KR20050041696A

KR20050041696A - 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치, 그제조 방법 및 라미네이션 시트의 도포 방법

Info

Publication number: KR20050041696A
Application number: KR1020030076950A
Authority: KR
Inventors: 이종상; 이진병; 송병관; 문철희; 노창석
Original assignee: 삼성에스디아이 주식회사
Priority date: 2003-10-31
Filing date: 2003-10-31
Publication date: 2005-05-04
Also published as: KR100570641B1

Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치, 그 제조 방법 및 라미네이션 시트의 도포 방법에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 원통형 부재 및 상기 원통형 부재의 외주에 롤(roll) 형태로 감긴 다수의 라미네이션 시트(lamination sheet)를 포함하며, 상기 각 라미네이션 시트는 상기 원통형 부재의 축을 따라 일정한 간격으로 상호 이격되어 있는 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP)용 라미네이션 시트 장치, 이를 이용한 제조 방법 및 라미네이션 시트의 도포 방법을 특징으로 한다. 이러한 본 발명을 통하여 소재 비용이 절감되는 동시에 공정이 신속하고 편리해지는 이점이 있다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치, 그 제조 방법 및 라미네이션 시트의 도포 방법{LAMINATION SHEET APPARATUS FOR A PLASMA DISPLAY PANEL, MANUFACTURING METHOD THEREOF AND COATING METHOD OF THE LAMINATION SHEET}

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치, 그 제조 방법 및 라미네이션 시트의 도포 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하나의 기판에 다수의 플라즈마 디스플레이 패널을 제조하는 경우에 적합한 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 장치, 그 제조 방법 및 라미네이션 시트의 도포 방법에 관한 것이다.

일반적인 반도체 제조 공정에서는 상이한 성질을 가진 층들을 적층하여 복합적인 성질을 가진 반도체 소자를 제조하기 위하여 기판상에 다수의 적층물을 순차적으로 적층하여 반도체를 제조하고 있다. 이러한 반도체 제조 공정에서는 포토리소그래피법(photolithography), 리프트오프법(lift-off) 및 스크린 인쇄법(screen printing) 등 여러가지 적층 방법이 사용되고 있다.

이 중에서 특히 제조 공정이 간편한 포토리소그래피법이 널리 사용되고 있다. 포토리소그래피법은 반도체 집적 회로를 구성하는 부품, 배선, 박막들을 구현하기 위하여 사진 인쇄 기술을 이용한다. 즉, 포토리소그래피법은 반도체 웨이퍼상에 감광 성질을 가지는 포토레지스트(photoresist, PR)를 얇게 바른 후, 원하는 마크스 패턴을 올려놓고 빛을 가하여 사진을 찍는 것과 동일한 방법으로 회로를 구성한다.

여기서, 포토레지스트는 설계된 반도체 회로를 웨이퍼에 전사시킬 때, 빛의 조사 여부에 따라 다르게 감응함으로써 미세 회로 패턴을 형성할 수 있도록 하는 노광 공정용 감광 재료로서, 노광에 의하여 방식성의 피막을 형성하는 물질을 말하며, 사진 제판용 감광액 이외에 각종 금속판의 정밀 가공을 행하는 포토에칭과 IC(integrated circuit), LSI(large scale integration) 등 반도체의 미세 가공시에 이용된다.

상기한 포토레지스트는 특히 라미네이션 시트 형태로 많이 사용되고 있는데, 두께의 균일성 및 공정 단순화의 이점으로 인하여 액정 디스플레이 패널(liquid display panel, LCD) 및 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP)에 다량으로 사용되고 있다. 플라즈마 디스플레이 패널의 경우, 상기한 라미네이션 시트 형태로는 전극 형성용 포토레지스트 뿐만 아니라, 유전체 및 격벽도 사용되고 있다.

