KR20040087871A - 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프 및 커패시턴스 변화검출 방법 - Google Patents

커패시턴스 감지 진동 자이로스코프 및 커패시턴스 변화검출 방법 Download PDF

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가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
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Abstract

커패시턴스 감지 진동 자이로스코프는 감지 소자의 커패시턴스의 변화를 검출하는 커패시턴스 감지 회로를 포함한다. 커패시턴스 감지 회로는 2개의 연산 증폭기들을 포함한다. 각각의 연산 증폭기의 반전 입력 단자는 감지 소자의 대응하는 감지 전극에 접속된다. 전원 공급 전압을 저항들을 이용하여 분할하는 것에 의해 생성된 바이어스 전압이 연산 증폭기의 비반전 입력 단자에 인가된다. 바이어스 전압은 연산 증폭기에서 가상 단락에 의해 각각의 감지 전극에 인가되고 바이어스 전압은 전원 공급 전압에 직접 의존한다.

Description

커패시턴스 감지 진동 자이로스코프 및 커패시턴스 변화 검출 방법{Capacitance-sensing vibratory gyro and method for detecting change in capacitance}
본 발명은 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프 및 커패시턴스 변화 검출 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 진동 자이로스코프가 각속도에 의해, 손에 들고 촬영하는 동안의 카메라 진동 또는 흔들림 또는 자동차의 자세를 검출하기 위한 센서(sensor)로서 이용되는 경우에, 센서로부터의 아날로그 출력 신호는 A/D 컨버터(converter)에 의해 디지털 신호로 변환되고 그리고 그 다음에 예정된 보정(correction) 처리가 신호에 근거하여 행해진다.
이 경우에, 전압 비교 회로(voltage comparator)를 가진 A/D 컨버터에서 변환을 위한 기준 전압 레벨(reference voltage level)이 때때로 전원 공급 전압 레벨에 의존하기 때문에, 센서의 검출 감도(detection sensitivity)는 검출 정확도를 향상시키기 위해 전원 공급 전압 레벨에 의존해야 한다.
이 때문에, 종래 기술에서는, 센서인 진동자(vibrator)를 구동하기 위한 신호의 진폭이 전원 공급 전압 레벨에 의존하여 변화되고, 그것에 의해 진동자로부터 감지 신호의 출력 레벨을 변화시킨다. 결과적으로, 센서의 검출 감도는 검출 정확도를 향상시키기 위해 전원 공급 전압 레벨에 의존한다 (예를 들어, 일본 미심사된특허 출원 공보 제11-44540호, 특히, 1 내지 3쪽 및 도 1을 참조).
불행하게도, 상술한 특허 문서에서 공개된 종래 기술에서는, 전원 공급 전압에 의존하는 구동 신호를 진동자에 공급하는 것으로부터 필요한 감지 신호를 진동자로부터 수신하는 시간동안 전기적인 것으로부터 기계적인 것으로 그리고 기계적인 것으로부터 전기적인 것으로의 많은 변환들이 필요하다. 이 변환들은 변환 오차를 누적시키고 전원 공급 전압 레벨의 변화를 정확히 따르는 충분한 정확도가 얻어질 수 없다.
상술한 문제점들을 극복하기 위해, 본 발명의 바람직한 실시형태들은 전원 공급 전압 레벨의 변화를 정확히 따르는 향상된 정확도를 가지는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프 및 커패시턴스 변화 검출 방법을 제공한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프의 구성을 도시하는 회로도이고; 그리고
도 2는 본 발명의 또 다른 바람직한 실시형태에 따른 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프 내에 포함된 커패시턴스 감지 회로의 변형예를 도시하는 회로도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1 : 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프
2 : 감지 소자
3 : 커패시턴스 감지 회로
4 : 구동 회로
11a, 11b : 감지 전극
15a, 15b : C/V 컨버터
A1, A2 : 연산 증폭기
Rf1, Rf2 : 피드백 저항
Vcc : 전원 공급 전압
Vb : 바이어스 전압
R3 : 커패시턴스 감지 저항
본 발명의 제 1 바람직한 실시형태에 따르면, 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프는 각속도에 의해 야기된 감지 전극(sensing electrode) 및 기준 전극 사이의 커패시턴스를 변화시키고, 감지 전극 및 기준 전극을 포함하는 감지 소자 및 감지 소자의 커패시턴스의 변화를 검출하는 커패시턴스 감지 회로를 포함하고, 커패시턴스 감지 회로의 검출 바이어스 전압(detecting bias voltage)은 전원 공급 전압에 의존한다. 결과적으로, 감지 소자의 감도는 전원 공급 전압에 의존한다.
