KR20040101003A - 플라즈마디스플레이패널의 제조방법 및플라즈마표시장치의 제조방법 - Google Patents

Abstract

플라즈마디스플레이패널의 격자모양격벽의 형상을 각이 진 형상으로 하여, 플라즈마디스플레이패널의 휘도를 향상시킨다. 개시된 플라즈마디스플레이패널의 제조방법은 주사전극들(111) 및 유지전극들(122)로 이루어진 행전극들을 구비한 전면기판(101)과 행전극들과 교차하는 방향으로 연장하는 데이터전극들(105)로 이루어진 열전극들을 구비한 배면기판(102)을, 격자모양격벽(109)을 개재하여 대향하여 배치한 플라즈마디스플레이패널을 제조할 때, 격자모양격벽(109)의 형상에 대응한 패턴에서, 열전극과 교차하는 방향의 패턴에서의 열전극과 평행한 패턴과 접하는 양 귀퉁이부들에만 절단부들(13)을 마련한 레지스트마스크(1)를 이용하여 격자모양격벽의 형성을 행하는 것이다.

Description

플라즈마디스플레이패널의 제조방법 및 플라즈마표시장치의 제조방법{Method for manufacturing plasma display panel and method for manufacturing plasma display device}

본 발명은 격자모양격벽을 가지는 플라즈마디스플레이패널의 제조방법, 및이와 같은 플라즈마디스플레이패널을 사용한 플라즈마표시장치의 제조방법에 관한 것이다.

최초로, 플라즈마디스플레이패널 및 플라즈마표시장치의 개요와, 이것들의 종래의 제조방법에 관하여 설명한다. 또, 이해를 쉽도록 하기 위해, 최초, 방전공간을 구획하는 격벽 또는 리브(rib)를 한 방향으로만 마련한 스트립모양 격벽형 플라즈마디스플레이패널이 설명된다.

도 4는 종래의 스트립모양 리브(격벽)형 플라즈마디스플레이패널의 개략적인 구조를 보여주는 분해사시도이다. 도 4에 보인 스트립모양리브형 플라즈마디스플레이패널(100)은 개략적으로 전면기판(101)과 배면기판(102)을 구비한다.

전면기판(101)은, 도 4의 상부에 보인 것처럼, 투명유리기판(103), 투명유리기판(103)상에 서로 평행하게 배치된 버스전극들(111 및 121), 버스전극(111)에 직교하게 마련된 투명전극으로 이루어진 주사전극들(112), 버스전극(121)에 직교하게 마련된 투명전극으로 이루어진 유지전극들(122)을 가진다. 투명유리기판(103)위에는, 버스전극들(111 및 121), 주사전극들(112) 및 유지전극들(122)을 덮게끔 투명유전체층(131)이 마련됨과 동시에, 투명유전체층(131)을 덮게끔 표면보호층(132)이 마련된다.

배면기판(102)은, 도 4의 하부에 보인 것처럼, 투명유리기판(104), 투명유리기판(104)상에 형성된 주사전극들(112) 및 유지전극들(122)과 직교하는 방향으로 연장하는 데이터전극들(105), 데이터전극들(105)을 덮게끔 투명유리기판 상에 형성된 백색유전체층(106), 백색유전체층(106)상에 형성된 표시셀을 구획하기 위한 격벽들(107), 유전체층(106)의 표면과 격벽들(107)의 측면에 형성된 형광체층(108)을 구비한다.

형광체층(108)은 전면기판(101)과 배면기판(102) 사이에 봉입된 방전기체의 방전에 의해 발생하는 자외선을 가시광으로 변환하는 것으로, 표시셀 등에, 예를 들면 광의 3원색인 적(R), 녹(G) 및 청(B)의 3색으로 나누어 도포된다.

전면기판(101)과 배면기판(102)은, 100㎛ 정도의 틈을 두고서 대향된 상태로 고정되고, 그 주변부는 봉착재로 기밀봉지된다.

전면기판(101)과 배면기판(102) 사이에 형성되는 공간은 방전기체공간이 되고, 이 방전기체공간 내에는, 헬륨, 네온, 크세논 또는 이것들의 혼합기체로 이루어진 방전기체가 충전된다.

배면기판(102)을 구성하는 투명유리기판(104)에는, 적당한 개소에 통기구멍이 형성됨과 동시에, 투명유리기판(104)의 외측표면에는, 도 4에서는 생략되어 있지만, 통기구멍과 위치를 맞추어서 통기관이 기밀상태를 유지한 상태로 부착된다.

통기관의 배면기판(102)에 부착되어 있는 끝부와 반대측의 끝부는, 제작초기에는 개구상태로 유지되며, 통기관은 이 개구된 끝부를 경유하여 배기 및 가스충전장치에 접속된다.

그리고, 배기 및 가스충전장치에 의해, 방전기체공간을 진공상태로 배기한 후, 방전기체공간에 방전기체를 충전한다. 방전기체의 충전이 완료된 후, 통기관은 가열 용융되고 잘라져서, 개구끝부가 폐색된다.

이와 같이 하여, 방전기체공간에 방전기체가 충전됨으로써, 플라즈마디스플레이(100)가 완성된다.

다음, 도 4에 보인 플라즈마디스플레이패널의 제조방법을 개략적으로 설명한다.

먼저, 전면기판(101)을 통상 알려진 방법으로 제작한다. 그리고 전면기판(101)상에, 주사전극들(112) 및 유지전극들(122)을 형성한 후, 주지의 스크린인쇄기법을 사용하여, 주사전극들(112)상에 버스전극들(11)을 형성하고, 유지전극들(122)상에 버스전극들(121)을 형성한다.

마찬가지로, 배면기판(102)을 통상 알려진 방법으로 제작한다. 이때, 데이터전극들(105)을 주지의 스크린인쇄기법을 사용하여 형성한다.

전면기판(101), 배면기판(102) 중의 어느 한쪽, 또는 양쪽의 주변부에 융착용부재를 도포한 후, 클립을 이용하여 전면기판(101)과 배면기판(102)을 서로 대향한 상태로 고정한다.

다음으로, 배면기판(102)의 투명유리기판(104)에 형성된 통기구멍의 주위에 접착용부재를 도포하여 통기관을 고정하고, 전면기판(101)과 배면기판(102) 상호간의 봉지와, 통기관의 배면기판(102)으로의 고착을 동시에 행한다.

다음으로, 통기관 및 통기구멍을 경유하여, 플라즈마디스플레이패널이 내부를 배기한 후, 방전기체를 충전한다.

이와 같이 하여, 플라즈마디스플레이패널이 완성된다.

다음, 각 표시셀 등에 격자모양격벽에 의해 구획된 격자모양격벽형 플라즈마디스플레이패널에 관하여 설명한다.

