KR20050004467A - 발광 유기물질 증착 장치 및 방법 - Google Patents

발광 유기물질 증착 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유기 증착막의 두께를 정확하게 제어할 수 있도록 한 발광 유기물질 증착 장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 발광 유기물질 증착장치는 진공챔버와; 진공챔버 내부의 저면에 설치되고 내부에 적색, 녹색 및 청색의 발광 유기물질이 담긴 가열용기와; 진공챔버 내부의 상면에 설치되고 상기 발광 유기물질이 증착되는 투명전극이 형성된 유리기판과; 가열용기와 일측부가 연결되어 상기 가열용기로부터 승화되는 발광 유기물질을 포집하기 위한 굴곡형 튜브와; 굴곡형 튜브의 타측부와 연결되어 상기 투명전극에 증착되는 상기 발광 유기물질의 두께를 제어하는 두께 제어부를 구비한다.

Description

발광 유기물질 증착 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD OF DEPOSING ORGANIC MATTER}
본 발명은 발광 유기물질 증착 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 유기 증착막의 두께를 정확하게 제어할 수 있도록 한 발광 유기물질 증착 장치 및 방법에 관한 것이다.
최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 일렉트로-루미네센스(Electro-Luminescence : 이하, EL이라 함) 표시 장치 등이 있다.
이들 중 EL 표시 장치는 전자와 정공의 재결합으로 형광체를 발광시키는 자발광 소자로, 그 형광체로 무기 화합물을 사용하는 무기 EL과 유기 화합물을 사용하는 유기 EL로 대별된다. 이러한 EL 표시장치는 액정표시장치와 같이 별도의 광원을 필요로 하는 수동형 발광소자에 비하여 응답속도가 음극선관과 같은 수준으로빠르다는 장점을 갖고 있다. 또한, EL 표시장치는 저전압 구동, 자기발광, 박막형, 넓은 시야각, 빠른 응답속도, 높은 콘트라스트 등의 많은 장점을 가지고 있어 차세대 표시 장치로 기대되고 있다.
도 1은 EL 표시장치의 발광원리를 설명하기 위한 일반적인 유기 EL 구조를 도시한 단면도이다. 유기 EL은 투명전극(2)과 금속적극(14) 사이에 적층된 전자 주입층(4), 전자 수송층(6), 발광층(8), 정공 수송층(10), 정공 주입층(12)을 구비한다.
투명전극(14)과 금속전극(2) 사이에 전압을 인가하면, 금속전극(2)으로부터 발생된 전자는 전자 주입층(4) 및 전자 수송층(6)을 통해 발광층(8) 쪽으로 이동한다. 또한, 투명전극(14)으로부터 발생된 정공은 정공 주입층(12) 및 정공 수송층(10)을 통해 발광층(8) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(8)에서는 전자 수송층(6)과 정공 수송층(10)으로부터 공급되어진 전자와 정공이 충돌하여 재결합함에 의해 빛이 발생하게 되고, 이 빛은 투명전극(14)을 통해 외부로 방출되어 화상이 표시되게 한다. 이러한 EL 유기소자의 발광 휘도는 소자의 양단에 걸리는 전압에 비례하는 것이 아니라 공급 전류에 비례하므로 투명전극(14)은 통상 정전류원에 접속된다.
이와 같은, 유기 EL의 투명전극(14)은 전자 빔 증착, 스퍼터링 증착, 화학 반응법 등에 의해 형성되고, 그 재료로는 산화 주석, 산화 아연, 산화 인듐, 산화 주석인듐(Indium Tin Oxide; ITO) 등을 들 수 있으며 주로 ITO를 사용하게 된다.
금속전극(2)은 저항 가열증착, 전자빔 증착, 스퍼터링 증착, 이온 플레이팅법 등에 의해 형성된다. 이 금속전극(2)은 투명전극(14)으로 ITO를 사용하는 경우에는 ITO가 양극의 기능을 하기 때문에 전자를 효율적으로 주입할 수 있는 음극의 기능이 요구된다.