바람직하게는, 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프에서, 감지 소자의 감지 전극에 인가된 바이어스 전압은 전원 공급 전압에 의존한다. 감지 소자를 구동하기위한 신호의 진폭이 전원 공급 전압 레벨에 의존하는 구성과 비교하면, 이 구성은 전기적인 것으로부터 기계적인 것으로의 변환들을 제거하므로 검출 정확도를 크게 향상시킨다.
바람직하게는, 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프는 연산 증폭기를 더 포함하고, 연산 증폭기의 반전 입력 단자(inverting input terminal)는 감지 전극에 접속되고, 연산 증폭기의 출력 단자는 피드백 저항(feedback resistor)을 통하여 반전 입력 단자와 접속되고, 바이어스 전압은 전원 공급 전압을 저항들을 이용하여 분할하는 것에 의해 생성되고 그리고 비반전 입력 단자에 인가되고, 그리고 바이어스 전압은 연산 증폭기에서 가상 단락(imaginary short-circuiting)에 의해 대응하는 감지 전극에 인가된다. 이 구성은 감지 소자의 초기 커패시턴스 또는 임피던스에 의해 영향을 받지 않으므로, 감도의 변화를 억제한다.
바람직하게는, 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프에서, 저항들을 이용하여 전원 공급 전압을 분할하는 것에 의해 생성된 바이어스 전압은 커패시턴스 감지 저항을 통하여 감지 전극에 인가된다.
본 발명의 제 2 바람직한 실시형태에 따르면, 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프의 커패시턴스 변화 검출 방법에서, 커패시턴스 감지 회로가 각속도에 의해 야기된 감지 소자의 감지 전극 및 기준 전극 사이의 커패시턴스의 변화를 검출할 때, 감지 소자의 감도가 전원 공급 전압에 의존하는 커패시턴스 감지 회로 내의 바이어스 전압을 검출하는 것에 의해 전원 공급 전압에 의존한다.
본 발명의 다른 특징들, 소자들, 특성들 및 장점들은 첨부된 도면들을 참조하여 이하의 바람직한 실시형태들의 상세한 기술로부터 더욱 명확해질 것이다.
(본 발명의 바람직한 실시형태들)
도 1은 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프의 구성을 도시하는 회로도이다.
이 바람직한 실시형태에 따른 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프(1)는 인가된 각속도에 따라서 변화하는 감지 전극 및 기준 전극 사이의 커패시턴스를 가지는 감지 소자(2), 감지 소자(2)의 커패시턴스의 변화를 검출하는 커패시턴스 감지 회로(3), 및 감지 소자(2)를 구동하는 구동 회로(4)를 포함한다.
감지 소자(2)는 Si 기판 상에 서로 수직인 X축 및 Y축 방향들에서 변위가능하게 지지된 진동자(8)를 포함한다. X축 방향에서 진동자(8)를 구동하는 구동 전극(9), X축 방향에서 진동자(8)의 진동을 모니터하는 모니터 전극(10), 및 기판에 실질적으로 수직인 Z축에 대한 각속도에 반응하여 일어나는 코리올리 힘에 의해 Y축 방향에서 진동자(8)의 변위에 의해 야기된 커패시턴스 변화를 검출하는 한 쌍의 감지 전극들(11a 및 11b)이 또한 포함된다. 이 경우에, 진동자(8)는 전기적으로 그라운드에 접속되고 그리고 기준 전극이 된다. 감지 전극(2)의 전체 구조는 예를 들어, 일본 미심사된 특허 출원 공보 제2001-153659호에 공지된다.
