KR20040089153A - 평판 표시 패널의 화질 검사 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 LCD 패널의 화질을 검사하는 방법으로, 카메라에 의해 촬상된 LCD 모듈 이미지에서 도트의 중심부에 해당되는 위치를 정확히 검사하기 위해 스테이지에 놓여진 LCD 패널의 위치 및 렌즈왜곡을 고려하여 검사위치를 수정한다.

본 발명에 의하면 LCD 패널의 각 도트들에서 발광이 정상적으로 이루어지는 여부를 자동으로 검사할 수 있으며, 육안 검사시에 비해 검사시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

Description

평판 표시 패널의 화질 검사 방법{METHOD FOR INSPECTING DOT BADNESS IN A FLAT PANEL DISPLAY MODULE}

본 발명은 화질 검사 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 LCD 패널의 화질을 자동으로 검사할 수 있는 방법에 관한 것이다.

대부분의 오디오/비디오 시스템이나 데이터 통신 장치 등의 표시수단으로 종래에는 음극선관(CRT)이 주로 사용되었으나, CRT는 전자방출과 전자빔의 각도 조절을 하기 위해 고전압이 요구될 뿐만 아니라 크기와 무게를 줄이기에 매우 어려운 문제점을 안고 있었다. 따라서 최근에는 경량화, 저전압 및 저소비전력을 위한 평판 표시 소자(Flat Panel Display) 기술이 개발되고 있다.

이들 평판 소자은 복수의 도트들로 이루어진 화소(pixel)을 통해 빛을 제어하게 되는데, 빛을 제어하는 방법으로는 각각의 화소에서 빛을 발생하도록 하는 방법과 빛을 자체적으로 발생하지 않고 반사하거나 투과시켜 빛의 양을 조절하는 방법이 있다. 전자의 경우를 능동 디스플레이라고 하며 LED(Light Emitting Diode)가 이에 속하고, 후자의 경우를 수동 디스플레이라고 하며 LCD(Liquid Crystal Display)가 이에 속한다.

평판소자들의 검사항목은 매우 다양하나, 이들 중 각각의 도트들로부터 발광이 정상적으로 이루어지는 여부에 대한 검사는 작업자의 육안에 의해 이루어지고 있다. 따라서 하나의 평판소자를 검사하기 위해 매우 많은 시간이 소요될 뿐 아니라 검사결과도 부정확하다.

본 발명은 LCD와 같은 평판소자의 화질을 정확하게, 그리고 자동으로 검사할 수 있는 화질 검사 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

도 1은 LCD 패널의 화질을 검사하는 시스템을 개략적으로 보여주는 도면;

도 2a는 LCD 패널의 각 도트들의 중심위치를 보여주는 도면;

도 2b는 촬상된 LCD 패널 이미지의 도트들의 중심위치를 보여주는 도면;

도 3은 캘리브레이터의 평면도;

도 4는 카메라에 의해 촬상된 캘리브레이터 이미지를 보여주는 도면;

도 5는 스테이지 상에 정확히 놓여지지 않은 상태에서 촬상된 LCD 패널 이미지와 렌즈왜곡을 고려하여 데이터부에 입력된 검사위치를 비교한 도면

도 6a 내지 도 6g는 제 1실시예에 따라 스테이지에 놓인 LCD 패널의 위치를 고려하여 보정이 이루어지는 과정을 보여주는 도면들;

도 7a 내지 도 7g는 제 2실시예에 따라 스테이지에 놓인 LCD 패널의 위치를 고려하여 보정이 이루어지는 과정을 보여주는 도면들;

도 8은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 화질 검사 방법을 순차적으로 보여주는 플로차트;

도 9는 렌즈의 왜곡정도를 측정하는 방법을 순차적으로 보여주는 플로차트;

도 10은 제 1실시예에 따라 스테이지에 놓인 LCD 패널 위치를 고려하여 검사위치를 설정하는 단계를 보여주는 플로차트;그리고

도 11은 제 1실시예에 따라 스테이지에 놓인 LCD 패널 위치를 고려하여 검사위치를 설정하는 단계를 보여주는 플로차트이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

