KR20050034010A - 반도체 소자 및 그 제조방법 - Google Patents

반도체 소자 및 그 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20050034010A
KR20050034010A KR1020030069782A KR20030069782A KR20050034010A KR 20050034010 A KR20050034010 A KR 20050034010A KR 1020030069782 A KR1020030069782 A KR 1020030069782A KR 20030069782 A KR20030069782 A KR 20030069782A KR 20050034010 A KR20050034010 A KR 20050034010A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gate
sidewall
floating gate
polysilicon
oxide film
Prior art date
Application number
KR1020030069782A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100514526B1 (ko
Inventor
정진효
Original Assignee
동부아남반도체 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 동부아남반도체 주식회사 filed Critical 동부아남반도체 주식회사
Priority to KR10-2003-0069782A priority Critical patent/KR100514526B1/ko
Priority to US10/962,818 priority patent/US7217973B2/en
Publication of KR20050034010A publication Critical patent/KR20050034010A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100514526B1 publication Critical patent/KR100514526B1/ko
Priority to US11/731,124 priority patent/US7501319B2/en

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
    • H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
    • H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
    • H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
    • H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
    • H01L21/8232—Field-effect technology
    • H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
    • H01L21/8238—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS
    • H01L21/823814—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS with a particular manufacturing method of the source or drain structures, e.g. specific source or drain implants or silicided source or drain structures or raised source or drain structures
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
    • H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
    • H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
    • H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
    • H01L21/8232—Field-effect technology
    • H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
    • H01L21/8238—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS
    • H01L21/823828—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS with a particular manufacturing method of the gate conductors, e.g. particular materials, shapes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
    • H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
    • H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
    • H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
    • H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
    • H01L21/8232—Field-effect technology
    • H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
    • H01L21/8238—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS
    • H01L21/823864—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS with a particular manufacturing method of the gate sidewall spacers, e.g. double spacers, particular spacer material or shape
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
    • H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
    • H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
    • H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
    • H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
    • H01L29/66484—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET with multiple gate, at least one gate being an insulated gate
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
    • H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
    • H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
    • H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
    • H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
    • H01L29/66553—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET using inside spacers, permanent or not
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
    • H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
    • H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
    • H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
    • H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
    • H01L29/66568—Lateral single gate silicon transistors
    • H01L29/66575—Lateral single gate silicon transistors where the source and drain or source and drain extensions are self-aligned to the sides of the gate
    • H01L29/66583—Lateral single gate silicon transistors where the source and drain or source and drain extensions are self-aligned to the sides of the gate with initial gate mask or masking layer complementary to the prospective gate location, e.g. with dummy source and drain contacts
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
    • H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
    • H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
    • H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
    • H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
    • H01L29/66568—Lateral single gate silicon transistors
    • H01L29/66643—Lateral single gate silicon transistors with source or drain regions formed by a Schottky barrier or a conductor-insulator-semiconductor structure
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
    • H01L29/772—Field effect transistors
    • H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
    • H01L29/7831—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with multiple gate structure
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
    • H01L29/772—Field effect transistors
    • H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
    • H01L29/7833—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with lightly doped drain or source extension, e.g. LDD MOSFET's; DDD MOSFET's
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B69/00—Erasable-and-programmable ROM [EPROM] devices not provided for in groups H10B41/00 - H10B63/00, e.g. ultraviolet erasable-and-programmable ROM [UVEPROM] devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/26—Bombardment with radiation
    • H01L21/263—Bombardment with radiation with high-energy radiation
    • H01L21/265—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation
    • H01L21/26586—Bombardment with radiation with high-energy radiation producing ion implantation characterised by the angle between the ion beam and the crystal planes or the main crystal surface

