KR20050054280A - 액정표시소자 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정표시소자의 씰패턴 주변의 셀갭을 보상하기 위한 액정표시소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 액티브영역 및 게이트/데이터패드가 형성된 패드영역으로 구분된 제1및 제2기판; 상기 제1기판의 액티브영역에 종횡으로 배열되어 액정셀을 정의하는 게이트라인 및 데이터라인; 상기 제1기판의 패드영역에 형성된 게이트패드 및 데이터패드; 상기 게이트라인 및 데이터라인을 게이트패드 및 데이트패드에 각각 연결하는 게이트링크라인 및 데이터링크라인; 상기 게이트링크라인 및 데이터링크라인들 사이에 형성된 적어도 한개 이상의 더미패턴; 상기 게이트/데이터링크라인 및 더미패턴 상부에 형성되며, 제1기판 및 제2기판을 합착하는 씰패턴; 및 상기 제1 및 제2기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성된 액정표시소자를 제공한다.
Description
본 발명은 액정표시소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정패널의 외곽에 형성되는 씰패턴의 단차로 인해 발생하는 셀갭 불균일을 보상하기 위한 액정표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시소자(Liquid Crystal Display; LCD)는 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들이 비디오신호에 따라 광투과율을 조절함으로써 액정패널에 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여, 액정표시소자는 액정셀들이 매트릭스(Matrix) 형태로 배열된 액정패널과, 액정셀들을 구동하기 위한 구동 집적회로(Integrated Circuit;이하, IC라 한다)들을 포함하여 구성된다. 액정패널은 상부기판과 하부기판 그리고, 그 사이에 형성된 액정층으로 구성되며, 상부기판에는 칼라필터가 형성되고, 하부기판에는 액정셀을 정의하는 게이트라인 및 데이터라인과 상기 게이트라인 및 데이터라인의 일단부에 형성되어 구동 IC와 연결되는 게이트/데이터패드가 형성되어 있다.
도 1은 일반적인 액정표시소자의 액정패널을 나타내는 평면도이다.
도면에 도시된 바와 같이, 액정패널(1)은 상부기판(10), 하부기판(20) 및 그 사이에 형성된 액정층(미도시)으로 구성되며, 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어 실제 화상을 표시하는 액티브영역(P)과, 게이트/데이터패드부(16,26)로 구분되며, 상기 게이트/데이터패드부(16,26)는 상부기판(10)과 하부기판(20)이 중첩되지 않는 하부기판(20)의 가장자리 영역에 위치한다.
상부기판(10)에는 블랙매트릭스와, 셀 영역별로 분리되어 도포된 칼라필터들과, 상기 액정층에 신호를 인가하는 공통전극이 형성되어 있다.
하부기판(20)에는 종횡으로 배열되어 액정셀들을 정의하는 게이트라인(21) 및 데이터라인(23)이 배치되어 있으며, 이들은, 게이트/데이터패드부 (16,26)에 각각 접속되어 있다. 또한, 게이트라인(21)과 데이터라인(23)의 교차영역에는 액정셀들을 스위칭하기 위한 박막트랜지스터와, 박막트랜지스터에 접속되어 액정셀을 구동하는 화소전극이 형성되어 있다.
이러한 구성을 가지는 상부기판(10)과 하부기판(20)은 액티브영역(P)의 외곽에 위치하는 씰패턴(25)에 의해 합착된다. 이 경우, 씰패턴(25)이 도포되는 높이에 의해 상부기판(10)과 하부기판(20) 사이에는 일정한 간격의 셀갭이 마련된다. 이렇게 마련된 공간에 액정이 채워지게 되고, 액정 주입전에 산포된 스페이서에 의해 일정한 셀갭이 유지된다.
그러나, 상기 씰패턴(25)은 게이트라인(21)과 연결되는 게이트패드(16) 사이영역(이하, 게이트링크영역) 및 데이터라인(23)과 연결되는 데이터패드(26) 사이영역(이하, 데이터링크영역) 주변에 형성된다.