100 : 스테이지 120 : 조작부

140 : 카메라 200 : 검사부

300 : 캘리브레이터

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명인 평판 패널의 화질 검사 방법은 카메라의 렌즈왜곡을 측정하는 단계, 대상물이 스테이지 상에 놓이는 단계, 상기 스테이지에 놓여진 상기 대상물의 위치에 상응되도록 대상물 이미지의 검사위치를 설정하는 단계, 일정도트들이 발광된 상기 대상물을 상기 카메라로 촬상하는 단계, 촬상된 상기 대상물의 이미지를 검사부로 전송하는 단계, 그리고 상기 대상물의 이미지 중 상기 검사부에 입력된 검사위치와 대응되는 부분의 밝기 및 이물을 검사하는 단계를 포함한다.

상기 렌즈 왜곡을 측정하는 단계는 복수의 검출마크들이 형성된 캘리브레이터가 상기 스테이지 상에 놓이는 단계, 상기 캘리브레이터를 촬상하는 단계, 그리고 촬상된 상기 캘리브레이터 이미지에 나타난 상기 검출마크의 위치들을 검출하여 왜곡의 정도를 측정하는 단계를 포함한다.

바람직하게는 상기 캘리브레이터는 상기 대상물과 동일한 크기를 가지고, 상기 검출마크는 상기 대상물의 도트들의 중심에 대응되는 위치에 형성된다.

상기 대상물 이미지의 검사위치를 설정하는 단계는 제 1실시예에 의하면 화이트 패턴이 켜진 상태에서 상기 스테이지에 놓여진 상기 대상물을 촬상하는 단계, 상기 촬상된 대상물 이미지의 외곽선상에서 복수의 점들을 추출하는 단계, 측정된 왜곡의 정도를 고려하여 상기 복수의 점들을 왜곡전의 위치로 복원하는 단계, 상기 복원된 점들을 이용하여 선형화된 상기 대상물의 외곽선을 구하는 단계, 상기 대상물의 외곽선을 각각 인접하는 부분의 상기 대상물의 도트수에 대응되도록 등간격으로 분할하는 단계, 마주보는 상기 외곽선들의 서로 대응되는 분할점을 직선으로 연결하여 복수의 도트들을 형성하는 단계, 각각의 상기 도트들의 중심위치를 구하는 단계, 그리고 상기 측정된 렌즈왜곡값에 따라 상기 도트들의 중심위치를 보정하고, 보정된 위치를 검사위치로 설정하는 단계를 포함한다.

또한, 상기 대상물 이미지의 검사위치를 설정하는 단계는 제 2실시예에 의하면 동일한 색상들 중 최외곽에 위치되는 도트들이 발광된 상태에서 상기 스테이지에 놓여진 상기 대상물을 촬상하는 단계, 상기 촬상된 대상물 이미지에서 발광된 도트들의 중심위치를 구하는 단계, 측정된 왜곡의 정도를 고려하여 상기 도트들의 중심위치를 왜곡전의 위치로 복원하는 단계, 상기 복원된 중심위치들을 이용하여 선형화된 직선들을 구하는 단계, 상기 선형화된 직선을 외곽선을 각각 인접하는 부분의 상기 대상물의 도트수에 대응되도록 등간격으로 분할하는 단계, 마주보는 상기 선형화된 직선들의 서로 대응되는 분할점을 직선으로 연결하는 단계, 상기 직선들의 교차점 및 이들로부터 일정거리에 배치된 점들을 상기 촬상된 대상물 이미지의 도트들의 중심위치로 지정하는 단계, 그리고 상기 측정된 렌즈왜곡값에 따라 상기 촬상된 대상물 이미지의 도트들의 중심위치를 보정하고, 보정된 위치를 검사위치로 설정하는 단계를 포함한다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 및 도 11을 참조하면서 보다 상세히 설명한다.

