14)에 설치된 권선축(60)이 페리클 프레임 (10)의 장변(12, 14)의 외측면(12d, 14d)에서 내측면(12b, 14b)을 향하여 형성된 구멍(12n, 14n)에 삽입되어 회전이 가능하게 설치되어 있는 점이다. 또한, 권선축(60)과 권선축이 삽입된 구멍(12n, 14n)은 나사에 의하여 체결되도록 되어 있어서, 권선축(60)을 고정하기 위한 별도의 셋스크류를 필요로 하지 않는다. 권선축(60)의 회전을 방지하도록 하기 위하여 도 13에 도시된 것과 유사하게 별도의 가압부재를 사용하여 권선축(60)의 회전을 방지하도록 할 수도 있다.
도 12는 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 또 다른 실시예의 사시도이고, 도 13은 도 12의 D-D 선에서 바라본 단면도이다.
도 12에 도시된 실시예(500)가 도 8에 도시된 실시예(300)와 다른 점은 권선축(60)을 셋스크류(70)로 고정하지 않고, 권선축(60)을 가압부재(75)를 사용하여 고정한다는 점이다. 도 13을 참조하면, 가압부재(75)에는 권선축(60)의 일단을 수용하여 지지하고 권선축(60)을 회전시키기 위한 공구가 삽입되기 위한 관통구멍(76)이 형성되어 있다. 또한, 관통구멍(76)에는 테이퍼가 형성되어 있고 관통구멍(76)에 수용되는 권선축(60)의 단부에도 테이퍼가 형성되어 있어서, 권선축(60)의 단부가 관통구멍(76)으로 돌출되지 않도록 하고, 권선축(60)을 회전시켜서 와이어(20)를 감을 경우 단부를 지지한다. 또한 페리클 프레임(10)의 장변(14)에는 가압부재(75)가 외부로 돌출되지 않도록 수용하기 위한 수용홈(14p)이 형성되어 있다. 수용홈(14p)에 수용된 가압부재(75)와 수용홈(14p) 사이에는 스프링(78)이 설치되어 있어서, 고정볼트(77)를 사용하여 가압부재(75)로 권선축(60)을 가압하지 않을 때, 가압부재(75)를 권선축(60)으로 부터 이격되도록 하여 권선축(60)을 용이하게 회전시킬 수 있도록 되어 있다. 또한, 권선축(60)에는 권선된 와이어를 수용하기 위하여 관통구멍(61)이 형성된 외주면에 환상의 홈(62)이 형성되어 있다. 따라서, 권선축(60)을 회전시켜서 와이어(20)를 감아서 긴장시킨 후에 고정볼트(77)로 가압부재(75)를 가압하도록 장변(14)에 체결하여 권선축(60)을 고정하여 와이어(20)가 긴장된 상태를 유지하도록 한다.
또한 도 8 및 도 12에 도시된 실시예도 도 11에 도시된 실시예와 같이, 페리클 프레임(10)의 단변(11)에 형성된 홈(11e)의 바닥면(11f)에 와이어(20)가 홈(11e)의 바닥면(11f) 상부로 돌출되지 않고 삽입되도록 와이어(20)의 일단부가 고정된 위치로 부터 모서리부까지 길이방향으로 추가의 홈(13m)을 형성하는 것이 바람직하다.
