JP2004335357A - ガス放電表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】放電セル内の電極と引き出し電極との間に接続不良や断線等の不具合が生じる虞が無く、表示面の信頼性の向上、製造工程における歩留まりの向上等を図ることができるガス放電表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】このガス放電表示装置は、一対のガラス基板が対向配置され、一方のガラス基板の内表面に複数の走査電極及び維持電極が平行に形成され、他方のガラス基板２の内表面に走査電極及び維持電極に直交する複数のアドレス電極１１が平行に形成され、これらアドレス電極１１間に隔壁が形成され、これら隔壁により画成されたそれぞれの凹部７ａが放電セル７とされ、さらに、各凹部７ａの長手方向の一端部が傾斜部Ｇにて凹部７ａの底面と傾斜する傾斜面２１とされ、この傾斜面２１上には、アドレス電極１１に接続する接続用電極２３が形成されていることを特徴とする。
【選択図】 図２
【解決手段】このガス放電表示装置は、一対のガラス基板が対向配置され、一方のガラス基板の内表面に複数の走査電極及び維持電極が平行に形成され、他方のガラス基板２の内表面に走査電極及び維持電極に直交する複数のアドレス電極１１が平行に形成され、これらアドレス電極１１間に隔壁が形成され、これら隔壁により画成されたそれぞれの凹部７ａが放電セル７とされ、さらに、各凹部７ａの長手方向の一端部が傾斜部Ｇにて凹部７ａの底面と傾斜する傾斜面２１とされ、この傾斜面２１上には、アドレス電極１１に接続する接続用電極２３が形成されていることを特徴とする。
【選択図】 図２
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス放電表示装置及びその製造方法に係り、特に、高精細化、高輝度化を図るためのプラズマディスプレイ等の表示装置に好適に用いられ、しかも、放電セル内の電極とその外側の端子部との間に接続不良や断線等の不具合が生じる虞が無く、表示面の信頼性の向上、製造工程における歩留まりの向上、製造コストの低減等を図ることが可能な技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ハイビジョン用の大画面、高画質の表示デバイスとしてプラズマディスプレイ（ＰＤＰ：ガス放電表示装置）が注目されている。
このプラズマディスプレイは、１対の透明基板をシール材を介して対向配置し、一方の透明基板の内表面に複数のストライプ状の第１の電極を形成するとともに、他方の透明基板の内表面に前記第１の電極に直交する複数のストライプ状の第２の電極を形成し、これら第２の電極間に隔壁を形成し、これら隔壁により画成された凹部を放電セルとした構造のもので、従来の液晶ディスプレイ等に比べて、高階調表示が可能であり、色再現性、高速応答性に優れ、しかも、対角３０インチ以上の大画面を比較的安価に実現することできるという様々な特徴を有する。
【０００３】
図６は、従来の面放電型電極構造を有するＡＣ型プラズマディスプレイ（ＡＣ−ＰＤＰ）を示す部分分解斜視図である。
このプラズマディスプレイ１００は、２枚のガラス基板（透明基板）１０１、１０２が互いに対向配置され、前面側のガラス基板１０２の内表面（ガラス基板１０１に対向する側の一主面）には、インジウム添加酸化スズ（ＩＴＯ：Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＳｎＯ２等の透明導電材料からなるストライプ状の複数の走査電極（透明電極）１０４Ａ及び維持電極１０４Ｂが互いに平行に形成され、これら走査電極１０４Ａ及び維持電極１０４Ｂは透明な誘電体層１０３により覆われ、さらにこの誘電体層１０３は、ＭｇＯ等からなる透明な保護膜（図示略）により覆われている。上記の走査電極１０４Ａ及び維持電極１０４Ｂは、交互に配置されている。
【０００４】
一方、背面側のガラス基板１０１の内表面（ガラス基板１０２に対向する側の一主面）には、ガス放電を行う空間である放電セル１０７を形成するために、上述した走査電極１０４Ａ及び維持電極１０４Ｂと交差する方向に、所定の高さを有する複数の隔壁１０８がストライプ状に形成され、これらの隔壁１０８、１０８、…により凹部１０７ａが形成され、これら隔壁１０８、１０８及び凹部１０７ａにより囲まれた領域がガス放電を行う空間である溝状の放電セル１０７とされている。また、隔壁１０８はガラス基板１０１と一体形成されている。
それぞれの凹部１０７ａには、上述した走査電極１０４Ａ及び維持電極１０４Ｂに直交するストライプ状のＡｇ箔、ＡｇペーストあるいはＣｒ−Ｃｕ−Ｃｒ積層膜等の導電材料からなるアドレス電極１０６が形成され、これらアドレス電極１０６、…は反射率の高い誘電体層１０５で覆われ、この誘電体層１０５上には、３原色である赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のうちいずれかの色を発光する蛍光体１０９が積層されている。
【０００５】
背面側のガラス基板１０１の内表面（一主面）は、図７に示すように、表示面となる表示部Ｄと、この表示部Ｄの周囲をシールガラス等のシール材により封着してなるシール部Ｓと、このシール部Ｓの外側に形成された端子部Ｔの３つの領域により構成され、表示部Ｄを構成する放電セル１０７の各凹部１０７ａ及びアドレス電極１０６はシール部Ｓまで延在して形成されている。
各アドレス電極１０６は引き出し電極１１１により端子部Ｔの接続端子１１２に接続され、これらの接続端子１１２により外部の制御部や電源に電気的に接続されている。
そして、これらガラス基板１０１、１０２を互いに対向させて、各放電セル１０７、１０７、…の内部に１４７ｎｍのＸｅ共鳴放射光を利用するＮｅ−Ｘｅ、Ｈｅ−Ｘｅ等の放電ガスを封入した状態で、表示部Ｄの周囲のシール部Ｓをシールガラス等のシール材により封着した構成になっている。
【０００６】
このプラズマディスプレイ１００では、例えば、サンドブラスト法により平板状のガラス基板１０１の表面を切削して凹部１０７ａを形成し、次いで、フォトリソグラフィ法によりＡｇシート等の導電材料をパターニングして凹部１０７ａにアドレス電極１０６を形成し、その後、Ａｇペーストをアドレス電極１０６と接続端子１１２との間に塗布することにより、引き出し電極１１１を形成する方法が採られている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００１−４３８０４号公報