본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

일반적으로 LCD 패널(10)은 적색을 발광하는 R도트(Red Dot, 녹색을 발광하는 G도트(Green Dot), 청색을 발광하는 B도트(Blue Dot)들로 이루어진 복수의 화소(pixel)들로 구성된다. 본 실시예에서 LCD 패널(10)은 하나의 행에 대략 170개의 화소를, 그리고 하나의 열에는 대략 117개의 화소를 가질 수 있다. 그러나 도면에서는 단순화를 위해 이보다 매우 적은 수의 화소를 가지도록 도시하였다. 그러나 화소들의 수는 이들에 한정되는 것은 아니다. R도트, G도트, 그리고 B도트는 각각 하나의 화소 내에 행방향으로 배열된다.

도 1은 각각의 도트들이 정상적으로 발광되는지 여부를 측정하기 위한 LCD 패널의 화질 검사 시스템을 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면 화질 검사 시스템은 스테이지(stage)(100), 카메라(camera)(140), 캘리브레이터(calibrator)(300), 조작부(operator)(120), 그리고 검사부(inspection part)(200)를 포함한다.

스테이지(100)는 검사를 위한 LCD 패널(10)이 놓여지는 부분이며, 스테이지(100)의 상부에는 스테이지(100)에 놓여진 LCD 패널(10) 또는 캘리브레이터(300)를 촬상하기 위한 카메라(140)가 설치된다. 조작부(120))는 카메라(140)나 스테이지(100)의 위치설정 등 시스템을 전반적으로 작동시키는 부분이다. 검사부(200)는 카메라(140)로부터 촬상된 이미지들을 전송 받는 이미지부(220)와 LCD 패널 이미지의 검사위치를 저장하는 데이터부(240)를 가진다. 또한 검사부(200)는 이미지부(220)로 전송된 LCD 패널 이미지에서 검사위치에 해당되는 부분의 밝기를 검사하는 비교부(260)와 각 도트의 불량여부를 판정하기 위해 밝기의 상한값과 하한값이 입력된 판정부(280)를 더 가진다. 판정부(280)에서는 도트들에 이물들이 존재하는지 여부도 검출할 수 있다.

데이터부(240)에 입력된 검사위치가 촬상된 LCD 패널 이미지에 나타난 각 도트들의 중심과 정확히 매칭되는 것은 중요하다. 도 2a는 LCD 패널의 각 도트들을 보여준다. 도 2a에서 'ㆍ'으로 표시된 부분은 각 도트들의 중심위치를 나타내며, 중심위치는 서로간에 상하, 좌우 방향으로 모두 등간격을 가진다.

도 2b는 촬상된 LCD 패널 이미지의 도트들의 중심위치를 보여주는 도면으로,도 2b를 참조하면 카메라(140)에 의해 촬상된 LCD 패널 이미지에서 각 도트들의 경계선은 렌즈왜곡으로 인하여 곡선으로 이루어지며, 중심위치들간의 간격도 상이하다. 따라서 등간격으로 표시된 LCD 패널의 각 도트들 중심위치를 검사위치로 설정하면, 검사위치와 이미지의 도트들의 중심이 정확히 대응되지 않아 검사결과가 부정확하게 된다. 이러한 문제는 가장자리 부분으로 갈수록 심해진다.

본 발명에서는 렌즈왜곡을 고려하여 검사위치를 보정하는 단계를 가지며, 도 3은 이에 사용되는 캘리브레이터(300)의 평면도이다. 캘리브레이터(300)는 LCD 패널(10)과 동일한 크기를 가지며, LCD 패널(10)의 각 도트들의 중심위치에 대응되는 부분에 검출마크들(302)이 형성된다. 이들 검출마크들의 위치 및 간격은 매우 정밀하게 형성된다. 그러나 이와 달리 도트들의 중심위치를 나타내기 위해 다양한 형태의 마크를 사용할 수 있으며, 또한 검출마크는 이와 다른 위치에 형성될 수 있다. LCD 패널(10)의 촬상 전에 캘리브레이터(300)가 스테이지(100)에 놓여지며, 카메라(140)는 캘리브레이터(300)를 촬상 후 촬상된 캘리브레이터 이미지(300′)를 검사부(200)의 이미지부(220)로 전송한다. 도 4는 이미지부(220)로 전송된 캘리브레이터 이미지(300′)를 보여준다. 데이터부(240)에서는 캘리브레이터 이미지에 나타난 검출마크들(302)의 위치로부터 렌즈의 왜곡정도를 측정하고, 측정자료를 저장한다.