도 14는 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 또 다른 실시예의 복원력 작용부재로 세장형 탄성부재가 설치된 상태를 도시하는 설명도이다. 본 실시예의 페리클 프레임 조립체(600)가 이전에 설명된 실시예들과 다른 점은, 복원력 작용부재로 와이어 대신에 페리클 프레임보다 큰 강성을 갖는 재질의 세장형 탄성부재(80)를 사용한 점이다. 복원력을 작용시키고자 하는 장변(12, 14)의 외측면(12d, 14d)에는 고정되는 세장형 탄성부재(80)가 외부로 돌출되지 않도록 이웃하는 단변(11, 13)이 연결되는 모서리까지 두개의 단(12-1, 12-2, 14-1, 14-2)이 각각 형성되어 있다. 세장형 탄성부재(80)의 일단은 첫번째 단(12-1, 14-1)에 고정볼트(81)로 고정되어 있고, 타단은 모서리부(15, 16, 17, 18)까지 연장된 두번째 단(12-2, 14-2) 상부에 위치된다. 장변에 복원력을 가하고 복원력을 조절하기 위하여 세장 형 탄성부재(80)의 자유단에는 조절볼트(82)가 관통되어 높이조절이 가능하도록 이웃하는 단변(11, 13)에 고정되어 있다. 조절볼트(82)를 조여서 세장형 탄성부재(80)의 자유단을 모서리부를 향하여 가압하여 변형시키면, 탄성복원력이 타단이 고정된 장변(12, 14)에 작용하여 변형된 페리클 프레임(10)을 복귀시키게 된다. 또한, 세장형 탄성부재(80)가 변형함에 따라서 조절볼트(82)를 모서리부에서 변측으로 당기게 되므로, 조절볼트(82)가 단변(11,13)에 외측으로 굽힘 모멘트를 가하도록 되어 있어서 외측으로 변형되도록 하는 힘을 작용시키도록 되어 있다.
도 15는 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 또 다른 실시예의 복원력 작용부재로 앵글형 탄성부재가 설치된 상태를 도시하는 설명도이다. 본 실시예의 페리클 프레임 조립체(700)가 도 14에 도시된 실시예(600)와 다른 점은, 복원력 작용부재로 세장형 탄성부재(80) 대신에 앵글형 탄성부재(83)를 사용한 점이다. 앵글형 탄성부재(83)는 장변(12, 14)과 단변(11, 13)이 연결되는 모서리부(15, 16, 17, 18)의 내측면이 이루는 각보다 큰 갖은 갖고, 모서리부(15, 16, 17, 18)의 내측면에 양단이 밀착되도록 설치되어 있다. 각각의 모서리부(15, 16, 17, 18)의 내측면에는 앵글형 탄성부재(83)의 양단을 내부로 돌출되지 않도록 수용하기 위한 수용홈(19a)이 형성되어 있다. 앵글형 탄성부재(83)의 폭은 수용홈(19a)의 폭보다 좁고, 수용홈의 폭은 페리클 프레임의 내측면의 폭보다 좁게 되어 있으며, 수용홈(19a)은 모서부의 내측면 내에 수용되도록 형성되어 있다. 각각의 모서리부(15, 16, 17, 18)에는 조절볼트(84)가 체결되기 위한 나사산이 형성된 관통구멍(19b)이 형성되어 있으며, 조절볼트(84)의 단부는 관통구멍(19b)을 통하여 앵글형 탄성부재 (83)의 중앙부에 회전이 가능하도록 고정되어 있다. 따라서, 조절볼트(84)를 페리클 프레임의 외측으로 진행하도록 풀어주면, 앵글형 탄성부재(84)는 각각의 모서리부(15, 16, 17, 18)의 내측면을 향하여 잡아 당겨져서 변형되고, 변형된 앵글형 탄성부재(83)가 각각의 모서리부(15, 16, 17, 18) 양측의 단변과 장변에 복원력을 가하게 된다.
도 16은 본 발명에 따른 페리클 프레임 조립체의 또 다른 실시예의 복원력 작용부재로 앵글형 탄성부재가 설치된 상태를 도시하는 설명도이다. 본 실시예의 페리클 프레임 조립체(800)가 도 15에 도시된 페리클 프레임 조립체(700)와 다른 점은, 앵글형 탄성부재(85)가 모서리부(15, 16, 17, 18)의 외측면에 설치된 점이다. 도 16을 참조하면, 앵글형 탄성부재(85)는 장변(12, 14)과 단변(11, 13)이 연결되는 모서리부(15, 16, 17, 18)의 외측면이 이루는 각보다 큰 갖은 갖고, 모서리부(15, 16, 17, 18)의 외측면에 절곡된 중앙부가 밀착되도록 설치되어 있다. 모서리부의 외측면에는 앵글형 탄성부재(85)가 수용되기 위한 수용홈(19c)이 형성되어 있다. 한쌍의 조절볼트(86)가 장변(12, 14)과 단변(11, 13)에 각각 높이 조절이 가능하도록 설치되어 밀착된 앵글형 탄성부재(85) 양단을 가압할 수 있도록 되어 있다. 조절볼트(86)의 높이를 조절하여 앵글형 탄성부재(85)의 양단을 가압하면, 변형된 앵글형 탄성부재(85)의 탄성 복원력이 조절볼트(86)를 통하여 각각의 변에 전달되어 변형된 페리클 프레임을 복원 시킬 수 있게 된다.