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Non-Volatile Memory (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 가상 소스/드레인 확장영역을 가지는 나노급 반도체 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 상기 목적은 반도체기판 상에 배치되는 폴리실리콘 게이트, 상기 폴리실리콘 게이트 및 기판의 사이에 형성된 게이트 산화막, 상기 폴리실리콘 게이트의 하부 측면에 배치되는 사이드월 플로팅 게이트, 상기 사이드월 플로팅 게이트와 기판 사이에 형성된 제 1 블럭 산화막, 상기 폴리실리콘 게이트와 사이드월 플로팅 게이트 사이에 형성된 제 2 블럭 산화막, 상기 사이드월 플로팅 게이트 양측 하부의 반도체 기판에 형성된 소오스/드레인 영역 및 상기 폴리실리콘 게이트와 사이드월 플로팅 게이트의 측벽에 형성된 사이드월 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자에 의해 달성된다.
따라서, 본 발명의 반도체 소자 및 그 제조방법은 사이드월 플로팅 게이트로 사용된 고농도 불순물로 도우핑된 폴리실리콘에 전자(정공) 또는 전하를 주입하여 사이드월 플로팅 게이트 문턱전압을 원하는 수준으로 낮출 수 있기 때문에 사이드월 플로팅 게이트에 바이어스를 가하지 않더라도 사이드월 플로팅 게이트 아래에 반전층을 형성시켜 소스/드레인 확장 영역을 만들 수 있어 추가적인 바이어스를 위한 콘택을 형성시킬 필요가 없어 공정을 단순화시킬 수 있을 뿐만 아니라 트랜지스터가 차지하는 면적도 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 사이드월 플로팅 게이트 아래에 형성된 소스/드레인 확장 영역의 두께가 매우 얇기 때문에 폴리실리콘 게이트를 나노급 이하로 줄이더라도 단채널 효과가 효과적으로 억제되어 신뢰성 있는 MOS 트랜지스터를 만들 수 있고, 높은 전류에서 동작하는 고성능 트랜지스터와 낮은 누설전류의 트랜지스터를 동시에 구현할 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체 소자 및 그 제조방법{Semiconductor device and fabricating method thereof}
본 발명은 반도체 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 가상 소스/드레인 확장영역을 가지는 나노급 반도체 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
종래의 이온 주입공정으로 소오스/드레인 확장영역을 형성시키는 경우 후속 열공정에 의해 주입된 불순물이 채널영역으로 확산되기 때문에 게이트 길이가 0.06㎛ 이하인 경우 소오스/드레인이 붙어버려 사실상 모스 트랜지스터를 만들 수 없으며 게이트 길이가 0.06㎛ 이상인 경우도 소오스/드레인 접합 깊이를 10㎚ 이하로는 형성시킬 수 없기 때문에 단채널 효과(Short Channel Effect)가 심하게 발생하는 문제점이 있다. 따라서 0.1㎛ 이하의 나노 트랜지스터의 소오스/드레인 확장 영역 형성의 대안으로 사이드월 게이트를 사용한 가상 소오스/드레인 확장 영역(Virtual Source/Drain Extention Area) 구조가 관심을 받고 있는 상황이다.
도 1은 세 개의 게이트 전극을 갖는 모스 트랜지스터 구조를 도시한 것으로 이러한 구조는 1993년도에 발표된 “Threshold Voltage Controlled 0.1㎛ MOSFET Utilizing Inversion Layer as Extreme Shallow Source/Drain” H.Noda, F.Murai, and S.Kimura, in IEDM Tech. Dig.,1993, pp.123~126에 자세히 언급되어 있다.
NMOS의 경우 P형 실리콘 기판 (11)위에 주게이트 산화막(14)과 N형 불순물로 고농도 도핑된 폴리실리콘 주게이트 (17)가 있으며 주게이트의 양측면에 N형 불순물로 고농도 도핑된 폴리실리콘 사이드월 게이트 (18)가 존재한다. 상기 사이드월 게이트와 주게이트 사이에 절연을 위한 산화막(16)이 존재하며 각각의 사이드월 게이트와 P형 실리콘 기판 사이에 사이드월 게이트 산화막(15)이 존재한다.
상기 사이드월 게이트에 일정한 전압을 걸어주면 상기 사이드월 게이트 아래에 반전층이 형성되어 모스 트랜지스터의 소오스/드레인 확장 영역(Source/Drain Extention Area)과 동일한 역할을 하게 되며, 주게이트에 전압을 걸어주면 채널이 형성되어 드레인(13)과 소오스(12) 사이에 전류가 흐른다.
일반적인 고농도 N+ 폴리실리콘 게이트를 사용하는 경우 일함수 차이는 -1.0V 내외이고 페르미 포텐셜은 0.4 내지 0.45V 사이로 고정되어 있는 값이기 때문에 문턱전압 조정을 위해서는 실리콘 기판의 농도를 조절하여 공핍 영역의 전하량을 조절하거나 실리콘 기판 표면에 N형 불순물이나 P형 불순물을 주입하는 방법을 이용한다.
