KR20050082142A - 연마 패드의 기재 패드와 이를 이용한 다층 패드 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 패드 내부에 미세 공극이 존재하지 않으며, 10~100 Shore D의 경도 및 1~10%의 압축률을 가지는 화학적 기계적 연마 패드의 기재 패드.
- 제 1항에 있어서, 기재 패드의 두께는 500 ~ 2500 미크로미터인 것을 특징으로 하는 기재 패드.
- 제 1항에 있어서, 기재 패드는 폴리우레탄, PVC, 폴리비닐 알코올, 폴리 아크릴산, 폴리아크릴아미드, 폴리에틸렌 옥사이드, 말레산 공중합체, 메틸 셀룰로오즈, 및 카복시메틸 셀룰로오즈로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나 이상에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 기재 패드.
- 제 1항에 있어서, 기재 패드는 1차 반응기에 폴리우레탄, PVC, 폴리비닐 알코올, 폴리아크릴산, 폴리아크릴아미드, 폴리에틸렌 옥사이드, 말레산 공중합체, 메틸셀룰로오즈, 및 카복시메틸 셀룰로오즈로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나 이상을 반응시켜 프리 폴리머를 1차 합성하고, 2단계에서 상기 프리 폴리머와 폴리올 반응기 또는 암모니아 반응기를 갖는 물질을 무게비로 3:1 ~ 2:1까지 반응시켜 완전 경화시켜서 제조된 것임을 특징으로 하는 기재 패드.
- 패드 내부에 미세 공극이 존재하지 않으며, 10~100 Shore D의 경도와 1~10%의 압축률 값을 가지는 기재 패드를 이용하여 제조한 다층의 연마 패드.
- 제 5항에 있어서, 다층의 연마 패드는 연마를 수행하는 연마층을 갖는 연마 패드와 이를 지지하는 기재 패드로 이루어진 것을 특징으로 하는 다층의 연마 패드.
- 제 5항에 있어서, 다층의 연마 패드는 기재 패드의 두께 500 ~ 2500 미크로미터를 포함하여 총 2000 ~ 4000 미크로미터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층의 연마 패드.
- 제 5항에 있어서, 기재 패드는 폴리우레탄, PVC, 폴리비닐 알코올, 폴리 아크릴산, 폴리아크릴아미드, 폴리에틸렌 옥사이드, 말레산 공중합체, 메틸 셀룰로오즈, 및 카복시메틸 셀룰로오즈로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나 이상에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 다층의 연마 패드.
- 제 5항에 있어서, 기재 패드는 1차 반응기에 폴리우레탄, PVC, 폴리비닐 알코올, 폴리아크릴산, 폴리아크릴아미드, 폴리에틸렌 옥사이드, 말레산 공중합체, 메틸셀룰로오즈, 및 카복시메틸 셀룰로오즈로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나 이상을 반응시켜 프리 폴리머를 1차 합성하고, 2단계에서 상기 프리 폴리머와 폴리올 반응기 또는 암모니아 반응기를 갖는 물질을 무게비로 3:1 ~ 2:1까지 반응시켜 완전 경화시켜서 제조된 것임을 특징으로 하는 다층의 연마 패드.
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