도 2a 및 도 2b는 도 1의 A영역을 확대하여 나타낸 것으로, 도 2a는 씰패턴과 교차하는 게이트링크영역의 평면도이고, 도 2b는 도 2a의 I-I'의 단면도이다.
도면에 도시된 바와 같이, 게이트패드부(16)에서 연장된 게이트링크영역에는 게이트링크라인(16')과, 그 위에 적층된 게이트절연층(22) 및 그 상부에 형성된 보호막(24)으로 구성된다. 이때, 게이트링크라인(16')은 게이트 금속물질을 투명 기판(20)상에 증착한 후 패터닝함으로써, 게이트패드(16) 및 게이트라인(21)과 일체화되어 형성되고, 상기 보호막(24)은 개구율 향상을 위해 주로 BCB 또는 아크릴과 같은 유기물질을 사용한다. 그리고, 상기 씰패턴(25)은 보호막(24) 위에 형성된다.
그러나, 보호막(24)을 유기물질로 사용하는 경우, 그 하부에 형성된 게이트절연층(22)과 접착특성이 나쁘기 때문에, 보호막(24)과 그 상부에 형성된 실패턴(25)이 상기 게이트절연층(22)으로부터 쉽게 분리되는 문제가 발생하게 된다.
따라서, 종래 이러한 문제점을 해결하기 위해서 상기 게이트링크라인(16')들 사이에 투명기판(20)이 노출되게끔 게이트절연층(22) 및 보호막(24)을 동시에 제거한 후, 제거된 영역(27)에 씰패턴(25)과 기판(20)이 직접 접촉하게 함으로써, 씰패턴(25)을 형성한다.
그러나, 이러한 방법은 씰패턴(25)과 기판(20)과의 접착력을 향상시킬 수 있는 장점이 있는 반면에, 상기 식각영역(27)과 그 주변영역에 단차가 발생하여, 식각영역(27)에 형성되는 씰패턴(25)의 두께가 다른 영역에 비해 낮아지는 문제가 발생하게 된다.
이와 같이, 종래에는 링크영역(게이트링크영역,데이터링크영역)에 형성되는 씰패턴이 함몰되어 두께가 달라짐에 따라 액정패널의 셀갭이 일정하지 않아 휘도가 불균일 해지는 문제가 발생하게 된다.
따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 게이트링크라인 및 데이트링크라인들 사이에 각각 더미패턴을 둠으로써, 셀갭이 균일한 액정표시소자 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.
기타 본 발명의 목적 및 특징은 이하의 발명의 구성 및 특허청구범위에서 상세히 기술될 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정표시소자는 액티브영역 및 패드영역으로 구분된 제1및 제2기판; 상기 제1기판의 액티브영역에 종횡으로 배열되어 액정셀을 정의하는 게이트라인 및 데이터라인; 상기 제1기판의 패드영역에 형성된 게이트패드 및 데이터패드; 상기 게이트라인 및 데이터라인을 게이트패드 및 데이트패드에 각각 연결하는 게이트링크라인 및 데이터링크라인; 상기 게이트링크라인 및 데이터링크라인들 사이에 형성된 적어도 한개 이상의 더미패턴; 상기 게이트/데이터링크라인 및 더미패턴 상부에 형성되며, 제1기판 및 제2기판을 합착하는 씰패턴; 및 상기 제1 및 제2기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성된다.
상기 더미패턴은 게이트절연층 및 그 상부에 형성된 보호층으로 구성되며, 보호층은 유기물질로 형성된다. 그리고, 더미패턴들 사이에 형성된 씰패턴은 제1기판과 직접 접촉되어 형성된다.
또한, 상기 게이트라인 및 데이터라인의 교차영역에 형성된 스위칭소자를 추가로 포함하고, 스위칭소자는 박막트랜지스터이며, 제1기판에 형성된 게이트전극; 상기 게이트전극을 포함하는 제1기판 전면에 형성된 게이트절연층; 상기 게이트절연층 상에 형성된 반도체층; 및 상기 반도체층 상에 형성된 소스/드레인전극을 포함하여 구성된다.
