KR20050107752A - 세라믹 디바이스 제조 방법과 장치 - Google Patents

Abstract

초록 상태에 테이프(21)에서 세라믹 디바이스를 제조하는 장치는, 제1형성 소자로서 원통형 로드(23)와, 원통형 로드(23)에 대해 테이프(21)의 제1단부를 고정하기 위한 제1클램핑 기구(241) 및, 테이프(21)를 사전-형성하도록 원통형 로드(23) 둘레에 테이프(21)를 감기 위한 제1메카니즘(20, 321)을 포함한다. 상기 장치는 부가로 제2형성 소자(33), 제2형성 소자(33)에 대해 사전-형성된 테이프(21)의 적어도 일 단부를 고정하는 제2클램핑 기구(351) 및, 제2형성 소자(33) 주위로 사전 형성된 테이프를 감는 제2메카니즘(352)을 포함한다.

Description

세라믹 디바이스 제조 방법과 장치{METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING CERAMIC DEVICES}

본 발명은 전기-활성재 곡선 소자(curved elements of electro-active material)를 제조하는 방법과 장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 자신이 굽어진 축 둘레로 곡선진 전기-활성 작동기(electro-active actuators)를 제조하는 방법과 장치에 관한 것이다.

근래, 대형 병진운동의 변위는 자신이 굽어진 축을 나선형으로 둘러싸고 곡선진 다층 테이프를 가진 코일 압전기 테이프로 이루어진 곡선진 나선형 구조로 달성되어져 왔다. 그러한 디바이스는 센티미터 정도의 활성 길이에서 밀리미터 정도의 변위를 용이하게 나타내는 것으로 알려져 있다. 그러한 구성과 그 구성물의 변화에 대한 기재는 예를 들어 WO-01/47041호와 D.H.피어스 등의 센서와 작동기 A100(2002)의 281-286쪽에 기술되어 있다.

상기 구성물은 복합 곡선진 형태의 세라믹 디바이스이고 현재, 사람의 노동력에 크게 의존하는 저효율 출력 방법을 사용하여 제조되는 것이다. WO-02/103819호에는 압출공정을 사용하는 다른 방법의 예가 기술되어 있다. 그런데, 상기 기술된 공정이 모든 초-나선형 작동기의 구조에 적합한 것은 아니다.

도1은 종래 2회전-감김 작동기의 사시도이다.

도2A 및 도2B는 본 발명의 예에 따르는 제1형성 단계를 설명하는 도면이다.

도3A는 제1형성 소자에서 사전-형성된 테이프를 고정해제하는 단계를 설명하는 도면이다.

도3B는 본 발명의 예에 따르는 제2형성 단계를 설명하는 도면이다.

도4는 건조작업을 위해 형성 테이프를 이송하는 단계를 설명하는 도면이다.

본 발명의 목적은 사람이 제한적으로 연관되고 기본재로서 평탄한 세라믹 테이프를 사용하는 2회전 감김 작동기(twice coiled actuators)를 제조하는 방법과 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 특징에 의거, 제1형성 소자 부근으로 초록 상태의 세라믹 테이프를 이송하는 단계와; 제1형성 소자에 대해 테이프의 제1단부를 고정하는 단계와; 제1형성 소자 둘레를 테이프가 감도록, 서로 동시적으로 회전운동과 병진운동을 하는 동작과 상관하여 테이프와 제1형성 소자를 동작하는 단계와; 테이프와 제1형성 소자의 분리가 나선형태로 감겨진 사전-형성된 테이프의 생성을 허용하도록, 제1단부의 고정동작부를 이동하는 단계와; 제2형성 소자에 대해 사전-형성된 테이프의 적어도 일 단부를 고정하는 단계 및; 제2형성 소자 둘레를 사전-형성된 테이프가 감도록, 상호 적어도 일 회전운동을 하는 동작과 상관하여 사전-형성된 테이프와 제2형성 소자를 동작하는 단계를 포함하는 세라믹 디바이스를 제조하는 방법과 장치가 제공된다.

