KR20060004648A - 접합 기판 제조 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 저렴하고 보수성이 우수하며, 또한 고정밀도로 기판을 접합하는 접합 기판 제조 장치를 제공하는 것을 과제로 한다. 접합 기판 제조 장치(31)는 진공 처리실(34)과, 2매의 기판(W1, W2)에 접합용 가압력을 작용시키는 가압 수단(35)과, 2매의 기판을 위치 맞춤하기 위해 제2 보유 지지 평판 및 진공 처리실을 수평 이동 또한 수평 회전시키는 구동 수단(36)을 포함한다. 제1 보유 지지 평판은 진공 처리실로부터 이격되도록 제1 지지 기둥(53)을 거쳐서 가압 수단과 접속된다. 제2 보유 지지 평판은 진공 처리실로부터 이격되도록 제2 지지 기둥(56)을 거쳐서 구동 수단과 접속된다. 또한, 진공 처리실은 제3 지지 기둥(58)을 거쳐서 구동 수단과 접속된다.

접합 기판 제조 장치, 진공 처리실, 기판, 가압 수단, 지지 기둥

Description

접합 기판 제조 장치{SYSTEM FOR PRODUCING PASTED SUBSTRATE}

본 발명은 접합 기판(패널)의 제조 장치에 관한 것으로, 상세하게는 2매의 기판을 소정의 간격으로 접합하여 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display ; LCD) 등의 접합 기판(패널)을 제조하는 장치에 관한 것이다.

최근, LCD 등의 평면 표시 패널은 대형화 및 경량화(박형화)가 진행되는 동시에, 제조 비용의 삭감 요구가 한층 높아졌다. 이로 인해, 2매의 기판을 접합하여 평면 표시 패널을 제조하는 접합 기판 제조 장치에 있어서도 패널 사이즈에 따라서 대형화되고 있지만, 저렴하고 생산성을 향상시킨 제조 장치가 필요해지고 있다.

액정 표시 패널은, 예를 들어 복수의 박막 트랜지스터(TFT)가 매트릭스 형상으로 형성된 어레이 기판과, 컬러 필터(적색, 녹색, 청색)나 차광막 등이 형성된 컬러 필터 기판을 매우 좁은 간격(수 ㎛ 정도)으로 대향시켜, 이들 2매의 기판 사이에 액정을 봉입함으로써 제조된다.

종래의 액정 표시 패널의 제조에서는, 접합한 기판을 진공조에 넣고 주입구를 액정에 담근 후, 상기 진공조 내를 대기로 복귀시킴으로써 기판 사이에 액정을 주입하고, 주입구를 밀봉하는 등의 진공 주입법이 이용되어 왔다. 최근에는, 예를 들어 어레이 기판의 주연부에 따라 밀봉재의 프레임을 형성하고, 그 밀봉재의 프레임 내에 규정량의 액정을 적하하여, 진공 중에서 어레이 기판과 컬러 필터 기판을 접합하는 적하 주입법이 많이 이용되어 왔다(특허 문헌 1 참조).

도10은 적하 주입법에 의해 기판을 접합하는 종래의 접합 기판 제조 장치(11)를 도시하고 있다.

접합 기판 제조 장치(11)에 있어서의 진공 처리실(챔버)(12) 내에는, 제1 및 제2 보유 지지 평판(13, 14)이 서로 대향하여 배치되고, 각 보유 지지 평판(13, 14)에는 각각 기판(W1, W2)이 보유 지지되어 있다. 진공 처리실(12)은 상하로 분할 가능한 상측 용기(12a)와 하측 용기(12b)로 구성된다. 진공 처리실(12)의 상방에는 가압 수단(15)이 설치되고, 진공 처리실(12)의 하방에는 구동 수단(16)이 설치되어 있다. 제1 보유 지지 평판(13)은 제1 지지 기둥(17)을 거쳐서 가압 수단(15)에 접속되고, 제2 보유 지지 평판(14)은 제2 지지 기둥(18)을 거쳐서 구동 수단(16)에 접속되어 있다. 가압 수단(15)은, 기판(W1, W2)의 접합을 행할 때에 기판(W1, W2)에 가압력을 작용시킨다. 구동 수단(16)의 동작에 의해 기판(W1, W2)의 위치 맞춤이 행해진다. 상측 벨로우즈(20)가 지지판(19)과 진공 처리실(12)을 접속하는 제1 지지 기둥(17)을 둘러싸도록 설치되어 있다. 또한, 하측 벨로우즈(22)가 구동 수단(16)의 지지판(21)과 진공 처리실(12)을 접속하는 제2 지지 기둥(18)을 둘러싸도록 설치되어 있다.

그런데, 구동 수단(16)의 동작에 의해 하측 벨로우즈(22)에는 부하가 가해진다. 그 부하를 충분히 흡수하기 위해서는, 비교적 긴 하측 벨로우즈(22)가 필요해 진다. 긴 하측 벨로우즈(22)는 구동 수단(16)과 진공 처리실(12)의 간격을 크게 하고, 접합 기판 제조 장치(11)의 소형화를 도모하는 면에서 장해가 된다. 또한, 하측 벨로우즈(22)의 내측 공간이 진공 처리실(12)의 용적을 증가시키므로, 진공 펌프(23)가 진공 처리실(12)을 감압하기 위한 시간이 길어진다. 벨로우즈(20, 22)는 내용(耐用) 기간에 따라서 정기적으로 교환할 필요가 있지만, 상측 벨로우즈(20)에는 가압 수단(15)에 의한 가압시의 부하가 가해지는 데 반해, 하측 벨로우즈(22)에는 가압 수단(15)에 의한 가압시의 부하와 구동 수단(16)에 의한 위치 맞춤시의 부하가 가해진다. 그로 인해, 하측 벨로우즈(22)의 내용 기간은 비교적 짧다. 하측 벨로우즈(22)를 교환하는 경우, 상측 벨로우즈(20)를 교환하는 것과 비교하여 기판 제조 장치(11)의 대폭적인 해체 작업이 필요하다. 그로 인해, 하측 벨로우즈(22)의 교환 작업은 번잡하며, 기판 제조 장치(11)를 장시간에 걸쳐 정지시켜야만 해 접합 기판의 생산성을 저하시킨다.

