KR200475515Y1 - 리프팅 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 제조 설비의 유지 보수를 위해 작업자를 승하강시키는 리프팅 장치에 관한 것으로써 구동축을 가지는 모터; 상기 구동축의 회전과 연동되는 제1 기어박스;로서 상기 구동축에 직교하며 서로 대칭되는 방향으로 향하는 두 개의 피동축을 가지는 제1 기어박스; 상기 두 개의 피동축의 말단에 각각 구비되는 두 개의 제2 기어박스; 상기 두 개의 제2 기어박스에 각각 구비되는 승강 안내축;으로서, 상기 피동축 및 상기 구동축에 동시에 직교하는 방향으로 향하며 상기 피동축의 회전에 연동되어 회전하는 두 개의 승강 안내축; 상기 두 개의 승강 안내축의 외면에 연속된 나사 홈으로 형성된 승강 가이드홈; 상기 승강 안내축의 회전에 의해 상기 승강 가이드홈을 따라 승강하도록 상기 두 개의 승강 가이드홈에 각각 치합되는 두 개의 승강부재; 및 상기 두 개의 승강부재에 양측이 고정되어 승강되며 내부에 수용공간을 가지는 수용함;을 포함한다.

Description

리프팅 장치{APPARATUS FOR LIFTING}

본 고안은 리프팅 장치에 관한 것으로서, 구체적으로 반도체 제조 설비의 유지 보수를 위해 작업자를 승하강시키는 리프팅 장치에 관한 것이다.

반도체 생산라인에는 다양한 크기를 가진 여러 종류의 반도체 제조 설비가 구비되며 생산성 향상 및 유지를 위해 정기적 또는 수시로 반도체 제조 설비의 유지 보수 작업을 요하게 된다.

그런데 반도체 제조 설비의 크기는 유지 보수를 하는 작업자의 신장에 비해 큰 것이 일반적이므로 작업자가 용이하게 유지 보수 작업을 할 수 있도록 작업자를 승하강시키는 리프팅 장치를 필요로 한다.

리프팅 장치는 일반적으로 작업자를 수용하는 작업자 수용함, 작업자 수용함이 상하강되도록 구동하는 구동 설비 및 작업자 수용함과 구동 설비를 지지하는 프레임을 공통된 구성으로 한다.

다만 리프팅 장치마다 구동 설비에 차이를 보이며, 이러한 구동 설비의 차이에 의해 작업자의 안전, 승하강 높이 제어의 정확도가 달라지게 된다.

종래 리프팅 장치는 구동 설비가 작업자 수용함의 양측에 각각 위치되어 개별적으로 작동되는데, 양측에 각각 위치되는 구동 설비는 리프팅 장치의 상단과 하단에 각각 위치되는 스프로켓이 체인에 의해 연결되며 작업자 수용함이 체인의 움직임에 연동되어 승강되도록 체인에 고정되는 구조로 이루어 진다. 그 구동은 서보모터에 의해 스프로켓이 회전되면 체인의 구동되고 그에 연동되어 작업자 수용함이 승강되는 것이다.

이러한 종래 리프팅 장치는 작업자 수용함의 양측에 위치되는 스프로켓의 회전이 별개의 서보모터에 의해 구동되므로 그 회전속도가 동기화되지 않을 위험성이 있으며, 이 경우 작업자 수용함이 한쪽으로 기울어지는 문제가 있다.

또한, 체인은 작업자 수용함에 의해 계속적인 장력을 받는 상태이므로 체인의 교체주기가 짧고 체인이 끊어져 큰 사고로 연결될 수 있는 문제가 있다.

본 고안은 작업자 수용함 양측의 승강속도가 일치되는 리프팅 장치의 제공을 일 목적으로 한다.

또한 본 고안은 작업자 수용함의 하중에 의한 구동 설비의 마모가 작은 리프팅 장치의 제공을 일 목적으로 한다.

본 고안에 따른 리프칭 장치의 일 예는 구동축을 가지는 모터; 상기 구동축의 회전과 연동되는 제1 기어박스;로서 상기 구동축에 직교하며 서로 대칭되는 방향으로 향하는 두 개의 피동축을 가지는 제1 기어박스; 상기 두 개의 피동축의 말단에 각각 구비되는 두 개의 제2 기어박스; 상기 두 개의 제2 기어박스에 각각 구비되는 승강 안내축;으로써, 상기 피동축 및 상기 구동축에 동시에 직교하는 방향으로 향하며 상기 피동축의 회전에 연동되어 회전하는 두 개의 승강 안내축; 상기 두 개의 승강 안내축의 외면에 연속된 나사 홈으로 형성된 승강 가이드홈; 상기 승강 안내축의 회전에 의해 상기 승강 가이드홈을 따라 승강하도록 상기 두 개의 승강 가이드홈에 각각 치합되는 두 개의 승강부재; 및 상기 두 개의 승강부재에 양측이 고정되어 승강되며 내부에 수용공간을 가지는 수용함;을 포함한다.