구동 회로(4)는 일종의 프리러닝 오실레이터(free-running oscillator)이고 그리고 C/V 컨버터(22), 자동 이득 제어 회로(AGC(automatic gain control) circuit; 23), 위상 조정 회로(24), 정류 회로(25), 및 비교 회로(26)를 포함한다. C/V 컨버터(22)는 연산 증폭기(A3)를 포함한다. 연산 증폭기(A3)의 반전 입력 단자는 감지 소자(2)에서 모니터 전극(10)에 접속된다. 출력 단자 및 반전 입력 단자는 피드백 저항(Rf3)을 통하여 접속된다. 바이어스 전압(V1)은 비반전 입력 단자에 인가된다. 바이어스 전압(V1)은 전원 공급 전압(Vcc)을 안정화시키는 DC/DC 컨버터와 같은 안정화된 전원 장치(27)로부터 공급된다. 유사하게, 비교 회로(26)에 대한 기준 전압(V2)은 전원 공급 전압(Vcc)을 안정화시키는 안정화된 전원 장치(28)로부터 공급된다.
상술한 구성에서, 모니터용 C/V 컨버터(22)로부터의 모니터 신호 출력은 자동 이득 제어 회로(23)에 공급된다. 동시에, 모니터 신호는 정류 회로(25)에 의해 평탄해지고 그리고 비교 회로(26)에 의해 기준 전압(V2)과 비교된다. 비교 회로(26)는 이득 제어 신호를 자동 이득 제어 회로(23)에 출력하고 모니터 신호의 진폭은 항상 X축 방향에서 감지 소자(2)의 일정한 변위량을 유지하기 위해 조정된다. 그 다음에, 모니터 신호는 교류 구동 신호를 생성하기 위해 위상 조정 회로(24)에 의해 위상 조정된다. 이 교류 구동 신호는 그 다음에 감지 소자(2)에 공급된다. 감지 소자(2)에서의 구동 전극(9)으로의 구동 신호는 X축 방향에서 감지 소자(2)를 진동시킨다.
커패시턴스 감지 회로(3)는 한 쌍의 C/V 컨버터들(15a 및 15b), 차동 증폭기(16), 동기 검출 회로(17), 저역 통과 필터(low-pass filter)(18) 및 증폭기(19)를 포함한다. C/V 컨버터들(15a 및 15b)은 각각 연산 증폭기들(A1 및 A2)을 가진다. 연산 증폭기들(A1 및 A2)의 반전 입력 단자들은 각각 감지 전극들(11a 및 11b)에 접속된다. 출력 단자들은 피드백 저항들(Rf1 및 Rf2)을 통하여 각각의 반전 입력 단자들에 접속된다. 공통의 바이어스 전압(Vb)이 비반전 입력 단자들에 인가된다.
그러므로, 이 바람직한 실시형태에서, 전원 공급 전압(Vcc)은 저항들(R1 및 R2)에 의해 2개의 전압들로 분할된다. 바이어스 전압(Vb)인 하나의 전압은 버퍼 증폭기(21)를 통하여 커패시턴스 감지 회로(3)에서 연산 증폭기들(A1 및 A2)의 비반전 입력 단자들에 인가된다. 따라서, 바이어스 전압(Vb)과 같은 전위를 가지는 직류 전압들이 연산 증폭기(A1 및 A2)의 가상 단락에 의해 연산 증폭기들(A1 및 A2)의 반전 입력 단자들에서 나타난다. 전압들은 감지 소자(2)의 감지 전극들(11a 및 11b)에 인가된다.
따라서, 감지 전극들(11a 및 11b)에 인가된 바이어스 전압(Vb)은 전원 공급 전압(Vcc)에 의존한다. 바이어스 전압(Vb)과 같은 직류 전압을 감지 소자(2)의 감지 전극들(11a 및 11b)에 인가하는 것에 의해, 전하가 감지 전극들(11a 및 11b)에 축적된다.