일 예로 고농도 N+ 폴리실리콘 게이트를 사용하고 실리콘 기판의 농도가 1.017 ions/cm3, 게이트 산화막의 두께가 50Å이며 실리콘 기판 표면에 불순물을 주입하지 않은 긴채널 NMOS 트랜지스터의 문턱전압은 대략 0.1V 정도이며 단채널 트랜지스터는 이보다 다소 낮은 문턱전압을 가지게 된다. 따라서 사이드월 게이트에 이러한 문턱전압보다 훨씬 높은 전압, 예를 들어 2 내지 3V를 걸어주면 사이드월 게이트 아래에 충분한 양의 반전층이 형성되어 원하는 소오스/드레인 확장 영역을 형성시킬 수 있다.
만약 상기 조건에서 문턱전압을 높이고 싶으면 P형 불순물을 실리콘 기판 표면에 이온 주입하고, 문턱전압을 낮추고 싶으면 N형 불순물을 실리콘 기판 표면에 이온 주입하면 된다. 하지만 상기와 같이 문턱전압을 조절하기 위해 불순물을 주입할 경우 후속 열공정에 의해 불순물이 확산되어 폴리실리콘 게이트의 문턱전압을 변화시킬 수 있기 때문에 바람직하지 않으며, N형 불순물을 실리콘 기판 표면에 이온 주입하더라도 문턱전압을 -1 내지 -2V 이하로 낮추기 힘들기 때문에 가상 소스/드레인 확장 영역을 얻기 위해서는 반드시 사이드월 게이트에 전압을 가해야 한다.
상기와 같이 사이드월 게이트에 일정 전압을 걸어주기 위해 사이드월 게이트에 콘택을 형성시켜야 하는 문제가 있으며 사이드월 게이트 문턱전압 조정 목적으로 주입된 이온들이 후속 열공정을 거치면서 확산되어 주게이트 영역의 문턱전압에 영향을 줄 수도 있다. 뿐만 아니라 사이드월 게이트와 주게이트 사이, 사이드월 게이트와 바디 사이, 사이드월 게이트와 소스/드레인 사이에 추가적으로 기생커패시턴스가 생성되는데 이러한 기생커패시턴스에 의해 인가되는 사이드월 전압의 전파속도가 느려지게 되어 상대적으로 트랜지스터 특성이 떨어진다. 또한 사이드월 게이트에 일정 전압을 계속 인가하여야 하기 때문에 추가적인 누설 전류가 발생하여 전력소모가 증가하게 되고 사이드월 게이트와 주게이트 사이의 절연막이 열화하는 문제 등이 발생할 수 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 사이드월 플로팅 게이트로 사용된 고농도 불순물로 도우핑된 폴리실리콘에 전자(정공) 또는 전하를 주입하여 사이드월 플로팅 게이트 문턱전압을 원하는 수준으로 낮출 수 있기 때문에 사이드월 플로팅 게이트에 바이어스를 가하지 않더라도 사이드월 플로팅 게이트 아래에 반전층을 형성시켜 가상 소스/드레인 확장 영역을 만들 수 있어 추가적인 바이어스를 위한 콘택을 형성시킬 필요가 없어 공정을 단순화시킬 수 있을 뿐만 아니라 트랜지스터가 차지하는 면적도 줄일 수 있는 반도체 소자 및 그 제조방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.
또한, 상기와 같이 형성된 가상 소스/드레인 확장 영역은 두께가 매우 얇기 때문에 폴리실리콘 게이트를 나노급 이하로 줄이더라도 단채널 효과가 효과적으로 억제되어 신뢰성 있는 반도체 소자 및 그 제조방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적은 반도체기판 상에 배치되는 폴리실리콘 게이트, 상기 폴리실리콘 게이트 및 기판의 사이에 형성된 게이트 산화막, 상기 폴리실리콘 게이트의 하부 측면에 배치되는 사이드월 플로팅 게이트, 상기 사이드월 플로팅 게이트와 기판 사이에 형성된 제 1 블럭 산화막, 상기 폴리실리콘 게이트와 사이드월 플로팅 게이트 사이에 형성된 제 2 블럭 산화막, 상기 사이드월 플로팅 게이트 양측 하부의 반도체 기판에 형성된 소오스/드레인 영역 및 상기 폴리실리콘 게이트와 사이드월 플로팅 게이트의 측벽에 형성된 사이드월 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자에 의해 달성된다.
본 발명의 상기 목적은 반도체 기판의 상부에 제 1 블럭 산화막과 희생막을 형성하고, 상기 희생막을 식각하여 트렌치를 형성하는 단계, 상기 트렌치의 양 측벽에 사이드월 플로팅 게이트를 형성하는 단계, 상기 사이트월 플로팅 게이트에 제 2 블럭 산화막을 형성하는 단계, 상기 구조물이 형성된 기판에 폴리실리콘을 증착하고 패터닝하여 폴리실리콘 게이트를 형성하는 단계, 상기 희생막을 제거하고 상기 폴리실리콘 게이트와 사이드웰 플로팅 게이트의 표면에 폴리 산화막을 형성하는 단계, 상기 구조물이 형성된 기판에 불순물 이온을 주입하여 소스/드레인 영역을 형성하는 단계, 상기 사이드월 플로팅 게이트에 캐리어 또는 전하를 주입하는 단계 및 상기 폴리실리콘 게이트와 사이드월 플로팅 게이트의 측벽에 사이드월 스페이서를 형성하는 단계를 포함하는 반도체 소자의 제조방법에 의해서 달성된다.
본 발명은 매우 얇은 가상 소스/드레인 확장영역을 형성하여 게이트 길이를 나노급으로 설계하여도 단채널 효과가 발생하지 않으며, 게이트 길이를 나노급으로 설계함으로써 불순물의 확산에 의하여 소스/드레인이 붙어버려 트랜지스터가 동작하지 않는 문제를 가상 소스/드레인 확장영역이라는 방식으로 해결하는 새로운 방식의 반도체 소자를 제공하고 있다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다.
