KR20060017514A - 임프린트 리소그래피 공정 중의 주형 전사 방법, 시스템,홀더 및 어셈블리 - Google Patents
임프린트 리소그래피 공정 중의 주형 전사 방법, 시스템,홀더 및 어셈블리 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (33)
- 동작 스테이지 및 상기 동작 스테이지에 대향 위치된 임프린트 헤드를 가진 임프린트 리소그래피 시스템에 사용되는, 패터닝된 몰드가 위에 있는 주형의 조작 방법으로서,상기 동작 스테이지에, 상기 임프린트 헤드를 대면하는 면을 가지며, 상기 동작 스테이지를 대면하고, 상기 면으로부터 이격하여 상기 패터닝된 몰드를 갖도록 상기 주형을 지지하는 데 적합한 주형 전사 홀더를 제공하여 제1 위치를 형성하는 단계; 및상기 주형 전사 홀더로부터 상기 주형을 선택적으로 제거하여 제2 위치를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 주형을 진공으로 상기 전사 홀더에 고정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 두 횡방향을 가로지르는 제3 방향으로 압축력을 인가함으로써 상기 두 횡방향의 상기 주형 및 상기 전사 홀더 간의 상대적 이동을 제한하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 주형을 상기 주형 전사 홀더로부터 선택적으로 제거하는 단계는 상기 임프린트 헤드와 상기 주형을 밀착 배치하고 상기 주형을 상기 임프린트 헤드에 고정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 주형을 상기 주형 전사 홀더에 제공하는 단계는 제1 방향에 따른 상기 주형과 상기 면 간의 거리를 감소시키면서 상기 제1 방향을 가로질러 연장하는 제2 방향을 따라 상기 주형 전사 홀더와 상기 주형 간의 상대적 위치를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 선택적 제거 단계는 상기 임프린트 헤드를 상기 주형 전사 홀더와 중첩하여 위치시키도록 상기 동작 스테이지를 X-Y 면에서 이동시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 선택적 제거 단계는 상기 임프린트 헤드를 상기 주형 전사 홀더와 중첩하여 위치시키도록 세 개의 직교 축 중 1 이상에 대하여 상기 동작 스테이지와 상기 임프린트 헤드 간의 상대적 회전 운동을 생성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 선택적 제거 단계는 상기 임프린트 헤드를 상기 주형 전사 홀더와 중첩하여 위치시키도록 상기임프린트 헤드를 X-Y 면에서 이동시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 주형의 제거 단계는 상기 임프린트 헤드를 상기 주형에 밀착 배치시키도록 상기 임프린트 헤드를 Z 축에 따라 이동시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 주형의 제거 단계는 상기 주형을 상기 임프린트 헤드에 밀착 배치시키도록 상기 주형 전사 기판을 Z 축에 따라 이동시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 임프린트 헤드;상기 임프린트 헤드에 대향 배치되고, 웨이퍼 척을 포함하는 동작 스테이지;몰드 패턴이 위에 있는 제1 면 및 제2 대향면을 가진 주형; 및상기 동작 스테이지에 결합되고, 몸체 및, 상기 동작 스테이지로부터 이격되어 상기 몸체로부터 연장하는 서포트 부재를 가진 주형 전사 홀더를 포함하는 주형 전사 시스템으로서, 상기 서포트 부재는 상기 제1 면을 접촉하고, 상기주형을 상기 주형 전사 홀더에 고정하는 한편, 상기 몸체로부터 이격된 상기 몰드 패턴을 유지시키는 것인 주형 전사 시스템을 포함하는 임프린트 리소그래피 시스템.
- 제11항에 있어서, 상기 제2 면에 진공을 인가하기 위하여 상기 서포트 부재와 유체 연통하는 진공 시스템을 더 포함하고, 상기 서포트 부재는 상기 주형에 고정 부착되어 Z 방향으로의 이동을 제한하는 한편, X-Y 면에서 상기 주형의 이동을 허용하는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피 시스템.
- 제11항에 있어서, 상기 동작 스테이지로부터 이격되어 상기 몸체로부터 연장하는 다수의 이격된 가지부를 더 포함하고, 상기 가지부는 상기 몸체에 탄성적으로 결합되며, 상기 주형을 상기 서포트 부재로 안내하고, 상기 주형을 선택적으로 클램프 고정하도록 배열된 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피 시스템.
- 제11항에 있어서, 상기 몸체는 각각 개구가 안에 형성되고, 그 안에 배치된 부싱을 포함하며, 상기 다수의 서포트 부재 중 하나에 연관된 다수의 챔버를 포함하고, 상기 다수의 서포트 부재 각각은 보스에 결합된 유연 부재를 포함하며, 상기 보스는 상기 챔버 내에 배치되어 계면을 한정하는 상기 부시에 선택적으로 놓이고, 상기 계면은 절두 원추 형상을 가져서 상기 챔버에 관하여 상기 서포트 부재를 중심 위치시키는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피 시스템.
- 제14항에 있어서, 상기 다수의 서포트 부재 각각은 Delrin AF®로 형성된 것을 특징으로 하는 홀더.