따라서, 금속전극(2)의 재료로는 알칼리 금속 등의 일 함수가 낮은 금속을 사용하는 것도 가능하지만 전극의 안정성을 고려하면 백금, 금, 은, 구리, 철, 주석, 알루미늄, 마그네슘, 인듐 등의 금속 또는 이들 금속과 일 함수가 낮은 금속과의 합금 등을 사용하는 것이 바람직하다.
여기서, 금속전극(2) 및 투명전극(14)은 기판(패널) 상에 서로 교차되도록 배치된다. 발광 유기물질은 금속전극(2) 및 투명전극(14)의 교차부마다 매트릭스 형태로 배치된다. 여기서, 발광 유기물질은 자신에 접속된 금속전극(2) 및 투명전극(14)으로부터 공급되는 전류에 대응하는 빛을 발광하고, 이에 따라 패널에서 소정의 화상이 표시되게 된다.
한편, 이와 같은 발광 유기물질은 기판 상에 증착시키기 위하여 일반적으로 진공증착법이 이용되고 있다.
도 2는 종래의 발광 유기물질 증착장치를 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 종래의 발광 유기물질 증착장치는 진공챔버(22)와; 진공챔버(22) 내부의 저면에 설치되고 내부에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 발광 유기물질(30)이 담긴 가열용기(24)와; 투명전극(26)이 형성된 유리기판(28)과; 투명전극(26)에 증착되는 유기물질의 두께를 제어하는 두께 제어부(40)를 구비한다.
진공챔버(22)는 외부로부터 이물질이 유입되지 않도록 진공된 상태가 되며,내부의 압력이 조절된다.
가열용기(24)는 진공챔버(22)의 저면에 각각의 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 발광 유기물질이 수용된 복수개가 소정간격으로 이격되어 순차적으로 설치될 수 있다. 이러한, 각각의 가열용기(24)는 상부쪽에 개구부가 있으며, 이 개구부에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 발광 유기물질(30)이 각각 수용된다.
또한, 가열용기(24)는 도시하지 않은 저항들로 감싸여지게 된다. 이 저항들에 공급되는 전압에 의해 가열용기(24)가 대략 300 ~ 600℃의 온도로 가열됨으로써 발광 유기물질(30)이 승화된다.
유리기판(28)에는 상술한 바와 같은 전자 빔 증착, 스퍼터링 증착, 화학 반응법 등에 의해 투명전극(26)이 형성되어 있다.
두께 제어부(40)는 가열용기(24)로부터 승화된 발광 유기물질(30)을 포집하기 위한 포집용기(44)와; 포집용기(44)에 의해 포집된 발광 유기물질(30)를 이용하여 투명전극(26)에 증착되는 유기 증착막의 두께를 제어하기 위한 두께제어용 센서(46)를 구비한다.
포집용기(44)는 가열용기(24)로부터 승화된 발광 유기물질(30)을 포집하여 두께제어용 센서(46)로 전달한다. 이러한 포집용기(44)에는 두께제어용 센서(46)에 발광 유기물질(30)이 증착된 후 발광 유기물질(30)이 빠져나갈 수 있도록 도시하지 않은 배출구가 형성된다.
두께제어용 센서(46)는 포집용기(44)에 의해 포집된 발광 유기물질(30)을 증착한 후 발광 유기물질(30)의 진동수를 측정하여 투명전극(26)에 증착되는 유기 증착막의 두께를 제어한다. 이러한 두께제어용 센서(46)로는 크리스탈 센서가 이용된다.
이와 같은 발광 유기물질 증착장치의 증착공정을 설명하면, 발광 유기물질 증착장치는 진공챔버(22) 내에 설치된 가열용기(24)을 저항에 의해 가열하게 된다. 이는 가열용기(24)에 수용된 발광 유기물질(30)은 상온에서는 증발되지 않고 일정한 온도 대략 300 ~ 600℃ 사이에서 증발한다.
이에 따라, 가열된 가열용기(24)에서 증발되는 발광 유기물질(30)이 분자 또는 원자 상태로 증발되어 상대적으로 온도가 낮은 유리기판(28)의 투명전극(26) 상에 증착된다.