도 5는 종래의 및 본 발명이 적용되는 격자모양격벽형 플라즈마디스플레이패널의 개략적인 구조를 보여주는 분해사시도이다. 이하에서는, 주로, 도 4에 보인 스트립격벽형 플라즈마디스플레이패널과의 차이점에 관하여 설명하는 것으로 하고, 도 4에서와 동일한 것은 동일한 번호로 나타낸다.

도 5에 보인 격자모양격벽형 플라즈마디스플레이패널(100A)에서는, 도 4에 보인 스트립격벽형 플라즈마디스플레이패널에서의 세로방향의 격벽들(107)에 대하여 가로방향의 격벽들이 교차하게 마련된 형상으로 되어 있고, 도 5에 보인 격자모양격벽들(109)을 형성하여 두고, 각각의 격자모양격벽 내에, 예를 들면 장방형의 방전공간(140)을 형성하도록 하고 있다.

그리고, 전면기판(101)에 마련된 버스전극들(111)에 접속된 주사전극(112)과 버스전극들(121)에 접속된 유지전극들(122)이, 각각의 방전공간(140)의 위쪽에 위치하여, 배면기판(102)에 마련된 대응하는 위치에서 연장하는 데이터전극들(105)과 방전공간(140)을 개재하여 마주보는 위치관계로 되어 있다.

각 방전공간(140)에서는, 동작 시, 제1버스전극(111)에 고압펄스를 인가함으로써, 주사전극(112)과 하부에 위치하는 당해 방전공간 내의 데이터전극(105) 사이에서, 봉입기체의 방전이 개시된다. 그 후, 버스전극(111)으로의 통전을 정지하고, 제2버스전극(121)에 저압펄스를 인가함으로써, 유지전극(122)과 주사전극(112) 사이에서 방전이 유지된다. 그리고, 봉입기체의 방전에 의해 발생된 자외선의 자극에 의해 격자모양격벽(109)의 내부에 도포되어 있는 형광체층(108)이 그 형광체 특유의 색으로 발광한다.

이와 같이, 격자모양격벽(109) 내의 방전공간(140)은 플라즈마디스플레이패널에서의 1화소를 구성하는 3색 중의 하나의 색의 발광표시를 행하므로, 단위표시셀이라 부른다. 또, 주사전극 및 유지전극은, 버스전극를 개재하여 화면을 구성하는 화소의 행방향으로 제어되는 것이므로 행전극이라고도 불린다. 이것에 대하여 데이터전극은, 화면을 구성하는 화소의 열방향으로 제어되는 것이므로 열전극이라고도 불린다.

전술한 스트립모양 격벽을 가지는 플라즈마디스플레이패널에서는, 격벽이 세로방향으로 평행하게 배치되어 있기 때문에, 가로방향의 인접 셀과의 사이의 간섭은 억제될 수 있지만, 세로방향의 인접 셀과의 간섭을 억제하는 것은 곤란하고, 그 때문에 세로방향의 인접 셀과의 거리를 넓게 하지 않을 수 없고, 그래서, 발광에 기여하는 화소의 개구율이 저하하여, 플라즈마디스플레이패널의 휘도를 향상시키는 것이 곤란하다는 문제가 있지만, 격자모양격벽을 가지는 플라즈마디스플레이패널의 경우에는, 이와 같은 문제가 없으므로, 세로방향으로 인접하는 화소를 구성하는 표시셀들의 간격을 좁게 하는 것이 가능하고, 따라서 발광에 기여하는 화소의 개구율을 크게 하여, 플라즈마디스플레이패널의 휘도를 향상시키는 것이 용이하므로, 근년에, 넓게 이용되고 있다.

이하, 격자모양격벽형 플라즈마디스플레이패널에서의 격자모양격벽의 형성방법에 관하여 설명한다.

배면기판(102)상에 데이터전극들(105)을 형성한 후, 그 위에 백색유전체층(106)을 형성하며, 또 그 위에 절연성유리분말과 바인더를 혼합하여 된 격벽재료를소정의 두께로 도포하고 나서, 격벽재료 상에 감광성건조막을 점착한다.

그리고, 소망의 패턴이 새겨진 포토마스크를 통하여, 감광성건조막을 노광하여 경화한 후 현상처리를 행하여, 격벽재료 상에 패턴화된 레지스트마스크층을 형성한다.

그리고, 샌드블라스트법에 의해 연마재의 미립자로 이루어진 절삭재를 고속으로 내뿜어, 레지스트마스크층 이외의 부분을 절삭하여 제거함으로써, 격벽재료 내를 백색유전체층(106)에 도달하기까지 필요한 패턴으로 파 들어가 격자모양격벽을 형성한다. 그 후, 레지스트마스크층을 제거하고, 소성을 행하여, 격벽부를 고화시킨다.

그리고, 이와 같이 하여 형성된 격자모양격벽의 내부에, 각각의 방전공간의 발광색에 일치하는 색의 발광체를 도포하여 건조시킴으로써, 표시셀 내의 백색유전체층(106) 위와 격자모양격벽(109)의 측벽에 형광체층(108)을 형성한다.

이와 같이 하여 형성된 배면기판(102)에 대하여, 전면기판(101)을 포개고, 각각의 방전공간(140)의 내부에는, 전면기판(101)의 투명유전체층(131)상에 형성된 주사전극(112)과 유지전극(122)이 위치하여, 배면기판(102)의 데이터전극(105)과 마주하는 위치관계를 유지하도록 하여, 배면기판(102)과 전면기판(101)을 접합한 후, 각 방전공간(140)의 배기와 방전기체의 봉입을 행함으로써, 플라즈마디스플레이패널이 완성된다.

격자모양격벽은, 스트립모양의 격벽에 비하여 형상이 복잡하기 때문에, 형성이 곤란하였지만, 근년에 개발된 샌드블라스트법은, 다른 제조방법들에 비하여 미세가공이 용이하므로, 샌드블라스트법을 이용하여 제조된 격자모양격벽을 가지는 플라즈마디스플레이패널이 넓게 이용되어졌다.

또, 이와 같은 격자모양격벽을 가지는 플라즈마디스플레이패널은, 예를 들면 일본공개특허공보 제2000-195431호에 기재된 것이 있다.

도 6은 종래의 격자모양격벽형 플라즈마디스플레이패널의 제작에 이용되고 있던 레지스트마스크의 형상을 부분적으로 나타낸 것이다.

플라즈마디스플레이패널에서, 격자모양격벽을 형성하기 위하여, 종래 이용되고 있던 레지스트마스크(145)는, 도 6에 보인 바와 같은 형상을 가지는 것으로, 도 5에 보인 방전공간(140)을 형성하는 격자모양격벽(109)의 상단의 형상에 대응하는 패턴으로 이루어진 차광부(146)와 차광부 이외의 개구부(147)로 이루어진 것이 보여지고 있다.

도 7은 도 6에 보인 바와 같은 레지스트마스크를 이용하여 샌드블라스트법에 의해 격자모양격벽의 가공을 행한 경우에 형성되는 표시셀들의 형상을 나타낸 것이다.