감지 소자(2)가 X축 방향을 따라서 진동하고 있는 상태에서 기판에 실질적으로 수직인 Z축에 대한 각속도는 감지 소자(2)의 진동 방향, 즉, X축 방향에 실질적으로 수직인 Y축 방향에서 코리올리 힘을 생성한다. 코리올리 힘은 Y축 방향에서 감지 소자(2)를 진동시키므로, 감지 전극(11a 및 11b)의 커패시턴스를 역으로 변화시킨다.
다른 말로, 연산 증폭기(A1 및 A2)의 비반전 입력 단자들에 인가된 바이어스 전압(Vb)과 같은 전위를 가지는 직류 전압이, C/V 컨버터들(15a 및 15b)에 포함된연산 증폭기(A1 및 A2)의 가상 단락에 의해 감지 소자(2)의 감지 전극들(11a 및 11b)에 인가되고 전하(Q)가 감지 전극들(11a 및 11b)에 축적된다. 이 조건에서, 코리올리 힘에 의해 야기된 Y축 방향의 감지 소자(2)의 진동은 감지 전극들(11a 및 11b)의 커패시턴스를 변화시킨다. 감지 전극(11a)의 커패시턴스가 증가함에 따라, 감지 전극(11b)의 커패시턴스는 감소한다. 반대로, 감지 전극(11a)의 커패시턴스가 감소함에 따라, 감지 전극(11b)의 커패시턴스는 증가한다. 감지 전극들(11a 및 11b)에서의 이 커패시턴스 변화들은 C/V 컨버터들(15a 및 15b)에 의해 전압 신호들로 변환된다.
각각의 C/V 컨버터(15a 또는 15b)로부터의 전압 신호 출력의 변화량 ΔVo가 다음 수학식 1에 의해 주어진다.
여기서, ω는 진동 상태에서의 감지 소자(2)의 각주파수이고, ΔC는 코리올리 힘에 의해 야기된 커패시턴스의 변화량이고, Vb는 바이어스 전압이고, 그리고 Zf는 연산 증폭기(A1 또는 A2)의 피드백 임피던스(feedback impedance)이고, 이 경우에, 피드백 저항(Rf1 또는 Rf2)의 저항치이다.
상술한 수학식 1에서 보여지는 대로, C/V 컨버터들(15a 및 15b)은 코리올리 힘에 의해 야기된 커패시턴스의 변화량 ΔC를 전압의 변화량 ΔVo로 변환한다. 게다가, 감지 전극(11a 및 11b)에 인가된 바이어스 전압(Vb)이 전원 공급 전압(Vcc)에 의존하기 때문에, C/V 컨버터들(15a 및 15b)의 감지 출력의 변화량 ΔVo는 전원 공급 전압(Vcc)에 또한 의존할 수 있다. 즉, 코리올리 힘의 검출 감도는 전원 공급 전압(Vcc)에 의존할 수 있다.
이 경우에, 감지 소자(2)로의 구동 신호가 전원 공급 전압에 의존하는 공지 기술과 비교하면, 전기적인 것으로부터 기계적인 것으로의 변환이 제거된다. 그 결과, 전원 공급 전압(Vcc)의 변화가 직접 감지 신호의 변화량 ΔVo가 되므로, 전원 공급 전압을 정확히 따르는 정확도가 크게 향상된다.
C/V 컨버터들(15a 및 15b)에 의해 변환된 전압 신호들은 차동 증폭기(16)로 공급된다. 차동 증폭기(16)는 신호들 사이의 차이를 생성한다. 결과적으로, 차동 증폭기(16)의 출력은 2ΔVo이다. 차동 증폭기(16)의 출력은 그 다음에 구동 신호의 구동 주파수와 동조하여 동기 검출 회로(17)에 의해 검출되고 그리고 저역 통과 필터(18)로 통과된다. 결과적으로, 각속도에 따른 값을 가지는 직류 전압이 저역 통과 필터(18) 및 증폭기(19)를 통하여 생성된다.
