KR20060046760A

KR20060046760A - 액체 방울 토출 장치, 액체 방울 토출 장치의 액체 공급장치, 전기 광학 장치 및 전자 기기

Info

Publication number: KR20060046760A
Application number: KR1020050067638A
Authority: KR
Inventors: 유지 이와타
Original assignee: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2004-09-07
Filing date: 2005-07-26
Publication date: 2006-05-17
Also published as: US7549739B2; CN100377884C; US20060048647A1; TW200619042A; CN1746032A; TWI268223B; JP2006075662A; JP4526335B2; KR100658131B1

Abstract

본 발명은 외부 환경으로부터 침입해 오는 기체를 적극적으로 탈기(脫氣)하여, 내부의 액체에 대하여 기체가 들어가지 않게 하고, 바깥쪽의 제1 튜브와 안쪽의 제2 튜브가 굴곡(屈曲)할 때 서로 마찰하지 않게 할 수 있는 액체 방울 토출 장치, 액체 방울 토출 장치의 액체 방울 공급 장치, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공하는 것을 과제로 한다.

액체를 수용하는 액체 수용부(111 내지 116)와, 헤드(11)와, 액체 수용부와 헤드 사이에 배치되어 액체 수용부로부터 액체를 헤드에 공급하는 액체 공급 장치(610)를 가지며, 액체 공급 장치는 액체 수용부와 헤드 사이를 접속하여 액체를 공급하는 제1 튜브(91 내지 96)와, 제1 튜브의 외주를 둘러싸는 제2 튜브(401 내지 406)와, 제1 튜브와 제2 튜브 사이에 형성되어 있는 공간에 탈기용 유체를 수용하여 제2 튜브를 통해서 비집고 들어가 탈기용 유체에 포함되는 기체를 제2 튜브의 바깥쪽으로 탈기시키면서 탈기용 유체를 순환시키는 유체 순환부(430)를 구비한다.

액체 방울 토출 장치, 전기 광학 장치, 탈기용 유체, 튜브, 액체 수용부

Description

액체 방울 토출 장치, 액체 방울 토출 장치의 액체 공급 장치, 전기 광학 장치 및 전자 기기{LIQUID DROPLET EJECTING DEVICE, LIQUID SUPPLYING DEVICE THEREOF, ELECTROOPTICAL APPARATUS AND ELECTRONIC APPARATUS}

도 1은 본 발명의 액체 방울 토출 장치의 바람직한 실시 형태를 나타내는 평면도.

도 2는 도 1의 액체 방울 토출 장치의 왕복대, 헤드 등을 나타내는 사시도.

도 3은 도 2의 왕복대 및 헤드 등을 나타내는 도 2에서의 Ｅ 방향에서 본 정면도.

도 4는 헤드의 압전 진동자의 예와 액체 저장부의 구조예를 나타내는 도면.

도 5는 액체 공급 장치, 액체 팩 및 노즐 등을 나타내는 사시도.

도 6은 액체 공급 장치의 액체 순환부, 제1 튜브, 제2 튜브 등을 나타내는 도면.

도 7은 제1 튜브와 제2 튜브의 구조예를 나타내는 단면도.

도 8은 필터 기구부와 진공 펌프를 확대하여 나타내는 도면.

도 9는 필터에 의한 탈기용 유체로부터 용존 기체를 탈기하는 원리의 예를 나타내는 도면.

도 10은 제1 튜브와 제2 튜브 및 공간 유지구의 예를 나타내는 일부 절결 사 시도.

도 11은 제1 튜브와 제2 튜브 및 공간 유지구를 나타내는 분해 사시도.

도 12는 제1 튜브와 제2 튜브 및 공간 유지구를 나타내는 단면도.

도 13은 본 발명의 액체 방울 토출 장치에 의해 제조되는 유기 ＥＬ 장치의 형상 예를 나타내는 단면도.

도 14는 본 발명의 액체 방울 토출 장치에 의해 제조되는 액정 표시 장치의 구조 예를 나타내는 단면도.

도 15는 본 발명의 실시 형태에 의해 제조된 표시 장치를 구비하는 전자 기기의 일례인 휴대 전화를 나타내는 사시도.

도 16은 전자 기기의 다른 예인 컴퓨터를 나타내는 사시도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10···액체 방울 토출 장치,

11···헤드,

70···노즐면,

91 내지 96···제1 튜브,

111 내지 116···액체 팩(잉크 탱크라고도 부름),

121 내지 126···노즐 개구,

401 내지 406···제2 튜브,

430···유체 순환부,

441···순환 튜브,

443···진공 펌프(흡인부의 일례),

444···필터 기구부,

450···필터,

480···탈기용 유체의 유로,

481···묘화용 잉크의 유로,

610···액체 공급 장치,

660···탈기용 유체

본 발명은 액체 방울을 워크에 토출하기 위한 액체 방울 토출 장치, 액체 방울 토출 장치의 액체 공급 장치, 전기 광학 장치 및 전자 기기에 관한 것이다.

액체 방울 토출 장치는 묘화 시스템으로서 사용되는 경우가 있고, 이 묘화 시스템은 잉크젯식으로 액체 방울을 워크에 대하여 토출하도록 되어 있다. 이 묘화 시스템은, 예를 들어 플랫 패널 디스플레이와 같은 전기 광학 소자의 제조에 사용되는 경우가 있다.

잉크젯식으로 액체 방울을 토출하는 액체 방울 토출 장치는, 액체 방울을 토출하기 위한 헤드 및 헤드에 대하여 액체를 공급하기 위한 잉크 카트리지를 가지고 있다. 이 헤드와 잉크 카트리지 사이는 잉크 공급 튜브에 의해 접속되어 있는 것이 있다(예를 들어 특허문헌 1). 이 잉크 공급 튜브는 공기 등의 투과를 막기 위해서, 2중 구조의 튜브를 채용하고 있다. 이에 의해, 외부 환경으로부터 공기가 튜브 내의 잉크에 침입하는 것을 막고 있다.

[특허문헌 1] 일본공개특허 소61-53052호 공보(3 페이지, 도 1)

그런데, 이런 종류의 2중 구조의 잉크 공급 튜브에서는, 다음과 같은 문제가 있다.

바깥쪽 튜브와 안쪽 튜브에서 외부 환경으로부터의 공기를 포착하는 것이지만, 이 바깥쪽 튜브와 안쪽 튜브 사이에서의 공기의 양이 많아지면 공기량이 포화되어 버리기 때문에, 공기가 안쪽 튜브로 비집고 들어갈 우려가 있다.

또, 안쪽 튜브와 바깥쪽 튜브는, 굴곡 시킬 때에 바깥쪽 튜브의 내주면과 안쪽 튜브의 외주면이 서로 마찰되어, 튜브가 파손될 우려도 있다.

그래서 본 발명은 상기 과제를 해소해, 외부 환경으로부터 침입해 오는 기체를 적극적으로 탈기하여, 내부의 액체에 기체가 들어가지 않도록 하고, 바깥쪽의 제1 튜브와 안쪽의 제2 튜브가 굴곡할 때 서로 마찰하지 않게 할 수 있는 액체 방울 토출 장치, 액체 방울 토출 장치의 액체 방울 공급 장치, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

상술한 목적은, 제1 발명에서는, 액체 방울을 워크에 토출하기 위한 액체 방울 토출 장치로서, 액체를 수용하는 액체 수용부와, 액체 방울을 토출하는 헤드와, 상기 액체 수용부와 상기 헤드 사이에 배치되어 상기 액체 수용부로부터 상기 액체 를 상기 헤드에 공급하기 위한 액체 공급 장치를 가지며, 상기 액체 공급 장치는, 상기 액체 수용부와 상기 헤드 사이를 접속하여 상기 액체를 공급하는 제1 튜브와, 상기 제1 튜브의 외주를 둘러싸는 제2 튜브와, 상기 제1 튜브와 상기 제2 튜브 사이에 형성되어 있는 공간에 탈기용 유체를 수용하여, 상기 제2 튜브를 통해서 비집고 들어가 상기 탈기용 유체에 포함되는 기체를 상기 제2 튜브의 바깥쪽으로 탈기시키면서, 상기 탈기용 유체를 순환시키는 유체 순환부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출 장치에 의해 달성된다.

