KR200421870Y1

KR200421870Y1 - 액상용액 앰플 자동 공급장치

Info

Publication number: KR200421870Y1
Application number: KR2020060011866U
Authority: KR
Inventors: 배응준
Original assignee: 배응준
Priority date: 2006-05-03
Filing date: 2006-05-03
Publication date: 2006-07-18

Abstract

본 고안은 액상용액 앰플 자동 공급장치에 관한 것이다. 본 고안에 따른 액상용액 앰플 자동 공급장치는 앰플 속의 액상용액을 챔버로 공급하는 액상용액 앰플 자동 공급장치에 있어서, 액상용액이 내부에 수용되어 있는 일회용 앰플이 소정의 두께를 가지는 원판형태로 테두리부에 일정간격으로 상기 앰플의 형상에 상응하는 다수개의 홈이 형성되어 그 안에 내삽되고, 상기 홈의 저면은 상기 앰플의 저면 중심부가 일부 노출되도록 개방되는 회전 플레이트를 구비한 앰플 키트; 바닥에 지지되는 베이스와 상기 베이스의 양측 상부에 수직으로 지지되는 프레임 및 상기 프레임의 양 상단부에 결합되는 수평 프레임을 포함하는 본체부; 전원을 공급받아 횡 방향으로 회전력을 발생하는 제 1스테핑 모터; 일단부가 상기 제 1스테핑 모터에 연결되어, 회전력을 상기 앰플 키트로 전달하는 샤프트; 상기 본체부의 수평 프레임의 중앙부를 관통하여, 소정간격 상,하로 피스톤 운동 가능하게 연결결합되고, 그 내부에 상기 제 1스테핑 모터가 설치되는 공간을 형성하는 틀 구조의 수직 이동부; 전원을 공급받아 종 방향으로 회전력을 발생하는 제 2스테핑 모터; 일단부는 상기 제 2스테핑 모터에 연결되고, 타단부는 상기 수직 이동부의 저면에 연결되어, 상기 제 2스테핑 모터의 종 회전운동을 직선왕복운동으로 변환시키는 크랭크 축; 상기 앰플 키트의 앰플 저면을 향하도록 상기 수평 프레임의 일측에 위치되게 고정결합되고, 상부가 개방되어, 내부에 상기 액상용액을 수용하는 공간을 형성하는 원료탱크부; 상단부가 날카로운 금속성 재질로, 상기 원료탱크부의 상단 개방부 테두 리에 연장형성되는 스트로우 형태의 삽입핀; 및 상기 원료탱크부의 하단에 연결되어, 액상용액을 상기 챔버로 공급하는 배출관;을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

본 고안에 따르면, 본 고안에 따른 액상용액 앰플 자동 공급장치는 구조를 단순화하고, 교환 및 교체가 손쉬운 상기 앰플 키트를 이용하여 액상용액을 공급함으로써, 장치의 제조 원가를 낮출 수 있으며, 작업자가 값싸고 편하게 앰플 키트만을 구입하여 간단하게 교체하여 미량의 액상용액을 상기 저온 플라즈마 살균,소독기의 소독실 및 반응실로 자동공급 할 수 있도록 하는 효과를 갖는다.

액상, 용액, 앰플, 공급장치

Description

액상용액 앰플 자동 공급장치{Fluid Injection System}

도 1은 본 고안에 따른 액상용액 앰플 자동 공급장치의 구조를 나타내는 정면도이다.

도 2는 본 고안에 따른 액상용액 앰플 자동 공급장치의 구조를 나타내는 평면도이다.

도 3은 본 고안에 따른 앰플 키트의 앰플 및 회전 플레이트의 형상을 나타내는 사시도이다.

도 4는 본 고안에 따른 액상용액 앰플 자동 공급장치의 요부 확대도이다.

< 도면의 주요 부분의 부호에 대한 설명 >

1: 본체부 10: 베이스

20: 프레임 30: 수평프레임

100: 앰플 키트 110: 앰플

120: 회전 플레이트 200: 제 1스테핑 모터

210: 샤프트 300: 수직 이동부

400: 제 2스테핑 모터 410: 크랭크축

500: 원료탱크 510: 삽입핀

600: 배출관 700: SOL밸브

본 고안은 액상용액 앰플 자동 공급장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 의료 기구와 같은 플라즈마 살균, 소독장치에 공급되는 액상용액이나, 반도체 공정에서 이용되는 액상용액을 기화 장치를 통해 반응실에 미량으로 정량공급할 수 있도록 하는 액상용액 앰플 자동 공급장치에 관한 것이다.

종래에는 다양한 형태의 일회용 의료도구 또는 재사용 의료도구를 살균, 소독하기 위해 여러가지 방법들이 이용되고 있으며, 보통 증기나 건조한 뜨거운 공기를 이용하는 방법이 가장 널리 이용되고 있으나, 습하거나 건조한 뜨거운 공기를 이용하는 소독방법은 열이나 증기에 약한 물체들을 소독할 수 없는 단점이 있었다.

이러한 단점을 해결하기 위한 방법 중 하나로 저온의 플라즈마 시스템에서 반응 활성종의 전조로 과산화수소(H₂O₂, Hydrogen Peroxide)를 이용하는 방법이 있는데, 이는 플라즈마로 소독시키는 전체시간과 플라즈마 전력을 감소시키기 위하여 먼저 기체상의 과산화수소로 소독시킬 물체 표면과 먼저 접촉시킨후 전력을 인가해 발생된 과산화수소 플라즈마로 최종적인 소독처리를 행하게 된다.

종래에 이러한 방법을 사용하여 과산화 수소와 같은 약물이 비어있는 살균실 내로 주입되어서 이 살균실에서 약물이 증발되어 살균해야 할 제품에 산포되는 살균 시스템이 사용되고 있다. 필요한 시간주기 후에 전기 에너지가 살균실에 가해져서 기체를 이용하여 살균을 달성하기에 충분한 동력 수준에 이른 플라즈마를 형성하게 된다. 이러한 단계들은 다른 챔버들에서 수행될 수 있다.

상기 시스템은 대단히 효과적인 것으로 입증되어 있고, 많은 장점을 갖는다. 그 결과 상기 시스템은 상품화되어 있고, 안전하고 편리하며 실용적인 방법으로서 필요한 유체의 적정량을 공급하는 장치를 필요로 하고 있다.

또한, 반도체의 패턴 배선으로 가장 많이 이용되는 금속박막을 형성시키는 반도체 공정인 금속 유기물 화학기상 증착(MOCVD: Metal Organic Chemical Vapor Deposition)방법에서 금속 증기방생용 액체를 플라즈마 화학반응을 위한 화학 반응실로 공급하는데 널리 이용되는 대표적인 장치는 액체 유량 조절기(Liquid Mass Flow Controller)와 주입기(Injection Pump)가 부착된 기화기(Vaporizer)이다.

그러나, 이 장치는 액체를 미량으로 정량공급하여 주는 장치구조가 매우 복잡하고 장치가격이 엄청난 고가라는 문제점이 있다.

본 고안은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 구조를 단순화하여 제조 원가를 낮출 수 있으며, 간단하게 앰플 키트를 교체하여, 저온 플라즈마 살균,소독을 위한 플라즈마 발생용으로 가장 많이 사용되는 액상의 과산화수소수를 미량 정량 공급하여 기화시켜 주는 장치로 이용하기 위한 액상용액 앰플 자동 공급장치 를 제공함에 그 목적이 있다.

또한, 플라즈마 화학반응 증착방법을 이용하여 금속박막을 증착하는 반도체 공정에서 액상의 금속유기 화합물을 미량 정량공급하여 기화시켜 화학 반응실에서 금속 증기 플라즈마를 안정되게 발생시켜 줄 수 있는 반도체 공정용 장비로도 활용할 수 있도록 하기 위한 액상용액 앰플 자동 공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.

또한, 병원에서 사용할 수 있는 주사용액 미량 정량 자동 공급기와 반도체 공정에서 많이 사용되는 금속 증기 발생용 액체를 화학 반응실에 일정량 공급할 수 있는 액상용액 앰플 자동 공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.

상술한 바와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해 본 고안은, 앰플 속의 액상용액을 챔버로 공급하는 액상용액 앰플 자동 공급장치에 있어서, 액상용액이 내부에 수용되어 있는 일회용 앰플이 소정의 두께를 가지는 원판형태로 테두리부에 일정간격으로 상기 앰플의 형상에 상응하는 다수개의 홈이 형성되어 그 안에 내삽되고, 상기 홈의 저면은 상기 앰플의 저면 중심부가 일부 노출되도록 개방되는 회전 플레이트를 구비한 앰플 키트; 바닥에 지지되는 베이스와 상기 베이스의 양측 상부에 수직으로 지지되는 프레임 및 상기 프레임의 양 상단부에 결합되는 수평 프레임을 포함하는 본체부; 전원을 공급받아 횡 방향으로 회전력을 발생하는 제 1스테핑 모터; 일단부가 상기 제 1스테핑 모터에 연결되어, 회전력을 상기 앰플 키트로 전달하는 샤프트; 상기 본체부의 수평 프레임의 중앙부를 관통하여, 소정간격 상,하 로 피스톤 운동 가능하게 연결결합되고, 그 내부에 상기 제 1스테핑 모터가 설치되는 공간을 형성하는 틀 구조의 수직 이동부; 전원을 공급받아 종 방향으로 회전력을 발생하는 제 2스테핑 모터; 일단부는 상기 제 2스테핑 모터에 연결되고, 타단부는 상기 수직 이동부의 저면에 연결되어, 상기 제 2스테핑 모터의 종 회전운동을 직선왕복운동으로 변환시키는 크랭크 축; 상기 앰플 키트의 앰플 저면을 향하도록 상기 수평 프레임의 일측에 위치되게 고정결합되고, 상부가 개방되어, 내부에 상기 액상용액을 수용하는 공간을 형성하는 원료탱크부; 상단부가 날카로운 금속성 재질로, 상기 원료탱크부의 상단 개방부 테두리에 연장형성되는 스트로우 형태의 삽입핀; 및 상기 원료탱크부의 하단에 연결되어, 액상용액을 상기 챔버로 공급하는 배출관;을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 원료탱크부와 배출관의 사이에는 상기 배출관으로 흐르는 액상용액의 유량을 제어하는 SOL밸브;를 더 포함하여 이루어진 것을 일 특징으로 한다.

또한, 상기 앰플 키트는 교환, 교체 가능한 일회용 소모품으로 플라스틱 합성수지 재질로 형성되는 것을 일 특징으로 한다.

또한, 상기 앰플에 수용된 액상용액은 과산화수소수인 것을 일 특징으로 한다.

또한, 상기 제 1, 2스테핑 모터의 회전을 감지하기 위한 감지센서를 더 포함하는 것을 일 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 대하여 설명하고자 하며, 하기에서 본 고안을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 고안의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략될 수 있다.

도 1은 본 고안에 따른 액상용액 앰플 자동 공급장치의 구조를 나타내는 정면도이고, 도 2는 본 고안에 따른 액상용액 앰플 자동 공급장치의 구조를 나타내는 평면도이다. 도 1, 2에 도시된 바를 참조하면, 본 고안의 액상용액 앰플 자동 공급장치는 앰플 키트(100), 본체부(1), 제 1스테핑 모터(200), 수직 이동부(300), 제 2스테핑 모터(400), 크랭크 축(410), 원료탱크부(500) 및 배출관(600)으로 구성된다.

본체부(1)는 바닥에 지지되는 베이스(10)와 상기 베이스(10)의 양측 상부에 수직으로 지지되는 프레임(20) 및 상기 프레임(20)의 양 상단부에 결합되는 수평 프레임(30)으로 구성된다.

앰플 키트(100)의 구조 및 형상은 하기에서 도 3을 참조하여 상세히 설명한다.

제 1스테핑 모터(200)는 전원을 공급받아 횡 방향으로 회전력을 발생하는 역할을 한다. 샤프트(210)는 일단부가 상기 제 1스테핑 모터(200)에 연결되어, 회전력을 상기 앰플 키트(100)로 전달하게 된다.

수직 이동부(300)는 상기 본체부(1)의 수평 프레임(30)의 중앙부를 관통하여, 소정간격 상,하로 피스톤 운동 가능하게 연결결합되게 된다. 상기 수직 이동 부(300)는 그 내부에 상기 제 1스테핑 모터(200)가 설치되는 공간을 형성하는 틀 구조로 형성된다.

제 2스테핑 모터(400)는 전원을 공급받아 종 방향으로 회전력을 발생하는 역할을 한다. 크랭크 축(410)은 일단부는 상기 제 2스테핑 모터(400)에 연결되고, 타단부는 상기 수직 이동부(300)의 저면에 연결된다. 상기 제 2스테핑 모터(400)의 종 회전운동을 직선왕복운동으로 변환시키는 역할을 하게 된다.

제 1스테핑 모터(200)와 제 2스테핑 모터(400)가 회전되는 샤프트의 측방에는 모터의 회전을 감지하고, 동작, 중단을 지시하기 위해 필요한 감지센서(미도시)를 구비한다.

원료탱크부(500), 삽입핀(510), 배출관(600), SOL밸브(700)의 구조 및 형상은 하기에서 도 4를 참조하여 상세히 설명한다.

도 3은 본 고안에 따른 앰플 키트의 앰플 및 회전 플레이트의 형상을 나타내는 사시도이다. 도 3에 도시된 바를 참조하면, 본 고안의 앰플 키트(100)는 앰플(110) 및 다수 개의 상기 앰플(110)들이 내삽되는 회전 플레이트(120)로 구성된다.

상기 앰플(110)은 내부에 대표적으로 과산화수소를 비롯한 액상용액이 수용되어 밀폐되는 튜브형태로 형성되는 것이 바람직하다.

회전 플레이트(120)는 소정의 두께를 가지는 원판형태로 테두리부에 일정간격으로 상기 앰플(110)의 형상에 상응하는 다수개의 홈이 형성되어 그 안에 상기 앰플(110)이 내삽된다. 상기 회전 플레이트(120)의 상기 홈 저면은 상기 앰플(110)의 저면 중심부가 일부 노출되도록 개방되게 형성된다.

상기 앰플 키트(100)는 교환, 교체 가능한 일회용 소모품으로 플라스틱 합성수지 재질로 형성되는 것이 바람직하다.

도 4는 본 고안에 따른 액상용액 앰플 자동 공급장치의 요부 확대도이다. 도 4에 도시된 바를 참조하면, 본 고안의 원료탱크부(500)는 상기 앰플 키트(100)의 앰플(110) 저면을 향하도록, 상기 수평 프레임(30)의 일측에 위치되게 고정결합된다. 상기 원료탱크부(500)의 상부는 개방되며, 내부에 상기 액상용액을 수용하는 공간이 형성된다.

삽입핀(510)은 상단부가 날카로운 금속성 재질로 이루어지며, 상기 원료탱크부(500)의 상단 개방부 테두리에 연장형성되는 스트로우 형태로 형성된다.

배출관(600)은 상기 원료탱크부(500)의 하단에 연결되어, 액상용액을 상기 저온 플라즈마 살균,소독기의 소독실 및 반응실(미도시)로 공급하게 된다.

또한, 상기 원료탱크부(500)와 배출관(600)의 사이에는 상기 배출관(600)으로 흐르는 액상용액의 유량을 제어하도록 SOL밸브(700)가 더 구비되는 것이 바람직하다.

상기 SOL밸브(700)는 통상적으로 전기로써 밸브를 열고 닫아 유체의 흐름을 제어하는 솔레노이드밸브(Solenoid Valve)를 말한다.

이하, 상술한 바와 같은 구성을 갖는 본 고안의 작동관계 및 효과에 대해서 설명한다. 상기 제 2스테핑 모터(400)의 회전력은 크랭크 축(410)에 의해 직선 왕복운동으로 변환된다. 그에 따라, 제 2스테핑 모터(400)의 동작시, 수직 이동부(300)가 소정간격 하향 이동되며, 그 상부에 위치되는 앰플 키트(100)가 같이 하향 이동된다.

상기 앰플 키트(100)가 하향이동됨에 따라 상기 앰플(110)의 저면부가 상기 삽입핀(510)에 의해 찢겨지고, 삽입핀(510)을 통해 상기 앰플(110) 내부의 액상용액이 상기 원료탱크부(500)에 저장되었다가 상기 배출관(600)을 통해서 상기 저온 플라즈마 살균,소독기의 소독실 및 반응실(미도시) 등으로 공급되게 된다.

상기 하나의 앰플(110) 내부의 액상용액이 소진되면, 상기 수직 이동부(300)는 다시 상향 이동하여 원위치하며, 상기 제 1스테핑 모터(200)의 회전에 따라 상기 앰플 키트(100)가 일정간격 회전하여, 그 다음 앰플(110) 상기 삽입핀(510)의 상부 위치로 오게 된다.

상술한 바와 같은 과정이 반복 작동되어, 상기 앰플(110) 내부의 액상용액들이 지속적으로 공급되게 된다.

상술한 바와 같이, 본 고안에 따른 액상용액 앰플 자동 공급장치는, 구조를 단순화하고, 교환 및 교체가 손쉬운 상기 앰플 키트를 이용하여 액상용액을 공급함으로써, 장치의 제조 원가를 낮출 수 있으며, 작업자가 값싸고 편하게 앰플 키트만 을 구입하여 간단하게 교체하여 미량의 액상용액을 상기 저온 플라즈마 살균,소독기의 소독실 및 반응실로 자동공급 할 수 있도록 하는 효과를 갖는다.

Claims

앰플 속의 액상용액을 챔버로 공급하는 액상용액 앰플 자동 공급장치에 있어서,

액상용액이 내부에 수용되어 있는 일회용 앰플이 소정의 두께를 가지는 원판형태로 테두리부에 일정간격으로 상기 앰플의 형상에 상응하는 다수개의 홈이 형성되어 그 안에 내삽되고, 상기 홈의 저면은 상기 앰플의 저면 중심부가 일부 노출되도록 개방되는 회전 플레이트를 구비한 앰플 키트;

바닥에 지지되는 베이스와 상기 베이스의 양측 상부에 수직으로 지지되는 프레임 및 상기 프레임의 양 상단부에 결합되는 수평 프레임을 포함하는 본체부;

전원을 공급받아 횡 방향으로 회전력을 발생하는 제 1스테핑 모터;

일단부가 상기 제 1스테핑 모터에 연결되어, 회전력을 상기 앰플 키트로 전달하는 샤프트;

상기 본체부의 수평 프레임의 중앙부를 관통하여, 소정간격 상,하로 피스톤 운동 가능하게 연결결합되고, 그 내부에 상기 제 1스테핑 모터가 설치되는 공간을 형성하는 틀 구조의 수직 이동부;

전원을 공급받아 종 방향으로 회전력을 발생하는 제 2스테핑 모터;

일단부는 상기 제 2스테핑 모터에 연결되고, 타단부는 상기 수직 이동부의 저면에 연결되어, 상기 제 2스테핑 모터의 종 회전운동을 직선왕복운동으로 변환시키는 크랭크 축;

상기 앰플 키트의 앰플 저면을 향하도록 상기 수평 프레임의 일측에 위치되게 고정결합되고, 상부가 개방되어, 내부에 상기 액상용액을 수용하는 공간을 형성하는 원료탱크부;

상단부가 날카로운 금속성 재질로, 상기 원료탱크부의 상단 개방부 테두리에 연장형성되는 스트로우 형태의 삽입핀; 및

상기 원료탱크부의 하단에 연결되어, 액상용액을 상기 챔버로 공급하는 배출관;을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액상용액 앰플 자동 공급장치.
제 1항에 있어서,

상기 원료탱크부와 배출관의 사이에는 상기 배출관으로 흐르는 액상용액의 유량을 제어하는 SOL밸브;를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 액상용액 앰플 자동 공급장치.
제 1항에 있어서,

상기 앰플 키트는 교환, 교체 가능한 일회용 소모품으로 플라스틱 합성수지 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 액상용액 앰플 자동 공급장치.
제 1항에 있어서,

상기 앰플에 수용된 액상용액은 과산화수소수인 것을 특징으로 하는 액상용액 앰플 자동 공급장치.
제 1항에 있어서,

상기 제 1스테핑 모터의 회전을 감지하기 위한 감지센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액상용액 앰플 자동 공급장치.
제 1항에 있어서,

상기 제 2스테핑 모터의 회전을 감지하기 위한 감지센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액상용액 앰플 자동 공급장치.