본 발명은 양호하게, 상기 테이프가 제1형성 소자와 처음 접촉하는 지대에 제1형성 소자로 테이프가 이동하는 중에 지속적인 압력을 가하는 단계를 구비하는 서로 상관하여 테이프와 제1형성 소자를 작동하는 단계와 디바이스를 포함한다.

또한, 본 발명은 양호하게, 테이프가 제1형성 소자에 대해 미끄러지는 것을 방지하도록 테이프가 제1형성 소자와 접촉하는 지대에서 테이프 엣지에 힘을 가하는 단계를 구비한다.

본 발명은 양호하게 테이프를 제1형성 소자에 고정하는 제1클램핑 소자를 고정해제하기 전에 테이프의 제1단부 둘레를 제2클램핑 소자가 에워싸는 단계와 디바이스를 구비한다.

양호하게, 테이프를 파지하는데 사용된 클램핑 소자 또는 테이프에 직접 압력을 가하도록 설계된 다른 디바이스는 테이프가 "촉감(tactile)"처리를 가장하도록 공압적으로 작동되거나 탄성-하중(spring-load)을 받게 한다.

본 발명은 양호하게, 사전-형성된 테이프를 다시 유지하는 엣지를 따라서 제1형성 소자가 지나가게 하는 단계와 디바이스를 구비한다.

양호하게, 사전-형성된 테이프가 제2형성 소자에 대해 사전-형성된 테이프의 일 단부를 고정하는 일 클램핑 소자를 가진 클램핑 소자를 사용하여 양쪽 단부에서 유지되는 동안에, 나머지 클램핑 소자는 제2형성 소자 둘레로 회전운동을 한다.

본 발명은 양호하게 제2형성 소자에 대한 고정동작을 제거하여 지지 구조부에 감겨진 사전-형성된 테이프를 이동시키고; 그리고 건조작업 및/또는 소결작업을 위해 고온 환경에 지지 구조부를 배치하는 단계와 디바이스를 구비한다.

본 발명은 압전기 물질로 이루어진 2회전 감김 나선체, 특히 2회전 감김 작동기를 제조하는데 사용되었을 때에 특히 유익한 것이다.

본 발명의 상기 기술된 특징과 기술되지 않은 다른 특징들이 첨부 도면을 참고로 발명을 한정하는 것이 아닌 설명을 목적으로 기술하면 다음과 같다.

도1은 WO-01/47041와 센서 및 작동기 A100(2002)의 281-286쪽에 기술된 타입의 공지된 작동기(10)를 나타낸 도면이다.

작동기(10)는 예를 들어 바이모르프(bimorph) 구조, 즉 부축으로 참고된 제1축(13)의 둘레를 나선형으로 감은, 다층 테이프(11)의 곡선 부분(12)을 갖는다. 설명을 위해서 부축(minor axis)은 도1에서 점선으로 나타내었다. 나선 감김부는 부가로 완전한 1회전의 약 3/4 정도의 제2감김부로 감겨진다. 이러한 제2감김부의 축(14)은 주축(major axis)으로 참고되며, 설명 및 기재의 편리함을 위해 중앙 고형점을 가진 소 점선 원(14)으로 도시되었다. 제1감김부는 주 감김부 또는 주 나선부로서 알려져 있다. 제2감김부는 임의적 곡선이며, 일 회전을 초과하며 그리고, 환선 또는 제2나선을 형성한다. 따라서, 일반적으로 제2감김부는 제2곡선으로 참고 된다. 상기 테이프는 작동부에 배치되어 부축(13) 주위로 굽어진다. 부축 둘레에 나선 곡선으로 인하여, 상기 굽힘동작은 주축 주위에 작동기(10)의 꼬임동작과 함께 일어난다. 주축(14) 주위에 곡선으로 인하여, 상기 꼬임동작은 작동기(10)의 단부(111, 112)의 상관 변위와 함께 발생한다. 작동기로서 사용되면, 테이프(11)의 일 단부(111)가 가동 물체(도시 않음)에 고정되고 반면에 테이프(11)의 타 단부(112)는 기초평판(15)에 설치된다.

