KR20040096426A

KR20040096426A - 가스방전 표시장치 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR20040096426A
Application number: KR1020040028905A
Authority: KR
Inventors: 테라오요시타카; 야마다유키카
Original assignee: 삼성에스디아이 주식회사
Priority date: 2003-05-09
Filing date: 2004-04-27
Publication date: 2004-11-16
Also published as: JP3905492B2; US20040232841A1; US7567035B2; KR100570674B1; JP2004335357A

Abstract

방전셀 내의 전극과 인출 전극과의 사이에 접속 불량이나 단선 등의 문제가 생길 우려가 없고, 표시면의 신뢰성의 향상, 제조 공정에 있어서의 생산성의 향상 등을 도모할 수 있는 가스방전 표시장치 및 그 제조 방법을 제공한다.

이 가스방전 표시장치는, 한 쌍의 유리 기판이 대향 배치되고, 한 쪽 유리 기판의 내표면에 복수의 주사전극 및 표시전극이 평행하게 형성되고, 다른 쪽의 유리 기판의 내표면에 주사전극 및 표시전극에 직교하는 복수의 어드레스전극이 평행하게 형성되고, 이들 어드레스전극 사이에 격벽이 형성되고, 이들 격벽에 의해 구획 형성된 각각의 오목부가 방전셀이 되며, 또한, 각 오목부의 길이 방향의 일단부가 경사부G에서 오목부의 바닥면과 경사지는 경사면이 되어, 이 경사면상에는 어드레스전극에 접속하는 접속용 전극이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

가스방전 표시장치 및 그 제조 방법{GAS DISCHARGE DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

본 발명은 가스방전 표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히, 고정세화, 고휘도화를 도모하기 위한 플라즈마 디스플레이 등의 표시장치에 적합하게 이용되고, 또한, 방전셀 내의 전극과 그 외측 단자부와의 사이에 접속 불량이나 단선 등의 문제가 생길 우려가 없으며, 표시면의 신뢰성의 향상, 제조 공정에 있어서의 생산성의 향상, 제조비용의 저감 등을 도모할 수 있는 기술에 관한 것이다.

근래, 하이비전용 대화면, 고화질의 표시장치로서 플라즈마 디스플레이(PDP:가스방전 표시장치)가 주목받고 있다. 이 플라즈마 디스플레이는, 한 쌍의 투명기판을 실링 물질을 사이에 두고 대향 배치하고, 한 쪽 투명기판의 내표면에 복수의 스트라이프형의 제1 전극을 형성함과 동시에, 다른 쪽 투명기판의 내표면에 상기 제1 전극에 직교하는 복수의 스트라이프형의 제2 전극을 형성하며, 이들 제2 전극사이에 격벽을 형성하고, 이들 격벽에 의해 구획 형성된 오목부가 방전셀을 구성하는 구조를 갖는 것으로, 종래의 액정 디스플레이 등에 비해 고계조 표시가 가능하며, 색재현성, 고속 응답성이 우수하고, 또한, 대각 30인치 이상의 대화면을 비교적 저가로 실현할 수 있는 등의 여러 가지 특징을 가진다.

도 6은 종래의 면방전형 전극구조를 가지는 AC형 플라즈마 디스플레이 패널(AC-PDP)을 나타내는 부분분해 사시도이다. 이 플라즈마 디스플레이 패널(100)은 2매의 유리 기판(투명기판)(101,102)이 서로 대향 배치되고, 전면 측 유리 기판(102)의 내표면(유리 기판(101)에 대향하는 쪽의 일면)에는, 인듐첨가 산화주석(ITO: Indium Tin Oxide), SnO₂등의 투명도전 재료로 이루어지는 스트라이프형의 복수의 주사전극(투명전극)(104A) 및 표시전극(104B)이 서로 평행하게 형성되고, 이들 주사전극(104A) 및 표시전극(104B)은 투명한 유전층(103)에 의해 덮여지며, 또한 이 유전층(103)은 MgO 등으로 이루어지는 투명한 보호막(도시하지 않음)에 의해 덮여있다. 상기의 주사전극(104A) 및 표시전극(104B)은 교대로 배치되어 있다.