이에 대해, 진공 처리실(챔버) 내에 보유 지지 평판을 고정 부착하고, 구동 수단에 의해 진공 처리실(챔버)과 함께 보유 지지 평판을 이동시킴으로써 기판의 얼라인먼트(위치 맞춤)를 행하는 제조 장치가 특허 문헌 2에 제안되어 있다. 본 구성에서는, 도10의 하측 벨로우즈(22) 및 제2 지지 기둥(18)을 삭제할 수 있으므로, 부품 개수가 삭감되고 또한 보수성이 향상된다.

그런데, 특허 문헌 2의 제조 장치에 있어서, 기판 접합시에 진공 처리실 내를 감압하면, 상기 진공 처리실의 내부 압력과 외부의 대기압과의 차에 의해 진공 처리실이 약간 변형된다. 보유 지지 평판은 진공 처리실의 변형의 영향을 직접적 으로 받아, 보유 지지 평판 표면의 휨이나 2개의 보유 지지 평판의 위치 어긋남이 발생된다고 하는 문제가 있다. 서로 대향하는 2매의 기판을 접합하여 제조되는 액정 표시 패널에 있어서, 액정을 봉입한 후의 기판 간격(셀 갭)은 예를 들어 5 ㎛ 정도로 매우 좁다. 2매의 기판을 소정의 셀 갭으로 접합하기 위해서는, 2매의 기판을 고레벨의 평행도로 유지할 필요가 있다. 보유 지지 평판 표면의 휨은 2매의 기판의 평행도를 저하시켜, 소정의 셀 갭의 달성을 곤란하게 한다. 따라서, 보유 지지 평판 표면의 휨, 즉 보유 지지 평판의 평면도의 변화를 억제할 필요가 있다.

[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제2002-040398호 공보

[특허 문헌 2] 일본 특허 공개 제2002-229044호 공보(명세서의 단락 [0233] 내지 [0236], 도31)

본 발명의 목적은, 저렴하고 보수성이 우수하며 2매의 기판을 고정밀도로 접합하는 접합 기판 제조 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 제1 태양에서는, 감압 가능한 처리실 내에서 서로 대향하여 배치된 제1 및 제2 보유 지지 평판에 의해 2매의 기판을 보유 지지하면서, 상기 2매의 기판을 접합하는 접합 기판의 제조 장치가 제공된다. 가압 수단이 처리실의 외부에 설치되어, 2매의 기판에 접합용 가압력을 작용시킨다. 2매의 기판을 접합할 때에 제1 보유 지지 평판이 처리실의 내면으로부터 이격하여 배치되도록, 제1 지지 부재에 의해 상기 가압 수단과 제1 보유 지지 평판이 접속된다. 제2 보유 지지 평판은 제2 지지 부재에 의해 상기 처리실의 내면으로부터 이격된 위치에서 지지된다. 2매의 기판을 위치 맞춤하기 위해, 구동 수단은 처리실 및 제2 보유 지지 평판을 수평 이동 및 수평 회전시킨다. 구동 수단은 처리실의 외부에 설치되고, 또한 처리실과 접속된다.

본 발명의 제2 태양에서는, 감압 가능한 처리실 내에서 서로 대향하여 배치된 제1 및 제2 보유 지지 평판에 의해 2매의 기판을 보유 지지하면서, 상기 2매의 기판을 접합하는 접합 기판의 제조 장치가 제공된다. 처리실의 외부에 설치된 가압 수단이 2매의 기판에 접합용 가압력을 작용시킨다. 2매의 기판을 접합할 때에 제1 보유 지지 평판이 상기 처리실의 내면으로부터 이격하여 배치되도록, 제1 지지 부재가 가압 수단과 상기 제1 보유 지지 평판을 접속한다. 구동 수단은 처리실의 내부에 설치되어, 2매의 기판을 위치 맞춤하기 위해 제2 보유 지지 평판을 수평 이동 및 수평 회전시킨다. 2매의 기판을 위치 맞춤할 때에 제2 보유 지지 평판이 처리실의 내면으로부터 이격하여 배치되도록, 구동 수단이 제2 보유 지지 평판을 지지한다.

도1은 본 발명의 제1 실시 형태의 접합 기판 제조 장치의 개략도이다.

도2는 접합 기판 제조 장치의 제어 기구의 블록도이다.

도3은 본 발명의 제2 실시 형태의 접합 기판 제조 장치의 개략도이다.

도4는 본 발명의 제3 실시 형태의 접합 기판 제조 장치의 개략도이다.

도5는 본 발명의 다른 형태의 접합 기판 제조 장치의 개략도이다.

도6은 본 발명의 다른 형태의 접합 기판 제조 장치의 개략도이다.

도7은 본 발명의 다른 형태의 접합 기판 제조 장치의 개략도이다.

도8은 본 발명의 다른 형태의 접합 기판 제조 장치의 개략도이다.

도9는 본 발명의 다른 형태의 접합 기판 제조 장치의 개략도이다.

도10은 종래의 접합 기판 제조 장치의 개략도이다.

이하, 본 발명의 제1 실시 형태의 접합 기판 제조 장치에 대해 도면에 따라서 설명한다.

도1은 제1 실시 형태의 접합 기판 제조 장치(31)를 도시한다. 접합 기판 제조 장치(31)는, 베이스판(32)과 그 베이스판(32)에 고정된 게이트 형상의 지지 프레임(33)을 구비하고 있다. 베이스판(32) 및 지지 프레임(33)은 충분히 높은 강성을 갖는 재질에 의해 형성되어 있다. 지지 프레임(33) 내측의 대략 중앙 부분에는 기판(W1, W2)의 접합 처리를 행하는 진공 처리실(챔버)(34)이 설치된다. 진공 처리실(34)의 상방에는 기판(W1, W2)에 접합용 가압력을 작용시키는 가압 수단(35)이 설치되어 있다. 진공 처리실(34)의 하방에는 기판(W1, W2)의 위치 맞춤을 행하는 구동 수단(36)이 설치되어 있다.