전구(precursor) 세라믹 테이프에서 작동기(10)를 제조하는 작업은 일반적으로 수작업으로 실시되는 매우 복잡한 작업이다. 원통형 로드 둘레에 나선형 테이프를 천천히 감고, 그리고 상기 로드를 세심하게 이동시킨 후에, 세라믹 테이프가 자체 중량을 지지하기에 충분한 경도(stiff)의 정도까지 순차적인 건조작업을 하는 동안에 그 감김 형태로 나선부를 지지하는 "토갑(sagger)" 내에 상기 나선체를 위치시키는 단계를 포함한다. 다음, 코일 나선부가 연소되어 바인더와 다른 유기 성분을 제거하여, 소결되어 세라믹 작동기를 형성한다.

상기 단계가 수동적으로 실행되는 동안에, 상기 공정은 자동화를 위해 용이하게 자체적으로 랜드(lend)되지 않는다. 전구 세라믹 테이프의 성질은 유연함이 있음에도 불구하고, 쉽게 활성으로 되지 않으며 자체 중량을 지지할 수도 없다.

도2A를 참고로 하여 설명한다. 도2A는 원통형 로드(23)로 전구 세라믹 테이프(21)의 스트립을 이송하는 컨베이어 기구(20)를 나타낸 도면이다. 컨베이어 기구(20)는 롤러(201)를 구비하고 그리고 스트립(21)을 포머(23)에 가깝게 안내하는 면(202)을 지지한다. 완만한 등고선 형상 면(204)은 테이프(21)가 로드(23) 밑으로 향하게 한다. 컨베이어 기구(20)에 위치하면, 단부 블록(231)은 로드가 굽혀지는 것을 방지하도록 로드의 말단부를 지지하고, 로드(23)를 회전시키는 회전 구동부와 로드(23)를 병진운동시키는 선형 구동부를 제공한다. 충분한 길이의 테이프(211)가 지나간 후에, 제1공압작동 클램프(241)를 접근시키어 로드(23)에 대하여 테이프(21)를 고정한다. 다음, 보다 많은 테이프가 컨베이어 기구(20)를 통해 밀려지는 동안에, 로드(23)가 회전되고 지시된 바와 같이 병진운동한다. 따라서, 단부 블록(23)과 컨베이어 기구(20)는 상호 상관적으로 테이프(21)와 로드(23)를 이동시키기 위한 제1메카니즘으로 동작한다.

로드(23)는 주 또는 제1포머(former)로서 동작한다. 그 직경은 주 나선부의 내경과 대응하는 것을 선택한다.

예각으로 컨베이어와 로드 축을 형성하여 상기 각도로 로드에 테이프를 공급한다. 스트립이 로드(23)를 횡단하여 컨베이어에 의해 밀려지게 됨으로서, 로드(23)의 회전은 스트립(21)이 그 둘레에 감겨지게 한다. 회전과 동시적으로, 로드(23)는 그 축의 방향으로 동작한다. 양쪽 동작은 테이프가 나선 방식으로 로드 주위에 감겨지도록 동시에 발생한다.

도2B에서는 도2A의 감김공정이 그 길이의 대략 절반 정도로 포머(23) 주위를 감고 있는 테이프(21)의 후 단계를 나타낸 도면이다. 제1클램프(241)가 컨베이어 기구(20)에서 철회됨으로서, 제2탄성-하중 클램프(242)가 테이프와의 접촉부로 밑으로부터 전해진다. 제2클램프는 멈춤 핀(243)을 가진 약간 오목한 면을 구비한다. 상기 오목 면은 테이프에 압력을 유지하면서, 멈춤 핀(243)이 회전동작 로드(23)를 따라 발생하는 테이프의 미끄러짐성을 방지하여, 나선부가 단단하게 감겨져 유지되게 한다.