한편, 배면 측 유리 기판(101)의 내표면(유리 기판(102)에 대향하는 쪽의 일면)에는, 가스방전을 행하는 공간인 방전셀(107)을 형성하기 위하여, 상기 주사전극(104A) 및 표시전극(104B)과 교차하는 방향으로 소정의 높이를 가지는 복수의 격벽(108)이 스트라이프형으로 형성되고, 이들 격벽(108,108,...)에 의하여 오목부(107a)가 형성되며, 이들 격벽(108,108) 및 오목부(107a)에 의해 둘러싸인 영역이 가스방전을 행하는 공간인 홈상의 방전셀(107)이 된다. 또한, 격벽(108)은 유리 기판(101)과 일체로 형성되어 있다. 각각의 오목부(107a)에는 상기 주사전극(104A) 및 표시전극(104B)에 직교하는 스트라이프형의 은(Ag)박, 은(Ag) 페이스트 또는 Cr-Cu-Cr 적층막 등의 도전 재료로 이루어지는 어드레스전극(106)이 형성되고, 이들 어드레스전극(106)은 반사율이 높은 유전층(105)으로 덮여지며, 이 유전층(105)상에는, 3원색인 적(R),녹(G),청(B)중 어느 하나의 색을 발광하는 형광체(109)가 적층되어 있다.

배면 측 유리 기판(101)의 내표면(일면)은, 도 7에 도시된 바와 같이, 표시면이 되는 표시부(D)와, 이 표시부(D)의 주위를 밀봉유리 등의 실링 물질에 의해 봉착하여 이루어지는 실링부(S)와, 이 실링부(S)의 외측에 형성된 단자부(T)의 3개의 영역으로 구성되고, 표시부(D)를 구성하는 방전셀(107)의 각 오목부(107a) 및 어드레스전극(106)은 실링부(S)까지 연장되어 형성된다. 각 어드레스전극(106)은 인출전극(111)에 의해 단자부(T)의 접속단자(112)에 접속되고, 이들 접속단자(112)에 의해 외부의 제어부나 전원에 전기적으로 접속되어 있다. 그리고 이들 유리 기판(101,102)을 서로 대향시키고, 각 방전셀(107)의 내부에 147 nm의 Xe 공명 방사광을 이용하는 Ne-Xe, He-Xe 등의 방전가스를 넣어 밀봉한 상태에서 표시부(D) 주위의 실링부(S)를 밀봉유리 등의 실링 물질로 봉착한 구성으로 되어 있다.

상기 플라즈마 디스플레이 패널(100)에서는, 예를 들면, 샌드블라스트법에 의해 평판형의 유리 기판(101)의 표면을 절삭하여 오목부(107a)를 형성하고, 이어서, 포토리소그래피법에 의해 은(Ag) 시트 등의 도전 재료를 패터닝하여 오목부(107a)에 어드레스전극(106)을 형성하고, 그 후, 은(Ag) 페이스트를 어드레스전극(106)과 접속단자(112)와의 사이에 도포함으로써, 인출전극(111)을 형성하는 방법이 채용되고 있으며, 일본국 특허공개공보 특개2001-43804호 및 특개2001-325888호에서 그 예들을 볼 수 있다.

그러나, 상술한 종래의 플라즈마 디스플레이 패널(100)에서는, 포토리소그래피법에 의해 도전 재료를 패터닝하여 어드레스전극(106)을 형성하고, 그 후, 이 어드레스전극(106)과 접속단자(112)사이의 수직면에 인출전극(111)을 형성하는 방법을 채용하고 있기 때문에, 어드레스전극(106)과 인출 전극(111)과의 사이에 간극이나 접속불량 부분이 생기기 쉽고, 따라서, 접속불량이나 단선 등의 문제가 생길 우려가 있는 문제점이 있었다. 이러한 문제가 생긴 경우, 표시면에 부분적으로 표시되지 않는 화소가 생겨, 표시면의 고정세화 및 신뢰성을 저하시키는 요인이 된다. 또한, 제조 공정에 있어서 상기의 같은 문제가 발생할 경우, 제조 공정에 있어서의 생산성이 저하되어, 제조비용의 상승을 초래하게 된다.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 그 목적은, 방전셀 내의 전극과, 이 전극을 외측으로 인출하는 전극과의 사이에 접속 불량이나 단선 등의 문제가 생길 우려가 없고, 표시면의 신뢰성의 향상, 제조 공정에 있어서의 생산성의 향상, 제조비용의 저감 등을 도모할 수 있는 가스방전 표시장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예의 AC형 플라스마 디스플레이를 나타내는 부분분해 사시도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예의 AC형 플라스마 디스플레이의 배면 측 유리 기판을 나타내는 단면도이다.