【特許文献２】
特開２００１−３２５８８８号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来のプラズマディスプレイ１００では、フォトリソグラフィ法により導電材料をパターニングしてアドレス電極１０６を形成し、その後、このアドレス電極１０６と接続端子１１２との間の垂直面に引き出し電極１１１を形成するという方法を採っていたため、アドレス電極１０６と引き出し電極１１１との間に隙間や接続不良の部分が生じ易く、したがって、接続不良や断線等の不具合が生じる虞があるという問題点があった。
この様な不具合が生じた場合、表示面に部分的に表示されない箇所が生じ、表示面の高精細化及び信頼性を低下させる要因になる。
また、製造工程において上記の様な不具合が発生した場合、製造工程における歩留まりが低下し、製造コストの上昇を招くこととなる。
【０００９】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、放電セル内の電極と、この電極を外方に引き出す電極との間に接続不良や断線等の不具合が生じる虞が無く、表示面の信頼性の向上、製造工程における歩留まりの向上、製造コストの低減等を図ることができるガス放電表示装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は次のようなガス放電表示装置及びその製造方法を採用した。
すなわち、本発明の請求項１記載のガス放電表示装置は、１対の透明基板が互いに対向配置され、これらの透明基板のうち一方の透明基板の一主面に複数のストライプ状の第１の電極が互いに平行に形成されるとともに、他方の透明基板の対向する側の一主面に前記第１の電極に直交する複数のストライプ状の第２の電極が互いに平行に形成され、これら第２の電極それぞれの間には隔壁が形成され、これら隔壁により画成されたそれぞれの凹部が放電セルとされ、これら放電セルの外側に複数の前記第２の電極と接続する接続端子が形成されてなるガス放電表示装置において、前記凹部の長手方向の少なくとも一端部に、該凹部の底面に対して傾斜する傾斜面を形成し、該傾斜面に前記第２の電極と前記接続端子とを接続する接続用電極を形成してなることを特徴とする。
【００１１】
このガス放電表示装置では、放電セルの一部を構成する凹部の長手方向の少なくとも一端部に、該凹部の底面に対して傾斜する傾斜面を形成し、該傾斜面に前記第２の電極と前記接続端子とを接続する接続用電極を形成したことにより、この接続用電極と前記第２の電極との間の接続が確実なものとなり、これらの電極間に接続不良や断線等の不具合が生じる虞が無くなる。これにより、表示面の信頼性が向上する。
また、接続用電極と前記第２の電極との間の接続が確実なものとなるので、製造工程における歩留まりが向上し、製造コストの低減が容易になる。
【００１２】
請求項２記載のガス放電表示装置は、請求項１記載のガス放電表示装置において、前記接続端子が形成された透明基板の一主面に、該接続端子を収納する溝または凹所を形成してなることを特徴とする。
【００１３】
このガス放電表示装置では、前記接続端子が形成された透明基板の一主面に、該接続端子を収納する溝または凹所を形成したことにより、接続端子の位置ずれ等が無くなり、この接続端子と前記接続用電極との間の接続が確実なものとなる。
【００１４】
請求項３記載のガス放電表示装置の製造方法は、１対の透明基板が互いに対向配置され、これらの透明基板のうち一方の透明基板の一主面に複数のストライプ状の第１の電極が互いに平行に形成されるとともに、他方の透明基板の対向する側の一主面に前記第１の電極に直交する複数のストライプ状の第２の電極が互いに平行に形成され、これら第２の電極それぞれの間には隔壁が形成され、これら隔壁により画成されたそれぞれの凹部が放電セルとされ、これら放電セルの外側に複数の前記第２の電極と接続する接続端子が形成されてなるガス放電表示装置の製造方法であって、サンドブラスト法の粉末噴射用ノズルの中心軸と周縁部との切削量の差を用いて、前記凹部の長手方向の少なくとも一端部に、該凹部の底面に対して傾斜する傾斜面を形成することを特徴とする。
【００１５】
このガス放電表示装置の製造方法では、サンドブラスト法の粉末噴射用ノズルの中心軸と周縁部との切削量の差を用いて、前記凹部の長手方向の少なくとも一端部に、該凹部の底面に対して傾斜する傾斜面を形成することにより、透明基板の一主面に所定形状の傾斜面を容易に形成する。
【００１６】
請求項４記載のガス放電表示装置の製造方法は、請求項３記載のガス放電表示装置の製造方法において、前記粉末噴射用ノズルを前記透明基板上にて所定の距離移動させ、この透明基板上に前記凹部及び前記傾斜面を形成することを特徴とする。
【００１７】
このガス放電表示装置の製造方法では、前記粉末噴射用ノズルを前記透明基板上にて所定の距離移動させ、この透明基板上に前記凹部及び前記傾斜面を形成することにより、１回の操作により、透明基板の一主面に凹部及び傾斜面が同時にかつ容易に形成される。
【００１８】
請求項５記載のガス放電表示装置の製造方法は、請求項３記載のガス放電表示装置の製造方法において、前記粉末噴射用ノズルの前記透明基板上の移動距離を段階的に変化させ、この透明基板上に前記凹部及び前記傾斜面を形成することを特徴とする。
【００１９】
このガス放電表示装置の製造方法では、前記粉末噴射用ノズルの前記透明基板上の移動距離を段階的に変化させ、この透明基板上に前記凹部及び前記傾斜面を形成することにより、透明基板の一主面に所定形状の凹部及び傾斜面が同時にかつ容易に形成される。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明のガス放電表示装置及びその製造方法の一実施の形態について図面に基づき説明する。
ここでは、ガス放電表示装置として面放電型電極構造のＡＣ型プラズマディスプレイ（ＡＣ−ＰＤＰ）を例に採り説明する。