본 발명에 따른 반도체 소자는 반도체기판 상에 배치되는 폴리실리콘 게이트, 상기 폴리실리콘 게이트의 하부 측면에 배치되는 사이드월 플로팅 게이트, 상기 플로팅 게이트와 사이드월 플로팅 게이트 사이에 형성된 제 2 블럭 산화막, 상기 폴리실리콘 게이트 및 기판의 사이에 형성된 제 1 블럭 산화막, 상기 사이드월 플로팅 게이트 양측 하부의 반도체 기판에 형성된 불순물 영역, 상기 폴리실리콘 게이트와 사이드월 플로팅 게이트의 측벽에 형성된 사이드월 스페이서를 포함한다.
상기 폴리실리콘 게이트는 하부 길이가 상부 길이보다 적은 T자형이며, 상기 사이드월 스페이서와 폴리실리콘 게이트 사이, 그리고 사이드월 스페이서와 사이드월 플로팅 게이트 사이에는 폴리 산화막이 형성되어 있다.
도 2a 내지 도 2k은 본 발명에 따른 반도체 제조 공정을 나타낸 공정단면도이다.
먼저, 도 2a는 웰의 형성공정이다. P형 기판(101)상에 소자들간의 전기적 분리를 위한 소자분리막(102)이 형성된다. 이어 상기 기판상에 포토레지스트막을 형성하고, 사진 식각 공정으로 패터닝하여 포토레지스트 패턴을 형성하고, 상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 사용하여 NMOS 영역이 형성될 활성 영역상에 P형 불순물 이온을 주입하여 상기 기판 내에 P형 웰(103)을 형성하고 상기 포토레지스트 패턴을 제거한다. 이어 상기 P형 웰 형성방법과 동일한 방법으로 PMOS 영역이 형성될 활성 영역상에 N형 불순물 이온을 주입하여 N형 웰(104)을 형성한다.
다음, 도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 반도체 기판의 전면에 제 1 블럭 산화막(105)을 형성하고, 상기 제 1 블럭 산화막의 상부에 희생막(106)이 형성된다. 상기 희생막은 산화막 또는 질화막이 바람직하다. 이어, 패터닝공정으로 게이트가 형성될 영역의 상기 희생막을 제거하여 트렌치를 형성한다.
다음, 도 2c에 도시된 바와 같이, 상기 트렌치가 형성된 기판의 상부에 폴리실리콘을 증착하고 이방성 식각을 실시하여 사이드월 플로팅 게이트(107)를 형성시킨다. 상기 폴리실리콘은 고농도 N형 불순물로 도핑된 것을 사용한다. 상기 폴리실리콘의 증착 전에 전 공정에서 형성된 제 1 블럭 산화막이 트렌치 형성 중에 제거되었다면 다시 산화막을 형성하고 폴리실리콘을 증착한다.
다음, 도 2d에 도시된 바와 같이, 폴리실리콘 게이트(110)가 형성될 영역에 남아 있는 제 1 블럭 산화막(105)을 제거한 후 게이트 산화막(108)과 제 2 블럭 산화막(109)을 동시에 형성한다. 상기 게이트 산화막과 제 2 블럭 산화막은 산화(Oxidation)공정, LPCVD 또는 HDP CVD 등을 이용하여 형성시킬 수 있으며, 가장 바람직하게는 산화공정을 이용하여 형성한다.
다음, 도 2e에 도시된 바와 같이, 상기 구조물이 형성된 기판에 폴리실리콘을 증착하고 패터닝하여 폴리실리콘 게이트(110)를 형성한다.
다음, 도 2f에 도시된 바와 같이, 식각공정으로 상기 희생막을 제거하고, 이어 재산화막 공정을 통해 폴리실리콘 게이트와 사이드월 플로팅 게이트의 표면에 폴리 산화막(111)을 형성한다.
다음, 도 2g에 도시된 바와 같이, PMOS 영역에 포토레지스트를 이용하여 마스크(112)를 형성하고, N형 불순물 이온을 주입하여 NMOS 영역에 소스/드레인 영역(113)을 형성한다.
다음, 도 2h에 도시된 바와 같이, NMOS 트랜지스터 게이트 양측면에 형성되어 있는 사이드월 플로팅 게이트에 정공 또는 양전하를 주입한다. 상기 정공 또는 양전하 주입시 각도를 주며 주입하며, 이 때 웨이퍼를 90°씩 4회전하여 주입한다. 사이드월 플로팅 게이트로 사용된 고농도 N형 불순물로 도핑된 폴리실리콘에 정공 또는 양전하를 주입하여 사이드월 플로팅 게이트의 문턱전압을 원하는 수준으로 낮출 수 있다. 따라서, 상기 사이드월 플로팅 게이트에 바이어스를 가하지 않더라도 상기 사이드월 플로팅 게이트 아래에 반전층을 형성하여 가상 소스/드레인 확장 영역을 만들 수 있어 추가적인 바이어스를 위한 콘택을 형성시킬 필요가 없다.
사이드월 플로팅 게이트 아래에 형성된 가상 소스/드레인 확장 영역은 대략 50Å정도로 매우 좁기 때문에 폴리실리콘 게이트를 나노급 이하로 스케일링(Scaling)시키더라도 단채널 효과가 억제된다. 또한 사이드월 플로팅 게이트의 문턱전압을 낮추기 위한 불순물 이온 주입공정이 불필요하여, 불순물 주입에 따른 폴리실리콘 게이트의 문턱전압이 변화하는 문제가 발생하지 않는다.
다음, 도 2i와 2j에 도시된 바와 같이, PMOS 영역 상부에 형성된 마스크를 제거하고, NMOS 영역에 포토레지스트를 이용하여 마스크(114)를 형성하고, P형 불순물 이온을 주입하여 PNMOS 영역에 소스/드레인 영역(115)을 형성한다. 그리고 PMOS 트랜지스터 게이트 양측면에 형성되어 있는 사이드월 플로팅 게이트에 전자 또는 음전하를 주입한다. 상기 전자 또는 음전하 주입시 각도를 주며 주입하며, 이때 웨이퍼를 90°씩 4회전하여 주입한다. 이어 상기 PMOS 영역에 상부에 형성된 마스크를 제거한다.