우선, 가압 수단(35)에 대해 설명한다. 가압 수단(35)은 가이드 레일(38a, 38b), 리니어 가이드(39a, 39b), 제1 내지 제3 지지판(41 내지 43) 및 모터(44)를 포함한다. 가이드 레일(38a, 38b)은 지지 프레임(33)의 지지 기둥부 내측면의 양측에 부착되어 있고, 이 가이드 레일(38a, 38b)에 의해 리니어 가이드(39a, 39b)가 상하 이동 가능하게 지지되어 있다. 양측의 리니어 가이드(39a, 39b)의 사이에는 제1 및 제2 지지판(41, 42)이 걸쳐지고, 제1 지지판(41)은 지지 프레임(33)의 상부에 부착된 모터(44)에 의해 상하 이동하는 제3 지지판(43)에 의해 현수되어 있다. 제3 지지판(43)은 너트(46)가 설치된 상부판과, 복수(본 실시 형태에서는 4개)의 로드 셀(48)이 장착된 하부판과, 상부판과 하부판을 접속하는 접속판으로 이루어진다. 로드 셀(48) 상에 제1 지지판(41)의 하면이 접촉된다. 모터(44)의 출력축에는 볼 나사(45)가 일체 회전 가능하게 연결되고, 볼 나사(45)에는 제3 지지판(43)의 너트(46)가 나사 결합되어 있다. 따라서, 모터(44)가 볼 나사(45)를 정/역회전 구동함으로써, 제3 지지판(43)이 상/하 이동한다.

진공 처리실(34)은 상하로 분할 가능한 상측 용기(34a)와 하측 용기(34b)에 의해 형성된다. 진공 처리실(34)을 감압하기 위한 진공 펌프(50)가 진공 배관(49)을 거쳐서 진공 처리실(34)과 접속되어 있다. 진공 처리실(34) 내에는 기판(W1, W2)을 각각 흡착 보유 지지하기 위한 척 기구를 가진 제1 및 제2 보유 지지 평판(51, 52)이 서로 대향하여 설치되어 있다. 또한, 척 기구에 의한 기판(W1, W2)의 흡착 보유 지지는 진공 척(흡인 흡착) 및 정전 척(정전 흡착) 중 적어도 한 쪽을 이용하여 행해진다.

제1 보유 지지 평판(51)은 상측 용기(34a) 내에 설치되어 있다. 제1 보유 지지 평판(51)은 4개의 제1 지지 기둥(53)을 거쳐서 제2 지지판(42)에 의해 현수 지지되어 있다. 기판 접합시에 제1 보유 지지 평판(51)이 진공 처리실(34)의 상부 내면으로부터 이격하여 배치되도록, 즉 제1 보유 지지 평판(51)이 진공 처리실(34)의 상부 내면과 접촉하지 않도록 제1 지지 기둥(53)의 길이는 설정되어 있다. 또 한, 제2 지지판(42)과 상측 용기(34a)와의 사이에 있어서, 각 지지 기둥(53)을 둘러싸도록 탄성체(벨로우즈)(54)가 설치되어 있다. 상측 용기(34a)는 벨로우즈(54)를 거쳐서 제2 지지판(42)에 현수 지지된다. 벨로우즈(54)의 양단부에는 O링(도시 생략)을 구비하는 플랜지부가 형성되어 있다. O링에 의해 제2 지지판(42)과 상측 용기(34a)와의 사이가 밀봉되어, 진공 처리실(34) 내의 기밀이 유지된다.

제2 보유 지지 평판(52)은 하측 용기(34b) 내에 설치되어 있다. 제2 보유 지지 평판(52)은 4개의 제2 지지 기둥(56)을 거쳐서 지지판(57)과 접속된다. 하측 용기(34b)는 4개의 제3 지지 기둥(58)을 거쳐서 지지판(57)과 접속된다. 지지판(57)은 복수의 구동 기구(59)에 의해 지지되어 있다. 구동 기구(59)는 베이스판(32)에 고정되어 있다. 구동 기구(59)에 지지된 지지판(57) 상의 소정의 위치에 제2 지지 기둥(56)과 제3 지지 기둥(58)이 세워 설치되어 있다. 그리고, 제2 지지 기둥(56)에 의해 제2 보유 지지 평판(52)이 지지되고, 제3 지지 기둥(58)에 의해 하측 용기(34b)가 지지되어 있다. 제2 지지 기둥(56)은 제3 지지 기둥(58)보다도 길다. 제2 지지 기둥(56)의 길이는 제2 보유 지지 평판(52)이 진공 처리실(34)의 하부 내면으로부터 이격하여 배치되도록, 즉 제2 보유 지지 평판(52)이 진공 처리실(34)의 하부 내면과 접촉하지 않도록 설정되어 있다.

구동 기구(59)는, 구동용 모터(64)(도2)를 이용하여 지지판(57)을 X 방향 및 Y 방향으로 수평 이동시키고 수평 회전(θ 방향)시킨다. 구동 수단(36)은 구동 기구(59)와 지지판(57)과 구동용 모터를 포함한다.

각 제2 지지 기둥(56)을 받치는 관통 구멍이 하측 용기(34b)에 형성된다. 각 관통 구멍에는 O링(60)이 끼워 넣어져 있다. O링(60)이 제2 지지 기둥(56)과 하측 용기(34b) 사이의 간극을 폐색함으로써 진공 처리실(34)의 기밀이 유지된다.

다음에, 접합 기판 제조 장치(31)의 제어 기구에 대해 도2를 이용하여 설명한다. 또한, 도2에 있어서 도1에서 설명한 구성과 동일한 구성 부분에 대해서는 동일 부호를 붙이고 있다.

접합 기판 제조 장치(31)는 진공 처리실(34)의 압력[진공 펌프(50)], 접합용 가압력[가압용 모터(44)] 및 기판의 위치 맞춤[구동 수단(36)]을 제어하기 위한 제어 장치(61)를 포함한다. 제어 장치(61)는, 예를 들어 일반적인 PLC(Programmable Logic Controllers)이다. 제어 장치(61)에는 로드 셀(48), 화상 처리 장치(62), 압력 센서(63), 가압용 모터(44), 구동 수단(36)의 구동용 모터(64), 진공 펌프(50)가 접속되어 있다.

제어 장치(61)는 각 로드 셀(48)의 출력 신호로부터 기판(W1, W2)에 부여된 하중을 산출하고, 산출된 하중에 따라서 모터 구동 신호를 생성하여 그 모터 구동 신호를 가압용 모터(44)에 공급한다. 가압용 모터(44)는 모터 구동 신호에 따라서 구동되어, 제1 보유 지지 평판(51)을 상승 또는 하강시킨다.