- 제1 및 제2 대향면을 가지며, 몰드 패턴이 상기 제2 면으로부터 연장하는 임프린트 리소그래피 주형용 홀더로서,제1 및 제2 대향면을 가진 몸체;상기 제2 면을 지지하도록 구성된 상기 제1 면으로부터 연장하는 다수의 서포트 부재;상기 제2 면으로부터 이격되어 상기 제1 면으로부터 연장하는 다수의 이격된 가지부; 및상기 다수의 서포트부재를 고정 부착하도록 진공을 상기 제2 면에 인가하기 위하여 상기 서포트 부재와 유체 연통하는 진공 시스템으로서, 상기 다수의 서포트 부재는 Z 방향으로의 상기 주형과 상기 몸체 간의 이동을 제한하는 한편, X-Y 면에서 이들 간의 이동을 허용하고, 상기 다수의 가지부는 상기 주형을 상기 서포트 부재로 안내하고, 상기 주형을 선택적으로 클램프 고정하도록 구성된 것인 진공 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 홀더.
- 제16항에 있어서, 상기 몸체는 상기 제1 및 제2 대향면을 통하여 연장하는 채널을 더 포함하고, 상기 다수의 서포트 부재 각각의 일부분은 상기 채널과 유체 연통하는 통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀더.
- 제16항에 있어서, 상기 다수의 가지부는 상기 주형과 접촉시 구부러짐을 촉 진하기 위하여 탄성 재료로 형성된 것을 특징으로 하는 홀더.
- 제16항에 있어서, 상기 다수의 가지부의 일부분은 상기 다수의 가지부의 일단으로부터 상기 몸체 안쪽으로 연장하는 경사면을 포함하고, 상기 가지부는 탄성 재료로 형성된 것을 특징으로 하는 홀더.
- 제16항에 있어서, 상기 다수의 가지부의 일부분은 Delrin AF®로 형성된 것은 특징으로 하는 홀더.
- 주형 전사 기판;제1 및 제2 면을 가진 주형으로서, 상기 제1 면은 상기 주형 전사 기판으로부터 이격 대면하며, 상기 제2 면은 상기 주형 전사 기판과 대면하고 몰드 패턴이 그 위에 형성된 것인 주형; 및상기 주형을 상기 주형 전사 기판에 고정 부착하기 위하여 상기 제2 면과 상기 주형 전사 기판 사이에 배치된 중합된 임프린트 재료를 포함하는 주형 전사 어셈블리.
- 제21항에 있어서, 상기 중합된 임프린트 재료는 상기 몰드의 하위부분을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 주형 전사 어셈블리.
- 제21항에 있어서, 상기 중합된 임프린트 재료는 상기 몰드의 하위부분을 밀봉하는 것을 특징으로 하는 주형 전사 어셈블리.
- 제21항에 있어서, 상기 중합된 임프린트 재료는 상기 전체 몰드를 둘러싸는 것을 특징으로 하는 주형 전사 어셈블리.
- 제21항에 있어서, 상기 중합된 임프린트 재료는 상기 전체 몰드를 캡슐화하여 상기 몰드를 주변으로부터 밀폐하는 것을 특징으로 하는 주형 전사 어셈블리.
- 제21항에 있어서, 상기 주형은 상기 주형 전사 기판과, 주변부 홈과 중첩하는 상기 제2 면의 영역 사이에 배치된 상기 중합된 임프린트 재료로 상기 몰드를 둘러싸는 주변부 홈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주형 전사 어셈블리.
- 제21항에 있어서, 상기 주형 전사 기판은 반도체 웨이퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 주형 전사 어셈블리.
- 제21항에 있어서, 상기 주형 전사 기판은 추가의 주형이 결합된 반도체 웨이퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 주형 전사 어셈블리.
- 주형 전사 기판을 제공하는 단계;선택된 부피의 임프린트 유체를 상기 주형 전사 기판에 형성하는 단계;상기 주형을 상기 선택된 부피에 배치하는 단계; 및상기 임프린트 유체를 고형 임프린트 재료로 전환시키는 단계를 포함하며, 상기 선택된 부피는 상기 주형을 상기 주형 전사 기판에 고정 부착하기에 충분한 양인 한편, 몰드와 상기 주형 전사 기판 사이의 공간을 유지시키는 것을 특징으로 하는 임프린트 리소그래피 주형의 전사 방법.
- 제29항에 있어서, 전환 단계는 상기 임프린트 재료를 전환할 때 상기 고형 임프린트 재료가 상기 몰드의 일부를 둘러싸도록 상기 주형을 상기 선택된 부피 위에서 가압하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제29항에 있어서, 전환 단계는 상기 임프린트 재료를 전환할 때 상기 고형 임프린트 재료가 상기 몰드의 하위부분을 밀봉하도록 상기 주형을 상기 선택된 부피 위에서 가압하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제29항에 있어서, 전환 단계는 상기 임프린트 재료를 전환할 때 상기 고형 임프린트 재료가 상기 몰드를 전체적으로 둘러싸도록 상기 주형을 상기 선택된 부피 위에서 가압하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제29항에 있어서, 전환 단계는 상기 임프린트 재료를 전환할 때 상기 고형 임프린트 재료가 상기 몰드를 캡슐화하여 상기 몰드를 주변으로부터 밀폐하도록 상기 주형을 상기 선택된 부피 위에서 가압하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
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