다음, 도 2k에 도시된 바와 같이, 폴리실리콘 게이트와 사이드월 플로팅 게이트의 측벽에 사이드월 스페이서(116)를 형성한다. 상기 사이드월 스페이서는 질화막으로 형성하는 것이 바람직하다.
이어, 살리사이드 공정을 통하여 살리사이드층을 형성하고, 금속배선 공정을 통하여 금속배선을 형성한다.
본 발명은 고농도 폴리 실리콘에 정공(전자) 또는 전하를 주입하고, 상기 정공(전자) 또는 전하가 사이드월 플로팅 게이트와 제 1 블럭 산화막 그리고 사이드월 플로팅 게이트와 제 2 블럭 산화막 사이에 형성되는 전위우물에 갖히게 하여 플랫밴드 전압을 낮추어 사이드월 게이트의 문턱전압을 원하는 전압 이하로 낮출 수 있다.
일 예로 고농도 N+ 폴리실리콘 사이드월 플로팅 게이트를 사용하고 실리콘 기판의 농도가 1.017ions/cm3, 게이트 산화막의 두께가 90Å, N+ 폴리실리콘 사이드월 플로팅 게이트 전위우물에 정공 또는 양전하를 2.0-6 C/cm3 주입, 주실리콘 기판 표면에 N형 또는 P형 불순물을 주입하지 않은 긴채널 NMOS 트랜지스터의 문턱전압은 대략 -5V 정도가 된다. 따라서 이렇게 N+ 폴리실리콘 사이드월 플로팅 게이트의 전위우물에 정공 또는 양전하를 주입하면 0V 보다 매우 낮은 문턱전압을 얻을 수 있어 사이드월 플로팅 게이트에 바이어스를 가하지 않더라도 사이드월 게이트 플로팅 아래에 반전층이 형성되어 가상 소오스/드레인 확장 영역을 만들 수 있다.
상기 사이드월 플로팅 게이트의 전위우물에 주입하는 정공 또는 양전하의 양을 조절하여 문턱전압을 변화시킬 수 있다. 즉 주입되는 정공 또는 양전하의 양을 증가시켜 사이드월 플로팅 게이트의 문턱전압을 낮게 만들면, 형성되는 반전층의 양이 증가되어 가상 소오스/드레인 확장 영역의 기생 저항을 감소시켜 높은 전류에서 동작하는 고성능 트랜지스터를 만들 수 있다. 반대로 주입되는 정공 또는 양전하의 양을 감소시켜 사이드월 플로팅 게이트의 문턱전압을 높게 만들면, 형성되는 반전층의 양이 감소되어 가상 소오스/드레인 확장 영역 기생 저항을 증가시켜 낮은 누설전류의 트랜지스터를 만들 수 있다. 또한 제 1 블럭 산화막의 두께를 감소시키거나 유전율이 큰 물질을 사용함으로써 공핍영역 전하량에 의한 문턱전압 증가를 줄일 수도 있다.
상기의 공정으로 제조된 트랜지스터는 폴리실리콘 게이트에 인가된 전압이 제 1 블럭 산화막과 제 2 블럭 산화막의 커플링에 의해 사이드월 플로팅 게이트에 일정량의 전압이 유기되므로 제 2 블럭 산화막의 두께를 제 1 블럭 산화막의 두께보다 상대적으로 얇게 하거나 제 2 블럭 산화막의 유전율이 제 1 블럭 산화막의 유전율보다 큰 유전 물질을 사용하여 커플링비를 0.5 이상으로 할 경우 폴리실리콘 게이트에 인가된 전압의 0.5배 이상의 전압이 사이드월 플로팅 게이트에 유기된다. 따라서, 사이드월 플로팅 게이트에 유기된 전압이 사이드월 플로팅 게이트 아래의 반전층을 더욱 증가시키므로 가상 소스/드레인 확장영역의 기생저항값이 더욱 줄어들게 되어 ON 상태에서 전류가 많이 흐르며, Off 상태에서는 사이드월 플로팅 게이트에 전압이 유기되지 않으므로 상대적으로 반전층이 감소하여 가상 소스/드레인 확장 영역의 기생저항값이 커져 Off 상태에서 전류가 더욱 적게 흐른다. 상기와 같이 ON/OFF 상태에 따라 반전층의 양을 동적으로 변화시킬 수 있다.
상세히 설명된 본 발명에 의하여 본 발명의 특징부를 포함하는 변화들 및 변형들이 당해 기술 분야에서 숙련된 보통의 사람들에게 명백히 쉬워질 것임이 자명하다. 본 발명의 그러한 변형들의 범위는 본 발명의 특징부를 포함하는 당해 기술 분야에 숙련된 통상의 지식을 가진 자들의 범위 내에 있으며, 그러한 변형들은 본 발명의 청구항의 범위 내에 있는 것으로 간주된다.
따라서, 본 발명의 반도체 소자 및 그 제조방법은 사이드월 플로팅 게이트로 사용된 고농도 불순물로 도우핑된 폴리실리콘에 전자(정공) 또는 전하를 주입하여 사이드월 플로팅 게이트 문턱전압을 원하는 수준으로 낮출 수 있기 때문에 사이드월 플로팅 게이트에 바이어스를 가하지 않더라도 사이드월 플로팅 게이트 아래에 반전층을 형성시켜 가상 소스/드레인 확장 영역을 만들 수 있어 추가적인 바이어스를 위한 콘택을 형성시킬 필요가 없어 공정을 단순화시킬 수 있을 뿐만 아니라 트랜지스터가 차지하는 면적도 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 사이드월 플로팅 게이트 아래에 형성된 가상 소스/드레인 확장 영역의 두께가 약 50Å 정도로 매우 얇기 때문에 폴리실리콘 게이트를 나노급 이하로 줄이더라도 단채널 효과가 효과적으로 억제되어 신뢰성 있는 MOS 트랜지스터를 만들 수 있고, 높은 전류에서 동작하는 고성능 트랜지스터와 낮은 누설전류의 트랜지스터를 동시에 구현할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래기술에 의한 스택 게이트 구조의 플래쉬 메모리 소자의 단면도.
도 2a 내지 도 2k는 본 발명에 의한 반도체 제조 공정의 공정단면도.