다만, 상기한 바와 같은 라미네이션 시트를 사용하여 다수의 기판을 제조하는 경우 공정상의 문제점이 존재한다. 예를 들면, 플라즈마 디스플레이 패널의 경우 하나의 기판상에 다수의 플라즈마 디스플레이 패널을 제조시, 각 플라즈마 디스플레이 패널을 이격시켜야 하는데, 이격 공간에까지 라미네이션 시트를 도포하여 플라즈마 디스플레이 패널의 각 부품을 장착하는 경우에는 유전체를 제거하는 것이 불가능할 뿐만 아니라 FPC(flexible printed circuit, 연성회로기판)와의 연결을 위하여 반드시 노출되어야 하는 전극 부분까지 덮어 버리는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 하나의 기판상에 다수의 플라즈마 디스플레이 패널을 제조하는 경우에 적합한 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치, 그 제조 방법 및 라미네이션 시트의 도포 방법을 제공하고자 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치는, 원통형 부재 및 상기 원통형 부재의 외주에 롤(roll) 형태로 감긴 다수의 라미네이션 시트(lamination sheet)를 포함하며, 상기 각 라미네이션 시트는 상기 원통형 부재의 축을 따라 일정한 간격으로 상호 이격되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트는, 기지 필름(base film), 상기 기지 필름상에 부착된 전사 물질, 및 상기 전사 물질상에 부착된 커버 필름(cover film)을 포함할 수 있다.

그리고 상기 라미네이션 시트간의 간격은 200~400mm가 바람직하다. 전사 물질은 전극용 재료, 유전체용 재료, 및 격벽용 재료 중 어느 하나일 수 있다.

본 발명의 또다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치의 제조 방법은, 기지 필름을 준비하는 단계, 상기 기지 필름상에 페이스트 형태의 전사 물질을 도포하는 단계, 상기 도포한 전사 물질을 건조하는 단계, 상기 건조한 전사 물질상에 커버 필름을 도포하여 라미네이션 시트를 제조하는 단계 및 상기 라미네이션 시트를 원통형 부재에 장착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 라미네이션 시트를 상기 원통형 부재에 장착하는 단계는, 상기 라미네이션 시트를 상기 원통형 부재에 감는 경우,, 원하는 간격마다 커터를 설치하여 다수의 라미네이션 시트가 일정한 간격으로 상호 이격되도록 감기는 단계를 더 포함할 수 있다.

또는 상기 라미네이션 시트를 상기 원통형 부재에 장착하는 단계는, 상기 원통형 부재 및 상기 라미네이션 시트의 폭에 따라 상기 원통형 부재에 장착될 상기 라미네이션 시트의 수가 정해지는 제1 단계, 하나의 라미네이션 시트를 상기 원통형 부재에 감는 제2 단계, 상기 라미네이션 시트와 폭이 동일한 또다른 라미네이션 시트를, 상기 라미네이션시트와 일정 간격으로 이격되도록 상기 원통형 부재 축을 따라 상기 원통형 부재에 감는 제3 단계 그리고 상기 정해진 라미네이션 시트의 전체 수에 도달할 때까지 상기 제3 단계를 반복하는 제4 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 또다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 도포 방법은 기판을 일정한 온도로 가열하는 단계, 상기 기판의 도포 시작 위치에 일정한 간격으로 이격된 다수의 라미네이션 시트를 부착하는 단계, 상기 라미네이션 시트를 열압착시켜 상기 기판상에 전사시키는 단계 및 상기 기판의 도포 종료 위치까지 상기 라미네이션 시트를 부착한 후 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치를 나타낸다. 도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치는 보빈(bobbin)(20)인 원통형 부재 외주면에 다수의 롤 형태로 라미네이션 시트(10)가 상호 이격되어 감겨 있는 것을 특징으로 한다. 도 1은 본 발명의 제1 실시예로서 2개의 라미네이션 시트(10)가 롤 형태로 보빈(20)에 감겨 있는 것을 도시하고 있다. 이와 같이 다수의 라미네이션 시트(10)가 상호 이격되어 보빈(20)에 감겨져 있어서, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 공정시 하나의 유리 기판에 다수의 플라즈마 디스플레이 패널을 형성하기에 용이한 이점이 있다.