또한, 본 발명에 의한 액정표시소자의 제조방법은 제1 및 제2기판을 준비하는 단계; 상기 제1기판 상에 일체형으로 형성된 게이트라인, 게이트링크라인, 게이트패드 및 게이트전극을 형성하는 단계; 상기 게이트전극을 포함하는 기판 전면에 게이트절연층을 형성하는 단계; 상기 게이트절연막 위에 게이트라인과 교차하여 액정셀을 정의하는 데이터라인, 데이터링크라인, 데이터패드 및 소스/드레인전극을 형성하는 단계; 상기 소스/드레인전극을 포함하는 제1기판 전면에 유기보호막을 형성하는 단계; 상기 게이트링크라인 및 데이터링크라인들 사이에 형성된 게이트절연층 및 보호막을 식각하여 제1기판이 노출되도록 적어도 하나의 더미패턴을 형성하는 단계; 상기 게이트링크/데이터링크라인 및 더미패턴 상부에 제1기판과 접촉하는 씰패턴을 형성하는 단계; 및 상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 보호막은 BCB 또는 아크릴과 같은 유기물질로 형성한다.
그리고, 더미패턴 형성시, 게이트패드 및 데이터패드의 일부를 노출시키며, 상기 보호막 상부에 게이트패드 및 데이터패드와 접속하는 투명전극과 상기 드레인전극과 접속하는 화소전극을 형성하는 단계를 추가로 포함하여 이루어진다.
상기한 바와 같이, 본 발명은 씰패턴이 형성되는 영역에 적어도 하나 이상의 더미패턴을 둠으로써, 씰패턴 함몰에 의한 셀갭 불균일 문제를 해결할 수 있다. 즉, 종래에는 씰패턴의 접착성 향상을 위해 게이트링크라인 및 데이터링크라인(이하, 링크라인이라 한다.)들 사이에 형성된 게이트절연층과 보호막을 동시에 식각하여, 기판과 씰패턴을 직접 접시켜 형성한다. 그러나, 이러한 경우, 링크라인들 사이의 단차로 인해 식각영역에 형성되는 씰패턴이 함몰되기 때문에 셀갭이 불균해지는 문제가 발생되어 있다. 따라서, 본 발명은 상기 식각영역에 씰패턴이 함몰되지 않도록, 별도의 더미패턴을 형성하는 것이다. 이때, 더미패턴들 사이에는 기판이 노출되며, 상기 노출영역을 통해 씰패턴과의 접착성이 향상된다.
아울러, 상기 더미패턴을 형성하는 방법은 종래 링크라인들 사이에 형성된 게이트절연층 및 보호막을 모두 제거하지 않고, 소정간격 이격하는 패턴을 형성함으로써 가능하다.
이하, 첨부한 도면을 통해 상기와 같이 이루어지는 본 발명의 액정표시소자 및 그 제조방법에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
도 3은 본 발명에 의한 액정표시소자를 나타내는 개략적인 평면도이다.
도면에 도시된 바와 같이, 액정표시소자(100)는 상부기판(110), 하부기판(120) 및 그 사이에 형성된 액정층(미도시)으로 구성되며, 액티브영역(P)과 게이트/데이터패드부(116,126)로 구분된다. 이때, 액티브영역(P)은 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어 실제 화상을 표시하는 영역이고, 게이트/데이터패드부 (116,126)는 상부기판(110)과 하부기판(120)이 중첩되지 않는 하부기판(120)의 가장자리 영역에 위치한다.
상부기판(110)에는 블랙매트릭스와, 셀 영역별로 분리되어 도포된 칼라필터들과, 상기 액정층에 신호를 인가하는 공통전극이 형성되어 있다.