본 발명에 의하면, 대형 페리클 프레임에 있어서 페리클 막의 장력에 의한 프레임의 변형을 방지할 수 있는 페리클 프레임 조립체를 제공하여, 보다 대형의 반도체 장치를 제조할 수 있게 한다.
본 발명에 의하면, 와이어나 탄성부재를 사용하여 페리클 막의 장력에 의한 페리클 프레임의 변형을 방지하거나, 변형된 페리클 프레임을 복원시킬 수 있게된다. 따라서, 대형 박막트랜지스터 액정 디스플레이(TFTLCD)의 제조시 페리클 프레임의 변형으로 인한 노광영역의 감소를 방지할 수 있어서 종래의 페리클 프레임을 이용하는 것보다 큰 사이즈의 액정 디스플레이를 제조할 수 있게 된다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.

Claims (15)

  1. 상부면에 가장자리가 부착되는 페리클 막을 실질적으로 평평하게 지지하기 위한 복수의 변을 구비한 페리클 프레임과,
    상기 페리클 프레임에 설치되어, 상기 상부면에 부착되는 페리클 막의 장력에 의하여 페리클 프레임이 변형되는 것을 복원시키기 위한 복원력을 상기 페리클 프레임의 적어도 하나의 변에 작용하도록 하기 위한 적어도 하나의 복원력 작용부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 복원력 작용부재에 연결되어 페리클 프레임의 적어도 하나의 변에 작용하는 복원력을 조절하기 위한 복원력 조절수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 복원력 작용부재는 와이어이고, 상기 와이어의 일단은 상기 적어도 하나의 변에 고정되고 변의 길이방향을 따라서 설치되어 있으며, 복원력으로 작용하는 와이어의 장력을 조절할 수 있도록 타단은 상기 복원력 조절수단에 연결된 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 복원력 조절수단은, 연결된 와이어의 타단을 감아서 와이어의 길이를 조절할 수 있도록 상기 페리클 프레임에 회전가능하게 설치된 권선축과, 상기 권선축의 회전을 방지하기 위한 권선축 고정수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 권선축은 페리클 프레임의 외측면에서 내측면을 향하여 형성된 구멍에 삽입되어 회전이 가능하게 설치되어 있으며,
    상기 권선축 고정수단은 상기 권선축을 반경 방향으로 가압하여 고정하기 위한 가압부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 권선축은 페리클 프레임의 하부면에서 상부면을 향하여 형성된 구멍에 삽입되어 회전이 가능하도록 설치되어 있으며,
    상기 권선축 고정수단은 상기 권선축을 축방향으로 가압하여 고정하기 위한 가압부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 권선축은 상기 와이어의 일단이 고정된 변과 이웃하는 변에 설치된 것 을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
  8. 제7항에 있어서,
    서로 대향하는 모서리에 설치된 상기 와이어와 권선축은 대칭이 되도록 설치된 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
  9. 제3항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 페리클 프레임의 상기 와이어가 설치된 변의 외측면에는 변의 길이방향을 따라서 홈이 형성되어 있으며, 상기 와이어는 상기 홈에 삽입되어 외부로 돌출되지 않도록 설치된 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
  10. 제2항에 있어서,
    상기 복원력 작용부재는 상기 적어도 하나의 변의 길이방향을 따라서 설치된 와이어이고,