도 2는 본 발명의 제2 실시예로서, 3개의 라미네이션 시트(10)가 롤 형태로 보빈(20)인 원통형 부재에 감긴 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치를 도시하고 있다. 상기한 실시예는 본 발명의 예시에 불과하며, 본 발명이 여기에 한정되는 것은 아니다. 상기한 바와 같이, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치는 보빈의 길이 및 이에 따른 라미네이션 시트의 폭에 따라 일정 간격을 두고 다수의 라미네이션 시트를 보빈에 감을 수 있다.

도 3은 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트의 단면도로서, 라미네이션 시트의 적층 구조를 나타내고 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트(10)는 기지 필름(base film)(31), 상기 기지 필름상에 부착된 전사 물질(32) 및 상기 전사 물질상에 부착된 커버 필름(cover film)(33)을 포함하고 있다.

여기서, 전사 물질(32)로는 플라즈마 디스플레이 패널에 형성하기 위하여 전극용 재료, 유전체용 재료, 및 격벽용 재료 등을 그 예로 들 수 있다. 전극용 재료로는 투명 전극의 경우 ITO(indium tin oxide) 및 SnO₂, 버스 전극의 경우 Cr-Cu-Cr 또는 Ag, 어드레스 전극의 경우 Ag가 널리 사용되고 있다. 또한, 유전체로는 저융점 유리 분말을 주성분으로 하는 페이스트, 즉 유리 페이스트(glass paste)가 사용되고 있다. 그리고 격벽으로는 저융점 유리 분말에 유기 용액(vehicle)(유기용제+수지)이나 각종 필러(filler)(알루미나 또는 각종 금속)를 첨가한 재료가 사용되고 있다.

도 3에 도시한 기지 필름(31)의 경우, 라미네이션 시트를 기판에 부착시에 롤러에 의하여 자동으로 탈착되며, 커버 필름(33)이 전사 물질(32)에 도포된 상태로 기판상에 부착되게 된다. 커버 필름(33)은 저융점 매체를 사용하므로, 부착 공정에 뒤이은 소성 공정시 가열에 따라 증발하여 없어지고 기판상에 전사 물질(32)만이 남는다.

도 1 내지 도 3에 도시한 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치의 경우 다음과 같은 제조 공정에 따라 제조한다. 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치의 경우, 크게 라미네이션 시트와 원통형 장치인 보빈으로 나누어지는 데, 먼저 라미네이션 시트를 제조한 다음에 이를 보빈에 결합하여 제조한다. 먼저 라미네이션 시트는 도 3에 도시한 바와 같은 순서로 적층물을 순차적으로 적층하여 제조한다. 도 3에 도시한 바와 같이, 먼저 기지 필름을 준비하고, 기지 필름상에 페이스트 형태의 전사 물질을 도포한다. 다음으로, 도포한 전사 물질을 건조하고, 건조한 전사 물질상에 커버 필름을 도포하여 라미네이션 시트를 제조한다. 이와 같이 제조한 라미네이션 테이프를 보빈에 장착한다.

라미네이션 시트를 보빈에 장착한 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치 제조시에는 크게 2가지 방법을 사용할 수 있는데, 첫번째로는 라미네이션 시트를 보빈에 감는 경우, 원하는 간격마다 커터를 설치하여 다수의 라미네이션 시트가 일정한 간격으로 상호 이격되도록 감기게 할 수 있다. 도 4에는 커터(40)를 사용하여 라미네이션 시트(10)를 커팅하는 공정을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 4에 도시한 바와 같이, 미리 준비한 라미네이션 시트(10)의 시단부를 보빈(20)에 고정한 다음 라미네이션 시트(10)의 종단부(미도시)를 팽팽하게 잡아당기면서 보빈(20)의 양축에 물린 모터 등(미도시)을 회전시켜서 라미네이션 시트(10)를 팽팽하게 보빈(20)에 감는다. 이 경우, 라미네이션 시트(10)의 사이사이마다 그 하단에 커터(40)가 설치되어 있어서 보빈(20)의 회전에 따라 자동으로 라미네이션 시트(10)를 절단한다. 커팅될 라미네이션 시트(10)는 그 시단부가 보빈(20)에 고정되어 있지 않으므로, 커팅에 따라 하부로 떨어져 없어지게 된다. 이와 같은 방법을 통하여 상호 이격된 다수의 라미네이션 시트를 제조할 수 있으며, 특히 제조 공정이 신속하게 이루어진다는 이점이 있다.