하부기판(120)에는 종횡으로 배열되어 액정셀들을 정의하는 게이트라인(121) 및 데이터라인(123)이 형성되어 있으며, 이들은, 게이트/데이터패드부(116,126)에 각각 접속되어 있다. 또한, 게이트라인(121)과 데이터라인(123)의 교차영역에는 액정셀들을 스위칭하기 위한 박막트랜지스터와, 박막트랜지스터에 접속되어 액정셀을 구동하는 화소전극이 형성되어 있다.
이러한 구성을 가지는 상부기판(110)과 하부기판(120)은 액티브영역(P)의 외곽에 위치하는 씰패턴(125)에 의해 합착된다. 이 경우, 씰패턴(125)이 도포되는 높이에 의해 상부기판(110)과 하부기판(120) 사이에는 일정한 간격의 셀갭이 마련된다. 이렇게 마련된 공간에 액정이 채워지게 되고, 액정 주입전에 산포된 스페이서에 의해 일정한 셀갭이 유지된다.
이때, 씰패턴(125)은 게이트라인(121)과 게이트패드(116)를 연결하는 게이트링크라인(121') 및 데이터라인(123)과 데이터패드(126)를 연결하는 데이터링크라인 (123')을 가로지르는 방향으로 형성되는데, 도면에는 상세하게 도시되어 있지 않지만, 상기 게이트링크라인(121')과 데이터링크라인(123')들 사이에는 기판의 일부를 노출시키는 적어도 하나 이상의 더미패턴(미도시)들이 형성되어 있으며, 그 상부에 씰패턴(125)이 형성된다.
상기 더미패턴은 씰패턴(125)이 링크라인들(121',123') 사이에서 함몰되어 셀갭이 불균일해지는 것을 막기 위해 형성되는 것으로, 더미패턴의 수는 하부기판(120)을 노출시키고, 그 상부에 형성되는 씰패턴과의 접촉영역이 확보된다면, 얼마든 가능하다.
도 4a∼4c는 게이트패드(116) 및 게이트링크라인(121')의 일부를 확대하여 나타낸 것으로, 상기 확대도면을 통하여 본 발명을 좀더 상세히 설명한다. 도 4a는 평면도이고, 도 4b는 도 4a의 II-II'선을 따라 절단한 단면도이며, 도 4c는 도 4a의 III-III'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 4a에 도시한 바와 같이, 게이트링크라인(121')들 사이의 식각영역(127) 사이에 다수개의 더미패턴들(140)이 형성되어 있으며, 게이트링크라인(121')들과 수직인 방향으로 씰패턴(125)이 형성된다. 그리고, 상기 씰패턴(125)은 식각영역(127) 및 더미패턴(140)을 모두 감싸도록 형성되어 있으며, 상기 더미패턴(140)은 게이트링크라인(121')의 상부층과 동일한 수직구조를 갖는다. 즉, 도 4b에 도시한 바와 같이, 게이링크라인(121')은 하부기판(120) 위에 형성되고, 그 상부에는 게이트절연층(122) 및 보호층(124)이 형성된다. 따라서, 게이트링크라인(121')의 상부층은 게이트절연층(122) 및 보호층(124)으로 구성되며, 상기 더미패턴(140)은 이와 동일한 구조로 형성된다. 이것은 게이트절연층(122) 및 보호층(124)을 기판의 전면에 형성한 후, 상기 식각영역(127)만 부분적으로 제거했기 때문이다. 따라서, 상기 더미패턴(140)을 형성하기 위하여 별도의 추가공정이 필요없다.
아울러, 상기 더미패턴(140)은 게이트링크라인(121') 사이에 형성되는 씰패턴(125)이 함몰되는 것을 막기 위한 것으로, 종래와 비교할 때(도 2b참조), 더미패턴으로 인해 씰패턴의 함몰면적이 줄어든 것을 확인할 수 있다.