격자모양격벽을 가진 플라즈마디스플레이패널에 대하여, 도 6에 보인 바와 같은 직선적인 구성의 레지스트마스크를 이용하여 샌드블라스트법에 의해 격자모양격벽의 가공을 행한 경우, 배면기판(102)상에 형성되는 격자모양격벽(148)은, 도 7에 보인 바와 같이, 격자모양격벽의 귀퉁이부가 둥글게 되어, 도 6의 레지스트마스크(145)로 보인 바와 같은 귀퉁이부가 각이 진 모양으로 새겨진 패턴에 틀림없이 대응한 형상으로 형성되지 않게 되고, 그에 따라, 격벽 내에 형성되는 형광체층(149)도 귀퉁이부가 둥근 모양을 띠게 된다.

이것은 샌드블라스트법에서 사용되는 절삭재의 입도(粒度)를 지나치게 작게 할 수 없음과 동시에 귀퉁이부에서는 도포된 격벽재료 상의 레지스트패턴의 개구율이 작게 되기 때문에 다른 부분들에 비하여 절삭속도가 저하하는 것과, 이전 공정의 감광성건조막의 현상처리 시, 그 귀퉁이부의 현상속도가 다른 부분들에 비하여 늦어지게 되어, 그 부분의 해상도가 저하하여, 현상결과의 레지스트패턴의 귀퉁이부가 둥근 모양을 띠게 되는 것 때문이다.

이것에 대하여 일본공개특허공보 제2003-197111호(이 공보의 단락 [0026]~[0029], 도 2 및 도 3)에서는, 샌드블라스트법에 의해 격자모양격벽을 형성할 때, 격자모양격벽의 귀퉁이부에 상당하는 위치에 절단패턴을 가지는 마스크를 이용함으로써, 방전공간에 면한 형광체층의 내표면이 각이 진 모양으로 형성되도록 하는 플라즈마디스플레이패널의 제조방법이 개시되어 있다.

도 8은 이 종래기술에서 사용되는 레지스트마스크(151)를 보여주는 것으로, 레지스트마스크(151)의 차광부(152)의 내측에 형성되는 개구부(153)의 귀퉁이부에, 절단부(154)를 마련한 것을 보여준다.

이와 같은 레지스트마스크(151)를 사용하여 샌드블라스트법에 의해 격자모양격벽을 형성하면, 절단부(154)를 마련하는 것에 의해 공간이 넓어지기 때문에, 귀퉁이부 부근에서 발생하는 절삭재입자의 상호 충돌에 의한 속도저하에 기인한 격벽재료의 절삭속도의 저하가 저감되므로, 격자모양격벽의 귀퉁이부에 절단부가 형성된다.

도 9는 이 종래기술의 레지스트마스크(151)를 사용하여 배면기판 상에 형성된 표시셀부의 확대평면도를 보여주는 것으로, 격자모양격벽(155)이 귀퉁이부에 절단부(156)를 가지기 때문에, 형광체페이스트의 도포 시, 과도한 형광체페이스트가 절단부(156)에 들어가므로, 격자모양격벽(155) 내부에 형성된 형광체층(157)은 그 내표면이 각이 진 모양으로 형성되는 것을 보여준다.

도 10은 종래 및 본 발명이 적용되는 플라즈마표시장치의 개략적인 구조를 보여주는 블록도이다.

도 10에 보인 플라즈마표시장치(200)는, 대략, 아날로그인터페이스(220), 플라즈마디스플레이패널모듈(230)로 구성된다. 플라즈마디스플레이패널모듈(230)은 플라즈마디스플레이패널(250)을 구비한다.

아날로그인터페이스(220)는 크로마디코더를 구비한 Y/C분리회로(221), A/D변환회로(222), PLL회로를 구비한 동기신호제어회로(223), 화상포맷변환회로(224), 역감마(γ)변환회로(225), 시스템제어회로(226), 및 PLE제어회로(227)로 구성된다.

아날로그인터페이스(220)는 개략적으로는 수신된 아날로그영상신호를 디지털신호로 변환한 후, 이것을 플라즈마디스플레이패널모듈(230)에 공급하는 기능을 가진다.

예를 들면, 텔레비젼튜너로부터 송신된 아날로그영상신호는, Y/C분리회로(221)에서, RGB의 각 색의 휘도신호들로 분리된 후, A/D변환회로(222)에서 디지털신호로 변환된다.

그 후, 플라즈마디스플레이패널모듈(230)의 화소구성과 영상신호의 화소구성이 다른 경우에는, 화상포맷변환회로(224)에서, 필요한 화상포맷으로의 변환처리가 행해진다.

플라즈마디스플레이패널에서의 입력신호에 대한 표시휘도의 특성은 선형적인 것이지만, 통상의 영상신호는 CRT(음극선관)의 특성에 맞추어, 미리 보정(감마보정)이 행해진다.

그래서, A/D변환회로(222)에서, 영상신호의 A/D변환을 행한 후, 역감마변환회로(225)에서, 영상신호에 대하여 역감마변환을 행하여, 선형특성으로 복원된 디지털영상신호를 생성한다. 이와 같이 하여 생성된 디지털영상신호는, RGB영상신호로서, 플라즈마디스플레이패널모듈(230)로 출력된다.

아날로그영상신호에는, A/D변환용의 샘플링클록신호 및 데이터클록신호가 들어 있기 때문에, 동기신호제어회로(223)에 내장되어 있는 PLL(위상동기루프)회로가, 아날로그영상신호와 동시에 공급되는 수평동기신호를 기준으로 하여, 샘플링클록신호 및 데이터클록신호를 생성하여, 플라즈마디스플레이패널모듈(230)에 공급한다.

아날로그인터페이스(220)의 PLE제어회로(227)는, 플라즈마디스플레이패널의 휘도제어를 행한다. 구체적으로는, 평균휘도레벨이 소정값 이하인 경우에는 표시휘도를 상승시키고, 평균휘도레벨이 소정값을 초과하는 경우에는, 표시휘도를 낮추도록 제어한다.

시스템제어회로(226)는 플라즈마디스플레이패널모듈(230)에 대하여 각종 제어신호들을 출력한다.

플라즈마디스플레이패널모듈(230)은, 또, 디지털신호처리 및 제어회로(231), 패널부(232), DC/DC변환기를 내장하는 모듈내장전원회로(233)를 구비한 구성이다.

디지털신호처리 및 제어회로(231)는 입력인터페이스신호처리회로(234), 프레임메모리(235), 메모리제어회로(236) 및 드라이버제어회로(237)를 구비한다.

예를 들면, 입력인터페이스신호처리회로(234)에 입력된 영상신호의 평균휘도레벨은, 입력인터페이스신호처리회로(234) 내의 입력신호평균휘도레벨연산회로(미도시)에 의해 계산되어, 예컨대 5비트데이터로 하여 출력된다.

