KR100546262B1 - 평판 표시장치의 제조장치 및 제조방법 - Google Patents

평판 표시장치의 제조장치 및 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100546262B1
KR100546262B1 KR1020030079766A KR20030079766A KR100546262B1 KR 100546262 B1 KR100546262 B1 KR 100546262B1 KR 1020030079766 A KR1020030079766 A KR 1020030079766A KR 20030079766 A KR20030079766 A KR 20030079766A KR 100546262 B1 KR100546262 B1 KR 100546262B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
organic material
organic
container
vacuum chamber
cooling
Prior art date
Application number
KR1020030079766A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050045623A (ko
Inventor
이경수
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR1020030079766A priority Critical patent/KR100546262B1/ko
Publication of KR20050045623A publication Critical patent/KR20050045623A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100546262B1 publication Critical patent/KR100546262B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 제조비용을 절감 할 수 있도록 한 평판 표시장치의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 평판 표시장치의 제조장치는 진공챔버와; 상기 진공챔버 내부에 설치되어 투명전극이 형성된 유리기판에 유기물질을 증착시키기 위한 유기물 증착부와; 상기 진공챔버 내부에 설치되어 상기 유기물 증착부로부터 비산되는 상기 유기물질을 회수하기 위한 유기물 회수부를 구비한다.

Description

평판 표시장치의 제조장치 및 제조방법{APPARATUS AND METHOD FOR FABRICATING FLAT DISPLAY DEVICE}
도 1은 통상적인 유기 일렉트로-루미네센스 소자의 구조를 도시한 단면도.
도 2는 통상적인 유기 일렉트로-루미네센스 소자의 제조장치를 나타내는 도면.
도 3은 유기물질을 증착하지 않을 경우의 일렉트로-루미네센스 소자의 제조장치를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 일렉트로-루미네센스 소자의 제조장치를 나타내는 도면.
도 5는 유기물질을 회수할 때 일렉트로-루미네센스 소자의 제조장치를 나타내는 도면.
도 6은 도 4에 도시된 일렉트로-루미네센스 소자의 제조장치에서 유기물 회수부를 상세히 나타내는 도면.
도 7a 및 도 7b는 도 4에 도시된 일렉트로-루미네센스 소자의 제조장치에서 "A"를 자세히 나타내는 도면.
도 8은 도 4에 도시된 일렉트로-루미네센스 소자의 제조장치에서 회수라인을 자세히 나타내는 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
2 : 음극 4 : 전자 주입층
6 : 전자 수송층 8 : 발광층
10 : 정공 수송층 12 : 정공 주입층
14 : 양극 22, 52 : 진공챔버
24, 124 : 유기물 용기 25, 125 : 덮개부
26, 126 : 투명전극 28, 128 : 유리기판
30, 130 : 유기물질 40, 140 : 두께 제어부
170 : 유기물 회수부 180 : 포집용기
182 : 제1 열선 184a, 184b : 배기구
186 : 센서 190 : 회수라인
192 : 제2 열선 200 : 유기물 냉각부
202 : 냉각관 204 : 냉각판
210 : 지지대
본 발명은 평판 표시장치의 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로, 특히 제조비용을 절감 할 수 있도록 한 평판 표시장치의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.
최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 일렉트로-루미네센스(Electro-Luminescence : 이하, EL이라 함) 표시소자 등이 있다.
이들 중 EL 표시소자는 전자와 정공의 재결합으로 형광체를 발광시키는 자발광 소자로, 그 형광체로 무기 화합물을 사용하는 무기 EL과 유기 화합물을 사용하는 유기 EL로 대별된다. 이러한 EL 표시소자는 액정표시장치와 같이 별도의 광원을 필요로 하는 수동형 발광소자에 비하여 응답속도가 음극선관과 같은 수준으로 빠르다는 장점을 갖고 있다. 또한, EL 표시소자는 저전압 구동, 자기발광, 박막형, 넓은 시야각, 빠른 응답속도, 높은 콘트라스트 등의 많은 장점을 가지고 있어 차세대 표시 장치로 기대되고 있다.
도 1은 EL 표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 일반적인 유기 EL 구조를 도시한 단면도이다. 유기 EL은 투명전극(2)과 금속적극(14) 사이에 적층된 전자 주입층(4), 전자 수송층(6), 발광층(8), 정공 수송층(10), 정공 주입층(12)을 구비한다.