비록 렌즈 왜곡에 따라 도트들의 검사위치를 보정하여도, LCD 패널(10)이 스테이지(10)의 정확하게 놓여지지 않고 틀어진 상태로 놓여지면, 검사위치와 촬상된 LCD 패널 이미지의 도트들 중심위치가 정확히 매칭되지 않는다. 또한 LCD 패널(10)의 크기가 정밀하게 가공되지 않아도 상술한 문제는 발생된다.

도 5는 스테이지 상에 정확히 놓여지지 않은 상태에서 촬상된 LCD 패널 이미지(10′)와 데이터부(240)에 입력된 렌즈왜곡을 고려하여 보정된 검사위치를 비교한 도면이다. 도면에서 점선은 스테이지(100) 상에 LCD 패널이 정상적으로 놓였을 때 촬상된 LCD 패널 이미지(10″)이고, 실선은 스테이지(100) 상에 LCD 패널이 틀어진 상태로 놓였을 때 촬상된 LCD 패널 이미지(10′)를 나타내며, '+'는 실선으로 표시된 도트들의 중심이고 'ㆍ'는 점선으로 표시된 도트들의 중심이다. 즉, 단지 렌즈 왜곡만을 고려하여 검사위치들을 설정하는 경우 검사위치와 실제 촬상된 LCD 패널 이미지에서 도트들의 중심이 불일치하여 검사결과가 부정확하게 된다.

도 6a내지 도 6g는 제 1실시예에 따른 스테이지 상에 놓여진 LCD 패널의 위치를 고려하여 검사위치를 설정하는 방법을 보여주는 도면이다. 처음에 LCD 패널(10)이 스테이지(100) 상에 놓여진다. 카메라(140)에 의해 화이트 패턴 상태(LCD의 모든 도트들이 발광된 상태)에서 LCD 패널(10)을 촬상하고, 촬상된 이미지는 이미지부(220)로 전송된다. 검사부(200)는 촬상된 LCD 패널 이미지(10′)의 외곽선을 형성하는 일부 점들을 찾는다(도 6a). 여기에서는 LCD 패널 이미지(10′)의 모서리 점들이 포함된다. 이후에 렌즈왜곡의 측정값들로부터 모서리 점들의 위치를 복원하고(도 6b), 이들 점들로부터 선형화함으로써 LCD 모듈의 외곽선을 구한다(도 6c). 다음에 외곽선에 인접한 도트들의 수와 대응되도록 각각의 외곽선을 등간격으로 분할하고(도 6d), 서로 마주보는 외곽선(12)의 대응되는 분할점들(13)을 연결한다(도 6e). 이들 연결된 선들에 의해 도트들이 형성되면, 도트들의 중심(15)을 구한다(도 6f). 이후에 렌즈왜곡의 측정값들로부터 촬상된 LCD 이미지의 형상에 대응되도록 도트들의 중심위치를 보정하고, 보정된 중심위치를 검사위치로 설정한다(도 6g).

검사위치가 최종적으로 설정되면, 동일한 종류의 도트들이 발광된 상태에서 LCD 패널을 촬상하고, 촬상된 이미지를 이미지부(220)로 전송한다. 비교부(200)는 데이터부에 저장된 검사위치에 해당되는 부분의 밝기를 조사한다. 판정부(280)는 조사결과 밝기가 허용범위 내이면 양호한 도트로 인식되고, 허용범위를 벗어나면 불량한 도트로 인식한다.

도 7a내지 도 7g는 제 1실시예에 따른 스테이지 상에 놓여진 LCD 패널의 위치를 고려하여 검사위치를 설정하는 방법을 보여주는 도면이다.