또한, 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 식각영역(127)을 통해 노출된 하부기판(120)은 그 위에 형성된 씰패턴(125)과 직접 접촉하기 때문에, 씰패턴(125)과 기판(120)의 접착력을 더욱 향상시킬 수 있다. 즉, 상기 보호막(124)이 유기물질인 경우, 그 하부에 형성된 게이트절연층(122) 접착성이 약하기 때문에 그 상부에 형성된 씰패턴(125)과 함께 게이트절연층(122)로부터 쉽게 떨어지게 된다. 반면에, 씰패턴(125)은 기판(120) 및 유기보호층(124)과의 접착성이 강하기 때문에, 상기 식각영역(127)을 통해 기판(120)과 접촉 된다면, 비록 더미패턴(140)이 존재하더라도, 기판과의 접착성을 유지할 수 있다. 따라서, 상기 더미패턴(140)은 씰패턴(125)과 기판(120)과의 접착영역만 확보할 수 있다면, 그 갯수에 상관없이 얼마든지 형성할 수 있으며, 그 모양도 다양하게 변형할 수 있다.
도 5a∼5c는 데이터패드(126) 및 데이터링크라인(123')의 일부를 확대하여 나타낸 것이다. 이때, 도 5a는 평면도이고, 도 5b는 도 5a의 IV-IV'선을 따라 절단한 단면도이며, 도 5c는 도 5a의 V-V'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 5a에 도시한 바와 같이, 데이터링크라인(123')들 사이의 식각영역(127) 사이에 적어도 하나 이상의 더미패턴들(140)이 형성되어 있으며, 데이터링크라인(123')들과 수직인 방향으로 씰패턴(125)이 형성된다. 그리고, 상기 씰패턴(125)은 식각영역(127) 및 더미패턴(140)을 모두 감싸도록 형성된다. 또한, 그 수직구조는, 도 5b에 도시한 바와 같이, 게이트절연층(122) 및 보호층(124)으로 구성되며, 데이터링크라인(123') 사이에 형성되는 씰패턴(125)이 함몰되는 것을 막기 위한 것으로, 종래와 비교할 때(도 2b참조), 더미패턴으로 인해 씰패턴의 함몰면적이 줄어든 것을 확인할 수 있다.
또한, 도 5c에 도시한 바와 같이, 상기 데이터링크라인(123')은 하부기판(120) 위에 형성되는 게이트절연층(122) 위에 형성되고, 데이터링크라인(123') 상부에는 보호막(124)이 형성된다. 이때, 보호막(124)은 유기물질로 이루어져 있다. 아울러, 상기 식각영역(127)을 통해 노출된 하부기판(120)은 그 위에 형성된 씰패턴(125)과 직접 접촉하기 때문에, 씰패턴(125)과 기판(120)의 접착력을 더욱 향상시킬 수 있다. 즉, 상기 보호막(124)이 유기물질인 경우, 그 하부에 형성된 게이트절연층(122)과의 접착성이 약하기 때문에 그 상부에 형성된 씰패턴(125)과 함께 게이트절연층(122)로부터 쉽게 떨어지게 된다. 반면에, 씰패턴(125)은 기판(120) 및 유기보호층(124)과의 접착성이 강하기 때문에, 상기 식각영역(127)을 통해 기판(120)과 접촉 된다면, 비록 더미패턴(140)이 존재하더라도, 기판과의 접착성을 유지할 수 있다. 따라서, 상기 더미패턴(140)은 씰패턴(125)과 기판(120)과의 접착영역만 확보할 수 있다면, 그 갯수에 상관없이 얼마든지 형성할 수 있으며, 그 모양도 다양한 형태로 변형할 수 있다.
상기한 바와 같이, 본 발명은 보호층을 유기물질로 형성하는 경우, 게이트링크라인 및 데이터링크라인들 사이에 게이트절연층 및 보호막의 일부를 제거하고, 이들이 제거된 식각영역에 적어도 하나 이상의 더미패턴을 둠으로써, 기판과 씰패턴과의 접착성을 향상시키고, 상기 식각영역에서 씰패턴이 함몰하는 것을 방지하여 샐겝을 균일하게 유지할 수 있는 액정표시소자를 제공하며, 그 제조방법은 다음과 같다.