투명전극(14)과 금속전극(2) 사이에 전압을 인가하면, 금속전극(2)으로부터 발생된 전자는 전자 주입층(4) 및 전자 수송층(6)을 통해 발광층(8) 쪽으로 이동한다. 또한, 투명전극(14)으로부터 발생된 정공은 정공 주입층(12) 및 정공 수송층(10)을 통해 발광층(8) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(8)에서는 전자 수송층(6)과 정공 수송층(10)으로부터 공급되어진 전자와 정공이 충돌하여 재결합함에 의해 빛이 발생하게 되고, 이 빛은 투명전극(14)을 통해 외부로 방출되어 화상이 표시되게 한다. 이러한 EL 유기소자의 발광 휘도는 소자의 양단에 걸리는 전압에 비례하는 것이 아니라 공급 전류에 비례하므로 투명전극(14)은 통상 정전류원에 접속된다.
이와 같은, 유기 EL의 투명전극(14)은 전자 빔 증착, 스퍼터링 증착, 화학 반응법 등에 의해 형성되고, 그 재료로는 산화 주석, 산화 아연, 산화 인듐, 산화 주석인듐(Indium Tin Oxide; ITO) 등을 들 수 있으며 주로 ITO를 사용하게 된다.
금속전극(2)은 저항 가열증착, 전자빔 증착, 스퍼터링 증착, 이온 플레이팅법 등에 의해 형성된다. 이 금속전극(2)은 투명전극(14)으로 ITO를 사용하는 경우에는 ITO가 양극의 기능을 하기 때문에 전자를 효율적으로 주입할 수 있는 음극의 기능이 요구된다.
따라서, 금속전극(2)의 재료로는 알칼리 금속 등의 일 함수가 낮은 금속을 사용하는 것도 가능하지만 전극의 안정성을 고려하면 백금, 금, 은, 구리, 철, 주석, 알루미늄, 마그네슘, 인듐 등의 금속 또는 이들 금속과 일 함수가 낮은 금속과의 합금 등을 사용하는 것이 바람직하다.
여기서, 금속전극(2) 및 투명전극(14)은 기판(패널) 상에 서로 교차되도록 배치된다. 발광 유기물질은 금속전극(2) 및 투명전극(14)의 교차부마다 매트릭스 형태로 배치된다. 여기서, 발광 유기물질은 자신에 접속된 금속전극(2) 및 투명전극(14)으로부터 공급되는 전류에 대응하는 빛을 발광하고, 이에 따라 패널에서 소정의 화상이 표시되게 된다.
한편, 이와 같은 발광 유기물질은 기판 상에 증착시키기 위하여 일반적으로 진공증착법이 이용되고 있다.
도 2는 종래의 일렉트로-루미네센스 소자의 제조장치를 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 종래의 일렉트로-루미네센스 소자의 제조장치는 진공챔버(22)와; 진공챔버(22) 내부의 저면에 설치되고 내부에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 유기물질(30)이 담긴 유기물 용기(24)와; 투명전극(26)이 형성된 유리기판(28)과; 투명전극(26)에 증착되는 유기물질의 두께를 제어하는 두께 제어부(40)를 구비한다.
진공챔버(22)는 외부로부터 이물질이 유입되지 않도록 진공된 상태가 되며, 내부의 압력이 조절된다.
유기물 용기(24)는 진공챔버(22)의 저면에 각각의 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 발광 유기물질이 수용된 복수개가 소정간격으로 이격되어 순차적으로 설치될 수 있다. 이러한, 각각의 유기물 용기(24)는 상부쪽에 개구부(25)가 있으며, 이 개구부(25)에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 유기물질(30)이 각각 수용된다. 또한, 이러한 개구부(25)를 통해 유기물질(30)이 비산된다.
이러한, 유기물 용기(24)는 도시하지 않은 저항들로 감싸여지게 된다. 이 저항들에 공급되는 전압에 의해 용기(24)가 대략 300 ~ 600℃의 온도로 가열됨으로써 개구부(25)을 통해 유기물질(30)이 비산된다.
유리기판(28)에는 상술한 바와 같은 전자 빔 증착, 스퍼터링 증착, 화학 반응법 등에 의해 투명전극(26)이 형성되어 있다.
두께 제어부(40)는 유기물 용기(24)로부터 비산된 유기물질(30)을 포집하여 투명전극(26)에 증착되는 유기 증착막의 두께를 제어하는 역할을 한다.