또, PLE제어회로(227)는 평균휘도레벨에 따라 PLE제어데이터를 설정하여, 입력인터페이스신호처리회로(234) 내의 휘도레벨제어회로(미도시)에 공급한다.

디지털신호처리 및 제어회로(231)에서는, 입력인터페이스신호처리회로(234)에서 이러한 각종 신호들의 처리를 행한 후, 제어신호를 패널부(232)에 송신한다. 이와 동시에, 메모리제어회로(236)는 메모리제어신호를, 드라이버제어회로(237)는 드라이버제어신호를 각각 패널부(232)에 송신한다.

패널부(232)는 전술한 플라즈마디스플레이패널의 제조방법에 의해 제조된 플라즈마디스플레이패널(250), 플라즈마디스플레이패널(250)의 주사전극들을 구동하는 주사드라이버(238), 플라즈마디스플레이패널(250)의 데이터전극들을 구동하는 데이터드라이버(239), 플라즈마디스플레이패널(250) 및 주사드라이버(238)에 펄스전압을 공급하는 고압펄스회로(240), 고압펄스회로(240)로부터의 잉여전력을 회수하는 전력회수회로(241)를 구비하는 구성이다.

플라즈마디스플레이패널(250)은 1365×768개로 배열된 화소를 가지는 것으로서 구성된다. 플라즈마디스플레이패널(250)에서는, 주사드라이버(238)가 주사전극들을 제어하며, 데이터드라이버(239)가 데이터전극들을 제어함으로써, 화소들 중의 소정의 화소의 점등 또는 비점등이 제어되어, 소망의 화소표시가 행해진다.

또, 논리회로(logic circuit)용 전원(미도시)이 디지털신호처리 및 제어회로(231)와, 패널부(232)에 논리회로용 전력을 공급한다. 게다가, 모듈내전원회로(233)는 표시용전원으로부터 직류전력을 공급받아, 이 직류전력의 전압을 소정의 전압으로 변환한 후, 패널부(232)에 공급한다.

다음, 도 10에 보인 플라즈마표시장치의 제조방법을 개략적으로 설명한다.

우선, 전술의 플라즈마디스플레이패널의 제조방법에 의해 제작된 플라즈마디스플레이패널(250)과, 주사드라이버(238), 데이터드라이버(239), 고압펄스회로(240), 전력회수회로(241)를 기판 상에 배치하여, 패널부(232)를 형성한다. 또, 패널부(232)와는 별개로, 디지털신호처리 및 제어회로(231)를 형성한다.

이와 같이 하여 형성된 패널부(232) 및 디지털신호처리 및 제어회로(231)와 모듈내전원회로(233)을 하나의 모듈로서 조립하여, 플라즈마디스플레이패널모듈(230)을 형성한다.

또, 플라즈마디스플레이패널모듈(230)과는 별개로, 아날로그인터페이스(220)를 형성한다.

이와 같이, 아날로그인터페이스(220)와 플라즈마디스플레이패널모듈(230)을 각각 별개로 형성한 후, 이것들 둘을 전기적으로 접속함으로써, 도 10에 보인 바와 같은 플라즈마표시장치(200)가 완성된다.

이와 같이, 플라즈마디스플레이패널(250)을 모듈화하는 것에 의해, 플라즈마디스플레이패널(250)을, 플라즈마표시장치(200)를 형성하는 다른 구성부품들과는 별개로 독립적으로 제작하는 것이 가능하게 된다.

따라서, 예를 들면, 플라즈마표시장치(200)에서, 플라즈마디스플레이패널(250)이 고장난 경우에는, 플라즈마디스플레이패널모듈(230)만 교환함으로써 보수의 간소화 및 보수기간의 단축을 도모하는 것이 가능하게 된다.

격자모양격벽을 가진 플라즈마디스플레이패널에 대하여, 샌드블라스트법에 의해 격자모양격벽의 가공을 행하는 경우, 격자모양격벽의 고정세화 됨에 따라, 도 6에 보인 것 같은 직선적인 구성의 레지스트마스크를 이용하여 절삭을 행하여도, 배면기판(102)상에 형성되는 격자모양격벽(148)은, 도 7에 보인 바와 같이, 격자모양격벽의 귀퉁이부가 둥글게 되어, 도 6의 레지스트마스크(145)에 보인 바와 같이, 귀퉁이부가 각이 진 모양으로 새겨진 패턴에 정확히 대응되는 격자모양격벽이 형성되지 않는다는 문제가 있었다.

이것은, 샌드블라스트법에서 사용되는 절삭재의 입자크기(입도)를 지나치게 작게 할 수 없음과 동시에, 귀퉁이부에서는 도포된 격벽재료 상의 레지스트패턴의 개구율이 작게 되기 때문에 다른 부분들에 비하여 절삭속도가 저하하는 것과, 이전 공정의 감광성건조막의 현상처리 시, 그 귀퉁이부의 현상속도가 다른 부분들에 비하여 늦어져서 그 부분의 해상도가 저하하고 현상결과의 레지스트패턴의 귀퉁이부가 둥근 모양을 띠게 되는 것 때문이다.

이와 같이, 배면기판 상에 형성되는 격자모양격벽의 귀퉁이부가 둥글게 되면, 표시셀에서의 실효적인 방전공간이 좁게 되기 때문에, 방전의 확대가 억제되어, 방전에 의한 자외광의 발생량이 적게 됨과 동시에, 형광체의 도포면적이 축소되기 때문에, 자외광을 가시광으로 변환하는 때의 효율이 저하하여, 플라즈마디스플레이패널의 휘도의 저하를 초래하는 것을 피할 수 없었다.

또, 도 8에 보인 바와 같이, 레지스트마스크(151)에서의 차광부(132)의 세로격벽과 가로격벽이 교차하는 부분에 대응하는 위치의 귀퉁이부에 절단부(154)를 마련하고, 이와 같은 마스크를 이용하여 샌드블라스트법에 의해 절삭하여 격자모양격벽의 세로격벽과 가로격벽의 교차부분을 각이 진 모양으로 형성하는 것은, 절단부(154)의 크기나 절삭재의 분출량, 분출속도 등을 조정하여도, 실제로는 반드시 용이한 것은 아니었다.

이것은 샌드블라스트가공 시에 이와 같은 귀퉁이부분에는 절삭재가 들어가기 어렵기 때문이다.

즉, 샌드블라스트법에 의한 격벽형성은, 예를 들면, 일본공개특허공보 제2003-303542호(이 공보의 단락 [0002]~[0004], 도 7)에 기재되어 있는 방법에 의해 행해진다. 이 공보에 기재된 격벽형성방법은 스트립격벽에 대한 것이지만, 격자모양(우물모양)격벽의 경우에도 적용될 수 있고, 플라즈마디스플레이패널의 행방향(가로방향)에, 절삭재를 내뿜기 위한 노즐을 복수배열하고, 플라즈마디스플레이패널을 행방향으로 저속으로 이동시키면서, 노즐열을 열방향(세로방향)으로 왕복주행시키고, 격벽재료 및 마스크재에 대하여 절삭재의 분출을 행한다.

