KR200448767Y1 - 웨이퍼팬 - Google Patents

Abstract

본 고안은, 로봇아암에 장착되어 웨이퍼(104)를 받쳐 이송하기 위한 웨이퍼팬에 있어서, 웨이퍼의 사이즈에 맞추어 웨어퍼의 중심이 정렬되어야 하는 위치로부터 웨이퍼의 반경만큼 떨어진 지점에 식별라인(102)이 형성되어, 상기 식별라인(102)에 의하여 웨이퍼팬 상에 웨이퍼가 안착시 정확한 위치에 웨이퍼가 안착되었는지 시각적으로 판명할 수 있게 하는 것을 그 특징으로 하는 웨이퍼팬에 관한 것이다.

웨이퍼팬, 이송

Description

웨이퍼팬{A wafer pan}

도 1은 본 고안의 일 실시예의 개략도이다.

도 2는 본 고안의 일 실시예의 사용상태를 설명하기 위한 도면이다.

<도면의 주요 부호에 관한 설명>

100 : 웨이퍼팬 102 : 식별라인

104 : 웨이퍼

본 고안은 웨이퍼팬에 관한 것이다. 보다 구체적으로는 웨이퍼를 받쳐서 이송하는데 사용하는 웨이퍼팬에 관한 것이다.

종래 반도체 제조장치 등에 있어서 자동으로 웨이퍼를 정확하게 이송하기 위하여 로봇아암이 사용된다. 로봇아암은 정해진 거리만큼 이동함으로써 정확한 웨이퍼 이송이 이루어지게 하는 것이다. 그런데, 로봇아암의 끝단에는 웨이퍼를 직접 받쳐서 이동시키는 웨이퍼팬이 장착되어 사용되게 된다.

종래 일 위치에 존재하는 웨이퍼를 로봇아암에 의하여 타 위치로 이동시키기 위해서는 로봇아암에 붙은 웨이퍼팬이 웨이퍼를 받쳐주는 위치로 이동되도록 로봇아암을 작동시켜 주게 된다. 그런데 로봇아암의 이동거리는 초기에 정확하게 설정(setting)되기만 하면, 향후 반복적으로 정확한 동작을 수행할 수 있으므로 로봇아암의 이동거리 설정 작업이 필요하게 된다. 그런데 웨이퍼팬의 정해진 위치에 웨이퍼가 정확히 안착될 수 있게 로봇아암의 이동거리가 설정되어야 한다. 그런데 종래에는 웨이퍼팬상의 정확한 위치에 웨이퍼가 안착되었는지 검사하는 데에 많은 시간과 노력이 소요되었다.

본 고안은 웨이퍼팬의 정해진 위치에 웨이퍼가 안착되었는지를 시각적으로 용이하게 구분할 수 있게 하여, 로봇아암의 이동거리 설정 작업에 소요되는 시간과 노력을 단축할 수 있게 하는 것을 그 목적으로 한다.

본 고안은, 로봇아암에 장착되어 웨이퍼(104)를 받쳐 이송하기 위한 웨이퍼팬에 있어서, 웨이퍼의 사이즈에 맞추어 웨어퍼의 중심이 정렬되어야 하는 위치로부터 로봇아암에 장착되는 방향으로 웨이퍼의 반경만큼 떨어진 지점에 식별라인(102)이 형성되어 있고, 웨이퍼의 중심이 정렬되어야 하는 위치로부터 로봇아암에 장착되는 방향의 반대측으로 웨이퍼의 반경만큼 떨어진 지점에는 식별라인(102)이 형성되어 있지 아니하며, 상기 식별라인(102)에 의하여 웨이퍼팬 상에 웨이퍼가 안착시 정확한 위치에 웨이퍼가 안착되었는지 시각적으로 판명할 수 있게 하는 것을 그 특징으로 하는 웨이퍼팬에 관한 것이다. 식별라인은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 로봇아암에 장착되는 방향으로 웨이퍼 반경만큼 떨어진 곳에만 형성되어 있으면 충분하며 반대측으로는 형성될 필요가 없다(굳이 반대측에 형성하면 웨이퍼팬의 크기만 커져서 간섭 등의 불편을 일으킬 뿐이므로)

이하 첨부도면을 참조하여 본 고안을 상세히 설명한다.

로봇아암에 장착된 웨이퍼팬은 통상 정해진 길이 만큼 직선운동하거나 회전하면서 웨이퍼를 하측에서 받쳐서 이동하게 된다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이 정해진 위치에서 정지되어 있는 웨이퍼의 직하측으로 거리 D1만큼 직선이동된 후 다시 상승이동하여 웨이퍼의 하단에 접촉한 후 웨이퍼를 받쳐 이송하게 되는 것이다. 그런데 본 고안에서는 웨이퍼팬의 일측에 식별라인(102)가 형성되어 있다. 식별라인은 미리 정해진 위치에 형성된다. 웨이퍼의 하단에 접촉한 상태에서 웨이퍼의 중심이 위치하여야 할 지점(105)로부터 웨이퍼의 반경만큼 떨어진 지점에 원주형의 식별라인(102)을 형성하는 것이다.

웨이퍼는 12인치, 20인치 등 정해진 사이즈를 갖게 되는데 사용하는 웨이퍼의 사이즈에 따라 웨이퍼팬의 식별라인의 위치도 정하여지는 것이다. 그런데 로봇아암의 이동거리는 초기에 정확하게 설정(setting)되기만 하면, 향후 반복적으로 정확한 동작을 수행할 수 있으므로, 초기에 로봇아암의 이동거리를 설정하는 작업이 필요하게 된다. 즉, 도 1에 있어서 웨이퍼팬이 직선으로 이동되어야 하는 거리(D1)을 초기에 정하는 작업을 수행하게 된다. 이는 조금씩 거리를 변경해가면서 수평이동 및 상승이동을 통하여 웨이퍼팬이 웨이퍼를 받치게 하는 작업을 반복해서 수행해 가면서 웨이퍼팬의 정해진 지점(105)에 웨이퍼의 센터가 자리하게 되었는지를 관찰하는 작업을 필요로 하게 된다. 그런데 본 고안에서는 도 2에 도시된 바와 같이 식별라인(102)로 인하여 웨이퍼가 웨이퍼팬 상의 원하는 위치에 있게 되었는지를 시각적으로 매우 빠르게 알아볼 수 있다. 즉, 식별라인(102)를 완전히 가려버런 경우는 웨이퍼의 위치가 너무 도면상의 좌측으로 치우친 것이 되며, 식별라인(102)까지 거리가 남은 경우는 웨이퍼가 그 거리만큼 너무 도면상의 우측으로 치우친 것이 된다.

따라서, 웨이퍼팬(104)이 이동되어야 하는 정확한 거리(D1)을 식별라인을 통하여 용이하게 설정할 수 있게 되는 것이다. 즉, 수십번 반복하면서 조정하여야 하는 이동 거리 설정 작업이 불과 수회의 작업으로도 수행할 수 있게 하는 것이다. 이를 통하여 관련 작업에 소요되는 시간과 노력을 크게 절감할 수 있게 된다.

이상에서 설명한 본 고안의 실시예는 본 고안의 실시 태양 중 하나의 예를 든 것으로 본 고안은 이에 한정되지 아니하고 이와 등가물, 균등물을 포함함을 밝혀 둔다.

본 고안은 웨이퍼팬의 정해진 위치에 웨이퍼가 안착되었는지를 시각적으로 용이하게 구분할 수 있게 하여, 로봇아암의 이동거리 설정 작업에 소요되는 시간과 노력을 단축할 수 있게 하는 효과를 갖는다.

Claims (1)

1. 로봇아암에 장착되어 웨이퍼(104)를 받쳐 이송하기 위한 웨이퍼팬에 있어서,

   웨이퍼의 사이즈에 맞추어 웨어퍼의 중심이 정렬되어야 하는 위치로부터 로봇아암에 장착되는 방향으로 웨이퍼의 반경만큼 떨어진 지점에 식별라인(102)이 형성되어 있고, 웨이퍼의 중심이 정렬되어야 하는 위치로부터 로봇아암에 장착되는 방향의 반대측으로 웨이퍼의 반경만큼 떨어진 지점에는 식별라인(102)이 형성되어 있지 아니하며, 상기 식별라인(102)에 의하여 웨이퍼팬 상에 웨이퍼가 안착시 정확한 위치에 웨이퍼가 안착되었는지 시각적으로 판명할 수 있게 하는 것을 그 특징으로 하는

   웨이퍼팬

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