제1 발명의 구성에 의하면, 액체 수용부는 액체를 수용한다. 헤드는 액체 방울을 토출한다. 액체 공급 장치는, 액체 수용부와 헤드 사이에 배치되어 있고, 액체 수용부로부터 액체를 헤드에 공급한다.

이 액체 공급 장치의 제1 튜브는, 액체 튜브와 헤드 사이를 접속하여 액체를 공급한다. 제2 튜브는, 제1 튜브의 외주를 둘러싸는 것이다. 이 제1 튜브와 제2 튜브 사이에 형성되어 있는 공간에는, 탈기용 유체가 수용되어 있다. 이 탈기용 유체는, 유체 순환부에 의해 제2 튜브를 통해서 비집고 들어가 탈기용 유체에 포함되는 기체를 제2 튜브의 바깥쪽으로 탈기시키면서 탈기용 유체를 적극적으로 순환시킨다.

이에 의해, 제1 튜브와 제2 튜브 사이의 공간의 탈기용 유체에서는, 기체를 외부 환경으로 내보내고, 제1 튜브 내를 흐르는 액체에 대하여 외부 환경의 기체가 비집고 들어오는 것을 확실히 막을 수 있다.

제2 발명은, 제1 발명의 구성에서, 상기 유체 순환부는 흡인부와, 상기 공간 에 접속되어 상기 흡인부의 흡인에 의해 상기 탈기용 유체를 순환시키는 순환 튜브와, 순환하고 있는 상기 탈기용 유체로부터 상기 기체를 분리하는 필터를 가지는 것을 특징으로 한다.

제2 발명의 구성에 의하면, 액체 튜브의 순환 튜브는 제1 튜브와 제2 튜브 사이의 공간에 접속되어 있고, 흡인부의 흡인에 의해 탈기용 유체를 순환시키며, 필터는 탈기용 유체로부터 기체를 분리한다.

이에 따라, 흡인부의 흡인 동작에 의해, 제1 튜브와 제2 튜브 사이의 공간에서 탈기용 유체를 적극적으로 순환시키면서 기체를 필터를 통해 확실히 탈기시킬 수 있다.

제3 발명은, 제1 발명 또는 제2 발명의 구성에서, 상기 제1 튜브와 상기 제2 튜브 사이에 형성되어 있는 상기 공간을 길이 방향을 따라서 유지하기 위해서, 상기 공간에는 공간 유지구가 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

제3 발명의 구성에 의하면, 제1 튜브와 제2 튜브 사이에 형성되어 있는 공간 내에는, 공간 유지구가 배치되어 있다. 이 공간 유지구는, 제1 튜브와 제2 튜브의 길이 방향을 따라서 균등하게 공간을 유지하고 있다.

이에 의해, 제1 튜브와 제2 튜브가 굴곡되었을 경우에도 제1 튜브와 제2 튜브 사이의 공간은 확실히 유지할 수 있고, 또한 제1 튜브와 제2 튜브가 안에서 서로 마찰하는 것과 같은 결함을 막을 수 있다.

제4 발명은, 제3 발명의 구성에서, 상기 공간 유지구는 상기 제1 튜브와 상기 제2 튜브의 긴 방향에 관하여 균등한 간격을 유지해서 배치되어 있는 것을 특징 으로 한다.

제4 발명의 구성에 의하면, 제1 튜브와 제2 튜브의 긴 방향에 관하여 균등한 간격을 유지해서 배치되어 있다.

이에 의해, 공간 유지구는 제1 튜브와 제2 튜브 사이의 공간을 등간격으로 확실히 유지할 수 있다.

제5 발명은, 제4 발명의 구성에서, 상기 공간 유지구는 상기 제1 튜브의 외주면과 상기 제2 튜브의 내주면 사이에 고정되는 링 형상 부재로서, 상기 공간 유지구는 상기 제1 튜브를 통하게 하기 위한 원 형상의 통과 구멍과, 상기 제1 튜브의 상기 외주면과 상기 제2 튜브의 상기 내주면 사이에 상기 탈기용 유체의 유로를 형성하는 돌기부를 가지고 있는 것을 특징으로 한다.

제5 발명의 구성에 의하면, 공간 유지구는 제1 튜브의 외주면과 제2 튜브의 내주면 사이에 고정되는 링 형상 부재이다. 이 공간 유지구는 통과 구멍과 돌기부를 가지고 있다. 이 통과 구멍은 제1 튜브를 통하게 하기 위한 원 형상의 구멍이다. 돌기부는 제1 튜브의 외주면과 제2 튜브의 내주면 사이에 탈기용 유체의 유로를 형성하기 위한 것이다.

이에 의해, 탈기용 유체는 제1 튜브와 제2 튜브 사이를 확실히 흐를 수 있다.

제6 발명은, 제1 발명의 구성에서, 상기 탈기용 유체는 상기 액체와 같은 액체 또는 상기 액체에 포함되는 용제인 것을 특징으로 한다.

제6 발명의 구성에 의하면, 탈기용 유체는 상기 액체와 같은 액체 또는 상기 액체에 포함되는 용제이다.

이에 의해, 탈기용 유체는 상기 액체와 같은 액체 또는 상기 액체에 포함되는 용제이므로, 액체와 다른 이물질이 흐르는 것을 막을 수 있다.

상술한 목적은, 제7 발명에서는, 헤드로부터 액체 방울을 워크에 토출하기 위한 액체 방울 토출 장치에 설치되고, 액체 수용부와 상기 헤드 사이에 배치되어 상기 액체 수용부로부터 액체를 상기 헤드에 공급하기 위한 액체 공급 장치로서, 상기 액체 공급 장치는 상기 액체 수용부와 상기 헤드 사이를 접속하여 상기 액체를 공급하는 제1 튜브와, 상기 제1 튜브의 외주를 둘러싸는 제2 튜브와, 상기 제1 튜브와 상기 제2 튜브 사이에 형성되어 있는 공간에, 탈기용 유체를 수용하고 상기 제2 튜브를 통해서 비집고 들어가 상기 탈기용 유체에 포함되는 기체를 상기 제2 튜브의 바깥쪽으로 탈기시키면서 상기 탈기용 유체를 순환시키는 유체 순환부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출 장치의 액체 공급 장치에 의해 달성된다.

상술한 목적은, 제8 발명에서는, 헤드로부터 액체 방울을 워크에 토출하는 액체 방울 토출 장치를 사용해 제조되는 전기 광학 장치로서, 액체 수용부와 상기 헤드 사이에 배치되어 상기 액체 수용부로부터 액체를 상기 헤드에 공급하기 위한 액체 공급 장치는, 상기 액체 수용부와 상기 헤드 사이를 접속하여 상기 액체를 공 급하는 제1 튜브와, 상기 액체 공급용의 상기 제1 튜브의 외주를 둘러싸는 제2 튜브를 갖고, 상기 제1 튜브와 상기 제2 튜브 사이에 형성되어 있는 공간에 탈기용 유체를 수용하며, 유체 순환부에 의해 상기 제2 튜브를 통해서 비집고 들어가 상기 탈기용 유체에 포함되는 기체를 상기 제2 튜브의 바깥쪽으로 탈기시키면서 상기 탈기용 유체를 순환시켜, 상기 헤드로부터 상기 워크에 대하여 상기 액체 방울을 토출함으로써, 제조되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치에 의해 달성된다.