처음에 LCD 패널(10)이 스테이지(100) 상에 놓여진다. 카메라(140)에 의해 G도트들이 발광된 상태에서 LCD 패널(10)을 촬상하고, 촬상된 이미지는 이미지부(220)로 전송된다(도 7a). 검사부(200)는 촬상된 LCD 패널 이미지(10′)에서 각 도트들의 중심위치(22)를 구한다(도 7b). 이후에 렌즈왜곡의 측정값들로부터 중심위치(22′)를 복원하고(도 7c), 이들 점들로부터 선형화된 직선들(23)을 구한다(도 7d). 다음에 선형화된 직선들(23)에 인접한 도트들의 수와 대응되도록 각각의 선형화된 직선을 등간격으로 분할하고, 서로 마주보는 선형화된 직선의 대응되는 분할점들(24)을 연결한다(도 7e). 이들 직선들의 교차점들(25)과 이들로부터 일정거리에 배치된 점들(26)(양측 최외곽에 위치된 R 도트와 B도트의 중심위치)을 촬상된 대상물 이미지의 도트들의 중심위치로 지정한다(도 7f). 이후에 렌즈왜곡의측정값들로부터 촬상된 LCD 이미지의 형상에 대응되도록 도트들의 중심위치를 보정하고, 보정된 중심위치를 검사위치로 설정한다(도 7g). 제 2실시예에 의하면 기준이 되는 점들이 LCD 모듈의 외곽선이 아닌 일정 색상의 도트들의 중심위치이므로, 제 1실시예에 비해 검사위치가 각 도트들의 중심위치에 더 근접하다.

비록 제 2실시예에서 카메라에 의해 촬영된 영상에서 편향이 발생되는 것을 최소화하기 위해 G도트들이 발광된 상태에서 LCD 모듈을 촬상하였다. 그러나 이와 달리 R도트 또는 B도트들이 발광된 상태에서 LCD 모듈의 촬상이 이루어질 수 있다.

도 8은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 화질 검사 방법을 순차적으로 보여주는 플로차트이고, 도 9는 렌즈의 왜곡정도를 측정하는 방법을 순차적으로 보여주는 플로차트이며, 도 10과 도 11은 각각 스테이지에 놓여진 LCD 패널의 위치에 따라 검사위치를 설정하는 방법을 순차적으로 보여주는 플로차트이다. 처음에 스테이지(100) 상에 캘리브레이터(300)를 놓고, 캘리브레이터(300)를 촬상한다. 촬상된 캘리브레이터 이미지(300′)는 이미지부(220)로 전송되며, 캘리브레이터 이미지(300′)에 나타난 검출마크(302)로부터 렌즈가 왜곡된 정도가 측정되며, 그 값은 데이터부(240)에 저장된다.

캘리브레이터(300)가 스테이지(100)로부터 언로딩되고, 검사하고자 하는 LCD 패널(10)이 스테이지(100)에 로딩된다. 이후 스테이지(100)에 놓여진 LCD 패널(10)의 위치를 고려하여 촬상된 LCD 패널 이미지의 검사위치를 설정한다. 검사위치가 설정되면 모든 R도트가 발광된 상태에서 LCD 패널(10)을 촬상하고, 촬상된 LCD 패널 이미지(10′)는 이미지부(220)로 전송된다. 비교부(260)는 데이터부(240)에 저장된 검사위치에 해당되는 부분에서 LCD 패널 이미지(10′)의 밝기를 검사하고 그 밝기가 허용범위 내에 속하는지를 판단한다. 이후에 G도트, B도트에 대해서도 각각 밝기를 검사한다. 하나의 LCD 패널(10)에 대해 화질검사가 끝나면 LCD 패널은 언로딩되고, 다음 LCD 패널이 스테이지로 로딩된다. LCD 패널의 위치를 고려하여 검사위치의 보정이 다시 이루어지고, 상술한 과정은 반복된다. 즉, 카메라의 렌즈 왜곡의 측정은 1회 이루어지며, 스테이지에 놓인 LCD 패널(10)의 위치를 고려한 검사위치의 보정은 각각의 LCD 패널에 대해 반복적으로 수행된다.

본 발명에 의하면 LCD 패널의 각 도트에서 발광이 정상적으로 이루어지는 여부를 자동으로 검사할 수 있다. 따라서 육안 검사시에 비해 검사에 걸리는 시간을 단축할 수 있으며, 정확한 검사결과를 얻을 수 있다.