이때, 노즐열은 열방향으로 이동하면서 절삭재를 분출하기 때문에, 절삭재는다소 경사져서 마스크재에 분출되는 형국이 되고, 이 때문에, 열방향의 절단가공은 비교적 용이하게 행해지지만, 행방향의 절단가공은 비교적 곤란하다.

또, 절삭재는 분출된 후, 기판에 충돌하고 되 튀어서 배출되지만, 장방형의 격자모양격벽의 경우, 노즐의 주행방향은 격자의 장변방향으로 된다. 이것은 노즐의 주행방향을 격자의 단변방향이 되면, 절삭재가 배출되기 어렵게 되어 절삭속도가 저하하기 때문이다.

격자모양격벽은, 행방향의 폭이 열방향의 폭에 비하여 넓게 된다. 그래서 폭이 넓은 행방향의 격벽에 절단부를 만들어 놓음으로써 공정마진을 더욱 크게 하는 것이 가능하다.

또, 샌드블라스트가공 시, 기판은 행전극들의 배열방향으로 이동하며, 노즐은 기판의 이동방향과는 직교하는 방향으로 왕복운동을 행하므로, 격벽에 마련되는 절단부의 방향도 열방향으로 하는 편이, 제어를 용이하게 하므로 바람직하지만, 종래, 샌드블라스트가공 시의 마스크형상에 이런 점들에 관한 배려가 이루어진 것은 없었다.

본 발명은 상술의 사정을 감안하여 된 것으로, 표시셀의 방전공간을 넓게 하는 것과 동시에, 형광체의 도포면적을 크게 함으로써, 플라즈마디스플레이패널의 휘도를 향상시키는 것이 가능한 플라즈마디스플레이패널의 제조방법 및 플라즈마표시장치의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 플라즈마디스플레이패널의 제조방법에서의 레지스트마스크의 형상을 보여주는 도면,

도 2는 제1실시예의 레지스트마스크를 이용하여 제작된 격자모양격벽의 형상을 예시하는 도면,

도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 플라즈마디스플레이패널의 제조방법에서의 레지스트마스크의 형상을 보여주는 도면,

도 4는 스트립격벽형 플라즈마디스플레이패널의 개략적인 구조를 보여주는 분해사시도,

도 5는 종래의 및 본 발명이 적용되는 격자모양격벽형 플라즈마디스플레이패널의 개략적인 구조를 보여주는 분해사시도,

도 6은 격자모양격벽형 플라즈마디스플레이패널의 제작에 이용된 제1종래예의 레지스트마스크의 형상을 보여주는 도면,

도 7은 제1종래예의 플라즈마디스플레이패널 제작용 레지스트마스크에 의해 가공된 표시셀의 형상을 보여주는 도면,

도 8은 격자모양격벽형 플라즈마디스플레이패널의 제작에 이용된 제2종래예의 레지스트마스크의 형상을 보여주는 도면,

도 9는 제2종래예의 플라즈마디스플레이패널 제작용 레지스트마스크에 의해 가공된 표시셀의 형상을 보여주는 도면,

도 10은 종래의 및 본 발명이 적용되는 플라즈마표시장치의 개략적인 구성을 보여주는 블록도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1, 1A : 레지스트마스크 11, 11A : 차광부

12, 12A : 개구부 13, 13A : 절단부

21 : 격자모양격벽 22 : 형광체층

101 : 전면기판 102 : 배면기판

105 : 데이터전극 106 : 백색유전체층

108 : 형광체층 109 : 격자모양격벽

111, 121 : 버스전극 112 : 주사전극

122 : 유지전극 131 : 투명유전체층

132 : 표면보호층 140 : 방전공간

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 양태에 따르면, 행전극들을 가지는 전면기판과 상기 행전극들과 교차하는 방향으로 연장하는 열전극들을 가지는 배면기판이 서로 마주하는 식으로 격자모양격벽이 상기 전면기판 및 상기 배면기판 사이에 개재되게 배치된 플라즈마디스플레이패널의 제조방법이 제공되며, 이 방법은, 상기 격자모양격벽의 형상에 대응하는 패턴을 가지는 마스크를 사용하여 상기 격자모양격벽을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 마스크에는, 절단부들이, 상기 열전극들과 교차하는 방향의 패턴에서의 귀퉁이부분들에만 형성되고, 상기 귀퉁이부분들은 상기 격자모양격벽의 형상에 대응하는 패턴에서의 상기 열전극들에 평행한 패턴에 접촉하고 있다.

바람직하게는, 상기 마스크에서 상기 열전극들과 교차하는 방향에서 상기 격자모양격벽에 대응하는 패턴은 상기 열전극들에 평행한 방향의 패턴의 폭보다 큰 폭을 가지도록 형성된다.

바람직하게는, 상기 절단부는 상기 열전극들과 교차하는 방향의 패턴 및 상기 열전극들에 평행한 방향의 패턴에 평행한 정방형을 가지도록 형성된다.

바람직하게는, 상기 절단부는 한 변이 상기 열전극들에 평행한 패턴에 의해 정해지고 상기 열전극들과 교차하는 방향의 패턴의 폭이 상기 열전극들에 평행한 패턴에서부터 멀리 있는 쪽에서부터 가까이 있는 쪽으로 갈수록 줄어들게끔 형성된다.

본 발명의 다른 양태에 따르면, 행전극들을 가지는 전면기판과 상기 행전극들과 교차하는 방향으로 연장하는 열전극들을 가지는 배면기판이 서로 마주하는 식으로 격자모양격벽이 상기 전면기판 및 상기 배면기판 사이에 개재되게 배치되고, 상기 격자모양격벽의 행방향에서의 폭은 열방향에서의 폭보다 더 크게 만들어진 플라즈마디스플레이패널의 제조방법이 제공되며, 이 방법은, 상기 격자모양격벽의 형상에 대응하는 패턴을 가지며 행방향에서는 격벽에 대응하는 패턴의 귀퉁이부분에 절단부를 가지는 마스크를 사용하여 상기 격자모양격벽을 형성하는 단계를 포함한다.

전술한 본 발명의 양태들에서, 상기 절단부의 폭과 깊이는 30㎛ 이상 50㎛ 이하인 것이 바람직하다. 또, 상기 마스크는 샌드블라스트법에서 사용되는 레지스트마스크이고 상기 격자모양격벽은 상기 샌드블라스트법에 의해 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 특정 두께를 가지도록 격벽재료를 형성하는 단계; 및 상기 격벽재료 상에, 서로 교차하는 제1방향의 부분 및 제2방향의 부분으로 이루어지며 제1방향의 부분 및 제2방향의 부분이 교차하는 위치에 가까이 있는 위치에 형성된 절단부를 가지는 격자모양격벽을 형성하는 단계를 포함하는 플라즈마디스플레이패널의 제조방법이 제공된다.

