KR20060045322A - 표시장치용 기판 제조장비 및 그 가스분사장치 - Google Patents
표시장치용 기판 제조장비 및 그 가스분사장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (19)
- 가스 유입구를 가진 후방 플레이트와;다수의 분사구를 가진 가스분배판과;상기 후방 플레이트와 상기 가스분배판의 단부를 결합시키는 제 1 결합부재와;상기 단부 안쪽으로 상기 후방 플레이트와 상기 가스분배판을 결합시키는 제 2 결합부재를 포함하는 가스분사장치
- 청구항 제 1 항에 있어서,상기 제 2 결합부재는 상기 가스분배판과 상기 후방 플레이트의 중앙부에 형성되는 것을 특징으로 하는 가스분사장치
- 청구항 제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 결합부재중 적어도 하나는 나사결합하는 것을 특징으로 하는 가스분사장치
- 청구항 제 1 항에 있어서,상기 후방 플레이트의 상부에는 제 2 결합부재를 덮기 위한 캡(cap)이 더욱 구성되는 것을 특징으로 하는 가스분사장치
- 청구항 제 4 항에 있어서,상기 캡과 후방 플레이트 사이는 밀봉수단이 더욱 구성되는 것을 특징으로 하는 가스분사장치
- 청구항 제 5 항에 있어서,상기 밀봉수단은 O-링인 것을 특징으로 하는 가스분사장치
- 청구항 제 1 항에 있어서,상기 제 2 결합부재는 상기 후방 플레이트의 중앙부를 관통하여 삽입되어 상기 가스분배판의 중앙부와 나사결합하는 것을 특징으로 하는 가스분사장치
- 청구항 제 1 항에 있어서,상기 제 2 결합부재는 사기 가스분배판과 일체형으로 형성된 볼트(bolt)이며, 상기 후방 플레이트를 관통하여 삽입되어 상기 후방 플레이트의 상부에서 너트(nut)결합하는 것을 특징으로 가스분사장치
- 청구항 제 7 항 및 제 8 항에 있어서,상기 제 2 결합부재와 후방 플레이트 사이에는 고무재질의 밀봉수단이 더욱 구성되는 것을 특징으로 하는 가스분사장치
- 청구항 제 9 항에 있어서,상기 밀봉수단은 O-링이며, 상기 O-링과 상기 제 2 결합부재의 머리부 사이에는 와셔(washer)가 더욱 구성되는 것을 특징으로 하는 가스분사장치
- 청구항 제 7 항 및 제 8 항에 있어서,상기 제 2 결합부재는 다수개 이며, 각각의 결합부재의 머리부 주변에는 O-링이 더욱 구성되는 것을 특징으로 하는 가스분사장치
- 청구항 제 11 항에 있어서,상기 제 2 결합부재의 머리부 상부와 상기 O-링의 상부에는 밀봉 플레이트가 더욱 구성되며, 상기 밀봉 플레이는 다수개의 나사에 의해 상기 후방 플레이트와 결함하는 것을 특징으로 하는 가스분사장치
- 청구항 제 7 항 및 제 8 항에 있어서,상기 제 2 결합부재는 상기 가스유입구 주변으로 다수개 형성되어 있으며, 다수개의 제 2 결합부재가 위치한 안쪽으로는 제 1 O-링이 가스유입구 주변으로 더욱 구성되고, 다수개의 제 2 결합부재가 위치한 바깥쪽으로는 제 2 O-링이 제 2 결합부재를 감싸며 더욱 구성되는 것을 특징으로 하는 가스분사장치
- 청구항 제 13 항에 있어서,상기 제 2 결합부재의 머리부 상부와 상기 제 1 및 제 2 O-링의 상부에는 밀봉 플레이트가 더욱 구성되며, 상기 밀봉 플레이는 다수개의 제 1 및 제 2 나사에 의해 상기 후방 플레이트와 결함하는 것을 특징으로 하는 가스분사장치
- 청구항 제 14 항에 있어서,상기 다수개의 제 1 나사는 상기 가스유입구와 상기 제 1 O-링 상이에 위치하며, 상기 다수개의 제 2 나사는 상기 제 2 O-링의 바깥쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 가스분사장치
- 기판을 안착하는 서셉터(susceptor)를 수용하는 공정챔버(chamber body)와;상기 공정챔버의 상부에 위치하는 가스유입관과;상기 가스유입관과 연결되는 가스유입구가 형성된 후방 플레이트와;상기 후방 플레이트 하부에 근접되어 위치하며 다수개의 분사구를 구비하고 있는 가스분배판과;상기 가스분배판과 상기 후방플레이트의 단부를 결합시키는 제 1 결합부재와;상기 단부 안쪽으로 상기 가스분배판과 상기 후방 플레이트를 결합시키는 제 2 결합부재를 포함하는 표시장치용 기판 제조장비
- 청구항 제 16 항에 있어서,상기 공정챔버는 상기 서셉터를 수용하고 있는 챔버바디와, 상기 챔버바디와 결합하고 중앙부에 상기 가스유입관이 형성된 상부커버를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판 제조장비
- 청구항 제 17 항에 있어서,상기 상부커버와 상기 후방 플레이트 사이에는 절연과 챔버바디의 진공유지를 위해 다수의 절연부재를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판 제조장비
- 청구항 제 16 항에 있어서,상기 제 2 결합부재는 상기 가스분배판과 상기 후방 플레이트의 중앙부에 형성되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판 제조장비
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