    상기 장력조절수단에 의하여 와이어의 장력이 조절될 때 상기 와이어와 상기 페리클 프레임의 변과의 연결은 슬라이딩에 의하여 상대운동이 가능하도록 설치된 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 페리클 프레임의 상기 와이어가 설치된 변의 외측면에는 변의 길이방향 을 따라서 홈이 형성되어 있으며,
    상기 홈에 삽입되어 홈의 바닥면과 일정거리 이격되어 고정된 적어도 하나의 와이어지지부재를 더 포함하고,
    상기 와이어의 일단은 상기 적어도 하나의 변의 일단과 이웃하는 변이 연결되는 모서리부에 고정되고, 타단은 상기 홈의 바닥면과 상기 와이어 지지부재 사이의 공간을 통과하여 상기 이웃하는 변의 타단과 이웃하는 변이 연결되는 모서리부에 고정되어 있으며,
    상기 와이어지지부재가 고정된 변의 내측면으로부터 상기 와이어의 각각의 단부가 고정된 위치까지의 높이가, 상기 와이어지지부재가 고정된 변의 내측면으로부터 상기 와이어지지부재의 상기 홈의 바닥면을 향한 면까지의 높이보다 높게 된 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 페리클 프레임의 각각의 변의 외측면에는 변의 길이방향을 따라서 홈이 형성되어 있으며,
    상기 각각의 변에 형성된 홈 중 적어도 하나의 홈에, 홈의 바닥면과 일정거리 이격되도록 삽입되어 고정된 적어도 하나의 와이어지지부재를 더 포함하고,
    상기 와이어의 일단은 상기 홈의 바닥면과 상기 와이어지지부재 사이의 공간을 통과하여 상기 홈을 따라서 프레임을 둘러서 상기 와이어의 타단과 연결되어 있으며,
    상기 와이어지지부재가 고정된 변의 내측면으로부터 상기 와이어와 접촉하는 변의 모서리부까지의 거리는, 상기 와이어지지부재가 고정된 변의 내측면으로부터 상기 와이어지지부재의 상기 홈의 바닥면을 향한 면까지의 거리보다 길게 설치된 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
  13. 제2항에 있어서,
    상기 복원력이 작용되는 적어도 하나의 변의 외측면의 일부에는 이웃하는 변이 연결되는 모서리까지 단이 형성되어 있으며,
    상기 복원력 작용부재는 상기 페리클 프레임보다 큰 강성을 갖는 세장형 탄성부재이고, 일단은 상기 적어도 하나의 변의 외측면에 고정되어 있고, 타단은 상기 단이 형성된 모서리부까지 자유단으로 연장되어 있으며,
    상기 복원력 조절수단은, 상기 세장형 탄성부재의 타단을 단이 형성된 모서리부의 하부로 가압하도록 상기 이웃하는 변에 설치된 조절볼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
  14. 제2항에 있어서,
    상기 복원력 작용부재는, 상기 적어도 하나의 변과 이웃하는 변이 연결되는 모서리부의 내측면이 형성하는 각보다 큰 갖을 갖고, 상기 모서리부의 내측면에 양단이 밀착되도록 설치된 앵글형 탄성부재를 포함하고,
    상기 복원력 조절수단은, 일단이 상기 앵글형 탄성부재에 고정되고, 상기 앵 글형 탄성부재를 상기 모서리부의 내측면을 향하여 잡아 당겨서 변형된 앵글형 탄성부재가 적어도 하나의 변과 이웃하는 변에 복원력을 가하도록 페리클 프레임에 설치된 조절볼트를 포함하는 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
  15. 제2항에 있어서,
    상기 복원력 작용부재는, 상기 적어도 하나의 변과 이웃하는 변이 연결되는 모서리부의 외측면이 형성하는 각보다 큰 갖을 갖고, 상기 모서리부에 중앙부가 밀착되도록 설치된 앵글형 탄성부재를 포함하고,
    상기 복원력 조절수단은, 상기 앵글형 탄성부재의 양단을 페리클 프레임의 외측면을 향하여 잡아당겨서 변형된 앵글형 탄성부재가 적어도 하나의 변과 이웃하는 변에 복원력을 가하도록 페리클 프레임에 설치된 것을 특징으로 하는 페리클 프레임 조립체.
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