이 때, 증착 공정 중 발광 유기물질(30)이 유리기판(28)의 투명전극(26) 상에 증착될 때 그 두께를 제어하기 위하여 가열용기(24)와 투명전극(26) 사이에 두께 제어부(40)가 설치된다.
이러한 두께 제어부(40)의 포집용기(44)에 포집된 발광 유기물질(30)은 두께제어용 센서(46)에 증착된다. 이에따라, 두께제어용 센서(46)는 발광 유기물질(30)의 진동수를 측정하여 투명전극(26)에 증착되는 증착막의 두께가 일정 두께가 되도록 제어한다.
그런데, 도 2에 도시된 바와 같이 두께 제어부(40)가 가열용기(24)로부터 멀리 이격되어 설치되면 두께 제어부(40)의 두께제어용 센서(46)의 감도가 저하되어 투명전극(26)에 증착되는 발광 유기물질(30)의 두께를 정확하게 제어할 수 없는 문제점이 있다. 또한, 도 3에 도시된 바와 같이 두께 제어부(40)가 가열용기(24)로부터 가까이 이격되어 설치되면 열적영향에 의해 정상상태 오차값이 증가하게 되고 정상상태 오차값의 떨림이 심하게 발생하게 되어 투명전극(26)에 증착되는 발광 유기물질(30)의 두께를 정확하게 제어할 수 없는 문제점이 있다.
이를 상세히 설명하면, 가열용기(24)에 수용된 발광 유기물질(30)을 승화시켜 투명전극(26) 상에 증착하기 위해서는 가열용기(24)를 대략 300 ~ 600℃ 사이에서 가열시켜야 한다. 이렇게 가열된 가열용기(24)로부터의 열적영향을 피함과 아울러 투명전극(26) 상에 증착되는 유기 증착막의 두께를 제어하기 위하여 도 2에 도시된 바와 같이 가열용기(24)로부터 멀리 떨어진 거리 X 만큼 이격시켜 두께 제어부(40)를 설치한다. 그런데, 두께 제어부(40)가 발광 유기물질(30)을 승화시키는 가열용기(24)로부터 너무 멀리 떨어져 있기 때문에 두께 제어부(40)의 두께제어용 센서(46)의 감도가 저하된다. 이에 따라, 투명전극(26)에 증착되는 발광 유기물질(30)의 두께를 정확하게 제어할 수 없는 문제점이 있다. 또한, 두께 제어부(40)의 두께제어용 센서(46)의 감도를 높이기 위하여 도 3에 도시된 바와 같이 가열용기(24)로부터 X 보다 가까운 거리 Y 만큼 이격시켜 두께 제어부(40)를 설치하면 두께 제어부(40)가 발광 유기물질(30)을 승화시키는 가열용기(24)로부터 가까이 있기 때문에 열적영향에 의해 정상상태 오차값이 증가하게 되고 정상상태 오차값의 떨림이 심하게 발생하게 된다. 이에 따라, 투명전극(26)에 증착되는 발광 유기물질(30)의 두께를 정확하게 제어할 수 없는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 유기 증착막의 두께를 정확하게 제어할 수 있도록 한 발광 유기물질 증착 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
도 1은 통상적인 유기 일렉트로-루미네센스 소자의 구조를 도시한 단면도.
도 2는 통상적인 유기 일렉트로-루미네센스 소자의 발광 유기물질 증착장치를 나타내는 도면.
도 3은 통상적인 유기 일렉트로-루미네센스 소자의 다른 형태의 발광 유기물질 증착장치를 나타내는 도면
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 발광 유기물질 증착장치를 나타내는 도면.
도 5는 도 4에 도시된 "A"부분을 자세히 나타내는 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
2 : 음극 4 : 전자 주입층
6 : 전자 수송층 8 : 발광층
10 : 정공 수송층 12 : 정공 주입층
14 : 양극 22, 52 : 진공챔버
24, 54 : 가열용기 26, 56 : 투명전극
28, 58 : 유리기판 30, 60 : 발광 유기물질
40, 70 : 두께 제어부 44, 74 : 포집용기
46, 76 : 두께제어용 센서 72 : 굴곡형 튜브
73 : 열선
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 의한 발광 유기물질 증착장치는 진공챔버와; 진공챔버 내부의 저면에 설치되고 내부에 적색, 녹색 및 청색의 발광 유기물질이 담긴 가열용기와; 진공챔버 내부의 상면에 설치되고 상기 발광 유기물질이 증착되는 투명전극이 형성된 유리기판과; 가열용기와 일측부가 연결되어 상기 가열용기로부터 승화되는 발광 유기물질을 포집하기 위한 굴곡형 튜브와; 굴곡형 튜브의 타측부와 연결되어 상기 투명전극에 증착되는 상기 발광 유기물질의 두께를 제어하는 두께 제어부를 구비한다.