본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 방전공간이 서로 교차하는 가로격벽 및 세로격벽에 의해 구획되며, 가로격벽 및 세로격벽의 각각은 다른 폭을 가지는 플라즈마디스플레이패널의 제조방법이 제공되며, 이 방법은, 상기 가로 및 세로격벽들에 대응하는 패턴을 가지며 상기 가로격벽 및 세로격벽 중의 다른 종류의 격벽보다 큰 폭을 가지는 한 종류의 격벽에 대응하는 패턴의 귀퉁이부에는 절단부가 형성된마스크를 사용하여, 상기 가로격벽 및 상기 세로격벽을 형성하는 단계를 포함한다.

본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 플라즈마디스플레이패널을 제조하는 제1단계; 상기 플라즈마디스플레이패널과 상기 플라즈마디스플레이패널을 구동하는 회로를 하나의 모듈로서 제조하는 제2단계; 및 영상신호의 포맷을 변환하고 변환된 영상신호를 상기 모듈에 전송하는 인터페이스를 상기 모듈에 전기적으로 접속하는 제3단계를 포함하며, 상기 제1단계에는, 열전극과 교차하는 방향의 패턴에서는 상기 열전극에 평행한 패턴에 접촉하는 양쪽 귀퉁이부들에만 절단부들이 형성된 마스크를 사용하여 격자모양격벽이 형성되는 플라즈마표시장치의 제조방법이 제공된다.

본 발명을 실시하는 최선의 실시형태들을 첨부 도면들을 참조한 여러 실시예들을 이용하여 상세히 설명할 것이다.

본 발명의 실시예들에서는, 행전극들을 구비한 전면기판과, 행전극들과는 교차하는 방향으로 연장하는 열전극들을 구비한 배면기판을 격자모양격벽들을 개재하여 대향하여 배치한 플라즈마디스플레이패널을 제조할 때, 격자모양격벽의 형상에 대응한 패턴에서, 열전극들과 교차하는 방향의 패턴에서의 열전극과 평행한 패턴과 접하는 양 귀퉁이부들에만 절단부를 마련한 마스크를 이용하여 격자모양격벽의 형성을 행한다. 이하의 설명에서는 방전공간을 구획하는 수단을 격벽이란 용어를 사용하여 표현하였으나, 이에 대응하는 표현으로서 리브(rib)가 사용된다는 것이 당업자에게는 자명한 것이고, 따라서 격벽과 리브는 본원 출원서에서는 동일한 의미를 가지는 것이 이해될 것이다.

제1실시예

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 플라즈마디스플레이패널의 제조방법에서의 레지스트마스크의 형상을 보여주는 도면이고, 도 2는 본 실시예의 레지스트마스크를 이용하여 제작된 격자모양격벽의 형상을 보여주는 도면이다.

본 발명에서의 플라즈마디스플레이패널의 구성 및 그 제조방법, 그리고 플라즈마표시장치의 구성 및 그 제조방법은, 도 5 및 도 10에 보인 종래예의 경우와 마찬가지이므로, 이하에서는, 이것들에 관한 상세한 설명을 생략한다. 본 발명은, 종래기술과 비교하여, 플라즈마디스플레이패널의 배면기판에 형성되는 격자모양격벽(또는 격자모양리브)의 제조방법, 더 상세하게는 격자모양격벽을 형성하는 때에 이용되는 샌드블라스트용 레지스트마스크의 형상에, 특히 특징이 있는 것이고, 이하에서는, 주로 이 점에 관하여 상세히 설명한다.

도 1은 이 실시예의 플라즈마디스플레이패널의 제조방법에서의 격자모양격벽의 형성을 위한 샌드블라스트용 레지스트마스크의 일부를 확대하여 보여준 것으로, (a)는 가로방향으로 연접하는 복수개의 표시셀들에 대응하는 레지스트마스크(1)를 보여주고, (b)는 그 일부의 형상을 더욱 상세히 보여주는 것이다.

이 실시예의 레지스트마스크(1)는 도 1(a)에 보인 바와 같이, 격자모양격벽에 대응하는 차광부(11), 격벽 이외의 부분에 대응하는 개구부들(12)로 이루어지지만, 차광부(11)에서의 격자모양격벽의 데이터전극과 교차하는 가로방향의 부분의 양측에서의 세로방향의 격벽에 접하는 부분에는, 절단부(13)가 마련되어 있다.

도 1에 보인 레지스트마스크(1)를 사용하여, 샌드블라스트법에 의해 격자모양격벽을 형성하는 경우에는, 레지스트마스크(1)의 귀퉁이(corner)부에 절단부(13)가 마련되어 있으므로, 공간이 넓기 때문에 분출되는 절삭재에 대한 개구율이 크게 된다. 이 때문에, 귀퉁이부 부근에서, 내뿜어지는 절삭재에 의한 격벽재료의 절삭속도의 저하를 줄이는 것이 가능하다.

플라즈마디스플레이패널에서의 단위표시셀의 크기는, 예컨대, 42형WVGA표시포맷에서의 1개의 정방형화소의 경우, 세로방향 1.08㎜, 가로방향 0.36㎜로 되며, 50형WXGA표시포맷에서의 1개의 정방형화소의 경우, 세로방향 0.81㎜, 가로방향 0.27㎜로 된다.

격자모양격벽의 경우, 데이터전극들과 평행방향(이하, 이것을 열방향이라 함)의 격벽폭은 충분한 휘도를 얻기 위해 50~80㎛로 되는 반면, 휘도에는 그다지 영향을 주지 않고 데이터전극들과 교차하는 방향(이하, 이것을 행방향이라 함)의 격벽폭은, 열방향의 인접셀과의 간섭을 억제하기 위한 크기로 되어, 50~200㎛로 설정되는 것이 가능하다.

또, 통상, 샌드블라스트가공에서는, 마스크가 되는 레지스트패턴의 형상을 고려하여, 데이터전극방향과 평행한 열방향으로, 절삭재를 분출하는 노즐을 왕복운동시킨다. 그래서, 샌드블라스트가공 중에, 레지스트마스크의 박리에 의한 격벽절단을 방지하면서 격자모양격벽의 귀퉁이부가 변형(일그러짐) 없이 각이 진 모양으로 되게 하기 위해, 절단부(13)는 데이터전극과 교차하는 행방향의 패턴에만 마련하는 것이 필요하다.

또, 절단부(13)는, 도 1(b)에 보인 바와 같이, 절단량 "a"로 나타낸 그 폭과, 절단량 "b"로 나타낸 그 깊이는 표시셀크기 및 격벽폭에 따라서 30~50㎛의 범위로 형성하는 것이 바람직하다.