테이프(21)의 스트립이 주 포머(23) 둘레에 완전하게 감겨진 후에, 테이프의 제2단부는 돌출부(211)와 유사한 제2단길이 돌출부(도시 않음)를 형성한다. 다음, 로드(23)는 제2형성 소자로 블록(231)의 선형 구동에 의해 이동된다. 상기 이동을 하는 중에, 양쪽 클램프(241, 242)는 제위치을 유지하고 있다.

제2포머(33)의 설정구역에서, 2개 클램프(351, 352)는 도3A에 설명된 바와 같이 돌출부(211)에 테이프를 파지한다. 이전 클램프(241, 242)가 고정해제되고 그리고 형성 로드(23)는 엣지(353)와 미끄럼 접촉하여 축방향으로 이동 된다. 제1포머(23)는 점선으로 나타내었다. 제1클램프(351)는 제2포머(33)를 가진 마운팅 블록(331)에 고정된다. 제2포머(33)의 내부 실린더(332)의 외부 엣지에 대항하여 테이프(21) 일 단부에 돌출부(211)가 밀려진다. 결합 클램프(351)와 제2포머(33)는 동시적으로, 원통형 제2포머(33)의 중앙축 둘레를 회전하여, 이러한 동작을 하는 중에 부동 상태로 놓여 있는 제2클램프(352) 쪽으로 이동한다. 따라서, 제1클램프(351)와 제2클램프(352)는 서로 상관하여 상기 사전-형성된 테이프와 제2형성 소자를 동작시키기 위한 제2메카니즘을 형성한다. 제2포머(33)가 제2클램프에 접근함으로서, 더 많은 로드(23)가 엣지(353) 위를 활주하고 그리고 더 많은 감김부가 로드의 말단부에서 밀려진다. 상기 감김부는 테이프가 주 포머에 완전하게 스트립될 때까지 회전동작하는 제2포머(33)의 내부 실린더(332) 둘레를 감게 된다. 도3B에 설명된 바와 같은 이러한 단계에서는, 사전 형성된 테이프(21)가 제2포머(33)의 내부 실린더(332) 둘레를 완전하게 감고, 2개 클램프(351, 352)에 의해 제위치에서 유지된다.

내부 실린더(332)는, 내부 실린더의 전방면에 압력이 외부 실린더의 전진동작 슬리브가 포머에서 감김 테이프(21)를 압압하는 동안에 구멍 안으로 철회되도록 제2포머(33)의 외부 실린더(333)의 구멍 내에 스프링-장착된다.

공정의 이러한 단계에서는 도1의 2회전 감김 작동기가 공정의 "초록"상태에서 완료된다. 그리고, 그 구조가 안정적이도록, 테이프(21)는 적어도 건조되게 된다. 제2포머(33)가 자유스럽도록, 감김 나선부는 추가로 처리되는 오프-라인을 위해 트레이 또는 어레이로 전달된다.

도4의 도면은 제2포머(33)는 토갑(土匣)(41)의 어레이(40)에 접근하는 상태를 나타낸다. 제2포머가 토갑(41)과 만남으로서, 그 내부 실린더(332)(도3에 도시)의 전방면은 토갑(41)의 리세스 구역(432) 내의 대응 실린더(431)와 결합한다. 제2포머가 토갑에 가깝게 이동함으로서, 탄성-하중을 받는 내부 실린더(332)는 정지상태를 유지하고 그리고 외부 링(333)은 토갑의 리세스(432) 안으로 2회전-감김 나선부를 압압 한다. 테이프의 돌출부 또는 단부를 파지하는 클램프는 나선부를 고정해제하도록 개방된다. 리세스 구역(432)의 외부 경계부는 작동기의 주 나선부의 공칭 외부 직경에 근접 대응하는 직경부를 가진다. 리세스 구역의 경계부의 엣지에는 토갑 내에 테이프가 위치하게 동작하는 것을 도와주는 외형 또는 모서리 깎임부가 형성된다. 다음, 완전하게 형성된 초록 테이프로 채워진 토갑 어레이(40)가 건조작업을 위해 고온 환경에 놓여지고, 오븐에서 소결되는 것과 같이 부가의 처리공정 단계를 위해 준비된다.