상기 발광 유기물질 증착장치에서 굴곡형 튜브의 외부에는 상기 굴곡형 튜브의 내부에서 상기 발광 유기물질의 고착을 방지하기 위하여 열선이 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 발광 유기물질 증착장치에서 굴곡형 튜브는 "L"자형 튜브 형태인 것을 특징으로 한다.
상기 발광 유기물질 증착장치에서 두께 제어부는 굴곡형 튜브를 통해 전달되는 상기 발광 유기물질을 포집하기 위한 포집용기와; 포집용기에 의해 포집된 상기 발광 유기물질을 증착하여 상기 투명전극에 증착되는 유기 증착막의 두께를 제어하기 위한 두께제어용 센서를 구비한다.
상기 발광 유기물질 증착장치에서 포집용기에는 상기 두께제어용 센서에 상기 발광 유기물질이 증착된 후 상기 발광 유기물질을 외부로 배출시키도록 배출구가 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 발광 유기물질 증착장치에서 두께제어용 센서는 상기 투께측정용 센서에 증착된 상기 발광 유기물질의 진동수를 측정하여 상기 투명전극에 증착되는 상기 유기 증착막의 두께를 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기 발광 유기물질 증착장치에서 두께제어용 센서는 크리스탈 센서인 것을 특징으로 한다.
상기 발광 유기물질 증착장치에서 두께 제어부는 상기 가열용기로부터 승화되는 상기 발광 유기물질의 범위 안 및 밖 중 어느 하나에 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 의한 발광 유기물질 증착방법은 적색, 녹색 및 청색의 발광 유기물질을 가열시키는 제 1 단계와; 적색, 녹색 및 청색의 발광 유기물질이 승화되는 제 2 단계와; 승화되는 발광 유기물질이 굴곡형 튜브를 통해 포집되는 제 3 단계와; 포집된 발광 유기물질을 두께 제어부로 공급되는 제 4 단계와; 두께 제어부에 의해 두께가 제어되어 상기 승화되는 발광 유기물질이 투명전극에 증착되는 제 5 단계를 포함한다.
상기 발광 유기물질 증착방법에서 제 5 단계는 상기 두께 제어부에 증착된 상기 발광 유기물질의 진동수를 측정하여 상기 투명전극에 증착되는 상기 유기 증착막의 두께를 제어하는 단계인 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예의 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명 하기로 한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 발광 유기물질 증착장치를 나타내는 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 발광 유기물질 증착장치는 진공챔버(52)와; 진공챔버(52) 내부의 저면에 설치되고 내부에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 발광 유기물질(60)이 담긴 가열용기(54)와; 투명전극(56)이 형성된 유리기판(58)과; 일측부가 가열용기(54)와 연결되어 발광 유기물질(60)을 포집하기 위한 굴곡형 튜브(72)와; 굴곡형 튜브(72)의 타측부와 연결되어 투명전극(56)에 증착되는 유기물질의 두께를 제어하는 두께 제어부(70)를 구비한다.
진공챔버(52)는 외부로부터 이물질이 유입되지 않도록 진공된 상태가 되며, 내부의 압력이 조절된다.
가열용기(54)는 진공챔버(52)의 저면에 각각의 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 발광 유기물질이 수용된 복수개가 소정간격으로 이격되어 순차적으로 설치될 수 있다. 이러한, 각각의 가열용기(54)는 상부쪽에 개구부가 있으며, 이 개구부에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 발광 유기물질(60)이 각각 수용된다.