또한, 제어 장치(61)는 화상 처리 장치(62)로부터의 출력 신호를 기초로 하여 생성된 모터 구동 신호를 구동용 모터(64)에 공급한다. 상세하게 서술하면, 접합 기판 제조 장치(31)는 기판 접합시에 양 기판(W1, W2)의 위치 맞춤을 하기 위한 얼라인먼트 마크를 촬상하는 CCD 카메라(도시 생략)를 구비하고 있다. 이 CCD 카메라는, 접합시에 기판(W1, W2)에 형성된 얼라인먼트 마크를 촬상하고, 그 화상 데 이터를 화상 처리 장치(62)에 공급한다. 제어 장치(61)는 그 화상 처리 장치(62)의 연산 결과(위치 어긋남량의 산출 데이터)에 따라서 모터 구동 신호를 생성하고, 그 모터 구동 신호를 구동용 모터(64)에 공급한다. 구동용 모터(64)는 모터 구동 신호에 따라서 회전하여 구동 기구(59)를 작동시킨다. 구동 기구(59)의 작동에 의해 지지판(57), 제2 보유 지지 평판(52) 및 하측 용기(34b)가 이동되어, 양 기판(W1, W2)의 위치 맞춤이 행해진다.

압력 센서(63)는 진공 처리실(34) 내에 있어서의 제1 및 제2 보유 지지 평판(51, 52)의 근방에 배치되어, 상기 진공 처리실(34) 내의 압력에 따른 검출 신호를 출력한다. 감압 하에서 기판(W1, W2)을 접합하기 위해, 제어 장치(61)는 압력 센서(63)의 검출 신호를 기초로 하여 진공 펌프(50)의 구동과 진공 배관(49)에 설치된 밸브(도시 생략)의 개폐를 조절한다. 진공 펌프(50) 및 밸브의 제어에 의해 진공 처리실(34)이 원하는 감압 상태로 조절된다.

다음에, 접합 기판 제조 장치(31)의 동작에 대해 설명한다.

접합 기판 제조 장치(31)에 있어서, 가압용 모터(44)의 구동에 의해 제3 지지판(43)이 상하 이동하면, 로드 셀(48) 및 제1 지지판(41)을 거쳐서 리니어 가이드(39a, 39b)가 가이드 레일(38a, 38b)에 따라 상하 이동하고, 제2 지지판(42) 및 벨로우즈(54)를 거쳐서 상측 용기(34a)가 상하 이동한다. 상측 용기(34a)가 하측 용기(34b)와 접촉할 때까지 하강됨으로써 진공 처리실(34)이 폐색된다.

그 후, 진공 펌프(50)가 구동되면 진공 처리실(34)이 감압된다. 그 상태에서, 다시 리니어 가이드(39a, 39b)를 하강시키도록 가압용 모터(44)가 회전되면, 상측 용기(34a)는 하강되지 않고 제2 지지판(42), 제1 지지 기둥(53) 및 제1 보유 지지 평판(51)은 하강되고 벨로우즈(54)는 압축된다.

제2 보유 지지 평판(52)은 제2 지지 기둥(56)을 거쳐서 지지판(57)에 지지되고, 하측 용기(34b)[폐색된 진공 처리실(34)]는 제3 지지 기둥(58)을 거쳐서 지지판(57)에 지지되어 있다. 그 상태에서 구동 수단(36)이 동작하면, 제2 보유 지지 평판(52)과 진공 처리실(34)이 일체가 되어, X 방향 및 Y 방향으로 수평 이동하는 동시에, 수평 회전(θ 방향)하여 기판(W1, W2)의 위치 맞춤이 행해진다. 이 위치 맞춤시에 있어서, X 방향 및 Y 방향의 이동과 수평 회전에 수반하는 부하는, 벨로우즈(54)에 의해 흡수된다. 또한, 제2 보유 지지 평판(52)과 진공 처리실(34)이 일체가 되어 이동하도록 구동 수단(36)의 지지판(57)에 강체(剛體)적으로 접속되어 있으므로, 기판(W1, W2)의 위치 맞춤시에 있어서 하측 용기(34b)와 제2 지지 기둥(56)과의 사이에 설치된 O링(60)에 부하가 가해지는 일은 없다.

그리고, 접합 기판 제조 장치(31)는 제1 보유 지지 평판(51) 및 제2 보유 지지 평판(52)에 보유 지지한 기판(W2, W1)의 위치 맞춤을 행한 후, 가압 수단(35)에 의해 각 기판(W1, W2) 사이에 가압력을 가하여 접합을 행한다.

다음에, 본 발명의 제1 실시 형태에 있어서의 접합 기판 제조 장치(31)의 특징을 이하에 기재한다.

(1) 기판(W1, W2)의 위치 맞춤시에 있어서, 진공 처리실(34)과 제2 보유 지지 평판(52)이 일체적으로 이동하여, 제2 지지 기둥(56)과 진공 처리실(34)과의 접촉 부분[O링(60)]에는 부하가 거의 가해지지 않는다. 그로 인해, 기밀 유지 부재 로서는 도10에 도시한 하측 벨로우즈(22) 대신에, 저렴한 O링(60)을 이용할 수 있어 제조 장치(31)의 제조 비용의 삭감을 도모할 수 있다. 또한, 도10과 같이 하측 벨로우즈(22)를 설치할 필요가 없어지므로, 진공 처리실(34)을 감압할 때의 배기 시간을 단축할 수 있다. 또한, 제2 보유 지지 평판(52)과 구동 수단(36)을 접속하는 제2 지지 기둥(56)을 짧게 할 수 있어, 제조 장치(31)의 소형화가 가능해진다.

(2) 제1 보유 지지 평판(51)은 진공 처리실(34)과 이격하도록 제1 지지 부재로서의 제1 지지 기둥(53)에 지지되고, 제2 보유 지지 평판(52)은 진공 처리실(34)과 이격하도록 제2 지지 부재로서의 제2 지지 기둥(56)에 지지되어 있다. 이 구성에 의해, 기판 접합시의 감압 하에서 진공 처리실(34)에 변형이 발생된 경우에도 그 힘이 제1 및 제2 보유 지지 평판(51, 52)에 작용하는 것이 방지되므로, 상기 감압 하에 있어서도 기판(W1, W2)의 상대 위치나 평행도에 영향이 발생하지 않는다. 따라서, 기판(W1, W2)의 위치 결정을 정확하게 행할 수 있어, 정밀도 좋게 기판(W1, W2)의 접합을 행할 수 있다.