여기서, 상기 모터, 상기 제1 기어박스 및 제2 기어박스가 고정되며 상기 승강 안내축의 말단이 회전 가능하도록 고정되는 직육면체 형상의 프레임;을 더 포함하는 것이 바람직하다.

한편, 상기 제1 기어박스 및 제2 기어박스는 베벨기어로 구비되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 승강부재는 상기 승강 가이드홈에 치합되는 볼 베어링으로 구비되는 것이 바람직하다.

이와 달리, 상기 승강부재는 상기 승강 가이드홈에 치합되는 암나사 부재로 구비되는 것도 가능하다.

또한, 상기 승강부재는 상기 승강 가이드홈에 치합되는 볼부쉬 부재로 구비되는 것도 가능하다.

본 고안에 따른 리프팅 장치의 일 예에 따르면, 작업자 수용함 양측에 위치되는 구동 설비가 하나의 서보모터에 의해 구동되므로 작업자 수용함 양측의 승하강속도가 동기화되는 이점을 가진다.

또한, 본 고안에 따른 리프팅 장치의 일 예에 따르면, 구동 설비가 기어박스 및 볼스크류의 조합으로 구성되므로 작업자 수용함의 하중에 의한 구동 설비의 마모를 최소화할 수 있는 이점을 가진다.

도 1은 본 고안에 따른 리프팅 장치의 외관을 보인 도면,
도 2는 본 고안에 따른 리프팅 장치의 동작을 설명하기 위해 주요 구성을 보인 도면,
도 3은 본 고안에 따른 리프팅 장치를 후면에서 본 도면 및
도 4는 도 3에서 A를 확대하여 보인 도면.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 리프팅 장치의 실시예에 대하여 자세히 설명한다.

이에 앞서, 고안자는 그 자신의 고안을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해서 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있으므로, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 본 고안의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

또한, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 고안의 가장 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고 본 고안의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들은 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

도 1은 본 고안에 따른 리프팅 장치의 외관을 보인 도면, 도 2는 본 고안에 따른 리프팅 장치의 동작을 설명하기 위해 주요 구성을 보인 도면, 도 3은 본 고안에 따른 리프팅 장치를 후면에서 본 도면 및 도 4는 도 3에서 A를 확대하여 보인 도면이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 예에 따른 리프팅 장치(10)는 모터(11), 구동측 기어박스(13), 승강측 기어박스(15), 승강 안내축(17), 승강부재(19) 및 수용함(C)을 포함한다.

모터(11)는 구동축(미도시)을 가지며, 구동축의 회전은 구동측 기어박스(13)의 입력축(미도시)의 회전과 연동된다. 모터(11)의 구동축이 구동측 기어박스(13)의 입력축으로 사용될 수 있음은 물론이다.

구동측 기어박스(13)는 모터(11)의 구동축에 연동되어 회전되는 입력축과 입력축에치합되는 피동축(13a,13b)으로서 서로 대칭되는 방향으로 향하는 두 개의 피동축(13a,13b)을 가진다.

입력축과 피동축(13a,13b)의 치합형태는 베벨기어로 구비될 수 있다.

이와 달이 웜(worm)과 웜휠(worm wheel)의 조합으로 구비되거나, 다른 치차의 결합형태로 구비될 수 있음은 물론이다.

승강측 기어박스(15)는 구동측 기어박스(13)의 두 개의 피동축(13a,13b)을 입력으로 하고 모터(11)의 구동축 및 구동측 기어박스(13)의 피동축(13a,13b)과 동시에 직교하는 방향으로 향하는 승강 안내축(17)을 출력으로 한다.

승강측 기어박스(15)는 구동측 기어박스(13)의 두 개의 피동축(13a,13b)에 각각 구비되므로 두 개로 구비된다.

승강측 기어박스(15)도 구동측 기어박스와 같이 베벨기어의 치합형태를 갖는 기어박스로 구비될 수 있다. 입력과 출력의 방향 차이가 유지된다면 이와 다른 치합형태의 기어박스도 가능함은 물론이다.

승강 안내축(17)은 승강측 기어박스(15)의 출력단으로 두 개가 구비된다.

승강 안내축(17)은 후술하는 수용함(C)이 승강되는 경로로 제공되는 것이다.

수용함(C)의 승강동작을 위해 승강 안내축(17)에는 승강 가이드홈(17a) 및 승강부재(19)가 구비된다.

승강 가이드홈(17a)은 승강 안내축(17)의 외면에 연속되어 형성된 나사 홈으로 구비된다.

승강부재(19)는 승강 안내축(17)의 회전에 연동되어 승강 가이드홈(17a)을 따라 승강될 수 있도록 구비된다.

구체적으로, 승강부재(19)는 승강 가이드홈(17a)에 치합되는 볼 베어링으로 구비될 수 있다.

이와 달리, 승강부재(19)는 승강 가이드홈(17a)에 암나사 부재로 구비되는 것도 가능하다.

또한, 승강부재(19)는 승강 가이드홈(17a)에 치합되는 볼부쉬 부재로 구비되는 것도 가능하다.