図１は本実施形態のＡＣ型プラズマディスプレイ（ＡＣ−ＰＤＰ）を示す部分分解斜視図、図２は同プラズマディスプレイの背面側のガラス基板を示す断面図である。なお、図１及び図２に示すプラズマディスプレイは一例であり、本発明はこのプラズマディスプレイに限定されるものではない。
【００２１】
このプラズマディスプレイ１は、２枚のガラス基板（透明基板）２、３が互いに対向配置され、前面側のガラス基板３の内表面（ガラス基板２に対向する側の一主面）には、インジウム添加酸化スズ（ＩＴＯ：Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＳｎＯ２等の透明導電材料からなるストライプ状の複数の走査電極（透明電極）４Ａ及び維持電極４Ｂが互いに平行に形成され、これら走査電極４Ａ及び維持電極４Ｂは透明な誘電体層５により覆われ、さらにこの誘電体層５は、ＭｇＯ等からなる透明な保護膜（図示略）により覆われている。上記の走査電極４Ａ及び維持電極４Ｂは、交互に配置されている。
【００２２】
一方、背面側のガラス基板２の内表面（ガラス基板３に対向する側の一主面）には、ガス放電を行う空間である放電セル７を形成するために、上述した走査電極４Ａ及び維持電極４Ｂの延在方向と交差する方向に、所定の高さを有する複数の隔壁８がストライプ状に形成され、これらの隔壁８、８、…により挟まれる領域が凹部７ａとされ、これら隔壁８、８及び凹部７ａにより囲まれた空間領域がガス放電を行う空間である溝状の放電セル７とされている。
【００２３】
隔壁８、８、…は、ガラス基板２とは異なる別部材により構成されていてもよいが、プラズマディスプレイ１の製造工程を簡略化するために、図１に示すように、ガラス基板２と一体形成されていることが望ましい。
各放電セル７内、すなわち凹部７ａの底面には、上述した走査電極４Ａ及び維持電極４Ｂに直交しかつ凹部７ａの底面に沿う帯状のアドレス電極（第２の電極）１１が形成され、これらアドレス電極１１、１１、…は反射率の高い誘電体層１２で覆われ、各誘電体層１２上には、３原色である赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のうちいずれかの色を発光する蛍光体１３が積層されている。
【００２４】
これらのアドレス電極１１、１１、…は、凹部７ａ内に、少なくとも導電性粒子と、ガラスフリットと、水と、バインダー樹脂と、分散剤を含有するスラリー（導電性液状物質）を充填し、次いで、所定時間静置することにより上記の導電性粒子を沈降させ、次いで、所定の温度で所定時間熱処理し、この沈降した導電性粒子同士を互いに接合させることにより得られる。
【００２５】
上記の導電性粒子としては、例えば、平均粒径が０．０５〜５．０μｍ、好ましくは０．１〜２．０μｍの、Ａｇ粒子あるいはＡｇ合金粒子が好適に用いられる。
また、ガラスフリットとしては、電極の特性に影響を及ぼさないものであれば良く、例えば、平均粒径が０．１〜５．０μｍ、好ましくは０．１〜２．０μｍの、硼珪酸鉛ガラス、硼珪酸亜鉛ガラス、硼珪酸ビスマスガラス等が好適に用いられる。
【００２６】
これらのアドレス電極１１、１１、…は、上記の導電性粒子を沈降させる方法の他、Ａｇ箔等のストライプ状の導電箔を貼り付ける方法、あるいはフォトリソグラフィ法によりＡｇシート等の導電性シートをパターニングする方法によっても形成することができる。
この導電箔等としては、例えば、厚みが１〜１５μｍ、好ましくは２〜１０μｍのＡｇ箔あるいはＡｇ合金箔が好適に用いられる。
【００２７】
このガラス基板２の内表面は、図２に示すように、表示面となる表示部Ｄと、この表示部Ｄの周囲をシールガラス等のシール材により封着してなるシール部Ｓと、このシール部Ｓの外側に形成された端子部Ｔと、シール部Ｓと端子部Ｔとの境界領域に設けられた傾斜部Ｇの４つの領域により構成されている。
表示部Ｄを構成する放電セル７の各凹部７ａは、シール部Ｓまで延在して形成され、各凹部７ａの長手方向の一端部は傾斜面２１とされ、この傾斜面２１の上端部は、端子部Ｔの内表面（一主面）に形成された溝２２（または凹所）の底部の端に接続されている。
【００２８】
この傾斜面２１上には、放電セル７のアドレス電極１１と幅及び厚みがほぼ等しい接続用電極２３が形成され、この接続用電極２３の下端部はアドレス電極１１の一端部に接続されるとともに、その上端部は溝２２内に形成された接続端子２４に接続されている。
この傾斜面２１は、サンドブラスト法のノズルの噴出形状を利用することにより、形成することができる。
【００２９】
サンドブラスト法では、図３に示すように、粉末噴射用ノズル３１を図中矢印方向に移動した場合に、その粉末噴射部３２における単位時間当たりの切削量（切削レイト）は、中心軸Ａｘの部分が最も高く、この中心軸Ａｘから周縁部Ｒに向かって同心円状に低下するという特性を有している。そこで、この中心軸Ａｘから周縁部Ｒに向かう切削レイトの差を利用して傾斜面２１を形成する。
【００３０】
この場合、このノズル３１を、ガラス基板２上にて図中矢印方向に移動することにより、このノズル３１の中心軸Ａｘが通過した領域が均一な深さに切削された均一切削領域３３となり、このノズル３１が停止した場合に、このノズル３１の中心軸Ａｘから図中矢印方向の周縁部Ｒまでの領域が深さが徐々に変化する傾斜切削領域３４となる。
したがって、図４に示すように、このノズル３１をガラス基板２上の所定位置を図中矢印方向に往復移動させることにより、このガラス基板２上に凹部７ａ及び傾斜面２１を同時に形成することができる。
【００３１】
また、図５に示すように、ノズル３１の移動距離を変化させることにより、ガラス基板２上に凹部７ａ及び傾斜面２１を同時に形成することができる。
この場合、このノズル３１の移動距離を通過数Ｐ１〜Ｐ３により変化させると、各通過数Ｐ１〜Ｐ３が重なった領域が均一な深さに切削された均一切削領域４１となり、通過数Ｐ１〜Ｐ３が変化する領域が深さが徐々に変化する傾斜切削領域４２となる。
したがって、このノズル３１のガラス基板２上における移動距離を通過数Ｐ１〜Ｐ３により変化させることにより、所望の深さの凹部７ａと傾斜面２１を同時に形成することができる。
【００３２】
この傾斜面２１上に、例えば、Ａｇペースト、Ａｇ合金ペースト等の導電性ペーストを塗布することにより、接続用電極２３を形成することができる。