또한, 가열용기(54)는 도시하지 않은 저항들로 감싸여지게 된다. 이 저항들에 공급되는 전압에 의해 가열용기(54)에 수용된 발광 유기물질(60)이 승화된다.
유리기판(58)에는 전자 빔 증착, 스퍼터링 증착, 화학 반응법 등에 의해 투명전극(56)이 형성되어 있다.
굴곡형 튜브(72)는 일측부가 가열용기(54)와 연결되어 가열용기(54)로부터 승화된 발광 유기물질(60)을 포집하여 굴곡형 튜브(72)의 타측부에 연결된 두께 제어부(70)로 발광 유기물질(60)을 전달하는 역할을 한다. 이러한 굴곡형 튜브(72)는 "L"자형 형태를 갖는다. 또한, 이러한 굴곡형 튜브(72)의 외부에는 굴곡형 튜브(72) 내부에서 발광 유기물질(60)의 고착을 방지하기 위하여 도 4의 "A" 부분을 자세히 나타낸 도 5에 도시된 바와 같이 열선(73)이 설치된다.
두께 제어부(70)는 굴곡형 튜브(72)를 통해 전달되는 발광 유기물질(60)을 포집하기 위한 포집용기(74)와; 포집용기(74)에 의해 포집된 발광 유기물질(60)를 이용하여 투명전극(56)에 증착되는 유기 증착막의 두께를 제어하기 위한 두께제어용 센서(76)를 구비한다.
포집용기(74)는 굴곡형 튜브(72)를 통해 전달되는 발광 유기물질(60)을 포집하여 두께제어용 센서(76)로 전달한다. 이러한 포집용기(74)에는 두께제어용 센서(76)에 발광 유기물질(60)이 증착된 후 발광 유기물질(60)이 빠져나갈 수 있도록 도시하지 않은 배출구가 형성된다.
두께제어용 센서(76)는 포집용기(74)에 의해 포집된 발광 유기물질(60)을 증착한 후 발광 유기물질(60)의 진동수를 측정하여 투명전극(56)에 증착되는 유기 증착막의 두께를 제어한다. 이러한 두께제어용 센서(76)로는 크리스탈 센서가 이용된다.
이와 같은 발광 유기물질 증착장치의 증착공정을 설명하면, 발광 유기물질 증착장치는 진공챔버(52) 내에 설치된 가열용기(54)을 저항에 의해 가열하게 된다. 이는 가열용기(54)에 수용된 발광 유기물질(60)은 상온에서는 증발되지 않고 일정한 온도 대략 300 ~ 600℃ 사이에서 증발한다.
이에 따라, 가열된 가열용기(54)에서 증발되는 발광 유기물질(60)이 분자 또는 원자 상태로 증발되어 상대적으로 온도가 낮은 유리기판(58)의 투명전극(56) 상에 증착된다.
이 때, 증착 공정 중 발광 유기물질(60)이 유리기판(58)의 투명전극(56) 상에 증착될 때 그 두께를 제어하기 위하여 두께 제어부(70)가 설치된다. 이러한 두께 제어부(70)는 일측부가 가열용기(54)와 연결된 굴곡형 튜브(72)의 타측부와 연결되어 가열용기의 열적영향이 미치지 않는 위치에 설치된다. 따라서, 두께 제어부(70)가 가열용기(54)로부터 멀리 이격되어 설치되더라도 굴곡형 튜브(72)와 연결되어 있으므로 투명전극(56)에 증착되는 유기 증착막의 두께를 정확하게 제어할 수 있게 된다
이를 상세히 설명하면, 굴곡형 튜브(72)의 일측부가 발광 유기물질(60)이 나오는 가열용기(54)에 연결되고, 타측부가 두께 제어부(70)와 연결되어 있으므로 굴곡형 튜브(72)를 통해 발광 유기물질(60)이 두께 제어부(70)의 두께제어용 센서(76)로 보내지게 된다. 이에 따라, 두께제어용 센서(76)를 발광 유기물질(60)이 승화되는 범위내에 설치하지 않더라도 굴곡형 튜브(72)에 의해 발광 유기물질(60)이 두께제어용 센서(76)로 잘 전달되므로 감도가 좋아진다. 또한, 두께 제어부(70)가 가열용기(54)로부터 멀리 이격되어 설치되므로 열적영향을 피할 수 있게 되어 열적영향에 의해 정상상태 오차값이 증가하게 되고 정상상태 오차값의 떨림이 심하게 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 두께 제어부(70)가 가열용기(54)로부터 멀리 이격되어 설치되더라도 투명전극(56)에 증착되는 유기 증착막의 두께를 정확하게 제어할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 발광 유기물질 증착장치는 발광 유기물질이 승화되는 가열용기와 투명전극에 증착되는 유기 증착막의 두께를 제어하기 위한 두께 제어부 사이를 굴곡형 튜브로 연결함으로써 두께 제어부에 설치된 두께제어용 센서 가열용기에 의해 열적영향을 받는것을 피할 수 있을 뿐만 아니라 두께제어용 센서의 감도를 높일 수 있다. 이에 따라, 투명전극에 증착되는 유기 증착막의 두께를 미세하게 제어할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (10)

