KR20050034455A - 반도체 제조 설비용 베이크 오븐 - Google Patents

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Abstract

반도체 제조 설비용 베이크 오븐에 대해서 개시되어 있다.
본 발명에 따른 반도체 제조 설비용 베이크 오븐은, 일측벽에 챔버 개폐문이 설치된 오븐 본체와; 상기 오븐 본체 내부에서 회전 가능하게 설치되며 그 상면에 케리어박스를 로딩시키는 원판형이며 영역구분부재를 포함하는 회전로딩판과; 상기 회전로딩판 중앙부에 설치되는 회전축과; 상기 회전축 하부에 설치되어 동력을 발생시키는 모터; 및 상기 오븐 본체의 회전동작을 제어하는 방향설정버튼과 위치표시부를 포함하는 동작제어기;로 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 제조 설비용 베이크 오븐{BAKE OVEN FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT}
본 발명은 반도체 제조 설비용 베이크 오븐(bake oven)에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 오븐내 회전이 가능한 원판형의 회전 로딩판을 통해 케리어 박스의 로딩·언로딩 작업시 편리하도록 한 반도체 제조 설비용 베이크 오븐에 관한 것이다.
일반적으로 EDS(Electrical Die Sorting)라인은 반도체 웨이퍼(wafer)를 구성하고 있는 각 칩(chip)의 전기적 특성을 파악하여 양, 불량을 선별하고, 불량이 야기된 칩을 수리하기 위한 공정이다. 본 공정 진행시 웨이퍼 내의 칩을 테스트하여 불량 칩에 대하여 잉크를 찍어 육안으로 식별할 수 있게 표시되어진다. 그 후 불량 칩에 찍힌 잉크를 건조하기 위해 베이크 공정이 행해지고 있다.
도 1은 종래의 반도체 제조 설비용 베이크 오븐을 도시한 사시도이다.
도 1에서 보면, 종래의 반도체 제조 설비용 베이크 오븐은 오븐 본체(10) 일측벽에 챔버개폐문(11)이 형성되고, 내부에 베이크될 제품 즉 케리어 박스(12a, 12b)를 로딩시키는 철로된 로딩판(12)이 형성된 형태이다.
여기서 로딩판(12)은 열품의 통로인 균일한 크기의 홀(13)을 가지며, 케리어 박스(12a, 12b)가 로딩판(12) 상면에 로딩된 후 소정의 균일한 온도를 갖는 열품순환에 의해 베이크되어진다.
따라서, 챔버개폐문(11)을 통하여 케리어 박스(12a, 12b)가 챔버(14)내부로 인입되어 로딩판(13) 상면에 로딩된 후, 챔버(14)가 밀폐된 상태에서 계속적으로 열품이 순환하면서 케리어 박스(12a, 12b)에 온도를 가한다.
오븐 본체(10) 외부에는 각 케리어 박스 작업 현황이 기록된 작업현황기록표(미도시)가 놓이게 되며, 각 케리어 박스에 작업시간이 끝나게 되면 작업자가 직접 챔버(14)내에 석면장갑을 낀 손을 넣어 케리어 박스(12a, 12b)를 인출하게 된다.
종래의 베이크 오븐은 도 1과 같이 먼저 베이크 시간이 완료된 케리어 박스(12b)를 인출시 작업자가 직접 석면장갑을 끼고, 케리어 박스(12a)를 선인출시키고, 베이크 챔버(14) 내에 깊숙히 손을 넣어 끄집어 내야 하므로 번거롭고,높은 온도의 열에 의한 작업자의 안전사고 위험이 크다. 이러한 높은 온도에 의한 안전사고의 우려, 선입 선출의 번거로움 등과 같은 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상술한 문제점들을 해소하기 위하여 안출된 것으로서, 베이크 챔버 내 원판형의 회전 로딩판을 형성하여 작업 공간을 효율적으로 활용하여 생산성 향상을 도모하고, 작업자의 안전사고를 방지 할 수 있는 반도체 제조 설비용 베이크 오븐을 제공하고자 한다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 반도체 제조 설비용 베이크 오븐은 일측벽에 챔버개폐문이 설치된 오븐 본체와; 상기 본체 내부에서 회전가능하게 설치되며 그 상면에 케리어박스를 로딩시키는 회전 로딩판과; 상기 회전 로딩판 중앙부에 설치되는 회전축과; 상기 회전축 하부에 설치되어 동력을 발생시키는 모터; 및 상기 오븐 본체의 회전동작을 제어하는 동작제어기를 포함하는 것을 특징으로한다.
여기서, 상기 회전로딩판 상면의 중앙부에서 방사형태로 배치되고 상기 케리어박스가 로딩될 각 영역을 구분시키는 영역구분부재가 마련된 것이 바람직하다.
그리고, 상기 회전로딩판 상면 외주부에 형성되고 상기 케리어 박스의 각 유닛별 번호를 표시하는 영역인시표가 마련된 것이 바람직하다.
또한, 상기 모터는 양방향 회전이 이루어지며, 상기 동작제어기는 상기 모터와 유선(有線)으로 연결되고, 상기 동작제어기는 상기 회전로딩판의 회전방향을 선택하는 방향설정버튼이 마련됨과 동시에 상기 동작제어기는 상기 회전 로딩판의 회전 위치를 나타내는 위치표시부가 마련되는 것이 바람직하다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 구체적인 일 실시예를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 반도체 제조 설비용 베이크 오븐의 바람직한 일 실시예를 도시한 사시도이다. 도 3은 도 2의 회전 로딩판 및 회전축을 나타낸 사시도이다.
본 발명에 따른 반도체 제조 설비용 베이크 오븐은, 도 2, 도 3에 도시된 바와 같이 오븐 본체(20)에는 챔버개폐문(21)이 설치된다. 상기 오븐 본체(20) 내부에는 회전축(23) 상부에 회전로딩판(22)이 설치되는데, 회전로딩판(22)은 원판형의 철판으로써 판면에 열풍 통로로 소정의 지름으로 홀(25)이 다수개가 설치된다. 그리고 상기 회전 로딩판(22)상면 중심에서 방사형태로 각 로딩 영역을 구분하는 영역구분부재(24)가 소정의 개수로 설치되어 있다. 또한 상기 회전 로딩판(22) 상면 외주부에는 영역인식표(26)가 설치되게 된다. 상기 회전로딩판(22) 중심 하부에 원주형의 회전축(23)이 설치되며, 상기 회전축(23)을 회전시키는 모터(27)가 연결되어 있다. 나아가 상기 오븐 본체(20) 외부에 설치되며 모터(27)와 유선(有線)으로 연결되어 있는 동작제어기(28)를 갖는다. 상기 동작제어기(28)에는 방향설정버튼(28a)과 위치표시부(28b)가 설치되어 있다.
다음은 상술한 바와 같은 구성에 의한 회전 로딩판(22)의 작용에 대해서 설명한다. 먼저 케리어 박스(22a)를 동작제어기(28)의 방향설정버튼(28a)을 사용하여 회전 로딩판(22)을 회전시켜 챔버개폐문(21) 앞으로 각 케리어박스(22a) 유닛별 번호와 동일한 영역인식표(26) 번호의 영역이 오게 한 후, 로딩시킨다.
이때, 동작제어기(28)의 위치표시부(28b)에서는 회전로딩판(22)의 회전위치(상기에서 영역인식표(26)가 표시된 영역이 챔버개폐문 앞으로 위치 된 것을 설명함.)를 표시하여 작업자가 직접 챔버측을 확인하지 않아도 쉽게 조작이 가능하다.
이어, 챔버개폐문(21)을 닫은 후 원하는 작업시간이 경과하면 언로딩을 행한다. 언로딩시에도 로딩시와 마찬가지로 동일한 방법 즉, 동작제어기(28)의 방향설정버튼버튼(28a)을 사용하여 회전로딩판(22)을 회전시켜 언로딩 하면 되며, 상기 모터(27)의 양방향 회전이 가능한 이유로 챔버개폐문(21)과 가까운 영역을 택할 수 있다.
본 발명에 의하면, 회전기능을 갖는 회전로딩판을 사용하여 로딩 및 언로딩 작업을 수행하게 되므로 작업자가 챔버 내로 손을 깊이 넣어 발생되는 안전 사고 를 방지할 수 있고, 작업 공간의 효율성이 증대된다.
그리고, 영역구분부재와 영역인식표를 설치함으로써 정확한 케리어 박스의 인출입을 통해 작업의 정확성을 기 할 수 있다.
나아가 오븐 본체 외부의 동작제어기를 설치함으로써 작업의 편리성을 도모한다.
본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 변형이 가능함은 명백하다.
도 1은 종래의 반도체 제조 설비용 베이크 오븐을 도시한 사시도이고,
도 2는 본 발명의 반도체 제조 설비용 베이크 오븐의 바람직한 일 실시예를 도시한 사시도,
도 3은 상기 도 2의 회전로딩판 및 회전축을 나타낸 사시도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
20 : 오븐 본체 21 : 챔버개폐문
12 : 로딩판 22a : 케리어 박스
22 : 회전 로딩판 24 : 영역구분부재
26 : 영역인시표 25 : 홀
23 : 회전축 27 : 모터
28 : 동작제어기 28a : 방향설정버튼
28b : 위치표시부