제9 발명은, 제8 발명에 기재된 상기 전기 광학 장치를 탑재한 것을 특징으로 하는 전자 기기이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 형태를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은, 본 발명의 액체 방울 토출 장치의 바람직한 실시 형태를 나타내는 평면도이다.

도 1에 나타내는 액체 방울 토출 장치(10)는, 묘화 시스템으로서 사용할 수 있다. 이 묘화 시스템은, 일례로서 이른바 플랫 패널 디스플레이의 일종인, 예를 들어 유기 ＥＬ(일렉트로루미네선스) 장치의 제조 라인에 일체로 구성되는 것이다. 이 액체 방울 토출 장치(10)는, 예를 들어 유기 ＥＬ 장치의 각 화소가 되는 발광 소자를 형성할 수 있다.

액체 방울 토출 장치(10)는, 예를 들어 잉크젯식 묘화 장치로서 사용할 수 있다. 액체 방울 토출 장치(10)는, 유기 ＥＬ 장치의 발광 소자를 액체 방울 토출법(잉크젯법)으로 형성하기 위한 것이다. 액체 방울 토출 장치(10)의 헤드(기능 액체 방울 토출 헤드라고도 함)는, 유기 ＥＬ 소자의 발광 소자를 형성할 수 있다. 구체적으로는, 유기 ＥＬ 소자의 제조 공정에서 뱅크부 형성 공정 및 플라즈마 처리 공정을 거쳐, 뱅크부가 형성된 기판(워크의 일례)에 대하여, 발광 기능 재료를 도입한 헤드를 상대적으로 주사함으로써, 액체 방울 토출 장치(10)는 기판의 화소 전극의 위치에 대응해 정공 주입/수송층 및 발광층의 성막부를 형성할 수 있다.

액체 방울 토출 장치(10)는 예를 들어 2대 준비함으로써, 한 대의 액체 방울 토출 장치(10)가 정공 주입/수송층을 형성하고, 또 다른 한 대의 액체 방울 토출 장치(10)는 Ｒ(빨강), Ｇ(초록), Ｂ(파랑)의 3색 발광층을 형성할 수 있다.

도 1의 액체 방울 토출 장치(10)는 챔버(12) 안에 수용되어 있다. 챔버(12)는 다른 챔버(13)을 가지고 있다. 이 챔버(13) 안에는, 워크 반출입 테이블(14)을 수용하고 있다. 워크 반출입 테이블(14)은 워크(Ｗ)를 챔버(12) 내에 반입하거나 또는 처리 후의 워크(Ｗ)를 챔버(12) 내의 테이블(30) 위로부터 반출하기 위한 테이블이다.

도 1에 나타내는 챔버(12) 안에는, 헤드(11)의 메인터넌스를 행하는 메인터넌스부(15)를 수용하고 있다. 또 챔버(12)의 바깥쪽에는, 회수부(16)를 구비하고 있다.

메인터넌스부(15)는, 흡인 유닛(400), 청소 유닛(와이핑 유닛)(600), 플러싱 유닛(도시 생략), 토출 검사 유닛(도시 생략) 또는 중량 측정 유닛(도시 생략) 등 을 가지고 있다.

플러싱 유닛은, 헤드(11)로부터 예비적으로 토출된 액체 방울을 받기 위한 것이다. 흡인 유닛(400)은, 헤드(11)의 노즐면의 노즐로부터 액체나 기포를 흡인하기 위한 것이다.

청소 유닛은 와이핑 유닛이라고도 말하는데, 이 와이핑 유닛(600)은 노즐면에 부착하는 액체 등의 오염물을 청소 부재(와이핑 부재)에 의해 청소하기 위한 것이다. 토출 검사 유닛은, 헤드(11)로부터 토출되는 액체 방울의 토출 상태를 검사한다. 중량 측정 유닛은, 헤드(11)로부터 토출되는 액체 방울의 중량을 측정한다.

회수부(16)는, 예를 들어 액체 방울을 회수하는 액체 방울 회수계와 와이핑 후에 사용하는 세정용 용제를 공급하는 세정액 공급계를 가지고 있다.

챔버(12)와 챔버(13)는 개별적으로 에어 관리되고 있어, 챔버(12)와 챔버(13) 안의 분위기에 변동이 생기지 않도록 되어 있다. 이와 같이 챔버(12)와 챔버(13)를 사용하는 것은, 예를 들어 유기 ＥＬ 소자를 제조하는 경우에는 대기중의 수분 등을 꺼리기 때문에, 대기의 영향을 배제할 수 있도록 하기 위함이다. 챔버(12)와 챔버(13) 안에는 드라이 에어를 연속적으로 도입해 배기함으로써, 드라이 에어 분위기를 유지한다.

다음에, 도 1에 나타내는 챔버(12) 내의 구성 요소에 대해 설명한다.

챔버(12) 안에는, 프레임(20), 헤드(11), 왕복대(19), 액체 저장부(300), 제1 조작부(21), 제2 조작부(22), 테이블(30), 가이드 테이블(17)을 수용하고 있다.

도 1의 프레임(20)은 Ｘ축 방향을 따라서 수평으로 설치되어 있다. 가이드 테이블(17)은 Ｙ축 방향을 따라서 설치되어 있다. 프레임(20)은 가이드 테이블(17)의 윗쪽에 있다. Ｘ축은 제1 이동축에 상당하고, Ｙ축은 제2 이동축에 상당한다. Ｘ축과 Ｙ축은 직교하고 있고, Ｚ축에 대해서도 직교하고 있다. Ｚ축은, 도 1에서 지면에 수직 방향이다.

제1 조작부(21)는, 프레임(20)을 따라서 왕복대(19)와 헤드(11)를, Ｘ축 방향을 따라서 직선 왕복 이동 및 위치 결정하기 위한 것이다.

제2 조작부(22)는, 테이블(30)을 가지고 있다. 이 테이블(30)은 도 1에 나타내는 워크(Ｗ)를 착탈 가능하도록 탑재할 수도 있다. 이 제2 조작부(22)의 테이블(30)은, 헤드(11)로부터 워크(Ｗ)에 대하여 액체 방울을 부여할 때에, 워크(Ｗ)를 유지한다. 그리고 제2 조작부(22)는, 워크(Ｗ)를 Ｙ축 방향을 따라서 가이드 테이블(17) 위를 직선 이동하여 위치 결정할 수 있다.

제1 조작부(21)는, 왕복대(19)와 헤드(11)를 Ｘ축 방향으로 직선 이동하여 위치 결정하기 위한 모터(21Ａ)를 가지고 있다. 이 모터(21Ａ)는, 예를 들어 공급 나사를 사용함으로써, 왕복대(19)와 이 헤드(11)를 Ｘ축 방향으로 직선 이동할 수 있다. 모터(21Ａ)는, 이 회전형의 전동 모터라도 좋고, 리니어 모터라도 좋다.

제2 조작부(22)의 모터(22Ａ)는, 테이블(30)을 가이드 테이블(17)을 따라서 Ｙ축 방향으로 직선 이동하여 위치 결정 가능하다. 모터(22Ａ)는, 예를 들어 공급 나사를 회전하는 회전형의 전동 모터를 사용할 수 있다. 모터(22Ａ)로서는 회전형의 모터 외에 리니어 모터를 사용하는 것도 가능하다.