Claims (6)

1. 평판 표시 패널의 화질을 검사하는 방법에 있어서,

   카메라의 렌즈왜곡을 측정하는 단계와;

   대상물이 스테이지 상에 놓이는 단계와;

   상기 스테이지에 놓여진 상기 대상물의 위치에 상응되도록 대상물 이미지의 검사위치를 설정하는 단계와;

   일정도트들이 발광된 상기 대상물을 상기 카메라로 촬상하는 단계와;

   촬상된 상기 대상물의 이미지를 검사부로 전송하는 단계와; 그리고

   상기 대상물의 이미지 중 상기 검사부에 입력된 검사위치와 대응되는 부분의 밝기를 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화질 검사 방법.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 렌즈 왜곡을 측정하는 단계는,

   복수의 검출마크들이 형성된 캘리브레이터가 상기 스테이지 상에 놓이는 단계와;

   상기 캘리브레이터를 촬상하는 단계와; 그리고

   촬상된 상기 캘리브레이터 이미지에 나타난 상기 검출마크의 위치들을 검출하여 왜곡의 정도를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화질 검사 방법.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 캘리브레이터는 상기 대상물과 동일한 크기를 가지고,

   상기 검출마크는 상기 대상물의 도트들의 중심에 대응되는 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 화질 검사 방법.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 대상물 이미지의 검사위치를 설정하는 단계는,

   화이트 패턴이 켜진 상태에서 상기 스테이지에 놓여진 상기 대상물을 촬상하는 단계와;

   상기 촬상된 대상물 이미지의 외곽선상에서 복수의 점들을 추출하는 단계와;

   측정된 왜곡의 정도를 고려하여 상기 복수의 점들을 왜곡전의 위치로 복원하는 단계와;

   상기 복원된 점들을 이용하여 선형화된 상기 대상물의 외곽선을 구하는 단계와;

   상기 대상물의 외곽선을 각각 인접하는 부분의 상기 대상물의 도트수에 대응되도록 등간격으로 분할하는 단계와;

   마주보는 상기 외곽선들의 서로 대응되는 분할점을 직선으로 연결하여 복수의 도트들을 형성하는 단계와;

   각각의 상기 도트들의 중심위치를 구하는 단계와; 그리고

   상기 측정된 렌즈왜곡값에 따라 상기 도트들의 중심위치를 보정하고, 보정된 위치를 검사위치로 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화질 검사 방법.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 대상물 이미지의 검사위치를 설정하는 단계는,

   동일한 색상들 중 최외곽에 위치되는 도트들이 발광된 상태에서 상기 스테이지에 놓여진 상기 대상물을 촬상하는 단계와;

   상기 촬상된 대상물 이미지에서 발광된 도트들의 중심위치를 구하는 단계와;

   측정된 왜곡의 정도를 고려하여 상기 도트들의 중심위치를 왜곡전의 위치로 복원하는 단계와;

   상기 복원된 중심위치들을 이용하여 선형화된 직선들을 구하는 단계와;

   상기 선형화된 직선을 외곽선을 각각 인접하는 부분의 상기 대상물의 도트수에 대응되도록 등간격으로 분할하는 단계와;

   마주보는 상기 선형화된 직선들의 서로 대응되는 분할점을 직선으로 연결하는 단계와;

   상기 직선들의 교차점 및 이들로부터 일정거리에 배치된 점들을 상기 촬상된 대상물 이미지의 도트들의 중심위치로 지정하는 단계와; 그리고

   상기 측정된 렌즈왜곡값에 따라 상기 촬상된 대상물 이미지의 도트들의 중심위치를 보정하고, 보정된 위치를 검사위치로 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 화질 검사 방법.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 동일한 색상들 중 최외곽에 위치되는 도트들이 발광된 상태에서 상기 스테이지에 놓여진 상기 대상물을 촬상하는 단계에서,

   발광되는 도트들의 색은 녹색인 것을 특징으로 하는 화질 검사 방법.