도 3은 샌드블라스트법에 의해 유리 기판상에 오목부 및 경사면을 형성하는 방법을 나타내는 단면도이다.

도 4는 샌드블라스트법에 의해 유리 기판상에 오목부 및 경사면을 형성하는 다른 방법을 나타내는 단면도이다.

도 5는 샌드블라스트법에 의해 유리 기판상에 오목부 및 경사면을 형성하는 또 다른 방법을 나타내는 단면도이다.

도 6은 종래의 AC형 플라스마 디스플레이를 나타내는 부분분해 사시도이다.

도 7은 종래의 AC형 플라스마 디스플레이의 배면 측 유리 기판을 나타내는 단면도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1: 플라스마 디스플레이 패널 2,3: 유리 기판(투명기판)

4A: 주사전극 4B: 표시전극

5: 유전층 7: 방전셀

7a: 오목부 8: 격벽

11: 어드레스전극(제2 전극) 12: 유전층

13: 형광체 21: 경사면

22: 홈 23: 접속용전극

24: 접속단자 31: 분말분사용노즐

32: 분말분사부 33: 균일절삭영역

34: 경사절삭영역 41: 균일절삭영역

42: 경사절삭영역

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 가스방전 표시장치는, 서로 대향 배치되는 제1 기판 및 제2 기판과; 상기 제2 기판의 일면에 서로 평행하게 형성되는 복수의 제1 전극과; 상기 제1 기판의 일면에 상기 제1 전극과 교차하는 방향으로 형성되는 복수의 제2 전극과; 상기 제2 전극 각각의 사이에 오목부를 형성하면서 방전셀을 구획하는 격벽; 및 상기 방전셀의 외측에 형성되어 복수의 상기 제2 전극과 접속하는 접속단자를 포함하고, 상기 오목부의 길이 방향의 적어도 일단부에 상기 오목부의 바닥면에 대하여 경사지는 경사면이 형성되며, 상기 경사면에 상기 제2 전극과 상기 접속단자를 접속하는 접속용 전극이 형성된다.

이러한 가스방전 표시장치에서는, 방전셀의 일부를 구성하는 오목부의 길이방향의 적어도 일단부에, 상기 오목부의 바닥면에 대하여 경사지는 경사면을 형성하고, 상기 경사면에 상기 제2 전극과 상기 접속단자를 접속하는 접속용 전극을 형성함으로써, 이 접속용 전극과 상기 제2 전극 사이의 접속이 확실하게 되어, 이들 전극 사이에 접속 불량이나 단선 등의 문제가 생길 우려가 없어진다. 이에 따라, 표시면의 신뢰성이 향상된다. 또, 접속용 전극과 상기 제2 전극 사이의 접속이 확실하게 되기 때문에, 제조 공정에 있어서의 생산성이 향상되어 제조비용의 저감이 용이하게 된다.

또한 본 발명에 따르는 가스방전 표시장치에서는, 상기 격벽은 상기 제1 기판과 일체로 형성될 수 있으며, 상기 접속단자가 배치되는 제1 기판의 일면에, 상기 접속단자를 수납하는 홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 가스방전 표시장치에서는, 상기 접속단자가 형성된 제1 기판의 일면에, 상기 접속단자를 수납하는 홈을 형성함으로써, 접속단자의 위치 어긋남 등이 없어져, 이 접속단자와 상기 접속용 전극 사이의 접속이 확실하게 된다.