도 6a∼6d는 본 발명에 의한 액정표시소자의 제조방법을 공정단면도로써, 박막트랜지스터 영역(T 영역), 게이트링크라인 영역(G 영역) 및 데이터링크라인(D-영역)으로 나누어 설명하도록 하다.
먼저, 도 6a에 도시한 바와 같이, 하부기판(120) 상에 제1금속막을 증착한 후, 이를 패터닝하여 게이트전극(121a) 및 게이트링크라인(121')을 형성한다. 그리고, 그 상부에 SiOx 또는 SiNx와 같은 무기물질을 증착하여 게이트절연층(122)을 형성한다. 그 다음, 게이트절연층(122) 상에 비정질 실리콘층 및 n+층을 순차적으로 적층한 후, 이를 패터닝하여 반도체층(129)을 형성한다.
이후에, 상기 반도체층(129)을 포함하는 기판 전면에 제2금속막을 증착한 다음, 이를 패터닝함으로써, 소스/드레인전극(123a,123b) 및 데이터링크라인(123')을 형성한다.
그 다음, 도 6b에 도시한 바와 같이, 소스/드레인전극(123a,123b) 및 데이터링크라인(123')을 포함하는 기판 전면에 BCB 또는 아크릴과 같은 유기물질(124a)을 도포한다.
이어서, 도 6c에 도시한 바와 같이, 상기 유기물질(124a)을 식각함으로써, 드레인전극(123b)의 일부를 노출시키는 콘택홀(150)을 형성한다. 아울러, 게이트링크라인(121') 및 데이터링크라인(123')들 사이에 형성된 게이트절연층(122) 및 보호막(124)을 동시에 제거함으로써, 식각영역(127) 사이에 적어도 하나 이상의 더미패턴(140)을 형성한다. 이후에, 상기 보호막(124) 상에 ITO(indium tin oixde) 또는 IZO(indium zinc oxide)와 같은 투명한 전도성물질을 증착한 후, 이를 패터닝함으로써, 드레인전극(123b)과 전기적으로 연결된 화소전극(135)을 형성한다.
그리고 나서, 게이트/데이터링크라인(121',123') 및 더미패턴(140) 상부에 씰패턴(125)을 형성한다. 이후에, 도면에 도시하지는 않았지만, 상부기판과 합착하여 균일한 셀갭을 형성하고, 액정층을 형성한다.
위에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 씰패턴의 접착성을 향상시키기 위해 게이트링크라인 및 데이터링크라인들 사이에 형성되는 식각영역에 씰패턴이 함몰되는 것을 방지하기 위하여 상기 식각영역에 적어도 하나 이상의 더미패턴을 형성하는 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 게이트링크라인 및 데이트링크라인들 사이에 각각 더미패턴을 둠으로써, 셀갭을 균일하도록하며, 셀갭 불균일에 의한 얼룩발생을 방지하여 화질을 더욱 향상시킨다.
도 1은 일반적인 액정패널을 도시한 평면도.
도 2a는 도 1의 A영역을 확대하여 도시한 도면.
도 2b는 도 2의 I-I'선을 절단하여 나타낸 도면.
도 3은 본 발명에 의한 액정표시소자를 개략적으로 나타낸 평면도.
도 4a는 본 발명의 게이트링크라인을 상세히 나타낸 도면.
도 4b는 도 4a의 II-II'선을 절단하여 나타낸 도면.
도 4c는 도 4a의 III-III'선을 절단하여 나타낸 도면.
도 5a는 본 발명의 데이터링크라인을 상세히 나타낸 도면.
도 5b는 도 4a의 IV-IV'선을 절단하여 나타낸 도면.
도 5c는 도 4a의 V-V'선을 절단하여 나타낸 도면.
도 6a∼6d는 본 발명에 의한 액정표시소자의 제조공정을 나타낸 공정단면도.
*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***
110: 상부기판 120: 하부기판
121: 게이트라인 121': 게이트링크라인
123: 데이터라인 123': 데이터링크라인
122: 게이트절연막 124: 보호막
125: 씰패턴 116: 게이트패드
126: 데이터패드 127: 식각영역
135: 화소전극 140: 더미패드
Claims (10)
- 액티브영역 및 게이트/데이터패드가 형성된 패드영역으로 구분된 제1및 제2기판;상기 제1기판의 액티브영역에 종횡으로 배열되어 액정셀을 정의하는 게이트라인 및 데이터라인;상기 제1기판의 패드영역에 형성된 게이트패드 및 데이터패드;상기 게이트라인 및 데이터라인을 게이트패드 및 데이트패드에 각각 연결하는 게이트링크라인 및 데이터링크라인;상기 게이트링크라인 및 데이터링크라인들 사이에 형성된 적어도 한개 이상의 더미패턴;상기 게이트/데이터링크라인 및 더미패턴 상부에 형성되며, 제1기판 및 제2기판을 합착하는 씰패턴; 및상기 제1 및 제2기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성된 액정표시소자.
- 제1항에 있어서,상기 더미패턴은 게이트절연층 및 그 상부에 형성된 보호층으로 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
- 제2항에 있어서,상기 보호층은 유기물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
- 제1항에 있어서,상기 더미패턴들 사이에 형성된 씰패턴은 제1기판과 직접 접촉하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
- 제1항에 있어서,상기 게이트라인 및 데이터라인의 교차영역에 형성된 스위칭소자를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
- 제5항에 있어서, 상기 스위칭소자는 박막트랜지스터이며,제1기판에 형성된 게이트전극;상기 게이트전극을 포함하는 제1기판 전면에 형성된 게이트절연층;상기 게이트절연층 상에 형성된 반도체층; 및상기 반도체층 상에 형성된 소스/드레인전극을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액정표시소자.
- 제1 및 제2기판을 준비하는 단계;상기 제1기판 상에 일체형으로 형성된 게이트라인, 게이트링크라인, 게이트패드 및 게이트전극을 형성하는 단계;상기 게이트전극을 포함하는 기판 전면에 게이트절연층을 형성하는 단계;상기 게이트절연막 위에 게이트라인과 교차하여 액정셀을 정의하는 데이터라인, 데이터링크라인, 데이터패드 및 소스/드레인전극을 형성하는 단계;상기 소스/드레인전극을 포함하는 제1기판 전면에 유기보호막을 형성하는 단계;상기 게이트링크라인 및 데이터링크라인들 사이에 형성된 게이트절연층 및 보호막을 식각하여 제1기판이 노출되도록 적어도 하나의 더미패턴을 형성하는 단계;상기 게이트링크/데이터링크라인 및 더미패턴 상부에 제1기판과 접촉하는 씰패턴을 형성하는 단계; 및상기 제1기판 및 제2기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 액정표시소자의 제조방법.
- 제7항에 있어서,상기 보호막은 BCB 또는 아크릴과 같은 유기물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.
- 제7항에 있어서,상기 더미패턴 형성시, 게이트패드 및 데이터패드의 일부를 노출시키는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.
- 제7항에 있어서, 상기 보호막 상부에 게이트패드 및 데이터패드와 접속하는 투명전극과 상기 드레인전극과 접속하는 화소전극을 형성하는 단계를 추가로 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 제조방법.
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CN103489875A (zh) * | 2013-09-25 | 2014-01-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板、显示装置及阵列基板的制作方法 |
CN106229310A (zh) * | 2016-08-04 | 2016-12-14 | 武汉华星光电技术有限公司 | 阵列基板及其制作方法 |
KR20200039263A (ko) * | 2018-10-05 | 2020-04-16 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치 |
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2003
- 2003-12-04 KR KR1020030087634A patent/KR20050054280A/ko active Search and Examination
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