이 바람직한 실시형태에서, 커패시턴스 감지 회로(3)의 C/V 컨버터들(15a 및 15b)을 구성하는 연산 증폭기(A1 및 A2)에서, 바이어스 전압(Vb)은 비반전 증폭기의 특성인 가상 단락에 의해 감지 소자(2)의 감지 전극들(11a 및 11b)에 인가된다. 그러나, 본 발명은 여기에 제한되지 않는다. 그것은 도 2에 도시된 구성에 적용될 수 있다.
즉, 도 1에 도시된 감지 소자(2)의 감지 전극들(11a 및 11b)에 접속되는 C/V 컨버터들(15a 및 15b)은 버퍼 증폭기들(A5 및 A6)로 구성된다. 저항들(R1 및 R2)에의해 전원 공급 전압(Vcc)을 분할하는 것에 의해 생성된 바이어스 전압(Vb)은 커패시턴스 감지 저항들(R3)을 통하여 감지 전극들(11a 및 11b)에 인가된다.
R3 ≫ 1/(ω/C)일 때, C/V 컨버터(15a 또는 15b)로부터의 전압 신호의 변화량 ΔVo는 다음 수학식 2에 의해 주어진다.
여기서, C는 감지 전극들(11a 또는 11b)의 커패시턴스이고, ΔC는 코리올리 힘에 의해 야기된 커패시턴스의 변화량이고, Vb는 바이어스 전압이고, 그리고 R3은 커패시턴스 감지 저항들(R3)의 저항치이다.
상술한 수학식 2에서 보여지는 대로, C/V 컨버터(15a 및 15b)는 코리올리 힘에 의해 야기된 커패시턴스의 변화량 ΔC를 전압의 변화량 ΔVo로 또한 변환한다. 게다가, 감지 전극들(11a 및 11b)에 인가되는 바이어스 전압(Vb)이 전원 공급 전압(Vcc)에 의존하기 때문에, C/V 컨버터(15a 및 15b)의 감지 출력인 변화량 ΔVo는 전원 공급 전압(Vcc)에 또한 의존할 수 있다. 즉, 코리올리 힘의 검출 감도는 전원 공급 전압(Vcc)에 의존할 수 있다.
커패시턴스 감지 진동 자이로스코프 및 본 발명에 따른 커패시턴스 변화 검출 방법은 감지 소자가 Si 기판 상에 배치되는 상술한 실시형태에 한정되지 않는다. 본 발명은 커패시턴스 감지 소자의 다른 구성들에 적용될 수 있다.
본 발명은 각각의 상술한 바람직한 실시형태들에 제한되지 않고, 그리고 다양한 변형예들이 청구범위에서 기술된 범위 이내에서 가능하다. 각각의 다른 바람직한 실시형태들에서 공개된 기술적 특징들을 적절히 결합하는 것에 의해 얻어진 실시형태가 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.
본 발명에 의하면, 커패시턴스 감지 회로의 검출 바이어스 전압이 전원 공급 전압에 의존하기 때문에, 감지 소자의 검출 감도가 전원 공급 전압에 의존할 수 있다. 특히, 감지 소자의 감지 전극에 인가된 바이어스 전압이 전원 공급 전압에 의존하도록 하면, 감지 소자의 구동 신호 진폭을 전원 공급 전압에 의존시키는 경우와 비교하면, 전기적인 것에서 기계적인 것으로의 변환이 도중에 개재되지 않기 때문에 전원 의존 정확도를 향상시킬 수 있다.
이 경우, 연산 증폭기의 가상 단락을 이용하여 바이어스 전압을 감지 소자의 감지 전극에 인가하면, 감지 소자의 초기 커패시턴스나 임피던스의 영향을 받지 않고, 감지 소자의 감도 변화를 억제할 수 있다.

Claims (15)

  1. 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프에 있어서, 상기 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프는:
    각속도에 의해 야기된 감지 전극 및 기준 전극 사이의 커패시턴스를 변화시키고, 상기 감지 전극 및 상기 기준 전극을 포함하는 감지 소자; 및
    상기 감지 소자의 커패시턴스의 변화를 검출하는 커패시턴스 감지 회로를 포함하고,
    상기 커패시턴스 감지 회로의 검출 바이어스 전압은 전원 공급 전압에 의존하는 것을 특징으로 하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 감지 소자의 감지 전극에 인가된 바이어스 전압은 상기 전원 공급 전압에 의존하는 것을 특징으로 하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프.