Claims (7)

  1. 일측벽에 챔버 개폐문이 설치된 오븐 본체;
    상기 본체 내부에서 회전가능하게 설치되며 그 상면에 케리어박스를 로딩시키는 회전로딩판;
    상기 회전로딩판 중앙부에 설치되는 회전축;
    상기 회전축 하부에 설치되어 동력을 발생시키는 모터; 및
    상기 오븐 본체의 회전동작을 제어하는 동작제어기를 포함하는 것을 특징으로하는 반도체 제조 설비용 베이크 오븐.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 회전 로딩판 상면의 중앙부에서 방사형태로 배치되고 상기 케리어박스가 로딩될 각 영역을 구분시키는 영역구분부재를 더 포함하는 것을 특징으로하는 반도체 제조설비용 베이크 오븐.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 로딩판 상면 외주부에 설치되고 상기 케리어박스의 유닛별 번호를 표시하는 영역인식표를 더 포함하는 것을 특징으로하는 반도체 제조설비용 베이크 오븐.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 모터는 양방향 회전이 이루어지는 것을 특징으로하는 반도체 제조설비용 베이크 오븐.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 동작제어기는 상기 모터와 유선(有線)으로 연결됨을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 베이크 오븐.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 동작제어기는 상기 회전로딩판의 회전방향을 선택하는 방향설정버튼이 마련된 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 베이크 오븐.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 동작제어기는 상기 회전 로딩판의 회전 위치를 나타내는 위치표시부가 마련되는 것을 특징으로하는 반도체 제조설비용 베이크오븐.
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