Claims (14)

  1. 반도체 소자에 있어서,
    반도체기판 상에 배치되는 폴리실리콘 게이트;
    상기 폴리실리콘 게이트 및 기판의 사이에 형성된 게이트 산화막;
    상기 폴리실리콘 게이트의 하부 측면에 배치되는 사이드월 플로팅 게이트;
    상기 사이드월 플로팅 게이트와 기판 사이에 형성된 제 1 블럭 산화막;
    상기 폴리실리콘 게이트와 사이드월 플로팅 게이트 사이에 형성된 제 2 블럭 산화막;
    상기 사이드월 플로팅 게이트 양측 하부의 상기 반도체 기판에 형성된 소오스/드레인 영역; 및
    상기 폴리실리콘 게이트와 상기 사이드월 플로팅 게이트의 측벽에 형성된 사이드월 스페이서
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 사이드월 스페이서와 상기 폴리실리콘 게이트 사이, 그리고 상기 사이드월 스페이서와 상기 사이드월 플로팅 게이트 사이에 폴리 산화막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 폴리실리콘 게이트는 상부의 길이가 하부의 길이보다 긴 T자형 게이트임을 특징으로 하는 반도체 소자.
  4. 반도체 기판의 상부에 제 1 블럭 산화막과 희생막을 형성하고, 상기 희생막을 식각하여 트렌치를 형성하는 단계;
    상기 트렌치의 양 측벽에 사이드월 플로팅 게이트를 형성하는 단계;
    상기 사이트월 플로팅 게이트의 표면에 제 2 블럭 산화막을 형성하는 단계;
    상기 구조물이 형성된 기판에 폴리실리콘을 증착하고 패터닝하여 폴리실리콘 게이트를 형성하는 단계;
    상기 희생막을 제거하고, 상기 폴리실리콘 게이트와 사이드월 플로팅 게이트의 표면에 폴리 산화막을 형성하는 단계;
    상기 구조물이 형성된 기판에 불순물 이온을 주입하여 소스/드레인 영역을 형성하는 단계;
    상기 사이드월 플로팅 게이트에 캐리어 또는 전하를 주입하는 단계; 및
    상기 폴리실리콘 게이트와 사이드월 플로팅 게이트의 측벽에 사이드월 스페이서를 형성하는 단계
    를 포함하는 반도체 소자의 제조방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 폴리실리콘 게이트를 형성하기 전에 폴리실리콘 게이트가 형성될 영역에 남아 있는 제 1 블럭 산화막을 제거한 후 게이트 산화막을 형성하는 단계를 더 포함하는 반도체 소자의 제조방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 게이트 산화막과 제 2 블럭 산화막은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 게이트 산화막과 제 2 블럭 산화막은 산화공정, LPCVD 또는 HDP CVD 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법.
  8. 제 4항에 있어서,
    상기 희생막은 산화막 또는 질화막임을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법.
  9. 제 4항에 있어서,
    상기 사이드월 플로팅 게이트는 이방성 식각에 의하여 형성됨을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법.
  10. 제 4항에 있어서,
    상기 사이드월 플로팅 게이트는 고농도 불순물로 도핑된 폴리실리콘으로 형성됨을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법.
  11. 제 4항에 있어서,
    상기 사이드월 플로팅 게이트에 캐리어 또는 전하를 주입하는 단계에서 상기 캐리어 또는 전하는 NMOS 트랜지스터일 경우 정공 또는 양전하이고, PMOS 트랜지스터일 경우 전자 또는 음전하인 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법.
  12. 제 4항에 있어서,
    상기 캐리어 또는 전하는 주입시 각도를 주며 주입하며, 웨이퍼를 90°씩 4회전하며 주입하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법.
  13. 제 4항에 있어서,
    상기 사이드월 플로팅 게이트 하부의 기판에 가상 소스/드레인 확장 영역이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법.
  14. 제 4항에 있어서,
    제 1 블럭 산화막과 제 2 블럭 산화막의 커플링 비를 조절하여 소스/드레인 확장 영역을 조절하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법.
KR10-2003-0069782A 2003-10-08 2003-10-08 반도체 소자 및 그 제조방법 KR100514526B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2003-0069782A KR100514526B1 (ko) 2003-10-08 2003-10-08 반도체 소자 및 그 제조방법
US10/962,818 US7217973B2 (en) 2003-10-08 2004-10-07 Semiconductor device including sidewall floating gates
US11/731,124 US7501319B2 (en) 2003-10-08 2007-03-30 Manufacturing a semiconductor device including sidewall floating gates