  3. 제 2 항에 있어서, 반전 입력 단자, 비반전 입력 단자 및 출력 단자를 가지는 연산 증폭기를 더 포함하고, 상기 연산 증폭기의 반전 입력 단자는 상기 감지 전극에 접속되고, 상기 연산 증폭기의 출력 단자는 피드백 저항을 통하여 상기 반전 입력 단자와 접속되고, 상기 감지 전극에 인가된 바이어스 전압은 상기 전원 공급 전압을 저항들을 이용하여 분할하는 것에 의해 생성되고 그리고 상기 비반전 입력 단자에 인가되고, 그리고 상기 바이어스 전압은 상기 연산 증폭기에서 가상 단락에 의해 대응하는 감지 전극에 인가되는 것을 특징으로 하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 감지 전극에 인가된 바이어스 전압은 저항들을 이용하여 상기 전원 공급 전압을 분할하는 것에 의해 생성되고 그리고 커패시턴스 감지 저항을 통하여 상기 감지 전극에 인가되는 것을 특징으로 하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 감지 소자는 기판 및 상기 기판 상에 서로 수직인 X축 및 Y축 방향들에서 변위가능하게 지지된 진동자를 포함하는 것을 특징으로 하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 기판은 Si로 만들어지는 것을 특징으로 하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 감지 소자는 X축 방향에서 상기 진동자를 구동하는 구동 전극, X축 방향에서 상기 진동자의 진동을 모니터하는 모니터 전극, 및 Z축에 대한 각속도에 의해 야기된 코리올리 힘에 의해 Y축 방향에서 상기 진동자의 변위에 의해 야기된 커패시턴스 변화들을 검출하는 한 쌍의 감지 전극들을 포함하는 것을 특징으로 하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프.
  8. 제 7 항에 있어서, C/V 컨버터, 자동 이득 제어 회로, 위상 조정 회로, 정류 회로 및 비교 회로를 포함하는 구동 회로를 더 포함하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 C/V 컨버터는 상기 감지 소자의 모니터 전극에 접속된 반전 입력 단자, 출력 단자 및 피드백 저항을 통하여 접속된 반전 입력 단자를 가지는 연산 증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 커패시턴스 감지 회로는 한 쌍의 C/V 컨버터들, 차동 증폭기, 동기 검출 회로, 저역 통과 필터 및 증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 한 쌍의 C/V 컨버터들은 연산 증폭기들을 포함하는 것을 특징으로 하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프.
  12. 제 10 항에 있어서, 상기 한 쌍의 C/V 컨버터들은 버퍼 증폭기들을 포함하는 것을 특징으로 하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프.
  13. 제 10 항에 있어서, 상기 C/V 컨버터들은 감지 전극들에 접속된 반전 입력 단자들을 포함하는 연산 증폭기들을 가지는 것을 특징으로 하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프.
  14. 제 1 항에 있어서, 상기 전원 공급 전압을 2개의 전압들로 분할하기 위해 배열된 적어도 2개의 저항들을 더 포함하고, 상기 2개의 전압들 중 하나는 상기 감지 소자의 감지 전극에 인가된 바이어스 전압인 것을 특징으로 하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프.
  15. 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프의 커패시턴스 변화 검출 방법에 있어서, 커패시턴스 감지 회로가 각속도에 의해 야기된 감지 소자의 감지 전극 및 기준 전극 사이의 커패시턴스의 변화를 검출할 때, 상기 감지 소자의 감도가, 전원 공급 전압에 의존하는 커패시턴스 감지 회로 내의 바이어스 전압을 검출하는 것에 의해 상기 전원 공급 전압에 의존하는 것을 특징으로 하는 커패시턴스 감지 진동 자이로스코프의 커패시턴스 변화 검출 방법.
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