샌드블라스트법에서의 가공정밀도로는, 격벽폭을 50㎛ 이상으로 한 경우, 10㎛ 이하의 정밀도로, 격자모양격벽을 형성하는 것이 가능하다. 따라서, 샌드블라스트법은, 수십㎛의 제어성을 가진 격벽형성법이라고 할 수 있고, 격자모양격벽의 귀퉁이부에 30~50㎛의 크기를 가진 절단부를 형성하는 것이 가능하다.

도 2는 이 실시예의 플라즈마디스플레이패널의 제조방법에 의한 경우의 격자형격벽(21)과 그 내부에 형성된 형광체층(22)을 예시한 것으로, 격자모양격벽(21)과 형광체층(22)이 정확히 각이 진 모양으로 형성되어 있는 것을 보여준다.

이와 같이, 이 실시예의 플라즈마디스플레이패널의 제조방법에 의하면, 격자모양격벽의 귀퉁이부를 각이 진 모양으로 형성하는 것이 가능하므로, 표시셀의 방전공간을 넓게 하고 또 형광체도포면적을 크게 하는 것이 가능하고, 따라서, 플라즈마디스플레이패널의 휘도를 높이는 것이 가능하다. 게다가, 그 제조방법은 종래의 경우와 동일하기 때문에, 제조비용을 상승시키는 일 없이 플라즈마디스플레이패널의 성능을 향상시키는 것이 가능하다.

또, 레지스트마스크를 사용하여, 샌드블라스트법에 의해 격자모양격벽을 형성하는 경우에, 레지스트마스크의 개구부의 귀퉁이부에 절단부를 마련하는 것에 의해, 가공공간이 넓게 되기 때문에, 귀퉁이부 부근에서 발생하는 격벽재료의 절삭속도의 저하를 작게 하는 것이 가능하다. 이 때문에, 절단부의 폭이나 깊이를 조절하는 것에 의해, 격자모양격벽의 귀퉁이부에서의 격벽재료의 절삭속도를 향상시키면서 격자모양격벽을 왜곡이 없는 각이 진 모양으로 형성하는 것이 가능하다.

제2실시예

도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 플라즈마디스플레이패널의 제조방법에서의 레지스트마스크의 형상을 보여주는 도면이다.

도 3은 이 실시예의 플라즈마디스플레이패널의 제조방법에서의 격자모양격벽의 형성을 위한 샌드블라스트용 레지스트마스크의 일부를 확대하여 보여주는 것이다.

이 실시예의 레지스트마스크(1A)는, 도 3에 보인 바와 같이, 격자모양격벽에 대응하는 차광부(11A)와 격벽 이외의 부분에 대응하는 개구부(12A)로 이루어지지만, 차광부(11A)에서의 데이터전극과 교차하는 방향(행방향)의 격자모양격벽에 대응하는 패턴과 양측의 데이터전극과 평행한 방향(열방향)의 격자모양격벽에 대응하는 패턴이 교차하는 부분에는, 행방향의 패턴의 폭을 중앙에 가까운 부분에서부터 열방향의 패턴을 향하여 테이퍼형상으로 점차 좁게 하는 삼각형상의 절단부(13A)가, 행방향의 패턴의 상하양측에 마련되어 있다.

도 1에 보인 제1실시예의 경우의 레지스트마스크(1)를 사용하여, 샌드블라스트법에 의해 격자모양격벽을 형성하는 경우, 절단부(13)의 형상에서의 폭 "a"나 깊이 "b"의 조정만으로는, 가공 후의 격벽귀퉁이부를 정확히 각이 진 모양으로 제어하는 것이 곤란한 경우가 있다.

그러나, 제2실시예의 레지스트마스크(1A)의 경우에는, 귀퉁이부의 절단량이 열방향의 패턴에 가까운 쪽일수록 크게 하는 것이므로, 샌드블라스트 시의 절삭량이 열방향의 패턴에 가까운 쪽일수록 크게 되고, 따라서, 절단량이, 열방향의 패턴에 가까운 측과 먼 쪽이 동일한 제1실시예의 경우와 비교하여, 더욱 용이하게 샌드블라스트가공 후의 귀퉁이부를 왜곡없이 각이 진 모양으로 형성하는 것이 가능하다.

제2실시예의 플라즈마디스플레이패널의 제조방법의 경우에도, 절단부(13A)의 폭과 깊이는 표시셀크기 및 격벽폭에 따라서 30~50㎛의 범위로 형성되는 것이 바람직하다.

이와 같이, 이 실시예의 플라즈마디스플레이패널의 제조방법에 의하면, 제1실시예의 경우와 마찬가지로, 격자모양격벽의 귀퉁이부를 각이 진 모양으로 형성하는 것이 가능하므로, 표시셀의 방전공간을 넓게 하고, 또 형광체도포면적을 크게 하는 것이 가능하고, 따라서, 플라즈마디스플레이패널의 휘도를 높이는 것이 가능함과 동시에, 그 제조방법은 종래의 경우와 동일하므로, 제조비용을 상승시키지 않고 플라즈마디스플레이패널의 성능을 향상시키는 것이 가능하다.

또, 레지스트마스크를 사용하여, 샌드블라스트법에 의해 격자모양격벽을 형성하는 경우에, 레지스트마스크의 개구부의 귀퉁이부에 테이퍼형상의 절단부를 마련함으로써, 가공공간이 넓게 되기 때문에, 귀퉁이부 부근에서 발생하는 격벽재료의 절삭속도의 저하를 작게 하는 것이 가능하다. 이 때문에, 절삭부의 폭이나 깊이를 조절하는 것에 의해, 격자모양격벽의 귀퉁이부에서의 격벽재료의 절삭속도를 향상시키면서 격자모양격벽의 귀퉁이부를 왜곡 없이 각이 진 형상으로 형성하는 것이 가능한 것도, 제1실시예의 경우와 마찬가지이다.

이상, 본 발명의 실시예들을 도면에 의해 상세히 설명하였으나, 구체적인 구성은 이 실시예들에 한정되지는 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위의 설계의 변경 등이 있어도 이 발명에 포함된다. 예컨대, 격자모양격벽의 형성방법은, 샌드블라스트법에 한하지 않고, 패턴화된 스크린판을 이용하여 페이스트형태의 격벽재료를 다중으로 인쇄하여 형성하는 인쇄법이나, 감광성건조막레지스트에 패턴을 형성하고, 격벽재료를 매립한 후 레지스트를 제거하여 격벽을 형성하는 부가(additive)법에 의하여도 좋다. 또, 인쇄법이나 부가법의 경우에 사용하는 마스크패턴은, 샌드블라스트법의 경우의 레지스트마스크의 반전패턴이 될 필요가 있다는 것은 물론이다. 또, 제2실시예의 경우에, 열방향의 패턴보다 먼 쪽에서부터 열방향의 패턴에 가까운 쪽을 향하여 테이퍼형상으로 직선적으로 크게 되는 삼각형상의 절단부를 마련하는 대신에, 열방향의 패턴에 가까워짐에 따라 절단량이 곡선적으로 변화하는 형상의 절단부를 마련하는 것에 의해, 격자모양격벽의 귀퉁이부를 가일층 왜곡이 없이 각이 진 모양으로 형상하는 것도 가능하다.