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2003-0069782A KR100514526B1 (ko) 2003-10-08 2003-10-08 반도체 소자 및 그 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050034010A true KR20050034010A (ko) 2005-04-14
KR100514526B1 KR100514526B1 (ko) 2005-09-13

Family

ID=34214817

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2003-0069782A KR100514526B1 (ko) 2003-10-08 2003-10-08 반도체 소자 및 그 제조방법

Country Status (2)

Country Link
US (2) US7217973B2 (ko)
KR (1) KR100514526B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100706784B1 (ko) * 2005-08-08 2007-04-12 삼성전자주식회사 반도체 장치 및 그 제조 방법.
US7579236B2 (en) 2006-10-12 2009-08-25 Samsung Electronics Co., Ltd. Nonvolatile memory device, method of fabricating and method of operating the same
US7910421B2 (en) 2007-06-08 2011-03-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Methods of forming devices including different gate insulating layers on PMOS/NMOS regions

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100506943B1 (ko) * 2003-09-09 2005-08-05 삼성전자주식회사 식각정지막으로 연결홀의 저측면에 경사를 갖는 반도체소자의 제조 방법들
KR100602939B1 (ko) * 2003-12-31 2006-07-19 동부일렉트로닉스 주식회사 비휘발성 메모리 소자
KR100526478B1 (ko) * 2003-12-31 2005-11-08 동부아남반도체 주식회사 반도체 소자 및 그 제조방법
US20070105295A1 (en) * 2005-11-08 2007-05-10 Dongbuanam Semiconductor Inc. Method for forming lightly-doped-drain metal-oxide-semiconductor (LDD MOS) device
US7714376B2 (en) * 2006-12-19 2010-05-11 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Non-volatile memory device with polysilicon spacer and method of forming the same
TWI340436B (en) * 2007-07-18 2011-04-11 Nanya Technology Corp Two-bit flash memory cell structure and method of making the same
US9406574B1 (en) 2007-08-09 2016-08-02 Cypress Semiconductor Corporation Oxide formation in a plasma process
US8119538B1 (en) * 2007-08-09 2012-02-21 Cypress Semiconductor Corporation Oxide formation in a plasma process
US7795097B2 (en) * 2007-11-20 2010-09-14 Texas Instruments Incorporated Semiconductor device manufactured by removing sidewalls during replacement gate integration scheme
US20090166705A1 (en) * 2007-12-26 2009-07-02 Kabushiki Kaisha Toshiba Nonvolatile semiconductor memory device and method of manufacturing thereof
JP5304536B2 (ja) * 2009-08-24 2013-10-02 ソニー株式会社 半導体装置
KR20150091895A (ko) * 2014-02-04 2015-08-12 에스케이하이닉스 주식회사 반도체 장치 및 그 동작방법
US11011625B2 (en) * 2018-09-20 2021-05-18 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Liner for a bi-layer gate helmet and the fabrication thereof