두번째로는 미리 제조된 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트를 일정 폭으로 커팅하여 순차로 보빈에 일정한 간격을 두고 장착함으로써 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치를 제조할 수 있다. 이 경우, 사전에 미리 보빈의 길이, 라미네이션 시트의 폭 및 라미네이션 시트간의 간격을 파악하여 정해진 수의 라미네이션 시트를 보빈에 장착하는 것이 바람직하다. 이 경우, 먼저 라미네이션 시트를 보빈에 장착한 다음, 정해진 길이만큼 이격시켜 또다른 라미네이션 시트를 보빈에 장착한다. 상기와 같은 과정을 반복하여 정해진 수의 라미네이션 시트를 보빈에 장착한다. 이 방법은 사용하지 않고 버리는 라미네이션 시트가 없다는 점에서 경제적이다.

도 5는 상기와 같은 방법으로 제조한 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트를 기판상에 도포하는 과정을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 5에 도시한 바와 같이, 보빈(20)을 시계 방향으로 회전시키면서 기판(50)상에 화살표로 표시한 코팅 방향으로 라미네이션 시트(10)를 도포한다. 보빈(20)에 감긴 라미네이션 시트(10)의 외면측에는 기지 필름이 부착되어 있고, 가운데에는 전사 물질이 존재하며, 내면측에는 커버 필름이 부착되어 있다. 따라서, 도 5에는 도시하지 않았지만, 보빈(20)의 회전에 따라 외면측에 부착된 기지 필름이 별도의 롤러를 통하여 벗겨지면서 커버 필름 및 전사 물질이 기판(50)상에 부착되게 된다. 이와 같은 공정을 통하여 라미네이션 시트(10)를 기판(50)상에 도포한 후, 소성 공정을 거치면 전사 물질만이 기판(50)상에 남게 되어 적층 공정이 완료된다.

또한, 도 5는 하나의 유리 기판에 다수의 플라즈마 디스플레이 패널을 형성하는 경우를 예시하였다. 도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트를 사용하여 하나의 유리 기판상에 다수의 플라즈마 디스플레이 패널을 형성할 수 있다. 전술한 바와 같이, 하나의 유리 기판에 다수의 플라즈마 디스플레이 패널을 형성하는 경우, 격벽 및 유전체 등을 라미네이션 시트로 도포시 각 플라즈마 디스플레이 패널간의 경계에서 FPC와 연결되는 전극이 덮이지 않도록 하는 것이 중요한데, 본 발명의 라미네이션 시트 장치를 사용하면 이러한 염려가 전혀 없다. 특히, 유전체의 경우도 필요없는 부분의 제거가 불가능하므로, 하나의 유리 기판상에 다수의 플라즈마 디스플레이 패널을 형성하기 위해서는 본 발명과 같은 형태의 라미네이션 시트를 사용하여 적층하는 것이 필수적이다. 이러한 라미네이션 시트 장치에 있어서, 각 라미네이션 시트간의 간격은 유전체의 경우, 200mm 이상이 적합하다. 이는 유전체의 경우, 기판 전면에 걸쳐서 도포하되, 전극 단자부 부근을 제외하고는 도포하는 데 필요한 길이이다. 또한, 격벽을 라미네이션 시트로 형성하는 경우, 플라즈마 디스플레이 패널의 유효화면영역에만 형성하면 되므로 각 라미네이션 시트간의 간격은 400mm 이하가 적합하다. 따라서 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치의 경우, 각 라미네이션 시트간의 간격을 200~400mm의 범위내에서 유지하는 것이 바람직하다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치를 이용하여, 하나의 유리 기판에 다수의 플라즈마 디스플레이 패널을 형성하는 데 있어서 손쉽게 전극, 유전체 및 격벽을 형성할 수 있는 이점이 있다.