도 4를 참조하면 본 예에서 승강부재(19)는 승강부(19b)와 별도로 수용함(C)을 지지하는 수용함 지지부(19a)를 두었으나, 이들이 하나로 구비될 수 있음은 물론이다.

한편 승강부재(19)는 수용함(C)의 양측에 결합되어 수용함(C)을 지지하며, 수용함(C)은 승강부재(19)와 함께 승강된다.

본 예에서 승강 안내축(17)이 두 개로 구비되는 것을 도시하였으나, 보다 안정적인 승강동작 및 수용함(C)의 지지를 위해 수용함(C)의 각 모서리가 지지될 수 있도록 승강 안내축(17) 및 승강부재(19)가 네 개로 구비될 수 있음은 물론이다.

다만, 승강부재(19)의 승강 속도를 일치시키기 위해 네 개의 승강 안내축(17)은 하나의 모터(11)에 의해 구동되어야 한다.

수용함(C)은 작업자 또는 작업공구가 수용될 수 있는 수용공간을 구비한 것으로 상부가 개구된 직육면체로 구비되는 것이 바람직하다.

한편, 본 예에 따른 리프팅 장치(10)는 모터(11), 구동측 기어박스(13) 및 승강측 기어박스(15)를 고정하며, 승강 안내축(17)의 말단을 회전 가능하도록 지지하고 고정하는 직육면체 형상의 프레임(18)이 구비되는 것이 바람직하다.
프레임(18)은 수용함(C)의 양측에 각각 구비되며, 도 1에서 프레임(18)에 상하방향으로 진하게 표시된 부분(도 1의 D) 및 도 3과 도 4에서 수용함 지지부(19a)와 두 개의 프레임(18) 사이의 결합 상태(도 3의 E, 도 4의 F)와 같이, 프레임(18)에는 각각 수용함 지지부(19a)의 승강을 가이드하는 가이드레일은 각각 상하방향으로 길게 형성되는 가이드레일(16)을 가지며, 수용함 지지부(19a)에는 레일브라켓(16a)이 구비된다. 이에 의해 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 작업자의 키보다 높게 작업자를 승강시키는 승강동작의 안정성을 확보할 수 있게 된다. 즉, 승강 안내축(17)에 의한 수용함(C) 지지의 불안정성을 해소할 수 있게 된다.

Claims (6)

1. 반도체 제조 설비의 유지 보수를 위해 작업자를 승하강시키는 리프팅 장치에 있어서,
   구동축을 가지는 모터;
   상기 구동축의 회전과 연동되는 제1 기어박스;로서 상기 구동축에 직교하며 서로 대칭되는 방향으로 향하는 두 개의 피동축을 가지는 제1 기어박스;
   상기 두 개의 피동축의 말단에 각각 구비되는 두 개의 제2 기어박스;
   상기 두 개의 제2 기어박스에 각각 구비되는 승강 안내축;으로서, 상기 피동축 및 상기 구동축에 동시에 직교하는 방향으로 향하며 상기 피동축의 회전에 연동되어 회전하는 두 개의 승강 안내축;
   상기 두 개의 승강 안내축의 외면에 연속된 나사 홈으로 형성된 승강 가이드홈;
   상기 승강 안내축의 회전에 의해 상기 승강 가이드홈을 따라 승강하도록 상기 두 개의 승강 가이드홈에 각각 치합되는 두 개의 승강부재;
   상기 두 개의 승강부재에 양측이 고정되어 승강되며 내부에 수용공간을 가지는 수용함; 및
   상기 모터, 상기 제1 기어박스 및 제2 기어박스가 고정되며 상기 승강 안내축의 말단이 회전 가능하도록 고정되는 직육면체 형상의 두 개의 프레임;을 포함하며,
   상기 두 개의 프레임은 각각 상하방향으로 길게 형성되는 가이드레일;로서, 수평방향으로 상기 수용함, 상기 승강부재의 일 측, 상기 가이드레일, 상기 프레임 및 상기 승강안내축 순으로 배치되도록 구비되는 가이드레일을 가지며, 상기 두 개의 승강부재의 일 측이 각각 상기 가이드 레일을 타고 승강되고,
   상기 가이드레일은 상기 프레임을 기준으로 상기 승강안내축의 반대측에 위치되어, 상기 승강부재는 상기 승강안내축을 따라 승강 되는 동안 상기 프레임에 밀착된 상태로 승강 되는 것을 특징으로 하는 리프팅 장치.
2. 삭제
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 제1 기어박스 및 제2 기어박스는 베벨기어로 구비되는 것을 특징으로 하는 리프팅 장치.
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 승강부재는 상기 승강 가이드홈에 치합되는 볼 베어링으로 구비되는 것을 특징으로 하는 리프팅 장치.
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 승강부재는 상기 승강 가이드홈에 치합되는 암나사 부재로 구비되는 것을 특징으로 하는 리프팅 장치.
6. 청구항 1에 있어서,
   상기 승강부재는 상기 승강 가이드홈에 치합되는 볼부쉬 부재로 구비되는 것을 특징으로 하는 리프팅 장치.

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