제2 조작부(22)의 테이블(30)은, 탑재면(30Ａ)을 가지고 있다. 이 탑재면(30 Ａ)은, 도 1의 Ｚ축 방향에 수직인 면이다. 탑재면(30Ａ)은, 흡착부(30Ｂ)를 가지고 있다. 이 흡착부(30Ｂ)는, 워크(Ｗ)를 진공 흡착에 의해 흡착할 수 있는 것이다. 이에 의해, 워크(Ｗ)는, 탑재면(30Ａ)에 대하여 어긋나는 일 없이 확실하게 착탈 가능하도록 고정할 수 있다.

다음에, 도 2와 도 3을 참조하여 왕복대(19)와 헤드(11)의 구조예에 대하여 설명한다.

도 2는 왕복대(19)와 헤드(11)의 주위의 형상예를 나타내는 사시도이며, 도 3은 도 2의 Ｅ방향에서 본 정면도의 예이다.

왕복대(19)는, 도 1에 나타내는 모터(21Ａ)에 의해 Ｘ축 방향으로 이동하여 위치 결정 가능하다. 왕복대(19)는 헤드 홀더(61)를 사용하여 헤드(11)를 착탈 가능하도록 유지하고 있다.

도 3에 나타내듯이, 제어부(200)의 지령에 의해 모터(62)가 작동하면, 헤드 홀더(61)와 헤드(11)의 유닛이 Ｚ축 방향을 따라서 상하 운동하여 위치 결정 가능하다. 그리고, 제어부(200)의 지령에 의해, 1개의 모터(63)가 더 작동함으로써, 헤드(11)는, Ｕ축을 중심으로 θ방향으로 회전 가능하도록 되어 있다.

도 2와 도 3에 나타내듯이, 헤드(11)는 노즐 플레이트(64)를 가지고 있다. 노즐 플레이트(64)의 아래쪽 면은 노즐면(70)이다. 이 노즐면(70)은, 복수의 노즐의 노즐 개구(121 내지 126)를 가지고 있다. 헤드(11)는, 액체 저장부(300)에 접속되어 있다. 이 액체 저장부(300)는, 워크(Ｗ)에 토출하기 위한 액체를 저장하는 것으로서, 액체 저장부(300)는 기능액 저장부라고도 한다. 액체 저장부(300) 내의 액 체는, 노즐 개구(121 내지 126)로부터, 예를 들어 도 4(a)에 나타내는 압전 진동자(789)의 작동에 의해 잉크젯식으로 토출시킬 수 있는 것이다.

도 4(a)는, 헤드(11) 내에 배치되어 있는 복수의 압전 진동자(789)의 예를 나타내고 있다. 이 압전 진동자(789)는 도 2에 나타내는 헤드(11)의 각 노즐에 대응해 1개씩 배열되어 있다. 도 4(Ａ)의 제어부(200)는 구동부(201)에 신호를 줌으로써, 구동부(201)는 복수의 압전 진동자(789) 중 임의의 압전 진동자를 동작시킴으로써, 동작된 압전 진동자(789)에 대응하는 노즐의 도 2에 나타내는 노즐 개구(121 내지 126)로부터는 잉크젯식으로 액체 방울을 토출시킬 수 있게 되어 있다.

다음에, 액체 저장부(300)에 대하여, 도 5와 도 6 및 도 4(b)을 참조하여 설명한다.

액체 저장부(300)는, 예를 들어 도 4(Ｂ)에 나타내듯이 복수의 액체 팩(111 내지 116)과 이들 액체 팩을 수용하고 있는 수용체(301)를 가지고 있다. 액체 팩(111 내지 116)은, 이 예에서는 6개를 나타내고 있지만, 액체 팩의 수는 특별히 한정되지 않고 1개 또는 2개 이상 내지 5개, 또는 7개 이상이어도 물론 상관없다.

각 액체 팩(111 내지 116)은, 가요성(可撓性)을 가지는 재료에 의해 만들어져 있고, 각 액체 팩에는 같은 종류 또는 다른 종류의 액체가 수용되어 있다. 수용체(301) 내는, 외부로부터 압축 공기를 넣음으로써, 액체 팩(111 내지 116)을 가압하고, 각 액체 팩(111 내지 116)으로부터 액체를 따로따로 토출시킬 수 있도록 되어 있다.

도 5의 각 액체 팩(111 내지 116)은, 헤드(11)의 대응하는 노즐(81 내지 86) 에 대하여, 제1 튜브(91 내지 96)에 의해 각각 착탈 가능하도록 접속되어 있다.

제1 튜브(91)의 일단부(一端部)는, 액체 팩(111)의 접속부(111Ａ)에 대하여 착탈 가능하도록 접속되어 있다. 제1 튜브(91)의 타단부는, 헤드(11)의 접속부(81Ａ)에 대하여 착탈 가능하도록 접속되어 있다.

이와 같이 하여, 제1 튜브(92 내지 96)의 일단부는, 각 액체 팩(112 내지 116)의 접속부(112Ａ 내지 116Ａ)에 대하여 착탈 가능하도록 접속되어 있다. 제1 튜브(92 내지 96)의 타단부는, 헤드(11)측의 접속부(82Ａ 내지 86Ａ)에 대하여 각각 착탈 가능하도록 접속되어 있다.

도 5에 나타내듯이 헤드(11)는, 복수의 노즐(81 내지 86)을 가지고 있다. 노즐(81 내지 86)은, 각각 노즐 개구(121 내지 126)를 가지고 있다. 각 노즐(81)은, 예를 들어 도 5의 지면 수직 방향을 따라서 수십개 또는 수천개 배열되어 있고, 노즐열을 형성하고 있다. 그 외의 노즐(82 내지 86)도, 지면 수직 방향에 관하여 노즐열을 형성하고 있다. 노즐 개구(121 내지 126)는, 노즐 플레이트(64)의 노즐면(70)에 면하여 형성되어 있다.

이 노즐면(70)은, 도 5의 예에서는 Ｚ축 방향의 아래 방향(Ｚ2)을 향하고 있다. 이와 같이, 노즐면(70)에는, 예를 들어 6개의 노즐열(노즐 개구열)이 도 5의 지면 수직 방향에 배열되어 있다.

도 5는, 헤드(11) 및 액체 저장부(300) 외에, 액체 방울 토출 장치의 액체 공급 장치(610)의 구조예를 나타내고 있다.

이 액체 공급 장치(610)는 제1 튜브(91 내지 96)와, 제2 튜브(401 내지 406), 및 유체 순환부(430)를 가지고 있다.

이 유체 순환부(430)는, 제1 튜브(91 내지 96)와, 이들 제1 튜브(91 내지 96)에 대응하는 제2 튜브(401 내지 406) 사이에 각각 형성되어 있는 공간에 수용된 탈기용 유체를 적극적으로 순환시켜서, 탈기용 유체로부터 공기를 제2 튜브의 바깥쪽으로 내보내기 위한 것이다.

도 6은, 액체 공급 장치(610)의 제1 튜브(91) 및 제2 튜브(401)의 2중 구조체(431), 유체 순환부(430), 헤드(11) 및 액체 팩(111)의 구조예를 나타내고 있다.

도 6에 나타내는 구조예는, 도 5에 나타내는 다른 제1 튜브(92)와 제2 튜브(402)의 조합에 의한 2중 구조체, 제1 튜브(93)와 제2 튜브(403)의 2중 구조체, 제1 튜브(94)와 제2 튜브(404)의 2중 구조체, 제1 튜브(95)와 제2 튜브(405)의 2중 구조체, 그리고 제1 튜브(96)와 제2 튜브(406)의 2중 구조체와 같다.

이 때문에, 도 6을 사용하여 제1 튜브(91)와 제2 튜브(401)의 2중 구조체(431)를 대표하여 도시하고, 그리고 그 구조 및 작용 등에 대하여 대표하여 설명한다.

도 6에 나타내는 헤드(11)의 접속부(81Ａ)는, 제1 튜브(91)의 일단부에 접속되어 있다. 제1 튜브(91)의 타단부는, 액체 팩(111)의 접속부(111Ａ)에 접속되어 있다.

액체 팩은 잉크 탱크 또는 잉크 팩이라고도 부를 수 있다.

도 6에 나타내는 블록체(433)는, 상술한 접속부(81Ａ)를 접속하여 고정하고 있다. 또 1개의 블록체(434)는, 액체 팩(111)의 접속부(111Ａ)를 접속하여 고정하 고 있다. 제1 튜브(91)의 일단부는, 블록체(433) 내를 통과하고 있는 동시에, 제1 튜브(91)의 타단부는 블록체(434) 내를 통과하고 있다.

제1 튜브(91)와 제2 튜브(401)는, 모두 가요성을 가지는 재료, 예를 들어 나일론에 의해 만들어진 길이 방향으로 다른 내경(內徑)을 가지는 튜브이다. 제2 튜브(401)의 내경은 제1 튜브(91)의 외경(外徑)보다 크다. 이 제1 튜브(91)의 외주면의 바깥쪽에는, 제2 튜브(401)가 제1 튜브(91)에 대하여 같은 축 형상으로 배치되어 있다. 제2 튜브(401)의 일단부는, 블록체(433)에 접속하여 고정되어 있는 동시에, 제2 튜브(401)의 타단부는 블록체(434)에 대하여 접속하여 고정되어 있다.

도 7(a)는, 제1 튜브(91)와 제2 튜브(401)의 단면 구조예를 따로따로 나타내고 있다. 제1 튜브(91)는 제2 튜브(401) 안에 같은 축 형상으로 들어가 있고, 도 7(b)과 같이 같은 축 형상으로 되어 있다. 제1 튜브(91)의 외주면(91Ａ)은, 제2 튜브(401)의 내주면(401Ａ)과 대면하고 있다. 제1 튜브(91)의 안쪽에는, 도포용 잉크(298)가 통과하도록 되어 있다. 제1 튜브(91)의 외주면(91Ａ)과 제2 튜브(401)의 내주면(401Ａ) 사이에는, 탈기용 유체(660)가 통과하도록 되어 있다. 이 탈기용 유체(660)는, 도포용 잉크(298)에 대하여 외부 환경으로부터 공기가 비집고 들어가지 않게 하기 위해서, 공기를 탈기용 유체(660)에 포함시킨 상태에서, 유체 순환부(430)는 탈기용 유체를 적극적으로 순환시켜 탈기용 유체 중의 공기를 탈기하도록 되어 있다.

탈기용 유체(660)는, 묘화용 또는 도포용 잉크(298) 그대로를 사용하든가 또는 잉크(298)에 포함되어 있는 용제를 사용할 수 있다. 이 용제로서는, 예를 들어 크실렌, 아세톤, 데칸, 부틸 카르비톨 아세테이트(ＢＣＴＡＣ) 등을 사용할 수 있다.

이와 같이, 탈기용 유체(660)로서는, 잉크(298) 그대로, 또는 그 잉크에 주성분으로서 포함되어 있는 용제를 사용함으로써, 다른 이물이 이 외주면(91Ａ)과 내주면(401Ａ) 사이를 통과하지 않도록 할 수 있고, 또한 이미 사용하고 있는 재질을 사용하므로, 비용 절감을 도모할 수 있다.

다음에, 도 5와 도 6에 나타내는 유체 순환부(430)의 구조에 대하여 설명한다.

유체 순환부(430)는, 도 6에 나타내듯이, 순환 튜브(441), 흡인부로서의 진공 펌프(443), 필터 기구부(444)를 가지고 있다.

순환 튜브(441)의 일단부는, 블록체(433)에 접속하여 고정되어 있다. 순환 튜브(441)의 도중에는, 필터 기구부(444)가 직렬로 배치되어 있다. 순환 튜브(441)의 타단부는, 블록체(434)에 대하여 접속하여 고정되어 있다. 순환 튜브(441)는, 예를 들어 가요성을 가지는 재료를 사용해서 만들 수 있다.

이 순환 튜브(441)의 일단부는, 제1 튜브(91)와 제2 튜브(401) 사이의 공간에 대하여 블록체(433)를 통해서 직렬로 접속되어 있다. 마찬가지로 순환 튜브(441)의 타단부는, 제1 튜브(91)와 제2 튜브(401) 사이의 공간에 대하여 블록체(434)를 통해서 직렬로 접속되어 있다.

이에 의해서 순환 튜브(441)의 유로와 제2 튜브(401)와 제1 튜브(91) 사이의 공간의 유로는 탈기용 유체(660)의 순환 경로가 되고 있다.

도 8과 도 6에 나타내는 필터 기구부(444)는, 케이스(445)와 여러장의 필터(450)를 가지고 있다. 각 필터(450)는, 탈기용 유체(660)의 흐름 방향과 평행하게 되도록 배치되어 있다. 케이스(445)는, 필터(450)를 밀봉하고 있고, 케이스(445) 내에는 순환 튜브(441)를 흐르는 탈기용 유체(660)가 흐르도록 되어 있다.

진공 펌프(443)는, 이 케이스(445)에 접속되어 있고, 진공 펌프(443)가 제어부(200)의 지령에 의해 동작함으로써, 탈기용 유체(660)에 용존하는 기체인 공기를 기능막 투과 가스로 하여, 필터 기구부(444) 안에서 외부 환경으로 배출할 수 있다.

이 필터 기구부(444) 및 순환 튜브(441)는, 예를 들어 도 5에 나타내듯이 각 제1 튜브(91 내지 96)와 제2 튜브(401 내지 406)의 각각을 포함하는 2중 구조체에 대하여 공통하여 1조로 설치할 수 있다.

그러나, 이에 한정하지 않고, 각 제1 튜브와 제2 튜브의 2중 구조체에 대하여, 각각 따로따로 유체 순환부(430)를 설치하도록 하여도 물론 상관없다.

도 8은, 필터 기구부(444)와 진공 펌프(443) 등을 확대하여 나타내고 있다. 필터(450)는 적어도 1매, 바람직하게는 복수매를 평행하게 배치할 수 있다. 이 필터(450)는, 용존 기체를 포함하는 탈기용 유체(660)로부터 용존 기체만을 투과시키는, 예를 들어 중공계(中空系)에 의해 만들어진 필터이다. 도 9는, 이 중공계에 의해 만들어진 필터(450)가 용존 기체(용존 가스라고도 함)를 포함하는 탈기용 유체(660)로부터 용존 기체만을 필터(450)의 외부로 투과시키는 모습을 나타내고 있다.

탈기용 유체(660)에서는 용존 기체만이 진공 펌프(443)의 흡인에 의해 탈기 된다.

진공 펌프(443)의 작동에 의해, 순환 튜브(441)의 유로와, 제2 튜브(401) 및 제2 튜브의 사이의 공간 유로 내와 필터 기구부(444)의 유로 내에서, 탈기용 유체(660)는 도 6에서, 예를 들면 반시계 방향을 따라 강제적으로 순환시킬 수 있다.

이에 의해서 탈기용 유체(660)는 강제적으로 순환되면서, 또한 강제적으로 탈기용 유체(660) 중의 용존 기체만을 외부 환경으로 탈기할 수 있다.

도 10과 도 11은, 제1 튜브(91 내지 96)와 제2 튜브(401 내지 406)의 2중 구조체(431)의 구조예를 나타내고 있다. 제1 튜브(91 내지 96)와 제2 튜브(401 내지 406)는, 상술한 바와 같이, 같은 축 형상으로 배치되어 있지만, 이들 제1 튜브와 제2 튜브는, 복수개의 공간 유지구(470)에 의해 일정한 공간의 유로(480)를 유지할 수 있도록 배치되어 있다.

이 공간 유지구(470)는, 제1 튜브의 길이 방향을 따라서, 바람직하게는 등간격으로 배치되어 있다. 이에 의해, 제1 튜브와 제2 튜브가 굴곡되었을 경우에도, 제1 튜브와 제2 튜브는 서로 마찰하는 일이 없고, 또한 제1 튜브와 제2 튜브 사이의 공간을 길이 방향을 따라서 확실히 유지할 수 있어, 탈기용 유체(660)의 유로(480)는 확실히 균등하게 되도록 유지할 수 있다.

도 11는, 공간 유지구(470)와 제1 튜브(91 내지 96) 및 제2 튜브(401 내지 406)의 분해 사시도이다. 도 12는, 공간 유지구(470)의 구조예를 나타내고 있다.

공간 유지구(470)는, 원 형상의 통과 구멍(476)과, 복수개의 돌기부(477)를 가지고 있다. 도시한 예에서는, 돌기부(477)는 90도 마다 4개 반경 방향으로 형성 되어 있다. 원 형상의 통과 구멍(476)은, 제1 튜브(91 내지 96)의 외주면을 통하여 유지하기 위한 것이다. 돌기부(477)의 선단부(先端部)는, 제2 튜브(401 내지 406)의 내주면을 유지하고 있다.

이에 의해서, 제1 튜브(91 내지 96)는, 제1 튜브와 제2 튜브 사이의 유로(480)를 확실히 유지할 수 있다. 또 제1 튜브와 제2 튜브가 굴곡되었을 경우에도, 제1 튜브의 유로(481)의 형상을 유지할 수 있는 동시에, 제1 튜브와 제2 튜브 사이의 유로(480)의 형상도 유지할 수 있다. 이에 의해서 도포용 잉크의 흐름을 확보하고, 탈기용 유체의 흐름도 확보할 수 있다.

제1 튜브(91 내지 96)는, 이너 튜브라고도 부를 수도 있고, 제2 튜브(401 내지 406)는, 아우터 튜브라고도 부를 수 있다. 공간 유지구(470)는, 유로용 절결 부착 링이라고 부를 수도 있다.

다음에, 도 6을 참조하면서 액체 공급 장치(610)의 동작예에 대하여 설명한다.

도 6에 나타내는 액체 팩(111)으로부터 제1 튜브(91)를 통해서, 헤드(11) 측에 잉크(298)가 공급된다. 헤드(11)는 잉크(298)를 노즐 개구(121 내지 126)로부터 잉크 방울(299)로서 토출시킨다.

이 경우에, 제1 튜브(91)의 유로(481) 내에는 잉크(298)가 흐르는 것이지만, 이 잉크(298)에 대하여 바깥쪽 환경으로부터 제2 튜브(401)를 통하여(투과하여) 탈기용 유체(660)에 공기가 침입한다.

이 공기는, 탈기용 유체(660)에 의해 트랩되고, 진공 펌프(443)의 작동에 의 해 제1 튜브(91)와 제2 튜브(401) 사이의 유로(480)와 순환 튜브(441)의 유로를 통해서, 도 6에서 반시계 방향으로 적극적으로 순환된다. 순환 튜브(441)를 흐르는 탈기용 유체(660)는, 필터 기구부(440)의 필터(450)을 통과함으로써, 진공 펌프(443)의 흡인에 의해 탈기용 유체(660)에 포함되는 용존 기체는 기능막 투과 가스로서 외부 환경으로 탈기할 수 있다.

이에 의해, 밖으로부터 침입하는 공기는, 제1 튜브(91)에서는 투과시키지 않고 제1 튜브(91)와 제2 튜브(401) 사이의 유로(480)를 흐르는 탈기용 유체(660)에 의해 반드시 잡아 순환시키면서 외부에 적극적으로 탈기할 수 있다. 이 때문에 유로(481)를 흐르는 잉크에는 공기가 혼입되는 것을 막을 수 있다.

또한, 도 6에 나타내는 진공 펌프(443)의 흡인력을 제어부(200)의 지령에 의해 조정함으로써, 순환되는 탈기용 유체(660)의 압력을 조정할 수 있다. 이 압력 조정에 의해, 잉크(298)의 압력의 제어도 행할 수 있다.

또, 제1 튜브(91)와 제2 튜브(401)는, 바람직하게는 플렉시블 튜브로 만들어져 있으므로, 헤드(11)가 이동함으로써 제1 튜브(91)와 제2 튜브(401)가 굴곡하는 경우가 있다. 이 경우에는, 도 10 내지 도 12에 나타내는 공간 유지구(470)가, 유로(480, 481)에 각각 형상 변화가 없도록, 바람직하게는 등간격으로 유지할 수 있다. 그리고, 제1 튜브의 외주면이 제2 튜브의 내주면에 대하여 마찰하는 것과 같은 결함을 막을 수 있으므로, 헤드가 이동을 반복해도 제1 튜브와 제2 튜브의 손상을 막을 수 있다.

이와 같이 하여, 잉크가 잉크 팩(111 내지 116)으로부터 각각의 대응하는 노 즐 개구에 잉크를 공급할 수 있고, 이러한 잉크 공급을 행하는 본 발명의 액체 방울 토출 장치(10)에 의해 제조되는 도 1에 나타내는 워크(Ｗ)는, 그 제조 정밀도를 올릴수 있어, 전기 광학 장치의 제조 품질을 향상시킬 수 있다. 이러한 전기 광학 장치를 구비하는 전자 기기의 제품 품질은 한층 더 향상시킬 수 있는 것이다.

본 발명의 액체 방울 토출 장치의 실시 형태는, 전기 광학 장치(디바이스)를 제조하는데 사용할 수 있다. 이 전기 광학 장치(디바이스)로서는 액정 표시 장치, 유기 ＥＬ(Ｅｌｅｃｔｒｏ-Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ) 장치, 전자 방출 장치, ＰＤＰ(Ｐｌａｓｍａ　Ｄｉｓｐｌａｙ　Ｐａｎｅｌ) 장치 및 전기 영동 표시 장치 등을 생각할 수 있다. 또한, 전자 방출 장치는, 이른바 ＦＥＤ(Ｆｉｅｌｄ　Ｅｍｉｓｓｉｏｎ　Ｄｉｓｐｌａｙ) 장치를 포함하는 개념이다. 또한, 전기 광학 장치로서는, 금속 배선 형성, 렌즈 형성, 레지스터 형성 및 광확산체 형성 등을 포함하는 각종 장치를 생각할 수 있다.

도 13은, 본 발명의 액체 방울 토출 장치를 묘화 장치로서 사용하고, 플랫 패널 디스플레이의 일종인 유기 ＥＬ 장치의 제조에 사용하는 경우의 유기 ＥＬ 장치의 구조예를 나타내고 있다. 유기 ＥＬ 장치(701)는, 기판(711), 회로 소자부(721), 화소 전극(731), 뱅크부(741), 발광 소자(751), 음극(761)(대향 전극), 및 밀봉용 기판(771)으로 구성된 유기 ＥＬ 소자(702)에 대하여, 플렉시블 기판(도시 생략)의 배선 및 구동 ＩＣ(도시 생략)를 접속한 것이다.