이하, 본 발명의 제2 실시 형태에 대해 설명한다.

제2 실시 형태에 있어서, 제1 실시 형태의 구성과 동등한 것에 대해서는 동일한 부호를 붙이는 동시에 그 설명을 간략화한다. 이하에는 제1 실시 형태와의 차이점을 중심으로 설명한다.

도3에 도시한 바와 같이, 제2 실시 형태의 접합 기판 제조 장치(31a)에서는 구동 수단(36)의 구동 기구(59)가 진공 처리실(34) 내부에 설치되어 있고, 상기 구동 기구(59)에 제2 보유 지지 평판(52)이 직접 접속되어 있다.

상세하게 서술하면, 복수의 구동 기구(59)는 베이스판(32) 상에 고정되어 있고, 각 구동 기구(59)에 의해 제2 보유 지지 평판(52)이 지지되어 있다. 이 구동 기구(59)는 제1 실시 형태와 마찬가지로 동작하여, 제2 보유 지지 평판(52)을 수평 이동(X 방향 및 Y 방향)시키는 동시에 수평 회전(θ 방향)시킨다.

하측 용기(34b)의 하면에는, 구동 기구(59)를 둘러싸는 강체통(剛體筒)(71)이 설치되어 있고, 하측 용기(34b)는 그 강체통(71)에 의해 베이스판(32) 상에 지지되어 있다. 또한, 이 강체통(71)은 진공 처리실(34)의 기밀을 유지하기 위한 기밀 유지 부재로서 기능하는 부재이며, 양단부의 플랜지부에 O링(도시 생략)을 구비하고, 그 O링에 의해 하측 용기(34b)와 베이스판(32)과의 사이를 밀봉한다. 강체통(71)의 내측 공간은 처리실(34)의 내부 공간과 연통된다. 따라서, 강체통(71)은 처리실(34)의 일부를 구획한다.

강체통(71)의 측면에는 구동 기구(59)에 면하는 배기구(71a)가 마련되어 있다. 배기구(71a)는 배관(72)을 거쳐서 진공 펌프(73)와 접속되어 있다. 이 진공 펌프(73)는, 진공 처리실(34)을 진공 상태로 감압하기 위한 상기 진공 펌프(50)와는 별도로 설치되어 있다.

본 실시 형태에 있어서의 접합 기판 제조 장치(31a)의 제어 기구로서는, 도2에서 파선으로 나타낸 바와 같이, 진공 펌프(73)와 압력 센서(74)가 추가된다. 이 접합 기판 제조 장치(31a)에서는, 진공 처리실(34) 내에 있어서 제1 압력 센서(63)가 보유 지지 평판(51, 52)의 근방에 배치되고, 제2 압력 센서(74)가 구동 기구(59)의 근방에 배치된다. 즉, 제1 압력 센서(63)가 기판(W1, W2) 근방의 압력을 검출하고, 제2 압력 센서(74)가 구동 기구(59) 근방의 압력을 검출한다.

제어 장치(61)는 각 압력 센서(63, 74)의 검출 신호를 기초로 하여 각 진공 펌프(50, 73)를 제어한다. 구체적으로, 제어 장치(61)는 우선 제2 진공 펌프(73)를 구동하고, 구동 기구(59) 근방의 대기가 배기되어 소정 압력까지 감압된 단계에서 제1 진공 펌프(50)를 구동한다.

접합 기판 제조 장치(31a)에서는, 제1 실시 형태의 접합 기판 제조 장치(31)와 마찬가지로 가압 수단(35)의 모터(44)를 구동시킴으로써 상측 용기(34a)가 하강하여 상기 상측 용기(34a)와 하측 용기(34b)가 밀봉되고, 진공 처리실(34)이 폐색된다. 그리고, 그 상태에서 다시 모터(44)를 하강 방향으로 회전시키면, 벨로우즈(54)가 가압되어 제2 지지판(42) 및 제1 지지 기둥(53)을 거쳐서 제1 보유 지지 평판(51)만이 하강한다.

이 때, 구동 수단(36)의 구동 기구(59)가 동작하여 기판(W1, W2)의 위치 맞춤이 행해진다. 구체적으로는, 구동 기구(59)가 동작함으로써 상기 구동 기구(59) 상의 제2 보유 지지 평판(52)이 X 방향 및 Y 방향으로 수평 이동하는 동시에, 수평 회전(θ 방향)하여 기판(W1, W2)의 위치 맞춤이 적절하게 행해진다.

이 위치 맞춤시에 있어서, 구동 기구(59)의 동작에 수반하는 마모에 의해, 상기 구동 기구(59)로부터 파티클이 발생되는 경우가 있다. 이 대책으로서, 본 실시 형태에서는 구동 기구(59) 근방의 기체가 배기구(71a) 및 배관(72)을 거쳐서 진공 펌프(73)로부터 배기되는 구성을 채용하고 있다. 그로 인해, 구동 기구(59)로부터 파티클이 발생되었다고 해도 기판(W1, W2)으로의 파티클의 날아 오름이 방지 된다. 특히, 제1 진공 펌프(50)에 의한 진공 처리실(34)의 배기에 앞서, 제2 진공 펌프(73)에 의한 배기를 행함으로써 파티클의 비산이 확실하게 방지되어, 진공 처리실(34)의 청결도가 높아지도록 되어 있다.

다음에, 본 발명의 제2 실시 형태에 있어서의 접합 기판 제조 장치(31a)의 특징을 이하에 기재한다.

(1) 접합 기판 제조 장치(31a)에서는 구동 기구(59)를 진공 처리실(34) 내에 설치하여, 기판(W1, W2)의 위치 맞춤시에 제2 보유 지지 평판(52)만을 이동시키는 구성이므로, 제1 지지 기둥(53)을 둘러싸는 벨로우즈(54)에는 구동 기구(59)의 이동에 수반하는 부하가 가해지는 일이 없다. 따라서, 벨로우즈(54)의 사용 기간은 연장된다.

(2) 구동 기구(59)가 제2 보유 지지 평판(52)에 직접적으로 접속되어 있으므로, 제1 실시 형태와 같이 제2 보유 지지 평판(52)을 지지하는 제2 지지 기둥(56)이나 하측 용기(34b)를 지지하는 제3 지지 기둥(58)을 설치할 필요가 없다. 이로 인해, 제조 장치(31a)의 제조 비용의 삭감이나 제조 장치(31a)의 소형화를 도모할 수 있다.