상술된 다양한 클램핑 디바이스는 예를 들어 훼스토(Festo)에서 상용 시판하는 공압작동식 작동기를 사용한다. 상용 활용할 수 있는 DC서보모터를 사용하여 성분의 다른 동작이 이루어지게 한다. 모든 성분은 인텔 프로세서 기본 워크스테이션에 저장되어 실시되는 컴퓨터 프로그램의 제어를 받게 된다.

상술된 예의 변경을 당 분야의 기술인은 발명의 범위 내에서 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 예를 들어, 그 직경을 변경하여 그에 따라 작동기의 치수를 변경하는 부분적 변경 방식으로 형성 소자를 설계할 수 있을 것이다. 또한, 이동가능한 토갑으로 제2형성 소자를 대체하여, 토갑에 직접 사전-형성된 테이프를 감을 수도 있다.

Claims (25)

1. 세라믹 디바이스를 제조하는 방법에 있어서, 상기 방법은:

   제1형성 소자 부근으로 초록 상태의 세라믹 테이프를 이송하는 단계와;

   제1형성 소자에 대해 테이프의 제1단부를 고정하는 단계와;

   제1형성 소자 둘레를 테이프가 감도록, 서로 동시적으로 회전운동과 병진운동을 하는 동작과 상관하여 테이프와 제1형성 소자를 동작하는 단계와;

   테이프와 제1형성 소자의 분리가 나선형태로 감겨진 사전-형성된 테이프를 생성하도록, 제1단부의 고정동작부를 이동하는 단계와;

   제2형성 소자에 대해 사전-형성된 테이프의 적어도 일 단부를 고정하는 단계 및;

   제2형성 소자 둘레에 사전-형성된 테이프가 감겨지도록, 상호 적어도 일 회전운동을 하는 동작과 상관하여 사전-형성된 테이프와 제2형성 소자를 동작시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 방법.
2. 제1항에 있어서, 서로 상대적으로 상기 테이프와 제1형성 소자가 동작하는 단계 동안에, 상기 테이프가 상기 제1형성 소자와 처음 접촉하는 지대에서 제1형성 소자로 테이프를 지속적으로 압압하는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 방법.
3. 제2항에 있어서, 서로 상대적으로 상기 테이프와 제1형성 소자가 동작하는 단계 동안에, 상기 테이프가 상기 제1형성 소자와 처음 접촉하는 지대에서 제1형성 소자에 대한 테이프의 미끄러짐이 방지되도록 테이프의 엣지에 힘을 가하는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 방법.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 서로 상대적으로 상기 테이프와 제1형성 소자가 동작하는 단계와 제1단부의 고정동작부를 이동시키는 단계와의 사이에서, 상기 테이프의 제1단부 둘레를 제2클램핑 소자가 에워싸는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 방법.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 테이프와 제1형성 소자를 분리하는 단계는 사전-형성된 테이프 뒤로 유지하는 엣지와 관련하여 제1형성 소자를 동작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 방법.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상호 상관적으로 사전-형성된 테이프와 제2형성 요소를 동작시키는 단계 동안에, 사전-형성된 테이프는 클램핑 소자를 사용하여 양쪽 단부에서 유지되며, 상기 클램핑 소자의 하나는 제2형성 소자에 대하여 상기 사전-형성된 테이프의 일 단부를 고정하고, 나머지 클램핑 소자는 제2형성 소자 둘레의 상관 회전 동작을 실시하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 방법.
7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 제2형성 소자에 대한 고정동작을 이동하여 지지 구조에 감겨진 사전-형성된 테이프를 이송하는 단계와;