  1. 진공챔버와;
    상기 진공챔버 내부의 저면에 설치되고 내부에 적색, 녹색 및 청색의 발광 유기물질이 담긴 가열용기와;
    상기 진공챔버 내부의 상면에 설치되고 상기 발광 유기물질이 증착되는 투명전극이 형성된 유리기판과;
    상기 가열용기와 일측부가 연결되어 상기 가열용기로부터 승화되는 발광 유기물질을 포집하기 위한 굴곡형 튜브와;
    상기 굴곡형 튜브의 타측부와 연결되어 상기 투명전극에 증착되는 상기 발광 유기물질의 두께를 제어하는 두께 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 발광 유기물질 증착장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 굴곡형 튜브의 외부에는 상기 굴곡형 튜브의 내부에서 상기 발광 유기물질의 고착을 방지하기 위하여 열선이 설치되는 것을 특징으로 하는 발광 유기물질 증착장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 굴곡형 튜브는 "L"자형 튜브 형태인 것을 특징으로 하는 발광 유기물질증착장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 두께 제어부는
    상기 굴곡형 튜브를 통해 전달되는 상기 발광 유기물질을 포집하기 위한 포집용기와;
    상기 포집용기에 의해 포집된 상기 발광 유기물질을 증착하여 상기 투명전극에 증착되는 유기 증착막의 두께를 제어하기 위한 두께제어용 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 발광 유기물질 증착장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 포집용기에는 상기 두께제어용 센서에 상기 발광 유기물질이 증착된 후 상기 발광 유기물질을 외부로 배출시키도록 배출구가 형성되는 것을 특징으로 하는 발광 유기물질 증착장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 두께제어용 센서는 상기 투께측정용 센서에 증착된 상기 발광 유기물질의 진동수를 측정하여 상기 투명전극에 증착되는 상기 유기 증착막의 두께를 제어하는 것을 특징으로 하는 발광 유기물질 증착장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 두께제어용 센서는 크리스탈 센서인 것을 특징으로 하는 발광 유기물질 증착장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 두께 제어부는 상기 가열용기로부터 승화되는 상기 발광 유기물질의 범위 안 및 밖 중 어느 하나에 설치되는 것을 특징으로 하는 발광 유기물질 증착장치.
  9. 적색, 녹색 및 청색의 발광 유기물질을 가열시키는 제 1 단계와;
    상기 적색, 녹색 및 청색의 발광 유기물질이 승화되는 제 2 단계와;
    상기 승화되는 발광 유기물질이 굴곡형 튜브를 통해 포집되는 제 3 단계와;
    상기 포집된 발광 유기물질을 두께 제어부로 공급되는 제 4 단계와;
    상기 두께 제어부에 의해 두께가 제어되어 상기 승화되는 발광 유기물질이 투명전극에 증착되는 제 5 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 유기물질 증착방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 5 단계는 상기 두께 제어부에 증착된 상기 발광 유기물질의 진동수를 측정하여 상기 투명전극에 증착되는 상기 유기 증착막의 두께를 제어하는 단계인 것을 특징으로 하는 발광 유기물질 증착방법.
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