(3) 강체통(71)의 측면에는 구동 기구(59)에 면하는 배기구(71a)가 설치되어, 그 배기구(71a)로부터의 배기에 의해 구동 기구(59)에서 발생되는 파티클이 제거된다. 이에 의해, 진공 처리실(34) 내를 청결한 상태로 유지할 수 있다.

(4) 배기구(71a)로부터 파티클을 제거하기 위한 제2 진공 펌프(73)는, 진공 처리실(34)을 진공 상태로 감압하기 위한 제1 진공 펌프(50)와는 별도로 설치되어 있다. 이 경우, 파티클을 제거하기 위한 최적의 시기에 배기를 행할 수 있으므로, 진공 처리실(34) 내의 청결도를 높일 수 있다.

(5) 구동 수단(36)을 구성하는 구동용 모터(64)나 구동 기구(59) 등 중, 구동 기구(59)만을 진공 처리실(34) 내에 배치하였다. 이 경우, 진공 처리실(34)의 용적의 증가를 억제할 수 있어 실용상 바람직한 것이 된다.

이하, 본 발명의 제3 실시 형태에 대해 설명한다.

도4는 제3 실시 형태의 접합 기판 제조 장치(31b)를 도시하고 있다. 단, 도4에 있어서 상술한 제1 실시 형태의 구성과 동등한 것에 대해서는 동일한 부호를 붙이는 동시에 그 설명을 간략화한다. 또한, 지지 프레임(33)이나 가압 수단(35)의 구성은 제1 실시 형태와 동일하며, 도4에서는 그 도시를 생략하고 있다.

상세하게 서술하면, 진공 처리실(34)[하측 용기(34b)]에는 복수(본 실시예에서는 4개)의 지지대 시트(75)가 고정되고, 그 지지대 시트(75)의 상면에 제2 보유 지지 평판(52)이 고정되어 있다. 지지대 시트(75)는 제2 보유 지지 평판(52)의 하면에 있어서의 네 구석에 각각 설치되어 있다. 이와 같이, 제2 보유 지지 평판(52)과 진공 처리실(34)과의 사이에 지지대 시트(75)를 개재시킴으로써 제2 보유 지지 평판(52)은 진공 처리실(34)의 내면으로부터 이격하여 배치된다.

또한, 진공 처리실(34)의 하측 용기(34b)는 처리실(34) 전체를 지지하는 지지 기둥(76)을 거쳐서 구동 수단(36)의 지지판(57) 상에 지지되어 있다. 이 지지 기둥(76)은 사각뿔대 형상으로 형성된 강체이며, 지지 기둥(76)의 상면은 진공 처리실(34)에 접촉하고, 지지 기둥(76)의 하면은 지지판(57)에 접촉한다. 지지 기둥 (76)의 상면 면적은 하면의 면적보다도 크다. 지지 기둥(76)의 상면의 면적은 진공 처리실(34)의 하면의 면적과 동일한 것이 바람직하다.

접합 기판 제조 장치(31b)에 있어서도, 제1 실시 형태와 마찬가지로 구동 수단(36)이 동작하면, 진공 처리실(34)과 제2 보유 지지 평판(52)이 일체가 되어 X 방향 및 Y 방향으로 수평 이동하는 동시에, 수평 회전(θ 방향)하여 기판(W1, W2)의 위치 맞춤이 행해진다.

다음에, 본 발명의 제3 실시 형태에 있어서의 접합 기판 제조 장치(31b)의 특징을 이하에 기재한다.

(1) 접합 기판 제조 장치(31b)는 진공 처리실(34)과 구동 수단(36) 사이의 하측 벨로우즈(22)(도10)를 삭제할 수 있으므로, 기판 제조 장치(31a)의 제조 비용의 삭감을 도모할 수 있다. 또한, 진공 처리실(34)을 감압할 때의 배기 시간을 단축할 수 있고, 또한 기판 제조 장치(31a)의 소형화를 도모할 수 있다.

(2) 진공 처리실(34) 전체가 지지 기둥(76)에 의해 지지되므로, 감압에 수반되는 진공 처리실(34)의 변형을 방지할 수 있다. 또한, 제2 지지 부재로서의 지지대 시트(75) 상에 제2 보유 지지 평판(52)을 고정하고, 제2 보유 지지 평판(52)과 진공 처리실(34)을 이격하여 설치함으로써, 감압에 수반하는 진공 처리실(34)의 변형에 의한 기판(W1, W2)의 위치 어긋남을 억제할 수 있다.

(3) 사각뿔대 형상의 지지 기둥(76)으로 진공 처리실(34) 전체를 지지함으로써, 감압시에 있어서의 진공 처리실(34)의 변형을 확실하게 억제할 수 있다. 또한, 지지 기둥(76)은 사각 기둥 형상의 지지 기둥을 이용하는 경우와 비교하여 경 량이므로, 경량인 접합 기판 제조 장치(31b)를 얻을 수 있다.

각 실시 형태는 이하와 같이 변경해도 좋다.

· 접합 기판 제조 장치(31)에서는, 제1 내지 제3 지지 기둥(53, 56, 58)을 4개 설치하는 것이었지만 이에 한정되는 것은 아니며, 4개 이외의 개수의 지지 기둥을 설치하는 것이라도 좋다. 물론, 제1 내지 제3 지지 기둥(53, 56, 58)은 각각 개수를 다르게 해도 좋다. 예를 들어, 제2 지지 기둥(56)을 1개만 설치하는 구성으로 해도 좋다.

· 접합 기판 제조 장치(31)에 있어서, 제2 보유 지지 평판(52)과 구동 수단(36)과의 접속 부분의 구성을 도5 내지 도7에 도시한 바와 같이 변경해도 좋다.

도5에 도시한 구성에서는, 진공 처리실(34)의 내부이며 상기 진공 처리실(34)의 바닥면과 제2 보유 지지 평판(52)의 사이가 되는 위치에 O링(60)을 구비하여, 상기 O링(60)에 의해 진공 처리실(34)의 기밀이 보유 지지된다. 상세하게는, 제2 보유 지지 평판(52)의 하면과 제2 지지 기둥(56)의 사이에 원반 형상의 지지대 시트(78)가 설치되고, 그 지지대 시트(78)의 하면에 있어서의 외연부에 접촉하도록 O링(60)이 배치되어 있다. 즉, 이 O링(60)은 제2 지지 기둥(56)에 있어서의 상단부[처리실(34) 내에 있는 단부]의 외주를 둘러싸도록 설치되어 있고, 상기 O링(60)에 의해 지지대 시트(78)와 진공 처리실(34)의 사이를 밀봉함으로써 상기 진공 처리실(34)의 기밀이 유지된다. 또한, 본 구성에서는 감압시에 있어서의 진공 처리실(34)의 변형을 고려하여 그 변형을 흡수하고, 진공 처리실(34)의 기밀을 충분히 유지하는 것이 가능한 O링(60)을 선정하고 있다. 본 구성에 있어서도, 제1 실시 형태와 동일한 특징을 갖는다.

도6에 도시한 구성에서는, 진공 처리실(34)의 내부이며 상기 처리실(34)의 바닥면과 제2 보유 지지 평판(52)의 사이가 되는 위치에 벨로우즈(79)를 구비하여, 상기 벨로우즈(79)에 의해 진공 처리실(34)의 기밀이 유지된다. 상세하게는, 벨로우즈(79)는 상하 양단부의 플랜지부에 O링(도시 생략)을 구비하고, 제2 지지 기둥(56)에 있어서의 상단부[처리실(34) 내에 있는 단부]의 외주를 둘러싸도록 설치되어 있다. 벨로우즈(79)는 상단부의 플랜지부가 제2 보유 지지 평판(52)의 하면에 접속되고, 하측의 플랜지부가 하측 용기(34b)의 내측에 접속되어 각 플랜지부의 O링에 의해 제2 보유 지지 평판(52)과 진공 처리실(34)의 사이를 밀봉함으로써 상기 진공 처리실(34)의 기밀이 유지된다. 본 구성에 있어서, 기판(W1, W2)의 위치 맞춤시에서의 구동 수단(36)의 이동에 수반하는 부하는 벨로우즈(79)에는 가해지지 않으므로, 벨로우즈(79)는 기밀을 유지하기 위한 밀봉 기능을 갖는 것이면 좋고, 종래 기술과 같이 부하를 흡수하기 위한 탄성 기능을 가질 필요는 없다. 따라서, 길이가 짧은 벨로우즈(79)를 이용할 수 있어, 제1 실시 형태와 동일한 특징을 갖는다.

도7에 도시한 구성에서는, 구동 수단(36)의 지지판(57) 상에 제2 지지 기둥(56)을 거쳐서 제2 보유 지지 평판(52)이 지지되고, 강체통(81)을 거쳐서 하측 용기(34b)가 지지되어 있다. 강체통(81)은, 제2 지지 기둥(56)을 둘러싸도록 배치되고, 진공 처리실(34)의 기밀을 유지하기 위한 기밀 유지 부재로서 기능한다. 즉, 강체통(81)은 양단부의 플랜지부에 O링(도시 생략)을 구비하고, 상기 O링에 의해 하측 용기(34b)와 지지판(57)과의 사이를 밀봉함으로써 진공 처리실(34)의 기밀이 유지된다. 본 구성에 있어서도, 제1 실시 형태와 동일한 특징을 갖는다.

· 제3 실시 형태의 접합 기판 제조 장치(31b)에 있어서, 처리실(34)의 하면 전체를 지지하는 지지 기둥(76)을 삭제해도 좋다. 이 경우, 도8에 도시한 바와 같이, 구동 수단(36)의 지지판(57)을 삭제하고, 제2 보유 지지 평판(52)을 지지하기 위한 지지대 시트(75)를 구동 기구(59)의 바로 위가 되는 위치에 배치하는 것이 바람직하다. 하측 용기(34b)와 구동 기구(59)와의 접속 부위에서는 감압시의 변형이 억제되므로, 그 부위[구동 기구(59)]의 바로 위에 지지대 시트(75)를 배치함으로써, 진공 처리실(34)의 변형에 의한 기판(W1, W2)의 위치 어긋남을 방지할 수 있다.

· 각 실시 형태에 있어서, 진공 처리실(34)은 상하로 분할하여 구성되어 있지만 그에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 도9에 도시한 바와 같은 진공 처리실(83)의 구조라도 좋다. 또한, 도9의 구성에서는 제1 실시 형태와의 차이점으로서, 벨로우즈(84) 및 자기 밀봉(85)이 제1 지지 기둥(53)을 둘러싸도록 설치되어 있다.

상세하게 서술하면, 진공 처리실(83)은 상기 처리실(83)을 개폐하기 위한 게이트 밸브(86)를 구비하고 있다. 진공 처리실(83) 내에는 제1 및 제2 보유 지지 평판(51, 52)이 대향하여 설치되고, 제1 보유 지지 평판(51)은 제1 지지 기둥(53)을 거쳐서 제2 지지판(42)에 현수 지지되고, 제2 보유 지지 평판(52)은 제2 지지 기둥(56)을 거쳐서 구동 수단(36)의 지지판(57)에 지지되어 있다. 진공 처리실(83)의 상면은 제1 지지 기둥(53)을 둘러싸도록 설치된 벨로우즈(84)와 자기 밀봉 (85)을 거쳐서 제2 지지판(42)과 기밀 가능하게 접속되어 있다. 이 벨로우즈(84)와 자기 밀봉(85)과는 서로 연결되어 있고, 진공 처리실(83)의 기밀을 유지하기 위한 기밀 유지 부재로서 기능하고 있다. 또한, 진공 처리실(83)의 하면은 제3 지지 기둥(58)을 거쳐서 지지판(57)에 지지된다. 또한, 진공 처리실(83)은 제2 지지 기둥(56)과의 접촉 부분을 O링(60)에 의해 밀봉함으로써 기밀이 유지되어 있다. 한편, 가압 수단(35)은 제1 실시 형태의 것과 동일하다.

상기한 바와 같은 구조를 갖는 진공 처리실(83)을 이용하는 도9의 접합 기판 제조 장치에서도 제1 실시 형태와 동일한 특징을 갖는다. 또한, 벨로우즈(84)와 자기 밀봉(85)으로 이루어지는 기밀 유지 부재를 이용함으로써, 구동 수단(36)의 이동에 의한 부하를 확실하게 흡수할 수 있다. 즉, 기판(W1, W2)의 위치 맞춤시에 있어서, 구동 수단(36)에 의해 진공 처리실(34)이 X 및 Y 방향으로 직선적으로 이동할 때 그 직선 이동의 부하를 벨로우즈(84)가 흡수하고, 진공 처리실(34)이 수평 회전(θ 방향)할 때 그 회전의 부하를 자기 밀봉(85)이 흡수한다.

Claims (12)

1. 감압 가능한 처리실 내에서 서로 대향하여 배치된 제1 및 제2 보유 지지 평판에 의해 2매의 기판을 보유 지지하면서, 상기 2매의 기판을 접합하는 접합 기판의 제조 장치이며,

   상기 처리실의 외부에 설치되고 상기 2매의 기판에 접합용 가압력을 작용시키는 가압 수단과,

   상기 2매의 기판을 접합할 때에 상기 제1 보유 지지 평판이 상기 처리실의 내면으로부터 이격하여 배치되도록 상기 가압 수단과 상기 제1 보유 지지 평판을 접속하는 제1 지지 부재와,

   상기 제2 보유 지지 평판을 상기 처리실의 내면으로부터 이격한 위치에서 지지하는 제2 지지 부재와,

   상기 처리실의 외부에 설치되고, 또한 상기 처리실과 접속되어 상기 2매의 기판을 위치 맞춤하기 위해 상기 처리실 및 상기 제2 보유 지지 평판을 수평 이동 및 수평 회전시키는 구동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 접합 기판 제조 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 제2 지지 부재는 상기 제2 보유 지지 평판과 상기 구동 수단을 접속하는 지지 기둥을 포함하는 접합 기판 제조 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 처리실과 상기 구동 수단을 강체적으로 접속하는 지지 기둥을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 접합 기판 제조 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 제2 지지 부재는 상기 처리실에 고정된 다이 시트를 포함하고, 상기 처리실 전체를 지지하고 또한 상기 처리실과 상기 구동 수단을 접속하는 지지 기둥을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 접합 기판 제조 장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 지지 기둥은 상기 처리실과 접촉하는 상면과 상기 구동 수단과 접촉하는 하면을 갖는 사각뿔대 형상으로 형성되고, 상기 하면의 면적은 상기 상면의 면적보다도 작은 것을 특징으로 하는 접합 기판 제조 장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 구동 수단은 상기 처리실의 외면과 접속되고, 상기 제2 지지 부재는 상기 처리실의 내면에 있어서, 상기 처리실과 상기 구동 수단과의 접속 부위의 바로 위가 되는 위치에 고정된 다이 시트를 포함하는 접합 기판 제조 장치.
7. 감압 가능한 처리실 내에서, 서로 대향하여 배치된 제1 및 제2 보유 지지 평판에 의해 2매의 기판을 보유 지지하면서, 상기 2매의 기판을 접합하는 접합 기판의 제조 장치이며,

   상기 처리실의 외부에 설치되고 상기 2매의 기판에 접합용 가압력을 작용시 키는 가압 수단과,

   상기 2매의 기판을 접합할 때에 상기 제1 보유 지지 평판이 상기 처리실의 내면으로부터 이격하여 배치되도록, 상기 가압 수단과 상기 제1 보유 지지 평판을 접속하는 제1 지지 부재와,

   상기 처리실의 내부에 설치되고, 상기 제2 보유 지지 평판을 수평 이동 가능 및 수평 회전 가능하게 지지하는 구동 수단을 구비하고, 상기 2매의 기판을 위치 맞춤할 때에 상기 제2 보유 지지 평판이 상기 처리실의 내면으로부터 이격하여 배치되도록 상기 구동 수단은 상기 제2 보유 지지 평판과 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 접합 기판 제조 장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 구동 수단은 구동용 모터와 그 구동용 모터의 구동력에 의해 이동되는 구동 기구를 포함하고, 상기 구동 기구가 상기 처리실의 내부에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 접합 기판 제조 장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 처리실의 배기를 행하는 배기구가 상기 구동 기구에 면하도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 접합 기판 제조 장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 처리실을 감압하기 위한 복수의 펌프를 더 구비하고, 적어도 하나의 펌프는 상기 배기구에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 접합 기판 제조 장치.
11. 2매의 기판을 접합하는 접합 기판의 제조 장치이며,

    감압 가능하고 또한 개방 가능한 처리실과,

    상기 처리실 내에 있어서 서로 대향하여 배치되고, 상기 2매의 기판을 보유 지지하는 제1 및 제2 보유 지지 평판과,

    상기 처리실의 외부에 설치되고, 상기 제1 보유 지지 평판을 하강시켜 상기 2매의 기판에 접합용 가압력을 작용시키는 가압 수단과,

    상기 제1 보유 지지 평판과 상기 처리실과의 접촉을 피하도록 상기 가압 수단과 상기 제1 보유 지지 평판을 강체적으로 접속하는 제1 지지 부재와,

    상기 처리실의 외부에 설치되고, 상기 제2 보유 지지 평판 및 상기 처리실을 수평면 내에서 일체적으로 이동시키는 구동 수단과,

    상기 제2 보유 지지 평판과 상기 처리실과의 접촉을 피하도록 상기 제2 보유 지지 평판과 상기 구동 수단을 강체적으로 접속하는 제2 지지 부재와,

    상기 처리실과 상기 구동 수단을 강체적으로 접속하는 지지 기둥을 구비하는 것을 특징으로 하는 접합 기판 제조 장치.
12. 2매의 기판을 접합하는 접합 기판의 제조 장치이며,

    감압 가능하고 또한 개방 가능한 처리실과,

    상기 처리실 내에 있어서 서로 대향하여 배치되고, 상기 2매의 기판을 보유 지지하는 제1 및 제2 보유 지지 평판과,

    상기 처리실의 외부에 설치되고 상기 제1 보유 지지 평판을 하강시켜 상기 2매의 기판에 접합용 가압력을 작용시키는 가압 수단과,

    상기 제1 보유 지지 평판과 상기 처리실과의 접촉을 피하도록 상기 가압 수단과 상기 제1 보유 지지 평판을 강체적으로 접속하는 제1 지지 부재와,

    상기 처리실의 내부 공간에 설치되고, 상기 제2 보유 지지 평판과 상기 처리실과의 접촉을 피하도록 상기 제2 보유 지지 평판을 수평면 내에서 이동 가능하게 지지하는 구동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 접합 기판 제조 장치.

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