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4698787A (en) 1984-11-21 1987-10-06 Exel Microelectronics, Inc. Single transistor electrically programmable memory device and method
EP0592064B1 (en) 1992-08-19 1998-09-23 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Method of producing a field effect transistor
US6093945A (en) * 1998-07-09 2000-07-25 Windbond Electronics Corp. Split gate flash memory with minimum over-erase problem
US6724029B2 (en) * 2002-02-21 2004-04-20 International Business Machines Corporation Twin-cell flash memory structure and method
US6734055B1 (en) * 2002-11-15 2004-05-11 Taiwan Semiconductor Manufactoring Company Multi-level (4 state/2-bit) stacked gate flash memory cell
US6635533B1 (en) * 2003-03-27 2003-10-21 Powerchip Semiconductor Corp. Method of fabricating flash memory
US7307308B2 (en) * 2003-04-07 2007-12-11 Silicon Storage Technology, Inc. Buried bit line non-volatile floating gate memory cell with independent controllable control gate in a trench, and array thereof, and method of formation
US6885072B1 (en) * 2003-11-18 2005-04-26 Applied Intellectual Properties Co., Ltd. Nonvolatile memory with undercut trapping structure

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100706784B1 (ko) * 2005-08-08 2007-04-12 삼성전자주식회사 반도체 장치 및 그 제조 방법.
US7579236B2 (en) 2006-10-12 2009-08-25 Samsung Electronics Co., Ltd. Nonvolatile memory device, method of fabricating and method of operating the same
US7910421B2 (en) 2007-06-08 2011-03-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Methods of forming devices including different gate insulating layers on PMOS/NMOS regions

Also Published As

Publication number Publication date
US7501319B2 (en) 2009-03-10
KR100514526B1 (ko) 2005-09-13
US20050045942A1 (en) 2005-03-03
US20070178632A1 (en) 2007-08-02
US7217973B2 (en) 2007-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100205320B1 (ko) 모스펫 및 그 제조방법
US7501319B2 (en) Manufacturing a semiconductor device including sidewall floating gates
US6051470A (en) Dual-gate MOSFET with channel potential engineering
US5793058A (en) Multi-gate offset source and drain field effect transistors and methods of operating same
KR100526478B1 (ko) 반도체 소자 및 그 제조방법
KR100552808B1 (ko) 확산 소스/드레인 구조를 갖는 반도체 소자 및 그 제조 방법
JP3147161B2 (ja) 電界効果型トランジスタ及びその製造方法
KR100390907B1 (ko) 반도체 소자의 제조방법
KR20050045560A (ko) 리세스 게이트 트랜지스터의 채널형성용 이온주입 방법
KR100295636B1 (ko) 박막트랜지스터및그제조방법
KR20020014100A (ko) 반도체 소자 제조방법
KR100304974B1 (ko) 모스트랜지스터제조방법
KR940004415B1 (ko) Mos fet 제조방법 및 그 구조
KR100308652B1 (ko) 트리플 게이트를 갖는 트랜지스터의 구조 및 그 제조방법
KR100485166B1 (ko) 모스 트랜지스터 제조 방법
KR100334968B1 (ko) 매몰 채널 ｐｍｏｓ 트랜지스터 제조 방법
KR100498592B1 (ko) 모스트랜지스터 및 그 제조 방법
KR100791713B1 (ko) 낮은 문턱 전압의 모스 트랜지스터를 갖는 반도체 소자의제조 방법
KR20050070693A (ko) 씨모스 트랜지스터 제조 방법
KR19980029591A (ko) 듀얼 게이트 씨모오스 트랜지스터의 제조방법
KR100214077B1 (ko) 모스트랜지스터 및 그 제조방법
KR100308783B1 (ko) 반도체소자제조방법
KR100545193B1 (ko) 모스 트랜지스터
KR100194655B1 (ko) 반도체 장치 및 이의 제조방법
US20050087777A1 (en) MOS transistor

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110809

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120827

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee