KR200427824Y1 - 포토마스크 보관용기 - Google Patents

포토마스크 보관용기 Download PDF

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KR200427824Y1 KR2020060019443U KR20060019443U KR200427824Y1 KR 200427824 Y1 KR200427824 Y1 KR 200427824Y1 KR 2020060019443 U KR2020060019443 U KR 2020060019443U KR 20060019443 U KR20060019443 U KR 20060019443U KR 200427824 Y1 KR200427824 Y1 KR 200427824Y1
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Abstract

본 고안은 포토마스크 보관용기에 관한 것으로 3가지 종류의 포토마스크를 각각 수용하고 상이한 크기의 포토마스크를 동시 적재 할 수 있어 저장공간의 부피가 줄어들고 여러형태와 크기를 고려한 보관용기의 제작에 따른 경제적인 비용을 줄일 수 있어 효율적인 저장관리가 가능하다.
본 고안 포토마스크 보관용기는 일측 부위가 접철되어 포토마스크 수용실(116)을 구비한 하부용기(110);와 상기 수용실(116)을 덮도록 상기 하부용기(110)와 결합되는 상부용기(120);를 포함하고 상기 하부용기(110)와 상부용기(120)는 각각에 포토마스크(M1) 적층시 이를 지지하기위한 제1지지수단(130);및 또 다른 크기의 포토마스크(M2) 적층시 이를 지지하기위한 제2지지수단(140);을 포함하며 팔각면체의 포토마스크(M3) 적층시 이를 지지하기 위한 제3지지수단(150)을 더 포함하것을 특징으로 한다.
포토마스크, 실리콘 캡, 후크부

Description

포토마스크 보관용기{Photo mask case}
도 1은 종래 포토마스크 보관용기의 사시도,
도 2는 본 고안 포토마스크 보관용기의 사시도,
도 3은 본 고안 포토마스크 보관용기의 사각면체 포토마스크의 적층 모습을 도시한 분리사시도,
도 4는 본 고안 포토마스크 보관용기의 팔각면체 포토마스크의 적층 모습을 도시한 분리사시도,
도 5는 본 고안 포토마스크 보관용기의 정면도,
도 6a은 본 고안 포토마스크 보관용기의 사각면체 포토마스크의 적층된 상태를 도시한 평면도,
도 6b는 본 고안 포토마스크 보관용기의 사각면체 포토마스크의 적층된 상태를 도시한 저면도,
도 7은 본 고안 포토마스크 보관용기의 팔각면체 포토마스크의 적층된 상태를 도시한 평면도,
도 8은 본 고안 포토마스크 보관용기의 잠금장치의 발췌사시도,
도 9은 본 고안 포토마스크 보관용기의 결합상태를 나타내는 다단 적재된 분리 단면도이다.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
110 : 하부용기 112 : 돌출부
116 : 수용실 114 : 베이스부
120 : 상부용기 122 : 결합홈
130 : 제1지지수단 137 : 실리콘 캡
140 : 제2지지수단 147 : 실리콘 캡
150 : 제3지지수단 154 : 하부가이드부재
160 : 잠금장치 162 : 후크부
170 : 고정연결부 180 : 측벽부
본 고안은 포토마스크 보관용기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 3가지 종류의 포토마스크 개별보관이 가능하고 상이한 크기를 가진 2가지 종류의 포토마스크를 동시 보관할수 있는 용기에 관한 것이다.
포토마스크는 석영 기판 위에 반도체나 LCD의 미세회로를 형상화한 것으로 노광시스템을 이용해 회로를 웨이퍼나 유리기판에 새기는 사진 원판 필름에 해당하는 고정밀도의 물품으로 충격, 오염, 긁힘, 먼지, 온도, 습도 변화등의 영향으로 손상되지 않도록 주의를 요한다. 따라서 포토마스크를 보관 및 운반시에 반드시 별도의 보관용기 내에 수용하여야 한다.
종래의 포토마스크 보관용기 일례로 대한민국 등록실용신안공보 등록번호 20-0384059호가 제안되어 있다.
첨부도면중 도 1은 종래의 포토마스크 보관용기를 도시한 것이다.
종래의 포토마스크 보관용기는 하나의 형태와 크기를 가지는 단수의 포토마스크만 보관 된다. 따라서, 여러가지 형태와 크기를 고려한 보관용기가 제작되어 보관용기 제작비용에 따른 경제적인 손실이 발생한다. 또한, 저장 공간 부피가 증대되어 효율적인 보관 및 저장이 어렵다.
따라서 본 고안은 이와같은 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로서 그 목적은 여러 종류의 포토마스크 적재시 상기 포토마스크를 지지할 수 있는 지지수단이 구비되어 상기 포토마스크의 개별 보관 및 동시적재가 가능한 포토마스크 보관용기를 제공하는 것이다.
본 고안의 다른 목적은 수직유동 방지를 위한 지지돌기가 돌설되고 수평유동 방지를 위한 가이드돌기가 돌설된 포토마스크 보관용기를 제공하는 것이다.
본 고안의 또 다른 목적은 팔각면체의 포토마스크 적재시 이를 지지하기 위한 지지수단에 있어 수직유동을 방지하는 지지돌기와 지지부재를 포함하여 수평유동을 방지하는 가이드부재가 형성되는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보관용기를 제공하는 것이다. 또한, 본 고안의 상기 지지돌기중 상부지지돌기는 탈착 및 부착과 길이 조정이 가능한 실리콘 캡으로 구성되어 지는 것이 바람직하다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 고안 포토마스크 보관용기는 일측 부위가 접철되어 포토마스크 수용실을 구비한 하부용기;와 상기 수용실을 덮도록 상기 하부용기와 결합되는 상부용기;를 포함하고, 상기 하부용기와 상부용기는 각각에 포토마스크(M1) 적층시 이를 지지하기위한 제1지지수단;및 또 다른 크기의 포토마스크(M2) 적층시 이를 지지하기위한 제2지지수단;을 포함하며 팔각면체의 포토마스크(M3) 적층시 이를 지지하기위한 제3지지수단;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보관용기를 제공함으로써 달성된다.
또한, 본 고안 포토마스크 보관용기에 있어 상기 제1지지수단 및 제2지지수단은 수직유동을 방지하는 하부지지돌기와, 탈·부착과 길이 조정이 가능한 실리콘캡을 구비한 상부지지돌기가 포토마스크의 모서리 부분의 상·하면을 대칭하여 지지하고, 수평유동을 방지하는 하부가이드돌기와 상부가이드돌기를 포함하며, 상기 제3지지수단은 수직유동을 방지하는 하부지지돌기와 상부지지부재가 포토마스크의 상·하면을 지지하고, 수평유동을 방지하는 하부가이드부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보관용기를 제공함으로써 달성된다.
이하, 본 고안 포토마스크 포장용기의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거 상세하게 설명한다.
첨부도면중 도 2는 본 고안 포토마스크 보관용기의 사시도이다.
상기도면에서 도시하는 바와 같은 본 고안 포토마스크 보관용기는 크게 하부용기(110);와 상부용기(120);로 구성되고, 상기 하부용기(110)와 상부용기(120)는 사각면체의 포토마스크(M1) 적층시 이를 지지하기 위한 제1지지수단(130);과 또 다른 크기의 사각면체의 포토마스크(M2) 적층시 이를 지지하기위한 제2지지수단(140);을 포함하여 팔각면체의 포토마스크(M3) 적층시 이를 지지하기 위한 제3지지수단(150);이 형성된다.
상기 하부용기(110)는 내부에 포토마스크를 적재할 수 있는 수용실(116)을 구비하고 투명의 합성수지 재질로 이루어지는 사각의 판체형 베이스부(114)와 상기 베이스부(114) 하면에서 일체로 형성되어 상부로 연장된 측벽부(180)로 구성되고, 포토마스크를 지지하는 지지수단(130, 140, 150)을 구비하며 수용실 하단면 아래로 돌출부(112)가 형성되어 수용실의 공간이 확대되고 사각의 판체형 모서리는 원형으로 형성된다.
상기 상부용기(120)는 상기 하부용기(110)과 대칭하여 결합되며 상기 상부용기(120)의 상단면 위로 결합홈(122)이 형성되고, 포토마스크를 지지하는 지지수단(130, 140, 150)이 구비된다.
첨부도면중 도 3은 본 고안 포토마스크 보관용기의 사각면체 포토마스크의 적층모습을 도시한 분리사시도이다.
상기도면에서 도시하는 바와 같은 본 고안 포토마스크 보관용기는 제1적층부를 이루는 포토마스크(M1) 적층시 모서리 부분의 하면을 지지하는 하부지지돌기(132)가 적층부 중심에서 일정거리 이격되어 지지부재(136)와 일체로 사각면체 돌출부(112)의 귀퉁이 상면에 돌설되고, 상기 하부지지돌기(132)옆 좌·우 대칭하여 상기 하부지지돌기(142)를 기점으로 대각선 방향인 직각삼각형을 이루는 지점에 돌설되는 한 쌍의 하부가이드돌기(134)를 포함하여 형성된다. 또한, 상기 포토마스크(M1) 적층시 모서리 부분의 상면을 지지하는 상부지지돌기(133)와 상부가이드돌기(135)가 상기 하부지지돌기(132)와 하부가이드돌기(134)와 대칭하여 돌설된다.
또한, 제2적층부를 이루는 포토마스크(M2) 적층시 모서리 부분의 하면을 지지하는 하부지지돌기(142)가 적층부 중심에서 일정거리 이격되어 지지부재(146)와 일체로 상기 하부용기(110)의 베이스부(114) 사각 모서리 부분 상면에 돌설되고, 상기 하부지지돌기(142)옆 좌·우 대칭하여 상기 하부지지돌기(142)를 기점으로 대각선 방향인 직각삼각형을 이루는 지점에 돌설되는 한 쌍의 하부가이드돌기(144)를 포함하여 형성된다. 또한, 상기 포토마스크(M2) 적층시 모서리 부분의 상면을 지지하는 상부지지돌기(143)와 상부가이드돌기(145)가 상기 상부용기(120)의 사각 모서리 부분에서 상기 하부지지돌기(142) 및 하부가이드돌기(144)와 상호 대칭하여 돌설된다.
상기도면에서와 같이 상기 제1적층부에 포토마스크(M1)가 선 적층되고, 간지(insert)를 끼워넣어 직접적인 접촉을 방지하며 상기 제2적층부에 포토마스크(M2)가 선 적층된 상기 포토마스크(M1) 상면에 후 적층되면 상이한 크기를 가진 2개의 포토마스크가 동시 적재된다.
첨부도면중 도 4는 본 고안 포토마스크 보관용기의 팔각면체 포토마스크의 적층 모습을 도시한 분리사시도이다.
상기도면에서 도시하는 바와 같은 본 고안 포토마스크 보관용기는 제2적층부를 이루는 포토마스크(M3) 적층시 상기 포토마스크(M3)의 네부분의 하면을 지지하 는 하부지지돌기(152)가 적층부 중심에서 일정거리 이격되어 하부가이드부재(154)와 일체로 상기 베이스부(114)의 양 끝단의 중앙인 일측의 제2지지수단(140)과 타측의 제2지지수단(140)사이의 중간부분에 각각 네군데 돌설되고, 상기 포토마스크(M3)의 상면을 지지하는 상부지지부재(153)는 상부지지대(155)와 연결부재로 일체 형성되어 상기 상부지지대(155)에 의해 지지되고 하부지지돌기(152)와 하부가이드부재(154)와 대칭하여 상기 상부용기(120)의 하면에 형성된다.
첨부도면중 도 5는 본 고안 포토마스크 보관용기의 정면도이고, 도 6a는 본 고안 포토마스크 보관용기의 사각면체 포토마스크의 적층된 상태를 도시한 평면도이며, 도 6b는 본 고안 포토마스크 보관용기의 사각면체 포토마스크의 적층된 상태를 도시한 저면도이다.
상기 도면들에서 도시한 바를 참조하면 상기 포토마스크(M1)적층시 하부지지돌기(132)와 상부지지돌기(133)는 상기 포토마스크(M1)의 상·하면을 지지하여 수직유동을 방지하고, 하부가이드돌기(134)와 상부가이드돌기(135)는 상기 포토마스크(M1)의 모서리부의 양측면을 지지하여 수평유동을 방지하며 상기 하부지지돌기(132)는 탈착 및 부착이 가능한 실리콘 캡(137)을 구성한다. 또한, 상기 포토마스크(M2)적층시 하부지지돌기(142)와 상부지지돌기(143)는 상기 포토마스크(M2)의 상·하면을 지지하여 수직유동을 방지하고, 하부가이드돌기(144)와 상부가이드돌기(145)는 상기 포토마스크(M2)의 모서리부의 양측면을 지지하여 수평유동을 방지하며 상기 하부지지돌기(142)는 탈착 및 부착이 가능한 실리콘 캡(147)을 구성한다. 상기 실리콘 캡(137, 147)은 탈착 및 부착이 가능하고 다양한 길이의 실리콘 캡으로 교환이 가능하여 포토마스크의 두께에 따라 지지하는 높이 조절이 가능하다. 따라서, 본 고안의 포토마스크 보관용기 하나에 상기 포토마스크(M1,M2)를 각각 별도 보관 및 동시 보관이 가능하다.
첨부도면중 도 7은 본 고안 포토마스크 보관용기의 팔각면체 포토마스크의 적층된 상태를 도시한 평면도이다.
상기도면에서 도시하는 바와 같은 본 고안 포토마스크 보관용기는 팔각면체의 포토마스크(M3)적층시 하부지지돌기(152)와 상부지지부재(153)은 상기 포토마스크(M3)의 팔각면중 상호대칭하는 사각면의 상·하면을 지지하여 수직유동을 방지하고 하부가이드부재(154)는 상기 포토마스크(M3)의 팔각면중 상호대칭하는 사각면의 중앙의 가이드면을 지지하여 수평유동을 방지한다.
첨부도면중 도 8은 본 고안 포토마스크 보관용기의 잠금장치의 발췌사시도이다.
상기 도면을 참조하면 하부용기(110)와 상부용기(120)를 결합하는 잠금장치(160)는 후크부(162)가 연결부재(168)와 일체로 형성되고 상기 후크부(162)와 상기 하부용기(110) 사이에 걸림구멍(164)이 마련된다. 상시 상부용기(120)에 걸림돌기(166)가 일체로 형성되어 상기 걸림돌기(166)가 상기 걸림구멍(164)에 삽입되며 상기 후크부(162)가 상기 걸림돌기(166)에 걸림으로 상기 하부용기(110)와 상부용기(120)를 결합한다.
첨부도면 도 2에서 도시하는 바와 같이, 본 고안의 포토마스크 보관용기의 고정연결부(170)는 힌지 막대(172)와 힌지 구멍(174)이 각각 하부용기(110) 및 상 부용기(120)에 일체로 형성되어 체결되며 상기 포토마스크 보관용기의 일측을 고정 연결한다.
첨부도면중 도 9는 본 고안 포토마스크 보관용기의 결합상태를 나타내는 다단 적재된 분리 단면도이다.
상기 도면을 참조하면, 하부용기(110)의 돌출부(112)가 하단면 아래로 형성되고 돌출부(112)의 늘어난 공간만큼 수용실(116)의 공간이 확장되며 상부용기(120)의 상단면에 형성된 결합홈(122)이 상기 돌출부(112)와 상호대면하여 결합된다.
상기한 바와 같이 본 고안 포토마스크 포장용기는 각각의 지지수단(제1지지수단, 제2지지수단, 제3지지수단)을 구비하여 한정된 여러종류의 포토마스크의 개별 보관 및 동시적재가 가능하여 다양한 보관용기 제작에 따른 경제적인 비용이 절감되고 포토마스크 동시 보관이 가능하여 저장시 공간 부피가 줄어 든다.
또한, 상기 지지수단은 상부지지돌기 및 하부지지돌기, 실리콘 캡으로 구성되어 포토마스크의 낱개 및 동시 적재간 수평 및 수직유동을 방지한다.
이와같이 본 고안의 포토마스크 보관용기는 포토마스크의 안정적이고 효율적인 보관 및 운반이 가능하다.

Claims (5)

  1. 포토마스크 보관용기에 있어서,
    일측 부위가 접철되어 포토마스크 수용실(116)을 구비한 하부용기(110);
    상기 수용실(116)을 덮도록 상기 하부용기(110)와 결합되는 상부용기(120);
    상기 하부용기(110)와 상부용기(120)는 각각에 포토마스크(M1) 적층시 이를 지지하기위한 제1지지수단(130);및
    또 다른 크기의 포토마스크(M2) 적층시 이를 지지하기위한 제2지지수단(140);을 포함하는 포토마스크 보관용기.
  2. 제1항에 있어서,
    팔각면체의 포토마스크(M3) 적층시 이를 지지하기위한 제3지지수단(150)을 더 포함하는 포토마스크 보관용기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1지지수단(130)은 수직유동을 방지하는 하부지지돌기(132)와, 탈·부착과 길이 조정이 가능한 실리콘캡(137)을 구비한 상부지지돌기(133)가 상기 하부용기(110)의 돌출부(112) 상면과 상기 상부용기(120)의 결합홈(122) 하면에 사각 모서리 부분에서 각각 돌설되어 상기 포토마스크(M1)의 모서리 부분의 상·하면을 대칭하여 지지하고, 수평유동을 방지하는 하부가이드돌기(134)는 상기 하부지지돌 기(132)옆 좌·우 대칭하여 상기 하부지지돌기(132)를 기점으로 대각선 방향인 직각삼각형을 이루는 지점에 돌설되고, 상부가이드돌기(135)는 상기 상부지지돌기(133)옆 좌·우 대칭하여 돌설되는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보관용기.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2지지수단(140)은 수직유동을 방지하는 하부지지돌기(142)와, 탈·부착과 길이 조정이 가능한 실리콘캡(147)을 구비한 상부지지돌기(143)가 상기 하부용기(110)의 베이스부(114) 사각 모서리 부분과 상기 상부용기(120)의 사각 모서리 부분에서 각각 돌설되어 상기 포토마스크(M2)의 모서리 부분의 상·하면을 대칭하여 지지하고, 수평유동을 방지하는 하부가이드돌기(144)는 상기하부지지돌기(142)옆 좌·우 대칭하여 상기 하부지지돌기(142)를 기점으로 대각선 방향인 직각삼각형을 이루는 지점에 돌설되고, 상부가이드돌기(145)는 상기 상부지지돌기(143)옆 좌·우 대칭하여 돌설되는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보관용기.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 제3지지수단(150)은 수직유동을 방지하는 한쌍의 하부지지돌기(152)와 상부지지부재(153)가 일측의 제2지지수단(140)과 타측의 제2지지수단(140) 사이의 중간부분인 상기 하부용기(110)의 베이스부(114)와 상기 상부용기(120)의 하면에 상호 대칭하여 돌설되어 상기 포토마스크(M3)의 상·하면을 지지하고, 상기 상부지지부재(153)는 상부지지대(155)와 결합되어 상기 상부지지대(155)가 상기 상부지지 부재(153)를 고정하며 수평유동을 방지하는 한 쌍의 하부가이드부재(154)가 각각 이격되어 상기 하부지지돌기(152) 아래로 연결되어 상기 하부용기(110)의 베이스부(114)에 돌설되는 것을 특징으로 하는 포토마스크 보관용기.
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