이 발명의 플라즈마디스플레이패널의 제조방법 및 플라즈마표시장치의 제조방법은, 텔레비전용 플라즈마디스플레이패널 및 텔레비전용 플라즈마표시장치에 한하지 않고, 온갖 종류의 컴퓨터장치, 제어장치, 계측장치, 오락용장치 및 그 밖의 각종 장치들의 표시기로서 사용되는 플라즈마디스플레이패널 및 플라즈마표시장치에서 이용하는 것이 가능하다.

본 발명의 플라즈마디스플레이패널의 제조방법 및 플라즈마표시장치의 제조방법에 의하면, 격자모양격벽의 귀퉁이부를 각이 진 모양으로 형성하는 것이 가능하기 때문에, 표시셀의 방전공간을 넓게 하고, 형광체도포면적을 크게 하는 것이 가능하므로, 플라즈마디스플레이패널의 휘도를 높이는 것이 가능하고, 따라서, 제조비용을 상승시키지 않고 플라즈마디스플레이패널의 성능을 향상시키는 것이 가능하다.

또, 본 발명에 의하면, 레지스트마스크를 사용하여 샌드블라스트법에 의해 격자모양격벽을 형성할 때, 레지스트마스크의 개구부의 귀퉁이부에만 절단부를 마련하므로, 가공공간이 넓게 되어, 귀퉁이부 부근에서의 격벽재료의 절삭속도를 향상시키는 것이 가능하고, 따라서, 가공시간을 단축하고 제조비용을 저감하는 것이 가능하게 된다.

Claims (12)

1. 행전극들을 가지는 전면기판과 상기 행전극들과 교차하는 방향으로 연장하는 열전극들을 가지는 배면기판이 서로 마주하는 식으로 격자모양격벽이 상기 전면기판 및 상기 배면기판 사이에 개재되게 배치된 플라즈마디스플레이패널의 제조방법에 있어서,

   상기 격자모양격벽의 형상에 대응하는 패턴을 가지는 마스크를 사용하여 상기 격자모양격벽을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 마스크에는, 절단부들이, 상기 열전극들과 교차하는 방향의 패턴에서의 귀퉁이부분들에만 형성되고, 상기 귀퉁이부분들은 상기 격자모양격벽의 형상에 대응하는 패턴에서의 상기 열전극들에 평행한 패턴에 접촉하고 있는 플라즈마디스플레이패널의 제조방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 마스크에서 상기 열전극들과 교차하는 방향에서 상기 격자모양격벽에 대응하는 패턴은 상기 열전극들에 평행한 방향의 패턴의 폭보다 큰 폭을 가지도록 형성되는 플라즈마디스플레이패널의 제조방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 절단부는 상기 열전극들과 교차하는 방향의 패턴 및 상기 열전극들에 평행한 방향의 패턴에 평행한 정방형을 가지도록 형성되는 플라즈마디스플레이패널의 제조방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 절단부는 한 변이 상기 열전극들에 평행한 패턴에 의해 정해지고 상기 열전극들과 교차하는 방향의 패턴의 폭이 상기 열전극들에 평행한 패턴에서부터 멀리 있는 쪽에서부터 가까이 있는 쪽으로 갈수록 줄어들게끔 형성되는 플라즈마디스플레이패널의 제조방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 절단부의 폭과 깊이는 30㎛ 이상 50㎛ 이하인 플라즈마디스플레이패널의 제조방법.
6. 제1항에 있어서, 상기 마스크는 샌드블라스트법에서 사용되는 레지스트마스크이고 상기 격자모양격벽은 상기 샌드블라스트법에 의해 형성되는 플라즈마디스플레이패널의 제조방법.
7. 행전극들을 가지는 전면기판과 상기 행전극들과 교차하는 방향으로 연장하는 열전극들을 가지는 배면기판이 서로 마주하는 식으로 격자모양격벽이 상기 전면기판 및 상기 배면기판 사이에 개재되게 배치되고, 상기 격자모양격벽의 행방향에서의 폭은 열방향에서의 폭보다 더 크게 만들어진 플라즈마디스플레이패널의 제조방법에 있어서,

   상기 격자모양격벽의 형상에 대응하는 패턴을 가지며 행방향에서는 격벽에 대응하는 패턴의 귀퉁이부분에 절단부를 가지는 마스크를 사용하여 상기 격자모양격벽을 형성하는 단계를 포함하는 플라즈마디스플레이패널의 제조방법.
8. 제7항에 있어서, 상기 절단부의 폭과 깊이는 30㎛ 이상 50㎛ 이하인 플라즈마디스플레이패널의 제조방법.
9. 제7항에 있어서, 상기 마스크는 샌드블라스트법에서 사용되는 레지스트마스크이고 상기 격자모양격벽은 상기 샌드블라스트법에 의해 형성되는 플라즈마디스플레이패널의 제조방법.
10. 특정 두께를 가지도록 격벽재료를 형성하는 단계; 및

    상기 격벽재료 상에, 서로 교차하는 제1방향의 부분 및 제2방향의 부분으로 이루어지며 제1방향의 부분 및 제2방향의 부분이 교차하는 위치에 가까이 있는 위치에 형성된 절단부를 가지는 격자모양격벽을 형성하는 단계를 포함하는 플라즈마디스플레이패널의 제조방법.
11. 방전공간이 서로 교차하는 가로격벽 및 세로격벽에 의해 구획되며, 가로격벽 및 세로격벽의 각각은 다른 폭을 가지는 플라즈마디스플레이패널의 제조방법에 있어서,

    상기 가로 및 세로격벽들에 대응하는 패턴을 가지며 상기 가로격벽 및 세로격벽 중의 다른 종류의 격벽보다 큰 폭을 가지는 한 종류의 격벽에 대응하는 패턴의 귀퉁이부에는 절단부가 형성된 마스크를 사용하여, 상기 가로격벽 및 상기 세로격벽을 형성하는 단계를 포함하는 플라즈마디스플레이패널의 제조방법.
12. 플라즈마디스플레이패널을 제조하는 제1단계;

    상기 플라즈마디스플레이패널과 상기 플라즈마디스플레이패널을 구동하는 회로를 하나의 모듈로서 제조하는 제2단계; 및

    영상신호의 포맷을 변환하고 변환된 영상신호를 상기 모듈에 전송하는 인터페이스를 상기 모듈에 전기적으로 접속하는 제3단계를 포함하며,

    상기 제1단계에는, 열전극과 교차하는 방향의 패턴에서는 상기 열전극에 평행한 패턴에 접촉하는 양쪽 귀퉁이부들에만 절단부들이 형성된 마스크를 사용하여 격자모양격벽이 형성되는 플라즈마표시장치의 제조방법.