유기 ＥＬ 소자(702)의 기판(711) 위에는, 회로 소자부(721)가 형성되고, 회로 소자부(721) 위에는 복수의 화소 전극(731)이 정렬하고 있다. 그리고, 각 화소 전극(731) 간에는, 뱅크부(741)가 격자 형상으로 형성되어 있고, 뱅크부(741)에 의해 생긴 오목부 개구(744)에 발광 소자(751)가 형성되어 있다. 뱅크부(741) 및 발광 소자(751)의 상부 전체면에는, 음극(761)이 형성되고, 음극(761) 위에는 밀봉용 기판(771)이 적층되어 있다.

유기 ＥＬ 소자(702)의 제조 프로세스는, 뱅크부(741)를 형성하는 뱅크부 형성 공정과, 발광 소자(751)를 적절히 형성하기 위한 플라즈마 처리 공정과, 발광 소자(751)를 형성하는 발광 소자 형성 공정과, 음극(761)을 형성하는 대향 전극 형성 공정과, 밀봉용 기판(771)를 음극(761) 위에 적층하여 밀봉하는 밀봉 공정을 구비하고 있다.

즉, 유기 ＥＬ 소자(702)는, 미리 회로 소자부(721) 및 화소 전극(731)이 형성된 기판(711)(워크(Ｗ))의 소정 위치에 뱅크부(741)를 형성한 후, 플라즈마 처리, 발광 소자(751) 및 음극(761)(대향 전극)의 형성을 순서대로 행하고, 또한 밀봉용 기판(771)을 음극(761) 위에 적층하여 밀봉함으로써 제조된다. 또한, 유기 ＥＬ 소자(702)는, 대기중의 수분 등의 영향을 받아 열화하기 쉽기 때문에, 유기 ＥＬ 소자(702)의 제조는, 드라이 에어 또는 불활성 가스(질소, 아르곤, 헬륨 등) 분위기에서 행하는 것이 바람직하다.

또, 각 발광 소자(751)는, 정공 주입/수송층(752) 및 Ｒ(빨강)·Ｇ(초록)·Ｂ(파랑) 중 어느 하나의 색에 착색된 발광층(753)으로 이루어지는 성막부로 구성되어 있고, 발광 소자 형성 공정에는, 정공 주입/수송층(752)을 형성하는 정공 주입/수송층 형성 공정과, 3색 발광층(753)을 형성하는 발광층 형성 공정이 포함되어 있다.

유기 ＥＬ 장치(701)는, 유기 ＥＬ 소자(702)를 제조한 후, 유기 ＥＬ 소자(702)의 음극(761)에 플렉시블 기판의 배선을 접속하는 동시에, 구동 ＩＣ에 회로 소자부(721)의 배선을 접속함으로써 제조된다.

다음에, 본 발명의 실시 형태의 액체 방울 토출 장치(10)를 액정 표시 장치의 제조에 적용했을 경우에 대하여 설명한다.

도 14는, 액정 표시 장치(801)의 단면 구조를 나타내고 있다. 액정 표시 장치(801)는, 칼라 필터(802)와, 대향 기판(803)과, 칼라 필터(802)와 대향 기판(803) 사이에 봉입된 액정 조성물(804)과, 백 라이트(도시 생략)로 구성되어 있다. 대향 기판(803)의 안쪽 면에는, 화소 전극(805)과, ＴＦＴ(박막 트랜지스터) 소자(도시 생략)가 매트릭스 형상으로 형성되어 있다. 화소 전극(805)에 대향하는 위치에, 칼라 필터(802)의 빨강, 초록, 파랑의 착색층(813)이 배열하도록 되어 있다. 칼라 필터(802) 및 대향 기판(803)의 각각 안쪽 면에는, 액정 분자를 일정 방향으로 배열시키는 배향막(806)이 형성되어 있고, 칼라 필터(802) 및 대향 기판(803)의 각각 바깥쪽 면에는, 편광판(807)이 접착되어 있다.

칼라 필터(802)는, 투광성의 투명 기판(811)과, 투명 기판(811) 위에 매트릭스 형상으로 나란히 배열된 다수의 화소(필터 엘리먼트)(812)와, 화소(812) 위에 형성된 착색층(813)과, 각 화소(812)을 나누는 차광성의 칸막이(814)를 구비하고 있다. 착색층(813) 및 칸막이(814)의 상면(上面)에는, 오버코트층(815) 및 전극층(816)이 형성되어 있다.

액정 표시 장치(801)의 제조 방법에 대하여 설명하면, 우선, 투명 기판(811)에 칸막이(814)를 만든 후, 화소(812) 부분에 Ｒ(빨강)·Ｇ(초록)·Ｂ(파랑)의 착색층(813)을 형성한다. 그리고, 투명 아크릴 수지 도료와 스핀코트하여 오버코트층(815)을 형성하고, 또한 ＩＴＯ(Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　Ｏｘｉｄｅ)로 이루어지는 전극층(816)을 형성하여 칼라 필터(802)를 작성한다.

대향 기판(803)에는, 화소 전극(805)과 ＴＦＴ 소자를 만들어 둔다. 다음에, 작성한 칼라 필터(802) 및 화소 전극(805)이 형성된 대향 기판(803)에 배향막(806)의 도포를 행한 후, 이들을 접합시킨다. 그리고, 칼라 필터(802) 및 대향 기판(803) 사이에 액정 조성물(804)을 봉입한 후, 편광판(807) 및 백 라이트를 적층한다.

본 발명의 액체 방울 토출 장치의 실시 형태는, 상기 칼라 필터의 필터 엘리먼트(Ｒ(빨강)·Ｇ(초록)·Ｂ(파랑)의 착색층(813))의 형성에 사용할 수 있다. 또, 화소 전극(805)에 대응하는 액체 재료를 사용함으로써, 화소 전극(805)의 형성에도 사용할 수 있다.

또, 다른 전기 광학 장치로서는, 금속 배선 형성, 렌즈 형성, 레지스트 형성 및 광확산체 형성 등의 외에, 프레파라트 형성을 포함하는 장치를 생각할 수 있다. 상기한 액체 방울 토출 장치를 각종의 전기 광학 장치(디바이스)의 제조에 사용함으로써, 각종의 전기 광학 장치를 효율적으로 제조하는 것이 가능하다.

본 발명의 전자 기기는, 상기 전기 광학 장치를 탑재하고 있다. 이 경우, 전자 기기로서는, 이른바 플랫 패널 디스플레이를 탑재한 휴대 전화, 퍼스널 컴퓨터 의 외에, 각종의 전기 제품이 여기에 해당한다.

도 15은, 전자 기기의 일례인 휴대 전화(1000)의 형상예를 나타내고 있다. 휴대 전화(1000)는, 본체부(1001)와 표시부(1002)를 가지고 있다. 표시부(1002)는, 상술한 바와 같은 전기 광학 장치인, 예를 들어 유기 ＥＬ 장치(701)나 액정 표시 장치(801)를 사용하고 있다.

도 16은, 전자 기기의 다른 예인 컴퓨터(1100)를 나타내고 있다. 컴퓨터(1100)는 본체부(1101)와 표시부(1102)를 가지고 있다. 표시부(1102)는, 상술한 바와 같은 전기 광학 장치의 일례인 유기 ＥＬ 장치(701)나 액정 표시 장치(801)를 사용할 수 있다.