   건조작업에 적절한 환경에 상기 지지 구조를 위치하는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 방법.
8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 테이프는 공압작동 디바이스로 조작되는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 방법.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상호 상관적으로 상기 테이프와 제1형성 소자를 동작하는 단계는 제1형성 소자를 회전시키는 단계와 제1형성 소자를 향하는 방향으로 테이프의 감겨지지 않은 부분을 이송시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 방법.
10. 제9항에 있어서, 상호 상관적으로 상기 테이프와 제1형성 소자를 동작하는 단계는 테이프가 감겨진 축을 따라서 제1형성 소자를 병진운동하는 단계를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 방법.
11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상호 상관적으로 상기 테이프와 제1형성 소자를 동작하는 단계에서, 상기 테이프는 제1형성 소자 주위를 나선형으로 감는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 방법.
12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1형성 소자는 원통형인 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 방법.
13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 테이프는 전기-활성재 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 방법.
14. 초록 상태의 세라믹 디바이스를 제조하는 장치에 있어서, 상기 장치는:

    제1형성 소자와;

    제1형성 소자에 대해 테이프의 제1단부를 고정하는 제1클램핑 기구와;

    제1형성 소자 둘레를 상기 테이프가 감아서 사전 형성된 테이프를 형성하도록, 서로 동시적으로 회전운동과 병진운동을 하는 동작과 상관하여 테이프와 제1형성 소자를 동작하는 제1메카니즘과;

    제2형성 소자와;

    제2형성 소자에 대해 사전-형성된 테이프의 적어도 일 단부를 고정하는 제2클램핑 기구 및;

    제2형성 소자 둘레에 사전-형성된 테이프가 감겨지도록, 상호 적어도 일 회전운동을 하는 동작과 상관하여 사전-형성된 테이프와 제2형성 소자를 동작시키는 제2메카니즘을 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 장치.
15. 제14항에 있어서, 상기 제1클램핑 기구는, 상기 테이프가 상기 제1형성 소자와 처음 접촉하는 지대에서 조작 시에 제1형성 소자에 테이프를 지속적으로 압압하는 탄성-하중을 받는 면을 구비하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 장치.
16. 제15항에 있어서, 상기 탄성-하중을 받는 면은, 상기 테이프가 상기 제1형성 소자와 처음 접촉하는 지대에서 제1형성 소자에 대한 테이프의 미끄러짐이 방지되도록 테이프의 엣지와 접촉하는데 채택된 힘-전달 부재와 결합하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 장치.
17. 제14항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1형성 소자와 사전-형성된 테이프를 분리하도록 제1형성 소자와의 접촉부를 만드는 스트립핑 엣지를 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 장치.
18. 제14항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2클램핑 기구는 제2형성 소자에 테이프의 일 단부를 고정하기 위한 제1클램핑 소자와 테이프의 타 단부를 고정하기 위한 제2클램핑 소자를 구비하며, 상기 제2메카니즘은 상기 제2형성 소자 주위를 제2클램핑 소자가 상대적으로 회전하도록 배치된 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 장치.
19. 제18항에 있어서, 건조작업 동안에 형성된 테이프를 지지하는데 채택된 리세스를 가진 1개 이상의 토갑(土匣)을 부가로 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 장치.
20. 제14항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 클램핑 디바이스는 공압 작동되는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 장치.
21. 제14항 내지 제20항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1형성 소자는 원통형 로드인 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 장치.
22. 제14항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1메카니즘은 제1형성 부재를 회전시키도록 배열된 회전 구동부와 제1형성 부재를 향하는 방향으로 테이프가 이송되도록 배열된 컨베이어 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 장치.
23. 제22항에 있어서, 상기 제1메카니즘은 부가로, 테이프가 감겨진 축을 따라서 제1형성 부재가 이송하도록 배열된 선형 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 디바이스 제조 장치.
24. 제1항 내지 제23항 중 어느 한 항에 따르는 방법 또는 장치를 사용하여 만들어진 세라믹 구조체.
25. 제24항의 세라믹 구조체는 전기-활성 세라믹 구조체인 것을 특징으로 하는 세라믹 구조체.