また、溝２２は、ドライフィルムレジスト等の耐サンドブラスト性を有するレジストを用いたサンドブラスト法、あるいはグラインダ等の研磨機や切削機を用いた切削法により形成することができる。
この溝２２に、フォトリソグラフィ法によりＡｇシート、Ａｇ箔等の導電材料をパターニングすることにより、接続端子２４を形成することができる。
【００３３】
そして、これらガラス基板２、３を互いに対向させ、シール材（図示せず）をガラス基板２、３の内表面に圧着して表示部Ｄ内の放電セル７を封着し、その後、各放電セル７、７、…内を真空状態として、各放電セル７、７、…内に１４７ｎｍのＸｅ共鳴放射光を利用するＮｅ−Ｘｅ、Ｈｅ−Ｘｅ等の放電ガスを封入することにより、プラズマディスプレイ１を得ることができる。
【００３４】
このプラズマディスプレイ１では、走査電極４Ａ、…、維持電極４Ｂ、…およびアドレス電極１１、１１、…の一方の端部は、それぞれ外部に引き出されており、これらに接続された端子に選択的に電圧を印加することで、選択的に放電セル７、７、…内の走査電極４Ａ及び維持電極４Ｂとアドレス電極１１、１１、…との間に放電を発生させ、この放電により放電セル７内の蛍光体１３からの励起光を外部（観察者側）に表示するようになっている。なお、このときの発光面は、放電セル７に面した蛍光体１３の表面部分となる。
【００３５】
本実施形態のプラズマディスプレイ１によれば、放電セル７の各凹部７ａの長手方向の一端部を傾斜面２１とし、この傾斜面２１上に、アドレス電極１１及び接続端子２４に接続される接続用電極２３を形成したので、この接続用電極２３とアドレス電極１１との接続を確実なものとすることができる。したがって、これらの電極１１、２３間に接続不良や断線等の不具合が生じる虞が無くなり、表示面の信頼性を向上させることができる。
また、接続用電極２３とアドレス電極１１との接続が確実なものとなるので、製造工程における歩留まりを向上させることができ、製造コストの低減を図ることができる。
【００３６】
本実施形態のプラズマディスプレイ１の製造方法によれば、ノズル３１の粉末噴射部３２の中心軸Ａｘから周縁部Ｒに向かう切削レイトの差を利用し、ノズル３１をガラス基板２上にて往復移動するので、このガラス基板２上に凹部７ａ及び傾斜面２１を同時にかつ容易に形成することができる。
【００３７】
以上、本発明の一実施の形態について図面に基づき説明してきたが、具体的な構成は上述した一実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で設計の変更等が可能である。
例えば、本実施形態では、傾斜面２１上にＡｇペースト、Ａｇ合金ペースト等の導電性ペーストを塗布することにより接続用電極２３を形成することとしたが、フォトリソグラフィ法によりＡｇシート、Ａｇ箔等の導電材料をパターニングすることにより接続用電極２３を形成してもよい。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明した様に、本発明のガス放電表示装置によれば、放電セルを構成する凹部の長手方向の少なくとも一端部に、該凹部の底面に対して傾斜する傾斜面を形成し、該傾斜面に第２の電極と接続端子とを接続する接続用電極を形成したので、この接続用電極と前記第２の電極との間の接続を確実なものとすることができる。したがって、これらの電極間における接続不良や断線等の不具合を防止することができ、その結果、表示面の信頼性を向上させることができる。
また、接続用電極と前記第２の電極との間の接続が確実なものとなるので、製造工程における歩留まりを向上させることができ、製造コストの低減を図ることができる。
【００３９】
また、前記接続端子が形成された透明基板の一主面に、該接続端子を収納する溝または凹所を形成すれば、接続端子の位置ずれ等を防止することができ、この接続端子と前記接続用電極との間の接続を確実なものとすることができる。
【００４０】
本発明のガス放電表示装置の製造方法によれば、サンドブラスト法の粉末噴射用ノズルの中心軸と周縁部との切削量の差を用いて、前記凹部の長手方向の少なくとも一端部に、該凹部の底面に対して傾斜する傾斜面を形成するので、透明基板の一主面に所定形状の傾斜面を容易に形成することができる。
【００４１】
また、前記粉末噴射用ノズルを前記透明基板上にて所定の距離移動させることで、この透明基板上に前記凹部及び前記傾斜面を形成することとすれば、１回の操作により、透明基板の一主面に凹部及び傾斜面を同時にかつ容易に形成することができる。
【００４２】
また、前記粉末噴射用ノズルの前記透明基板上の移動距離を段階的に変化させ、この透明基板上に前記凹部及び前記傾斜面を形成することとすれば、透明基板の一主面に所定形状の凹部及び傾斜面を同時にかつ容易に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態のＡＣ型プラズマディスプレイを示す部分分解斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態のＡＣ型プラズマディスプレイの背面側のガラス基板を示す断面図である。
【図３】サンドブラスト法によりガラス基板上に凹部及び傾斜面を形成する方法を示す断面図である。
【図４】サンドブラスト法によりガラス基板上に凹部及び傾斜面を形成する他の方法を示す断面図である。
【図５】サンドブラスト法によりガラス基板上に凹部及び傾斜面を形成するさらに他の方法を示す断面図である。
【図６】従来のＡＣ型プラズマディスプレイを示す部分分解斜視図である。
【図７】従来のＡＣ型プラズマディスプレイの背面側のガラス基板を示す断面図である。
【符号の説明】
１ プラズマディスプレイ
２、３ ガラス基板（透明基板）
４Ａ 走査電極（第１の電極）
４Ｂ 維持電極
５ 誘電体層
７ 放電セル
７ａ 凹部
８ 隔壁
１１ アドレス電極（第２の電極）
１２ 誘電体層
１３ 蛍光体
２１ 傾斜面
２２ 溝
２３ 接続用電極
２４ 接続端子
３１ 粉末噴射用ノズル
３２ 粉末噴射部
３３ 均一切削領域
３４ 傾斜切削領域
４１ 均一切削領域
４２ 傾斜切削領域