본 발명의 액체 방울 토출 장치의 실시 형태는, 워크의 일례인 인쇄 대상에 대하여, 흑백 또는 칼라 인쇄(인자)하는데도 사용할 수 있다. 이 경우에는, 액체 저장부는 잉크 카트리지이며, 이 잉크 카트리지는 1종류 혹은 복수 종류의 잉크(예를 들어 블랙, 옐로우, 마젠다, 시안, 라이트 시안, 라이트 마젠다 등)를 따로따로 저장해 둔다. 각 잉크는 액체의 일례이다.

상술한 실시 형태에서는, 제1 튜브와 제2 튜브는 각각 플랙시블한 튜브이지만, 이에 한정하지 않고 플랙시블하지 않은 튜브여도 물론 상관없다. 또, 도 6에 나타내는 유체 순환부(430)는, 강제적으로 탈기용 유체(660)를 순환용 펌프에 의해 강제적으로 더 순환시킬 수도 있다. 필터(450)는 교환 가능하도록 하는 것이 바람직하다. 또 상술한 도시예에서는, 잉크 탱크인 액체 팩이 헤드(11)와는 다른 위치에 배치되어, 소위 오프 왕복대 타입의 것이다. 그러나, 이에 한정하지 않고 헤드 (11)가 탑재되어 있는 왕복대에 대하여 액체 팩을 탑재하는, 소위 온 왕복대 타입이어도 물론 상관없다.

예를 들어, 잉크의 용제에 견디는 재질이나, 가스 차기성(遮氣性)이 높은 재질을 복수층에 조합시킨 잉크 튜브가 사용되는 경우도 생각할 수 있지만, 잉크 용제의 종류에 따라서 튜브 재질이 바뀌기 때문에, 그때마다 전용의 고가의 다층 튜브를 제작해야 한다.

그러나, 본 발명의 실시 형태에 의하면, 사용하는 잉크 등의 액체에 대한 내용제성만을 고려한 튜브의 재질을 선정하면 된다.

또, 외층인 제2 튜브와 내층인 제1 튜브와의 공간의 탈기용 유체가 외부 분위기로부터 투과해 오는 가스를 적극적으로 거둬 들이기 때문에, 예를 들어 도포용 잉크에 대한 가스 차기성은 매우 높고, 잉크젯 묘화의 안정성을 향상시킬 수 있는 동시에, 도포된 액체의 기능 특성도 안정된다.

다층 튜브는 일체로 성형되어 있기 때문에, 사용 후에는 복수의 재질로 구성된 튜브를 그대로 폐기하지 않을 수 없지만, 본 발명의 실시 형태라면 제1 튜브와 제2 튜브를 따로따로 하여 각 튜브마다 적절한 폐기나 리사이클이 가능해진다.

본 발명은, 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 특허 청구의 범위를 벗어나지 않는 범위에서 여러 가지의 변경을 행할 수 있다. 또한, 상술한 각 실시 형태는 서로 조합시켜 구성하도록 해도 좋다.

본 발명에 의하면, 외부 환경으로부터 침입해 오는 기체를 적극적으로 탈기 하여, 내부의 액체에 기체가 들어가지 않도록 하고, 바깥쪽의 제1 튜브와 안쪽의 제2 튜브가 굴곡할 때 서로 마찰하지 않게 할 수 있는 액체 방울 토출 장치, 액체 방울 토출 장치의 액체 방울 공급 장치, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공할 수 있다.

Claims

액체 방울을 워크에 토출하기 위한 액체 방울 토출 장치로서,

액체를 수용하는 액체 수용부와,

액체 방울을 토출하는 헤드와,

상기 액체 수용부와 상기 헤드 사이에 배치되어 상기 액체 수용부로부터 상기 액체를 상기 헤드에 공급하기 위한 액체 공급 장치를 가지고,

상기 액체 공급 장치는,

상기 액체 수용부와 상기 헤드 사이를 접속하여 상기 액체를 공급하는 제1 튜브와,

상기 제1 튜브의 외주를 둘러싸는 제2 튜브와,

상기 제1 튜브와 상기 제2 튜브 사이에 형성되어 있는 공간에, 탈기(脫氣)용 유체를 수용하고, 상기 제2 튜브를 통해서 비집고 들어가 상기 탈기용 유체에 포함되는 기체를 상기 제2 튜브의 바깥쪽으로 탈기시키면서 상기 탈기용 유체를 순환시키는 유체 순환부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 유체 순환부는,

흡인부와,

상기 공간에 접속되어 상기 흡인부의 흡인에 의해 상기 탈기용 유체를 순환 시키는 순환 튜브와,

순환하고 있는 상기 탈기용 유체로부터 상기 기체를 분리하는 필터를 가지는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 제1 튜브와 상기 제2 튜브 사이에 형성되어 있는 상기 공간을 길이 방향을 따라 유지하기 위해서, 상기 공간에는 공간 유지구가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출 장치.
제 3 항에 있어서,

상기 공간 유지구는 상기 제1 튜브와 상기 제2 튜브의 길이 방향에 관하여 균등한 간격을 유지해서 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출 장치.
제 4 항에 있어서,

상기 공간 유지구는 상기 제1 튜브의 외주면과 상기 제2 튜브의 내주면 사이에 고정되는 링 형상 부재이며,

상기 공간 유지구는 상기 제1 튜브를 통과하게 하기 위한 원 형상의 통과 구멍과, 상기 제1 튜브의 상기 외주면과 상기 제2 튜브의 상기 내주면 사이에 상기 탈기용 유체의 유로를 형성하는 돌기부를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 탈기용 유체는 상기 액체와 같은 액체 또는 상기 액체에 포함되는 용제인 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출 장치.
헤드로부터 액체 방울을 워크에 토출하기 위한 액체 방울 토출 장치에 설치되고, 액체 수용부와 상기 헤드 사이에 배치되어 상기 액체 수용부로부터 액체를 상기 헤드에 공급하기 위한 액체 공급 장치로서,

상기 액체 공급 장치는,

상기 액체 수용부와 상기 헤드 사이를 접속하여 상기 액체를 공급하는 제1 튜브와,

상기 제1 튜브의 외주를 둘러싸는 제2 튜브와,

상기 제1 튜브와 상기 제2 튜브 사이에 형성되어 있는 공간에, 탈기용 유체를 수용하고, 상기 제2 튜브를 통해서 비집고 들어가 상기 탈기용 유체에 포함되는 기체를 상기 제2 튜브의 바깥쪽으로 탈기시키면서 상기 탈기용 유체를 순환시키는 유체 순환부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액체 방울 토출 장치의 액체 공급 장치.
헤드로부터 액체 방울을 워크에 토출하는 액체 방울 토출 장치를 사용하여 제조되는 전기 광학 장치로서,

액체 수용부와 상기 헤드 사이에 배치되어 상기 액체 수용부로부터 액체를 상기 헤드에 공급하기 위한 액체 공급 장치는,

상기 액체 수용부와 상기 헤드 사이를 접속하여 상기 액체를 공급하는 제1 튜브와,

상기 액체 공급용의 상기 제1 튜브의 외주를 둘러싸는 제2 튜브를 가지고,

상기 제1 튜브와 상기 제2 튜브 사이에 형성되어 있는 공간에, 탈기용 유체를 수용하고, 유체 순환부에 의해 상기 제2 튜브를 통해서 비집고 들어가 상기 탈기용 유체에 포함되는 기체를 상기 제2 튜브의 바깥쪽으로 탈기시키면서 상기 탈기용 유체를 순환시켜서, 상기 헤드로부터 상기 워크에 대하여 상기 액체 방울을 토출함으로써 제조되는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 8 항에 기재된 상기 전기 광학 장치를 탑재한 것을 특징으로 하는 전자 기기.