한편, 본 발명에 따른 가스방전 표시장치의 제조 방법은, 상기 제1 기판의 일면에 분말분사용(粉末噴射用) 노즐을 이동시키면서 분말을 분사하여 오목부를 형성하는 단계와; 상기 분말분사용 노즐의 중심축과 주연부(周緣部)와의 절삭량의 차이를 이용하여 상기 오목부의 길이방향의 적어도 일단부에 상기 오목부의 바닥면에 대하여 경사지는 경사면을 형성하는 단계; 및 상기 경사면상에 접속용 전극을 형성하는 단계를 포함한다.

이러한 가스방전 표시장치의 제조 방법에서는, 샌드블라스트법의 분말분사용 노즐의 중심축과 주연부와의 절삭량의 차이를 이용하여, 상기 오목부의 길이 방향의 적어도 일단부에, 상기 오목부의 바닥면에 대하여 경사지는 경사면을 형성함으로써, 기판의 일면에 소정의 형상의 경사면을 용이하게 형성한다.

상기 경사면을 형성하는 단계에서는, 상기 분말분사용 노즐을 상기 기판 상에서 기 설정된 거리만큼 이동시켜, 이 기판 상에 상기 오목부 및 상기 경사면을 형성하게 되는데, 상기 분말분사용 노즐을 상기 기판 상에서 기 설정된 거리만큼 왕복 이동시켜 형성할 수 있다.

이러한 가스방전 표시장치의 제조 방법에서는, 상기 분말분사용 노즐을 상기제1 기판 상에서 소정의 거리만큼 이동시키고, 이 기판 상에 상기 오목부 및 상기 경사면을 형성함으로써, 1회의 조작으로 기판의 일면에 오목부 및 경사면이 동시에 또한 용이하게 형성된다.

또한 상기 경사면을 형성하는 단계에서는, 상기 분말분사용 노즐의 상기 제1 기판상의 이동거리를 단계적으로 변화시키면서 이동시켜, 이 기판 상에 상기 오목부 및 상기 경사면을 형성할 수도 있으며, 이 때, 상기 분말분사용 노즐의 이동거리를 통과수에 따라 변화시키면서 형성할 수 있다. 상기 분말분사용 노즐의 이동거리는 통과수가 거듭됨에 따라 점차 단축된다.

이러한 가스방전 표시장치의 제조 방법에서는, 상기 분말분사용 노즐의 상기 기판상의 이동거리를 단계적으로 변화시키고, 이 기판상에 상기 오목부 및 상기 경사면을 형성함으로써, 기판의 일면에 소정의 형상의 오목부 및 경사면이 동시에 또한 용이하게 형성된다.

본 발명에 따른 가스방전 표시장치의 제조방법은 상기 방전셀의 외측에 상기 경사면과 이어지도록 홈을 형성하는 단계 및 상기 홈에 도전재료를 패터닝하여 접속단자를 형성하는 단계를 더욱 포함할 수 있다.

본 발명의 가스방전 표시장치 및 그 제조 방법의 일 실시예에 대하여 첨부한 도면에 따라서 설명한다. 여기서는, 가스방전 표시장치로서 면방전형 전극구조의 AC형 플라즈마 디스플레이 패널(AC-PDP)을 예로 들어 설명한다. 도 1은 본 실시예의 AC형 플라즈마 디스플레이 패널(AC-PDP)을 나타내는 부분분해 사시도, 도 2는 이 플라즈마 디스플레이 패널의 배면 측 유리 기판을 나타내는 단면도이다. 또한,도 1 및 도 2에 나타내는 플라즈마 디스플레이는 일례이며, 본 발명은 이 플라즈마 디스플레이 패널에 한정되지 않는다.

이 플라즈마 디스플레이 패널(1)은, 2매의 유리 기판(투명기판)(2,3)이 서로 대향 배치되고, 전면 측 유리 기판(3)의 내표면(유리 기판(2)에 대향하는 쪽의 일면)에는, 인듐첨가 산화주석(ITO:InDium Tin OxiDe), SnO₂등의 투명도전 재료로 이루어지는 스트라이프형의 복수의 주사전극(투명전극)(4A) 및 표시전극(4B)을 포함하는 제1 전극이 서로 평행하게 형성되고, 이들 주사전극(4A) 및 표시전극(4B)은 투명한 유전층(5)에 의해 덮여지고, 또 이 유전층(5)은, MgO 등으로 이루어지는 투명한 보호막(도시하지 않음)에 의해 덮여 있다. 상기의 주사전극(4A) 및 표시전극(4B)은 교대로 배치되어 있다.

한편, 배면 측 유리 기판(2)의 내표면(유리 기판(3)에 대향하는 쪽의 일면)에는, 가스방전을 행하는 공간인 방전셀(7)을 형성하기 위하여, 상기 주사전극(4A) 및 표시전극(4B)이 연장되는 방향과 교차하는 방향으로, 소정의 높이를 가지는 복수의 격벽(8)이 스트라이프형으로 형성되고, 이들 격벽(8)에 의하여 사이에 끼여지는 영역이 오목부(7a)가 되어, 이들 격벽(8,8) 및 오목부(7a)에 의해 둘러싸인 공간영역이 가스방전을 행하는 공간인 홈상의 방전셀(7)이 된다.

격벽(8)은, 유리 기판(2)과는 상이한 별도의 부재에 의해 구성되더라도 무방하지만, 플라즈마 디스플레이 패널(1)의 제조 공정을 간략화하기 위하여, 도 1에 도시한 바와 같이, 유리 기판(2)과 일체로 형성되는 것이 바람직하다. 각방전셀(7) 내, 즉 오목부(7a)의 바닥면에는 상기 주사전극(4A) 및 표시전극(4B)에 교차하고 오목부(7a)의 바닥면을 따라가는 띠형의 제2 전극(이하 '어드레스전극'이라 함)(11)이 형성되며, 이들 어드레스전극(11)은 반사율이 높은 유전층(12)으로 덮여지고, 각 유전층(12)상에는, 3원색인 적(R),녹(G),청(B)중 어느 하나의 색을 발광하는 형광체(13)가 적층되어 있다.

이들 어드레스전극(11)은 오목부(7a) 내에 적어도 도전성입자와, 글래스 프릿과, 물과, 바인더수지와, 분산제를 함유하는 슬러리(도전성액상물질)를 충전한 다음, 소정의 시간동안 정치함으로써 상기의 도전성입자를 침강시키고, 이어서, 소정의 온도로 소정의 시간동안 열처리하고, 이들 침강한 도전성입자끼리를 서로 접합시킴으로써 얻어진다.

상기의 도전성입자로는, 예를 들면, 평균입경이 0.05∼5.0μm, 바람직하게는 0.1∼2.0μm의 은(Ag) 입자 또는 은(Ag) 합금입자가 적합하게 이용된다. 또한, 글래스 프릿으로는, 전극의 특성에 영향을 미치게 하지 않는 것이면 양호하고, 예를 들면, 평균입경이 0.1∼5.0μm, 바람직하게는 0.1∼2.0μm의, 붕규산연유리, 붕규산아연유리, 붕규산비스무트유리 등이 적합하게 이용된다.

이들 어드레스전극(11)은, 상기의 도전성입자를 침강시키는 방법 외에 은(Ag) 박등의 스트라이프형의 도전박을 접착시키는 방법, 또는 포토리소그래피법에 의해 은(Ag) 시트 등의 도전성시트를 패터닝하는 방법에 의해서도 형성할 수가 있다. 이 도전박 등으로는, 예를 들면, 두께가 1∼15μm, 바람직하게는 2∼10μm의 은(Ag) 박 또는 은(Ag) 합금박이 적합하게 이용된다.

이 유리 기판(2)의 내표면은, 도 2에 도시한 바와 같이, 표시면이 되는 표시부(D)와, 이 표시부(D)의 주위를 밀봉유리 등의 실링 물질로 봉착하여 이루어지는 실링부(S)와, 이 실링부(S)의 외측에 형성된 단자부(T)와, 실링부(S)와 단자부(T)와의 경계영역에 설치된 경사부(G)의 4개의 영역에 의해 구성되어 있다. 표시부(D)를 구성하는 방전셀(7)의 각 오목부(7a)는, 실링부(S)까지 연장되어 형성되고, 각 오목부(7a)의 길이 방향의 일단부는 경사면(21)이 되며, 이 경사면(21)의 상단부는, 단자부(T)의 내표면(일면)에 형성된 홈(22)의 아래쪽 끝에 접속되어 있다.

이 경사면(21)상에는, 방전셀(7)의 어드레스전극(11)과 폭 및 두께가 거의 동등한 접속용 전극(23)이 형성되고, 이 접속용 전극(23)의 하단부는 어드레스전극(11)의 일단부에 접속됨과 동시에, 그 위 단부는 홈(22) 내에 형성된 접속단자(24)에 접속되어 있다. 이 경사면(21)은, 샌드블라스트법의 노즐의 분출형상을 이용함으로써 형성할 수가 있다.

샌드블라스트법에 있어서, 도 3에 도시한 바와 같이, 분말분사용 노즐(31)을 도면 중 화살표방향으로 이동하는 경우에, 그 분말분사부(32)에 있어서의 단위시간당 절삭량(절삭속도)은, 중심축(Ax)의 부분이 가장 높고, 이 중심축(Ax)에서 주연부(周緣部)(R)를 향하여 동심원상으로 저하되는 특성을 가지고 있다. 따라서 이 중심축(Ax)에서 주연부(R)를 향하는 절삭량(절삭속도)의 차이를 이용하여 경사면(21)을 형성한다.

이 경우, 이 노즐(31)을 유리 기판(2) 상에서 도면 중 화살표방향으로 이동함으로써, 이 노즐(31)의 중심축(Ax)이 통과한 영역은 균일한 깊이로 절삭된 균일절삭영역(33)이 되고, 이 노즐(31)을 정지한 경우에, 이 노즐(31)의 중심축(Ax)에서 도면 중 화살표방향의 주연부(R)까지의 영역이, 깊이가 서서히 변화되는 경사절삭영역(34)이 된다. 따라서 도 4에 도시한 바와 같이, 이 노즐(31)을 유리 기판(2)상의 소정의 위치에서 도면 중 화살표방향으로 왕복 이동시킴으로써, 이 유리 기판(2)상에 오목부(7a) 및 경사면(21)을 동시에 형성할 수가 있다.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 노즐(31)의 이동거리를 변화시킴으로써, 유리 기판(2) 상에 오목부(7a) 및 경사면(21)을 동시에 형성할 수가 있다. 이 경우, 이 노즐(31)의 이동거리를 통과수 P1∼P3에 의해 변화시키면, 각 통과수 P1∼P3가 겹친 영역이 균일한 깊이로 절삭된 균일절삭영역(41)이 되고, 통과수 P1∼P3가 변화되는 영역이 깊이가 서서히 변화되는 경사절삭영역(42)이 된다. 따라서 이 노즐(31)의 유리 기판(2) 상에서의 이동거리를 통과수 P1∼P3에 의해 변화시킴으로써, 원하는 깊이의 오목부(7a)와 경사면(21)을 동시에 형성할 수가 있다.

이 경사면(21)상에, 예를 들면, 은(Ag)페이스트, 은(Ag) 합금페이스트 등의 도전성페이스트를 도포함으로써, 접속용 전극(23)을 형성할 수가 있다. 또, 홈(22)은, 드라이필름레지스트 등의 내(耐)샌드블라스트성을 가지는 레지스트를 이용한 샌드블라스트법, 또는 그라인더 등의 연마기나 절삭기를 이용한 절삭법에 의해 형성될 수가 있다. 이 홈(22)에, 포토리소그래피법에 의해 은(Ag)시트, 은(Ag) 박 등의 도전 재료를 패터닝함으로써, 접속단자(24)를 형성할 수가 있다.

그리고, 이들 유리 기판(2,3)을 서로 대향시키고, 실링 물질(도시하지 않음)을 유리 기판(2,3)의 내표면에 압착하고 표시부(D) 내의 방전셀(7)을 봉착한 다음, 각 방전셀(7) 안을 진공 상태로 만들고, 각 방전셀(7) 내에 진공자외선(vacuum ultraviolet rays) 영역(예를 들어, 147㎚)의 파장을 갖는 Xe 공명방사광을 이용하는 Ne-Xe, He-Xe 등의 방전가스를 봉입함으로써, 플라즈마 디스플레이 패널(1)을 얻을 수 있다.

상기 플라즈마 디스플레이 패널(1)에서, 주사전극(4A), 표시전극(4B) 및 어드레스전극(11)의 한 쪽 단부는, 각각 외부에 인출되어 있고, 이들에 접속된 단자에 선택적으로 전압을 인가함으로써 선택적으로 방전셀(7) 안의 주사전극(4A) 및 표시전극(4B)과 어드레스전극(11)과의 사이에 방전을 발생시키며, 이 방전에 의해 방전셀(7) 내의 형광체(13)로부터의 여기광을 외부(관찰자측)에 표시하도록 되어 있다. 또, 이 때의 발광면은 방전셀(7)에 면한 형광체(13)의 표면부분이 된다.

본 실시예의 플라즈마 디스플레이 패널(1)에 의하면, 방전셀(7)의 각 오목부(7a)의 길이 방향의 일단부를 경사면(21)으로 하여, 이 경사면(21) 상에 어드레스전극(11) 및 접속단자(24)에 접속되는 접속용 전극(23)을 형성하기 때문에, 이 접속용 전극(23)과 어드레스전극(11)과의 접속을 확실하게 할 수 있다. 따라서, 이들 전극들(11,23) 사이에 접속 불량이나 단선 등의 문제가 생길 우려가 없어져서, 표시면의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 또, 접속용 전극(23)과 어드레스전극(11)과의 접속이 확실하게 되기 때문에, 제조 공정에 있어서의 생산성을 향상시킬 수 있어, 제조비용의 저감을 도모할 수 있다.

본 실시예의 플라즈마 디스플레이 패널(1)의 제조 방법에 의하면, 노즐(31)의 분말분사부(31)의 중심축(Ax)에서 주연부(R)를 향하는 절삭 속도의 차이를 이용하여, 노즐(31)을 유리 기판(2) 상에서 왕복이동하기 때문에, 이 유리 기판(2)상에 오목부(7a) 및 경사면(21)을 동시에 용이하게 형성할 수가 있다.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대해 도면에 따라서 설명하여 왔지만, 구체적인 구성은 상술한 일 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 설계의 변경 등이 가능하다. 예를 들면, 본 실시예로서는, 경사면(21) 상에 은(Ag)페이스트, 은(Ag)합금 페이스트 등의 도전성 페이스트를 도포함으로써 접속용 전극23을 형성하게 되었지만, 포토리소그래피법에 의해 은(Ag)시트, 은(Ag) 박등의 도전 재료를 패터닝함으로써 접속용 전극(23)을 형성할 수도 있다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명의 가스방전 표시장치에 의하면, 방전셀을 구성하는 오목부의 길이 방향의 적어도 일단부에, 상기 오목부의 바닥면에 대하여 경사지는 경사면을 형성하고, 상기 경사면에 제2 전극과 접속단자를 접속하는 접속용 전극을 형성함으로써, 이 접속용 전극과 상기 제2 전극 사이의 접속을 확실하게 할 수 있다. 따라서, 이들 전극 사이에 있어서의 접속불량이나 단선 등의 문제를 방지할 수가 있고, 그 결과, 표시면의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 또, 접속용 전극과 상기 제2 전극 사이의 접속을 확실히 할 수 있기 때문에, 제조 공정에 있어서의 생산성을 향상시킬 수 있고, 제조비용의 저감을 도모할 수 있다.

또한, 상기 접속단자가 형성된 투명기판의 일면에, 상기 접속단자를 수납하는 홈을 형성하면, 접속단자의 위치 어긋남 등을 방지할 수가 있어, 이 접속단자와 상기 접속용 전극 사이의 접속을 확실하게 할 수 있다.

본 발명의 가스방전 표시장치의 제조 방법에 의하면, 샌드블라스트법의 분말분사용 노즐의 중심축과 주연부와의 절삭량의 차이를 이용하여, 상기 오목부의 길이 방향의 적어도 일단부에, 상기 오목부의 바닥면에 대하여 경사지는 경사면을 형성하기 때문에, 투명기판의 일면에 소정의 형상의 경사면을 용이하게 형성할 수가 있다.

또한, 상기 분말분사용 노즐을 상기 투명기판 상에서 소정의 거리만큼 이동시킴으로써, 이 투명기판 상에 상기 오목부 및 상기 경사면을 형성할 수 있게 되며, 1회의 조작에 의해 투명기판의 일면에 오목부 및 경사면을 동시에 또한 용이하게 형성할 수가 있다.