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス放電表示装置及びその製造方法に係り、特に、高精細化、高輝度化を図るためのプラズマディスプレイ等の表示装置に好適に用いられ、しかも、放電セル内の電極とその外側の端子部との間に接続不良や断線等の不具合が生じる虞が無く、表示面の信頼性の向上、製造工程における歩留まりの向上、製造コストの低減等を図ることが可能な技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ハイビジョン用の大画面、高画質の表示デバイスとしてプラズマディスプレイ（ＰＤＰ：ガス放電表示装置）が注目されている。
このプラズマディスプレイは、１対の透明基板をシール材を介して対向配置し、一方の透明基板の内表面に複数のストライプ状の第１の電極を形成するとともに、他方の透明基板の内表面に前記第１の電極に直交する複数のストライプ状の第２の電極を形成し、これら第２の電極間に隔壁を形成し、これら隔壁により画成された凹部を放電セルとした構造のもので、従来の液晶ディスプレイ等に比べて、高階調表示が可能であり、色再現性、高速応答性に優れ、しかも、対角３０インチ以上の大画面を比較的安価に実現することできるという様々な特徴を有する。
【０００３】
図６は、従来の面放電型電極構造を有するＡＣ型プラズマディスプレイ（ＡＣ−ＰＤＰ）を示す部分分解斜視図である。
このプラズマディスプレイ１００は、２枚のガラス基板（透明基板）１０１、１０２が互いに対向配置され、前面側のガラス基板１０２の内表面（ガラス基板１０１に対向する側の一主面）には、インジウム添加酸化スズ（ＩＴＯ：Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＳｎＯ２等の透明導電材料からなるストライプ状の複数の走査電極（透明電極）１０４Ａ及び維持電極１０４Ｂが互いに平行に形成され、これら走査電極１０４Ａ及び維持電極１０４Ｂは透明な誘電体層１０３により覆われ、さらにこの誘電体層１０３は、ＭｇＯ等からなる透明な保護膜（図示略）により覆われている。上記の走査電極１０４Ａ及び維持電極１０４Ｂは、交互に配置されている。
【０００４】
一方、背面側のガラス基板１０１の内表面（ガラス基板１０２に対向する側の一主面）には、ガス放電を行う空間である放電セル１０７を形成するために、上述した走査電極１０４Ａ及び維持電極１０４Ｂと交差する方向に、所定の高さを有する複数の隔壁１０８がストライプ状に形成され、これらの隔壁１０８、１０８、…により凹部１０７ａが形成され、これら隔壁１０８、１０８及び凹部１０７ａにより囲まれた領域がガス放電を行う空間である溝状の放電セル１０７とされている。また、隔壁１０８はガラス基板１０１と一体形成されている。
それぞれの凹部１０７ａには、上述した走査電極１０４Ａ及び維持電極１０４Ｂに直交するストライプ状のＡｇ箔、ＡｇペーストあるいはＣｒ−Ｃｕ−Ｃｒ積層膜等の導電材料からなるアドレス電極１０６が形成され、これらアドレス電極１０６、…は反射率の高い誘電体層１０５で覆われ、この誘電体層１０５上には、３原色である赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のうちいずれかの色を発光する蛍光体１０９が積層されている。
【０００５】
背面側のガラス基板１０１の内表面（一主面）は、図７に示すように、表示面となる表示部Ｄと、この表示部Ｄの周囲をシールガラス等のシール材により封着してなるシール部Ｓと、このシール部Ｓの外側に形成された端子部Ｔの３つの領域により構成され、表示部Ｄを構成する放電セル１０７の各凹部１０７ａ及びアドレス電極１０６はシール部Ｓまで延在して形成されている。
各アドレス電極１０６は引き出し電極１１１により端子部Ｔの接続端子１１２に接続され、これらの接続端子１１２により外部の制御部や電源に電気的に接続されている。
そして、これらガラス基板１０１、１０２を互いに対向させて、各放電セル１０７、１０７、…の内部に１４７ｎｍのＸｅ共鳴放射光を利用するＮｅ−Ｘｅ、Ｈｅ−Ｘｅ等の放電ガスを封入した状態で、表示部Ｄの周囲のシール部Ｓをシールガラス等のシール材により封着した構成になっている。
【０００６】
このプラズマディスプレイ１００では、例えば、サンドブラスト法により平板状のガラス基板１０１の表面を切削して凹部１０７ａを形成し、次いで、フォトリソグラフィ法によりＡｇシート等の導電材料をパターニングして凹部１０７ａにアドレス電極１０６を形成し、その後、Ａｇペーストをアドレス電極１０６と接続端子１１２との間に塗布することにより、引き出し電極１１１を形成する方法が採られている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００１−４３８０４号公報
【特許文献２】
特開２００１−３２５８８８号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来のプラズマディスプレイ１００では、フォトリソグラフィ法により導電材料をパターニングしてアドレス電極１０６を形成し、その後、このアドレス電極１０６と接続端子１１２との間の垂直面に引き出し電極１１１を形成するという方法を採っていたため、アドレス電極１０６と引き出し電極１１１との間に隙間や接続不良の部分が生じ易く、したがって、接続不良や断線等の不具合が生じる虞があるという問題点があった。
この様な不具合が生じた場合、表示面に部分的に表示されない箇所が生じ、表示面の高精細化及び信頼性を低下させる要因になる。
また、製造工程において上記の様な不具合が発生した場合、製造工程における歩留まりが低下し、製造コストの上昇を招くこととなる。
【０００９】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、放電セル内の電極と、この電極を外方に引き出す電極との間に接続不良や断線等の不具合が生じる虞が無く、表示面の信頼性の向上、製造工程における歩留まりの向上、製造コストの低減等を図ることができるガス放電表示装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は次のようなガス放電表示装置及びその製造方法を採用した。