이와 같은 일렉트로-루미네센스 소자의 제조방법을 설명하면, 진공챔버(22) 내에 설치된 유기물 용기(24)을 저항에 의해 가열하게 된다. 이 때, 유기물 용기(24)에 수용된 유기물질(30)은 상온에서는 증발되지 않고 일정한 온도 대략 300 ~ 600℃ 사이에서 증발한다.
이에 따라, 가열된 유기물 용기(24)에서 증발되는 유기물질(30)이 분자 또는 원자 상태로 증발되어 상대적으로 온도가 낮은 유리기판(28)의 투명전극(26) 상에 증착된다.
이 때, 유기물질(30)이 유리기판(28)의 투명전극(26) 상에 증착될 때 그 두께를 제어하기 위하여 유기물 용기(24)와 투명전극(26) 사이에 두께 제어부(40)가 설치된다. 이러한 두께 제어부(40)에 의해 투명전극(26)에 증착되는 증착막의 두께가 일정 두께가 되도록 제어된다.
한편, 이와 같은 일렉트로-루미네센스 소자의 제조장치는 유리기판(28)의 투명전극(26) 상에 유기물질(30)의 증착이 다 되더라도 유기물 용기(24)로부터 유기물질(30)이 계속 비산된다. 따라서, 유기물 용기(24)로부터 비산되는 유기물질(30)이 유리기판(28)에 영향을 주는 것을 방지하기 위하여 도 3에 도시된 바와 같이 유리기판(28)으로 비산되는 유기물질(30)을 차단하기 위해 유리기판(28)과 마주보도록 설치된 제1 차단판(50)과, 진공챔버(22)의 측면으로 비산되는 유기물질(30)을 차단하기 위해 설치된 제2 및 제3 차단판(52,54)를 구비한다. 따라서, 이러한 제1 내지 제3 차단판(50,52,54)에는 유기물 용기(24)로부터 비산되는 유기물질(30)이 쌓이게 된다. 그러나, 제1 내지 제3 차단판(50,52,54)에 쌓인 유기물질(30)은 별도의 회수방법이 없으므로 세정 시 그냥 버려지게 된다. 이에 따라, 유기물질(30)을 낭비하게 됨으로써 제조비용이 상승하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 제조비용을 절감 할 수 있도록 한 평판 표시장치의 제조장치 및 제조방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 의한 평판 표시장치의 제조장치는 진공챔버와; 상기 진공챔버 내부에 설치되어 유리기판에 유기물질을 증착시키기 위한 유기물 증착장치와; 상기 진공챔버 내부에 설치되어 상기 유기물 증착부로부터 비산되는 상기 유기물질을 회수하기 위한 유기물 회수장치를 구비한다.
상기 평판 표시장치의 제조장치에서 상기 유기물 회수장치는 상기 유기물 증착장치로부터 비산되는 상기 유기물질을 포집하기 위한 포집용기와, 상기 포집용기 로부터 포집된 상기 유기물질을 회수하기 위한 회수라인과, 상기 회수라인을 통해 회수된 상기 유기물질을 냉각시키기 위한 유기물 냉각부와, 상기 포집용기를 지지함과 구동시키기 위한 구동부를 구비한다.
상기 평판 표시장치의 제조장치에서 상기 포집용기는 상기 유기물질의 일부가 빠져나오도록 형성된 배기구와, 상기 배기구를 통해 빠져나온 상기 유기물질을 센싱하여 상기 유기물질의 비산속도를 제어하기 위한 센서를 구비한다.
상기 평판 표시장치의 제조장치에서 상기 유기물 회수장치는 상기 포집용기에 포집되는 상기 유기물질의 고착을 방지하기 위해 상기 포집용기를 감싸도록 설치되는 다수의 제1 열선과, 상기 포집용기로부터 상기 유기물 냉각부로 회수되는 상기 유기물질의 고착을 방지하기 위하여 상기 회수라인를 감싸도록 설치된 다수의 제2 열선을 더 구비한다.
상기 평판 표시장치의 제조장치에서 상기 유기물 냉각부는 상기 회수라인을 통해 회수된 상기 유기물질을 냉각시키기 위해 냉각수가 채워진 냉각관과, 상기 냉각관으로부터 돌출되어 상기 냉각된 유기물질이 고착되는 다수의 냉각판을 구비한다.
상기 평판 표시장치의 제조장치에서 상기 유기물 증착장치는 상기 진공챔버 내부의 저면에 설치되고 상기 유기물질이 담긴 유기물 용기와; 상기 진공챔버 내부에 설치되어 상기 유기물 용기로부터 상기 유리기판으로 비산되는 상기 유기물질의 속도를 제어하기 위한 센싱부를 구비한다.
본 발명의 실시예에 의한 평판 표시장치의 제조방법은 유기물 용기로부터 유 기물질이 비산되어 유리기판상에 증착하는 제1 단계와, 상기 제1 단계가 완료되면 상기 유기물 용기로부터 비산되는 유기물질을 회수하는 제2 단계를 포함한다.
상기 평판 표시장치의 제조방법은 상기 제2 단계는 상기 유기물 용기로부터 상기 유기물질을 포집하는 단계와, 상기 포집된 유기물질을 회수라인을 통해 회수하는 단계와, 상기 회수된 유기물질을 냉각시키는 단계를 포함한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예의 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
도 4 내지 도 8를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명 하기로 한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 일렉트로-루미네센스 소자의 제조장치를 나타내는 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 일렉트로-루미네센스 소자의 제조장치는 진공챔버(122)와; 진공챔버(122) 내부의 저면에 설치되고 내부에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 유기물질(130)이 담긴 유기물 용기(124)와; 투명전극(126)이 형성된 유리기판(128)과; 투명전극(126)에 증착되는 유기물질(130)의 두께를 제어하는 두께 제어부(140)와, 유기물 용기(124)로부터 비산되는 유기물질(130)을 회수하기 위한 유기물 회수부(170)를 구비한다.
진공챔버(122)는 외부로부터 이물질이 유입되지 않도록 진공된 상태가 되며, 내부의 압력이 조절된다.
유기물 용기(124)는 진공챔버(122)의 저면에 각각의 적색(R), 녹색(G) 및 청 색(B) 유기물질(130)이 수용된 복수개가 소정간격으로 이격되어 순차적으로 설치될 수 있다. 이러한, 각각의 유기물 용기(124)는 상부쪽에 개구부(125)가 있으며, 이 개구부(125)에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)의 유기물질(130)이 각각 수용된다. 또한, 이러한 개구부(125)를 통해 유기물질(130)이 비산된다.
이 때, 유기물 용기(124)는 도시하지 않은 저항들로 감싸여지게 된다. 이 저항들에 공급되는 전압에 의해 유기물 용기(124)에 수용된 유기물질(130)이 비산된다.
유리기판(128)에는 전자 빔 증착, 스퍼터링 증착, 화학 반응법 등에 의해 투명전극(126)이 형성되어 있다.
두께 제어부(140)는 유기물 용기(124)로부터 비산된 유기물질(130)을 포집하여 투명전극(126)에 증착되는 유기 증착막의 두께를 제어하는 역할을 한다.
유기물 회수부(170)는 유리기판(128)의 투명전극(126) 상에 유기물질(130)을 증착하지 않을 때 도 5에 도시된 바와 같이 유기물 용기의 개구부(125)에 접속되어 유기물 용기(124)로부터 비산되는 유기물질(130)을 회수하는 역할을 한다. 이를 위하여 유기물 회수부(170)은 도 6에 도시된 바와 같이 유기물 용기(124)로부터 비산되는 유기물질(130)을 포집하기 위한 포집용기(180)와, 포집용기(180)로부터 포집된 유기물질(130)을 회수하기 위한 회수라인(190)과, 회수라인(190)을 통해 회수된 유기물질(130)을 냉각시키기 위한 유기물 냉각부(200)와, 포집용기(180)을 지지함과 아울러 구동시키기 위한 구동부(210)를 구비한다.
포집용기(180)는 유기물 용기(124)로부터 비산되는 유기물질(130)을 포집하 여 회수라인(190)을 통해 유기물 냉각부(200)로 전달한다. 이러한 포집용기(180)의 주변에는 열선(182)이 설치되어 유기물질(130)의 고착을 방지하게 된다. 한편, 유기물질(130)을 증착하지 않을 때에도 유기물질(130)을 증착할 때를 대비하여 유기물질(130)을 증착할 때와 같은 증착속도를 유지하여야 한다. 이를 위하여 도 7a에 도시된 바와 같이 포집용기(180)에 배기구(184a)를 형성시켜 유기물 용기(124)로부터 비산되는 유기물질(130)이 배기구(184a)을 통해 포집용기(180) 위쪽에 형성된 센서부(186)에 의해 센싱되어 증착속도를 일정하게 유지시킬 수 있게 된다. 또는, 도 7b에 도시된 바와 같이 포집용기(180)에 형성된 배기구(184b)를 통해 빠져나간 유기물질(130)이 두께 제어부(140)에 의해 센싱되어 증착속도를 일정하게 유지시킬 수 있게 된다.
회수라인(190)은 일측부가 포집용기(180)와 연결되어 포집용기(180)에 의해 포집된 유기물질(130)을 회수라인(190)의 타측부에 연결된 유기물 냉각부(200)로 회수하는 역할을 한다. 이러한 회수라인(190)의 외부에는 회수라인(190)의 내부에서 유기물질(130)의 고착을 방지하기 위하여 도 8에 도시된 바와 같이 열선(192)이 설치된다.
유기물 냉각부(200)는 회수라인(190)을 통해 회수된 유기물질(130)을 다시 사용할 수 있도록 냉각시키는 역할을 한다. 이를 위해서 유기물 냉각부(200)는 냉각수가 채워지는 냉각관(202)과, 냉각관(202)으로부터 돌출되어 냉각된 유기물질(130)이 고착되는 냉각판(204)를 구비한다. 이러한 냉각판(204)에 고착된 유기물질(130)을 유기물 용기(124)에 다시 담아 사용함으로써 유기물질(130)의 낭 비를 줄일 수 있게 된다.
구동부(210)는 유기물 용기(124)로부터 비산되는 유기물질(130)을 포집용기(180)가 포집할 수 있도록 지지하는 역할을 한다. 이러한 구동부(210)는 상/하 좌/우로 이동 가능하게 설계된다.
이와 같은 본 발명의 실시예에 의한 일렉트로-루미네센스 소자의 제조방법에 대하여 설명하면, 먼저 진공챔버(122) 내에 설치된 유기물 용기(124)를 가열하게 된다. 이에 따라, 가열된 유기물 용기(124)에서 증발되는 유기물질(130)이 분자 또는 원자 상태로 증발되어 상대적으로 온도가 낮은 유리기판(128)의 투명전극(126) 상에 증착된다. 이 때, 증착 공정 중 유기물질(130)이 유리기판(128)의 투명전극(126) 상에 증착될 때 유기물 용기(124)와 투명전극(126) 사이에 설치된 두께 제어부(140)에 의해 투명전극(126)에 증착되는 증착막의 두께가 일정 두께가 되도록 제어된다.
이러한 유기물질(130)의 증착이 다 된 후 유기물 용기(124)로부터 비산되는 유기물질(130)을 회수하기 위하여 유기물 회수부(170)를 유기물 용기의 개구부(125)에 접속시킨다. 이에 따라, 유기물 용기(124)로부터 비산되는 유기물질(130)은 포집용기(180)에 의해 포집되어 회수라인(190)을 통해 유기물 냉각부(200)로 회수된다. 이렇게 회수된 유기물질(130)은 냉각되어 냉각판(204)에 고착된다. 이러한 유기물질(130)을 유기물 용기(124)에 다시 담아 사용함으로써 유기물질(130)의 낭비를 줄일 수 있게 된다. 이에 따라, 제조비용을 줄일 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 평판 표시장치의 제조장치 및 제조방법은 유기물질을 증착하지 않을 때 유기물질을 회수하여 다시 사용함으로써 유기물질의 낭비를 줄일 수 있게 되어 제조비용을 줄일 수 있게 된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (10)

  1. 진공챔버와;
    상기 진공챔버 내부에 설치되어 유리기판에 유기물질을 증착시키기 위한 유기물 증착장치와;
    상기 진공챔버 내부에 설치되어 상기 유기물 증착부로부터 비산되는 상기 유기물질을 회수하기 위한 유기물 회수장치를 구비하되,
    상기 유기물 회수장치는,
    상기 유기물 증착장치로부터 비산되는 상기 유기물질을 포집하기 위한 포집용기와,
    상기 포집용기로부터 포집된 상기 유기물질을 회수하기 위한 회수라인과,
    상기 회수라인을 통해 회수된 상기 유기물질을 냉각시키기 위한 유기물 냉각부와,
    상기 포집용기를 지지함과 구동시키기 위한 구동부와,
    상기 포집용기에 포집되는 상기 유기물질의 고착을 방지하기 위해 상기 포집용기를 감싸도록 설치되는 다수의 제1 열선과,
    상기 포집용기로부터 상기 유기물 냉각부로 회수되는 상기 유기물질의 고착을 방지하기 위하여 상기 회수라인를 감싸도록 설치된 다수의 제2 열선을 구비하고,
    상기 포집용기는,
    상기 유기물질의 일부가 빠져나오도록 형성된 배기구와,
    상기 배기구를 통해 빠져나온 상기 유기물질을 센싱하여 상기 유기물질의 비산속도를 제어하기 위한 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 제조장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 유기물 냉각부는
    상기 회수라인을 통해 회수된 상기 유기물질을 냉각시키기 위해 냉각수가 채워진 냉각관과,
    상기 냉각관으로부터 돌출되어 상기 냉각된 유기물질이 고착되는 다수의 냉각판을 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 제조장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 유기물 증착장치는
    상기 진공챔버 내부의 저면에 설치되고 상기 유기물질이 담긴 유기물 용기와;
    상기 진공챔버 내부에 설치되어 상기 유기물 용기로부터 상기 유리기판으로 비산되는 상기 유기물질의 속도를 제어하기 위한 센싱부를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 제조장치.
  7. 유기물 용기로부터 유기물질이 비산되어 유리기판상에 증착하는 제1 단계와,
    상기 제1 단계가 완료되면 상기 유기물 용기로부터 비산되는 유기물질을 회수하는 제2 단계를 포함하되,
    상기 제2 단계는
    상기 유기물 용기로부터 상기 유기물질을 포집하는 단계와,
    상기 포집된 유기물질을 회수라인을 통해 회수하는 단계와,
    상기 회수된 유기물질을 냉각시키는 단계와,
    상기 유기물 용기로부터 비산되는 상기 유기물질의 속도를 제어하기 위한 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 제조방법.
  8. 삭제
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 냉각된 유기물질을 상기 유기물 용기로 공급하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치의 제조방법.
  10. 삭제
KR1020030079766A 2003-11-12 2003-11-12 평판 표시장치의 제조장치 및 제조방법 KR100546262B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030079766A KR100546262B1 (ko) 2003-11-12 2003-11-12 평판 표시장치의 제조장치 및 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030079766A KR100546262B1 (ko) 2003-11-12 2003-11-12 평판 표시장치의 제조장치 및 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050045623A KR20050045623A (ko) 2005-05-17
KR100546262B1 true KR100546262B1 (ko) 2006-01-26

Family

ID=37245285

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030079766A KR100546262B1 (ko) 2003-11-12 2003-11-12 평판 표시장치의 제조장치 및 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100546262B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100679854B1 (ko) * 2005-09-07 2007-02-07 주식회사 에이브이엠에스 유기발광소자 봉지 공정용 박막 증착 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050045623A (ko) 2005-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7794545B2 (en) Mask, film forming method, light-emitting device, and electronic apparatus
EP1770186A1 (en) Evaporation source and vacuum deposition apparatus using the same
US20110053296A1 (en) Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
JP5322084B2 (ja) 有機発光ダイオードおよび有機発光ダイオードの製造方法
JP2002060926A (ja) 成膜装置およびそのクリーニング方法
JP2014109050A (ja) 蒸着装置用蒸発源
KR100546262B1 (ko) 평판 표시장치의 제조장치 및 제조방법
KR20050101267A (ko) 평판표시장치 및 그 제조방법
US6410841B1 (en) Thermal evolving method and apparatus for plasma display panel
JP2012156073A (ja) 真空蒸着装置、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子
KR100958576B1 (ko) 표시소자의 제조장치
KR100684739B1 (ko) 유기물 증착장치
JP3968726B2 (ja) 有機ｅｌ素子及びその製造方法
JP2007314877A (ja) 電極カバーおよび蒸着装置
KR101436898B1 (ko) 증발 소스 및 그를 구비하는 평판표시소자의 증발 장치
KR20050004467A (ko) 발광 유기물질 증착 장치 및 방법
KR100625460B1 (ko) 유기전계발광소자 및 그 제조방법
KR20060087691A (ko) 유기물질 증착 장치 및 방법
KR20080002052A (ko) 증착 장비의 결정 센서의 재생 방법
KR100709265B1 (ko) 유기물 증착장치 및 증착 방법
KR100414296B1 (ko) 유기 전계 발광 소자의 패키징 구조 및 그 제조 방법
KR101642991B1 (ko) 열전사 공정에 이용되는 전사장치
KR20050045621A (ko) 발광 유기물질 증착 장치
KR20050114511A (ko) 유기 전계발광표시소자의 제조장치 및 제조방법
KR100725039B1 (ko) 유기물 증발기 및 유기물 증발방법, 그리고 상기 유기물 증발기를 구비하는 유기물 증착 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee