KR20040105957A - 기상 증착 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 가열원에서 발생된 열로 하우징 내부의 증착 재료를 가열하는 증발원을 포함하여 증발원 내에서 생성된 증착 재료의 증기를 마스크를 통하여 분사시켜 기판 표면에 증착막을 형성하는 기상 증착 장치에 있어서,증발원의 증착 재료 가열원에서 발생된 열이 마스크로 전달되는 것을 차단하는 열전달 방지 수단을 선형 증발원의 상단에 설치한 것을 특징으로 하는 기상 증착 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 열전달 방지 수단은,상기 증발원으로부터 마스크로의 열전달을 막을 수 있는 증발원 상측의 소정 위치에 고정된 제 1 열전달 방지판; 및상기 제 1 열전달 방지판 상측으로 더 형성된 다수의 열전달 방지판들로 이루어지되, 상기 각 열전달 방지판에는 상기 증발원의 재료 증기가 마스크를 향해 이동할 수 있도록 절개부가 형성되어 있는 기상 증착 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 열전달 방지 수단은,증발원의 하우징의 외측에 위치한 금속 플레이트의 상단에 고정되며, 증발원의 재료 증기 분사 개방부와 대응하여 외부로 증착 재료를 분산시키는 절개부가 구성되어 있는 제 1 열전달 방지판;제 1 열전달 방지판 상부에 설치되며, 상기 제 1 열전달 방지판의 절개부와 대응하는 절개부가 구성되어 있는 제 2 열전달 방지판; 및제 2 열전달 방지판 상부에 설치되며, 상기 제 2 열전달 방지판의 절개부와 대응하는 절개부가 구성되어 있는 제 3 열전달 방지판으로 이루어져, 각 열전달 방지판의 절개부를 통하여 증착 재료의 증기가 마스크를 향하여 분산되며, 가열원으로부터의 열은 각 열전달 방지판에 의하여 차단되어 마스크로 열이 전달되는 것이 억제되는 기상 증착 장치.
- 제 3 항에 있어서, 제 1 열전달 방지판 및 제 2 열전달 방지판의 상부 표면 가장 자리에는 일정 높이의 스페이서가 각각 고정되어 있어 제 2 열전달 방지판 및 제 3 열전달 방지판의 하부 표면 가장 자리가 각각 고정되어 제 1 열전달 방지판과 제 2 열전달 방지판 사이 및 제 2 열전달 방지판과 제 3 열전달 방지판 사이에는 소정 높이의 공간이 형성되는 기상 증착 장치.
- 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 제 2 및 제 3 열전달 방지판에 형성된 절개부는 그 하부에 위치한 열전달 방지판에 형성된 절개부보다 그 폭 및 길이가 큰 기상 증착 장치.
- 제 3 항에 있어서, 상기 금속 플레이트는 그 내부에 외부에서 공급된 냉각수가 순환되는 냉각수 유동 라인이 형성되어 있는 기상 증착 장치.
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