すなわち、本発明の請求項１記載のガス放電表示装置は、１対の透明基板が互いに対向配置され、これらの透明基板のうち一方の透明基板の一主面に複数のストライプ状の第１の電極が互いに平行に形成されるとともに、他方の透明基板の対向する側の一主面に前記第１の電極に直交する複数のストライプ状の第２の電極が互いに平行に形成され、これら第２の電極それぞれの間には隔壁が形成され、これら隔壁により画成されたそれぞれの凹部が放電セルとされ、これら放電セルの外側に複数の前記第２の電極と接続する接続端子が形成されてなるガス放電表示装置において、前記凹部の長手方向の少なくとも一端部に、該凹部の底面に対して傾斜する傾斜面を形成し、該傾斜面に前記第２の電極と前記接続端子とを接続する接続用電極を形成してなることを特徴とする。
【００１１】
このガス放電表示装置では、放電セルの一部を構成する凹部の長手方向の少なくとも一端部に、該凹部の底面に対して傾斜する傾斜面を形成し、該傾斜面に前記第２の電極と前記接続端子とを接続する接続用電極を形成したことにより、この接続用電極と前記第２の電極との間の接続が確実なものとなり、これらの電極間に接続不良や断線等の不具合が生じる虞が無くなる。これにより、表示面の信頼性が向上する。
また、接続用電極と前記第２の電極との間の接続が確実なものとなるので、製造工程における歩留まりが向上し、製造コストの低減が容易になる。
【００１２】
請求項２記載のガス放電表示装置は、請求項１記載のガス放電表示装置において、前記接続端子が形成された透明基板の一主面に、該接続端子を収納する溝または凹所を形成してなることを特徴とする。
【００１３】
このガス放電表示装置では、前記接続端子が形成された透明基板の一主面に、該接続端子を収納する溝または凹所を形成したことにより、接続端子の位置ずれ等が無くなり、この接続端子と前記接続用電極との間の接続が確実なものとなる。
【００１４】
請求項３記載のガス放電表示装置の製造方法は、１対の透明基板が互いに対向配置され、これらの透明基板のうち一方の透明基板の一主面に複数のストライプ状の第１の電極が互いに平行に形成されるとともに、他方の透明基板の対向する側の一主面に前記第１の電極に直交する複数のストライプ状の第２の電極が互いに平行に形成され、これら第２の電極それぞれの間には隔壁が形成され、これら隔壁により画成されたそれぞれの凹部が放電セルとされ、これら放電セルの外側に複数の前記第２の電極と接続する接続端子が形成されてなるガス放電表示装置の製造方法であって、サンドブラスト法の粉末噴射用ノズルの中心軸と周縁部との切削量の差を用いて、前記凹部の長手方向の少なくとも一端部に、該凹部の底面に対して傾斜する傾斜面を形成することを特徴とする。
【００１５】
このガス放電表示装置の製造方法では、サンドブラスト法の粉末噴射用ノズルの中心軸と周縁部との切削量の差を用いて、前記凹部の長手方向の少なくとも一端部に、該凹部の底面に対して傾斜する傾斜面を形成することにより、透明基板の一主面に所定形状の傾斜面を容易に形成する。
【００１６】
請求項４記載のガス放電表示装置の製造方法は、請求項３記載のガス放電表示装置の製造方法において、前記粉末噴射用ノズルを前記透明基板上にて所定の距離移動させ、この透明基板上に前記凹部及び前記傾斜面を形成することを特徴とする。
【００１７】
このガス放電表示装置の製造方法では、前記粉末噴射用ノズルを前記透明基板上にて所定の距離移動させ、この透明基板上に前記凹部及び前記傾斜面を形成することにより、１回の操作により、透明基板の一主面に凹部及び傾斜面が同時にかつ容易に形成される。
【００１８】
請求項５記載のガス放電表示装置の製造方法は、請求項３記載のガス放電表示装置の製造方法において、前記粉末噴射用ノズルの前記透明基板上の移動距離を段階的に変化させ、この透明基板上に前記凹部及び前記傾斜面を形成することを特徴とする。
【００１９】
このガス放電表示装置の製造方法では、前記粉末噴射用ノズルの前記透明基板上の移動距離を段階的に変化させ、この透明基板上に前記凹部及び前記傾斜面を形成することにより、透明基板の一主面に所定形状の凹部及び傾斜面が同時にかつ容易に形成される。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明のガス放電表示装置及びその製造方法の一実施の形態について図面に基づき説明する。
ここでは、ガス放電表示装置として面放電型電極構造のＡＣ型プラズマディスプレイ（ＡＣ−ＰＤＰ）を例に採り説明する。
図１は本実施形態のＡＣ型プラズマディスプレイ（ＡＣ−ＰＤＰ）を示す部分分解斜視図、図２は同プラズマディスプレイの背面側のガラス基板を示す断面図である。なお、図１及び図２に示すプラズマディスプレイは一例であり、本発明はこのプラズマディスプレイに限定されるものではない。
【００２１】
このプラズマディスプレイ１は、２枚のガラス基板（透明基板）２、３が互いに対向配置され、前面側のガラス基板３の内表面（ガラス基板２に対向する側の一主面）には、インジウム添加酸化スズ（ＩＴＯ：Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、ＳｎＯ２等の透明導電材料からなるストライプ状の複数の走査電極（透明電極）４Ａ及び維持電極４Ｂが互いに平行に形成され、これら走査電極４Ａ及び維持電極４Ｂは透明な誘電体層５により覆われ、さらにこの誘電体層５は、ＭｇＯ等からなる透明な保護膜（図示略）により覆われている。上記の走査電極４Ａ及び維持電極４Ｂは、交互に配置されている。
【００２２】
一方、背面側のガラス基板２の内表面（ガラス基板３に対向する側の一主面）には、ガス放電を行う空間である放電セル７を形成するために、上述した走査電極４Ａ及び維持電極４Ｂの延在方向と交差する方向に、所定の高さを有する複数の隔壁８がストライプ状に形成され、これらの隔壁８、８、…により挟まれる領域が凹部７ａとされ、これら隔壁８、８及び凹部７ａにより囲まれた空間領域がガス放電を行う空間である溝状の放電セル７とされている。
【００２３】
隔壁８、８、…は、ガラス基板２とは異なる別部材により構成されていてもよいが、プラズマディスプレイ１の製造工程を簡略化するために、図１に示すように、ガラス基板２と一体形成されていることが望ましい。
各放電セル７内、すなわち凹部７ａの底面には、上述した走査電極４Ａ及び維持電極４Ｂに直交しかつ凹部７ａの底面に沿う帯状のアドレス電極（第２の電極）１１が形成され、これらアドレス電極１１、１１、…は反射率の高い誘電体層１２で覆われ、各誘電体層１２上には、３原色である赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のうちいずれかの色を発光する蛍光体１３が積層されている。
【００２４】
これらのアドレス電極１１、１１、…は、凹部７ａ内に、少なくとも導電性粒子と、ガラスフリットと、水と、バインダー樹脂と、分散剤を含有するスラリー（導電性液状物質）を充填し、次いで、所定時間静置することにより上記の導電性粒子を沈降させ、次いで、所定の温度で所定時間熱処理し、この沈降した導電性粒子同士を互いに接合させることにより得られる。
【００２５】
上記の導電性粒子としては、例えば、平均粒径が０．０５〜５．０μｍ、好ましくは０．１〜２．０μｍの、Ａｇ粒子あるいはＡｇ合金粒子が好適に用いられる。
また、ガラスフリットとしては、電極の特性に影響を及ぼさないものであれば良く、例えば、平均粒径が０．１〜５．０μｍ、好ましくは０．１〜２．０μｍの、硼珪酸鉛ガラス、硼珪酸亜鉛ガラス、硼珪酸ビスマスガラス等が好適に用いられる。
【００２６】
これらのアドレス電極１１、１１、…は、上記の導電性粒子を沈降させる方法の他、Ａｇ箔等のストライプ状の導電箔を貼り付ける方法、あるいはフォトリソグラフィ法によりＡｇシート等の導電性シートをパターニングする方法によっても形成することができる。
この導電箔等としては、例えば、厚みが１〜１５μｍ、好ましくは２〜１０μｍのＡｇ箔あるいはＡｇ合金箔が好適に用いられる。
【００２７】
このガラス基板２の内表面は、図２に示すように、表示面となる表示部Ｄと、この表示部Ｄの周囲をシールガラス等のシール材により封着してなるシール部Ｓと、このシール部Ｓの外側に形成された端子部Ｔと、シール部Ｓと端子部Ｔとの境界領域に設けられた傾斜部Ｇの４つの領域により構成されている。
表示部Ｄを構成する放電セル７の各凹部７ａは、シール部Ｓまで延在して形成され、各凹部７ａの長手方向の一端部は傾斜面２１とされ、この傾斜面２１の上端部は、端子部Ｔの内表面（一主面）に形成された溝２２（または凹所）の底部の端に接続されている。
【００２８】
この傾斜面２１上には、放電セル７のアドレス電極１１と幅及び厚みがほぼ等しい接続用電極２３が形成され、この接続用電極２３の下端部はアドレス電極１１の一端部に接続されるとともに、その上端部は溝２２内に形成された接続端子２４に接続されている。
この傾斜面２１は、サンドブラスト法のノズルの噴出形状を利用することにより、形成することができる。
【００２９】
サンドブラスト法では、図３に示すように、粉末噴射用ノズル３１を図中矢印方向に移動した場合に、その粉末噴射部３２における単位時間当たりの切削量（切削レイト）は、中心軸Ａｘの部分が最も高く、この中心軸Ａｘから周縁部Ｒに向かって同心円状に低下するという特性を有している。そこで、この中心軸Ａｘから周縁部Ｒに向かう切削レイトの差を利用して傾斜面２１を形成する。
【００３０】
この場合、このノズル３１を、ガラス基板２上にて図中矢印方向に移動することにより、このノズル３１の中心軸Ａｘが通過した領域が均一な深さに切削された均一切削領域３３となり、このノズル３１が停止した場合に、このノズル３１の中心軸Ａｘから図中矢印方向の周縁部Ｒまでの領域が深さが徐々に変化する傾斜切削領域３４となる。
したがって、図４に示すように、このノズル３１をガラス基板２上の所定位置を図中矢印方向に往復移動させることにより、このガラス基板２上に凹部７ａ及び傾斜面２１を同時に形成することができる。
【００３１】
また、図５に示すように、ノズル３１の移動距離を変化させることにより、ガラス基板２上に凹部７ａ及び傾斜面２１を同時に形成することができる。
この場合、このノズル３１の移動距離を通過数Ｐ１〜Ｐ３により変化させると、各通過数Ｐ１〜Ｐ３が重なった領域が均一な深さに切削された均一切削領域４１となり、通過数Ｐ１〜Ｐ３が変化する領域が深さが徐々に変化する傾斜切削領域４２となる。
したがって、このノズル３１のガラス基板２上における移動距離を通過数Ｐ１〜Ｐ３により変化させることにより、所望の深さの凹部７ａと傾斜面２１を同時に形成することができる。
【００３２】
この傾斜面２１上に、例えば、Ａｇペースト、Ａｇ合金ペースト等の導電性ペーストを塗布することにより、接続用電極２３を形成することができる。
また、溝２２は、ドライフィルムレジスト等の耐サンドブラスト性を有するレジストを用いたサンドブラスト法、あるいはグラインダ等の研磨機や切削機を用いた切削法により形成することができる。
この溝２２に、フォトリソグラフィ法によりＡｇシート、Ａｇ箔等の導電材料をパターニングすることにより、接続端子２４を形成することができる。
【００３３】
そして、これらガラス基板２、３を互いに対向させ、シール材（図示せず）をガラス基板２、３の内表面に圧着して表示部Ｄ内の放電セル７を封着し、その後、各放電セル７、７、…内を真空状態として、各放電セル７、７、…内に１４７ｎｍのＸｅ共鳴放射光を利用するＮｅ−Ｘｅ、Ｈｅ−Ｘｅ等の放電ガスを封入することにより、プラズマディスプレイ１を得ることができる。
【００３４】
このプラズマディスプレイ１では、走査電極４Ａ、…、維持電極４Ｂ、…およびアドレス電極１１、１１、…の一方の端部は、それぞれ外部に引き出されており、これらに接続された端子に選択的に電圧を印加することで、選択的に放電セル７、７、…内の走査電極４Ａ及び維持電極４Ｂとアドレス電極１１、１１、…との間に放電を発生させ、この放電により放電セル７内の蛍光体１３からの励起光を外部（観察者側）に表示するようになっている。なお、このときの発光面は、放電セル７に面した蛍光体１３の表面部分となる。
【００３５】
本実施形態のプラズマディスプレイ１によれば、放電セル７の各凹部７ａの長手方向の一端部を傾斜面２１とし、この傾斜面２１上に、アドレス電極１１及び接続端子２４に接続される接続用電極２３を形成したので、この接続用電極２３とアドレス電極１１との接続を確実なものとすることができる。したがって、これらの電極１１、２３間に接続不良や断線等の不具合が生じる虞が無くなり、表示面の信頼性を向上させることができる。
また、接続用電極２３とアドレス電極１１との接続が確実なものとなるので、製造工程における歩留まりを向上させることができ、製造コストの低減を図ることができる。
【００３６】