이외에도 본 발명은 반도체 소자 및 액정 디스플레이 패널에 적용가능하며, 소재 비용이 절감되는 동시에 공정이 신속하고 편리해지는 이점이 있다.

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 설명하였지만, 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치의 제1 실시예를 나타낸 사시도이다.

도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치의 제2 실시예를 나타낸 사시도이다.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트의 단면도이다.

도 4는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트를 절단하면서 원통형 부재에 감는 방법을 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트를 기판상에 적층하는 방법을 개략적으로 나타낸 사시도이다.

Claims

원통형 부재; 및

상기 원통형 부재의 외주에 롤(roll) 형태로 감긴 다수의 라미네이션 시트(lamination sheet)

를 포함하며,

상기 각 라미네이션 시트는 상기 원통형 부재의 축을 따라 일정한 간격으로 상호 이격되어 있는 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP)용 라미네이션 시트 장치.
제1항에 있어서,

상기 라미네이션 시트는,

기지 필름(base film);

상기 기지 필름상에 부착된 전사 물질; 및

상기 전사 물질상에 부착된 커버 필름(cover film)

을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치.
제2항에 있어서,

상기 전사 물질은 전극용 재료, 유전체용 재료, 및 격벽용 재료 중 어느 하나인 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 간격은 200~400mm인 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치.
기지 필름을 준비하는 단계;

상기 기지 필름상에 페이스트 형태의 전사 물질을 도포하는 단계;

상기 도포한 전사 물질을 건조하는 단계;

상기 건조한 전사 물질상에 커버 필름을 도포하여 라미네이션 시트를 제조하는 단계; 및

상기 라미네이션 시트를 상기 원통형 부재에 장착하는 단계

를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치의 제조 방법.
제5항에 있어서,

상기 라미네이션 시트를 상기 원통형 부재에 장착하는 단계는,

상기 라미네이션 시트를 상기 원통형 부재에 감는 경우, 원하는 간격마다 커터를 설치하여 다수의 라미네이션 시트가 일정한 간격으로 상호 이격되도록 감기는 단계를 더 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치의 제조 방법.
제5항에 있어서,

상기 라미네이션 시트를 상기 원통형 부재에 장착하는 단계는,

상기 원통형 부재 및 상기 라미네이션 시트의 폭에 따라 상기 원통형 부재에 장착될 상기 라미네이션 시트의 수가 정해지는 제1 단계;

하나의 라미네이션 시트를 상기 원통형 부재에 감는 제2 단계;

상기 라미네이션 시트와 폭이 동일한 또다른 라미네이션 시트를, 상기 라미네이션시트와 일정 간격으로 이격되도록 상기 원통형 부재 축을 따라 상기 원통형 부재에 감는 제3 단계; 및

상기 정해진 라미네이션 시트의 전체 수에 도달할 때까지 상기 제3 단계를 반복하는 제4 단계

를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치의 제조 방법.
제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 전사 물질은 전극용 재료, 유전체용 재료, 및 격벽용 재료 중 어느 하나인 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트 장치의 제조 방법.
기판을 일정한 온도로 가열하는 단계;

상기 기판의 도포 시작 위치에 일정한 간격으로 이격된 다수의 라미네이션 시트를 부착하는 단계;

상기 라미네이션 시트를 열압착시켜 상기 기판상에 전사시키는 단계; 및

상기 기판의 도포 종료 위치까지 상기 라미네이션 시트를 부착한 후 절단하는 단계를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널용 라미네이션 시트의 도포 방법.