또한, 상기 분말분사용 노즐의 상기 투명기판상의 이동거리를 단계적으로 변화시킴으로써, 이 투명기판 상에 상기 오목부 및 상기 경사면을 형성할 수 있게 되며, 투명기판의 일면에 소정의 형상의 오목부 및 경사면을 동시에 또한 용이하게 형성할 수가 있다.

Claims

서로 대향 배치되는 제1 기판 및 제2 기판;

상기 제2 기판의 일면에 서로 평행하게 형성되는 복수의 제1 전극;

상기 제1 기판의 일면에 상기 제1 전극과 교차하는 방향으로 형성되는 복수의 제2 전극;

상기 제2 전극 각각의 사이에 오목부를 형성하면서 방전셀을 구획하는 격벽; 및

상기 방전셀의 외측에 형성되어 복수의 상기 제2 전극과 접속하는 접속단자

를 포함하고,

상기 오목부의 길이 방향의 적어도 일단부에 상기 오목부의 바닥면에 대하여 경사지는 경사면이 형성되며, 상기 경사면에 상기 제2 전극과 상기 접속단자를 접속하는 접속용 전극이 형성되는 가스방전 표시장치.
제 1 항에 있어서,

상기 격벽은 상기 제1 기판과 일체로 형성되는 가스방전 표시장치.
제 1 항에 있어서,

상기 접속단자가 배치되는 제1 기판의 일면에, 상기 접속단자를 수납하는 홈이 형성되는 가스방전 표시장치.
서로 대향 배치되는 한 쌍의 기판 중 제2 기판의 일면에 형성되는 복수의 제1 전극과, 제1 기판의 일면에 형성되는 복수의 제2 전극과, 상기 제2 전극 각각의 사이에 오목부를 형성하면서 방전셀을 구획하는 격벽을 포함하는 가스방전 표시장치의 제조방법에 있어서,

상기 제1 기판의 일면에 분말분사용(粉末噴射用) 노즐을 이동시키면서 분말을 분사하여 오목부를 형성하는 단계;

상기 분말분사용 노즐의 중심축과 주연부(周緣部)와의 절삭량의 차이를 이용하여 상기 오목부의 길이방향의 적어도 일단부에 상기 오목부의 바닥면에 대하여 경사지는 경사면을 형성하는 단계; 및

상기 경사면상에 접속용 전극을 형성하는 단계

를 포함하는 가스방전 표시장치의 제조 방법.
제 4 항에 있어서,

상기 경사면을 형성하는 단계는, 상기 분말분사용 노즐을 상기 제1 기판 상에서 기 설정된 거리만큼 이동시켜, 이 제1 기판 상에 상기 오목부 및 상기 경사면을 형성하는 가스방전 표시장치의 제조 방법.
제 5 항에 있어서,

상기 분말분사용 노즐을 상기 제1 기판 상에서 기 설정된 거리만큼 왕복 이동시켜 상기 오목부 및 경사면을 형성하는 가스방전 표시장치의 제조 방법.
제 4 항에 있어서,

상기 경사면을 형성하는 단계는, 상기 분말분사용 노즐의 상기 제1 기판상의 이동거리를 단계적으로 변화시키면서 이동시켜, 이 제1 기판 상에 상기 오목부 및 상기 경사면을 형성하는 가스방전 표시장치의 제조 방법.
제 7 항에 있어서,

상기 분말분사용 노즐의 이동거리를 통과수에 따라 변화시키면서 상기 오목부 및 경사면을 형성하는 가스방전 표시장치의 제조 방법.
제 8 항에 있어서,

상기 분말분사용 노즐의 이동거리는 통과수가 거듭됨에 따라 점차 단축되는 가스방전 표시장치의 제조 방법.
제 4 항에 있어서,

상기 방전셀의 외측에 상기 경사면과 이어지도록 홈을 형성하는 단계; 및

상기 홈에 도전재료를 패터닝하여 접속단자를 형성하는 단계

를 더욱 포함하는 가스방전 표시장치의 제조 방법.