本実施形態のプラズマディスプレイ１の製造方法によれば、ノズル３１の粉末噴射部３２の中心軸Ａｘから周縁部Ｒに向かう切削レイトの差を利用し、ノズル３１をガラス基板２上にて往復移動するので、このガラス基板２上に凹部７ａ及び傾斜面２１を同時にかつ容易に形成することができる。
【００３７】
以上、本発明の一実施の形態について図面に基づき説明してきたが、具体的な構成は上述した一実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で設計の変更等が可能である。
例えば、本実施形態では、傾斜面２１上にＡｇペースト、Ａｇ合金ペースト等の導電性ペーストを塗布することにより接続用電極２３を形成することとしたが、フォトリソグラフィ法によりＡｇシート、Ａｇ箔等の導電材料をパターニングすることにより接続用電極２３を形成してもよい。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明した様に、本発明のガス放電表示装置によれば、放電セルを構成する凹部の長手方向の少なくとも一端部に、該凹部の底面に対して傾斜する傾斜面を形成し、該傾斜面に第２の電極と接続端子とを接続する接続用電極を形成したので、この接続用電極と前記第２の電極との間の接続を確実なものとすることができる。したがって、これらの電極間における接続不良や断線等の不具合を防止することができ、その結果、表示面の信頼性を向上させることができる。
また、接続用電極と前記第２の電極との間の接続が確実なものとなるので、製造工程における歩留まりを向上させることができ、製造コストの低減を図ることができる。
【００３９】
また、前記接続端子が形成された透明基板の一主面に、該接続端子を収納する溝または凹所を形成すれば、接続端子の位置ずれ等を防止することができ、この接続端子と前記接続用電極との間の接続を確実なものとすることができる。
【００４０】
本発明のガス放電表示装置の製造方法によれば、サンドブラスト法の粉末噴射用ノズルの中心軸と周縁部との切削量の差を用いて、前記凹部の長手方向の少なくとも一端部に、該凹部の底面に対して傾斜する傾斜面を形成するので、透明基板の一主面に所定形状の傾斜面を容易に形成することができる。
【００４１】
また、前記粉末噴射用ノズルを前記透明基板上にて所定の距離移動させることで、この透明基板上に前記凹部及び前記傾斜面を形成することとすれば、１回の操作により、透明基板の一主面に凹部及び傾斜面を同時にかつ容易に形成することができる。
【００４２】
また、前記粉末噴射用ノズルの前記透明基板上の移動距離を段階的に変化させ、この透明基板上に前記凹部及び前記傾斜面を形成することとすれば、透明基板の一主面に所定形状の凹部及び傾斜面を同時にかつ容易に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態のＡＣ型プラズマディスプレイを示す部分分解斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態のＡＣ型プラズマディスプレイの背面側のガラス基板を示す断面図である。
【図３】サンドブラスト法によりガラス基板上に凹部及び傾斜面を形成する方法を示す断面図である。
【図４】サンドブラスト法によりガラス基板上に凹部及び傾斜面を形成する他の方法を示す断面図である。
【図５】サンドブラスト法によりガラス基板上に凹部及び傾斜面を形成するさらに他の方法を示す断面図である。
【図６】従来のＡＣ型プラズマディスプレイを示す部分分解斜視図である。
【図７】従来のＡＣ型プラズマディスプレイの背面側のガラス基板を示す断面図である。
【符号の説明】
１ プラズマディスプレイ
２、３ ガラス基板（透明基板）
４Ａ 走査電極（第１の電極）
４Ｂ 維持電極
５ 誘電体層
７ 放電セル
７ａ 凹部
８ 隔壁
１１ アドレス電極（第２の電極）
１２ 誘電体層
１３ 蛍光体
２１ 傾斜面
２２ 溝
２３ 接続用電極
２４ 接続端子
３１ 粉末噴射用ノズル
３２ 粉末噴射部
３３ 均一切削領域
３４ 傾斜切削領域
４１ 均一切削領域
４２ 傾斜切削領域
Claims (5)
- １対の透明基板が互いに対向配置され、これらの透明基板のうち一方の透明基板の一主面に複数のストライプ状の第１の電極が互いに平行に形成されるとともに、他方の透明基板の対向する側の一主面に前記第１の電極に直交する複数のストライプ状の第２の電極が互いに平行に形成され、これら第２の電極それぞれの間には隔壁が形成され、これら隔壁により画成されたそれぞれの凹部が放電セルとされ、これら放電セルの外側に複数の前記第２の電極と接続する接続端子が形成されてなるガス放電表示装置において、
前記凹部の長手方向の少なくとも一端部に、該凹部の底面に対して傾斜する傾斜面を形成し、該傾斜面に前記第２の電極と前記接続端子とを接続する接続用電極を形成してなることを特徴とするガス放電表示装置。 - 前記接続端子が形成された透明基板の一主面に、該接続端子を収納する溝または凹所を形成してなることを特徴とする請求項１記載のガス放電表示装置。
- １対の透明基板が互いに対向配置され、これらの透明基板のうち一方の透明基板の一主面に複数のストライプ状の第１の電極が互いに平行に形成されるとともに、他方の透明基板の対向する側の一主面に前記第１の電極に直交する複数のストライプ状の第２の電極が互いに平行に形成され、これら第２の電極それぞれの間には隔壁が形成され、これら隔壁により画成されたそれぞれの凹部が放電セルとされ、これら放電セルの外側に複数の前記第２の電極と接続する接続端子が形成されてなるガス放電表示装置の製造方法であって、
サンドブラスト法の粉末噴射用ノズルの中心軸と周縁部との切削量の差を用いて、前記凹部の長手方向の少なくとも一端部に、該凹部の底面に対して傾斜する傾斜面を形成することを特徴とするガス放電表示装置の製造方法。 - 前記粉末噴射用ノズルを前記透明基板上にて所定の距離移動させ、この透明基板上に前記凹部及び前記傾斜面を形成することを特徴とする請求項３記載のガス放電表示装置の製造方法。
- 前記粉末噴射用ノズルの前記透明基板上の移動距離を段階的に変化させ、この透明基板上に前記凹部及び前記傾斜面を形成することを特徴とする請求項３記載のガス放電表示装置の製造方法。
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