KR20040080077A - 광센서 완충유닛을 갖는 웨이퍼 이송장치 - Google Patents

Abstract

광센서 완충유닛을 갖는 웨이퍼 이송장치를 제공함에 있어서, 수평ㆍ수직이동 및 회전이동을 동시에 행하는 가이드 블록; 가이드 블록에 장착되되 수직이동 및 회전이동을 동시에 행하는 이동체; 이동체의 일측에 설치되어 웨이퍼를 잡는 다수의 트위저; 상기 트위저와 대향되는 이동체의 타측에 설치되어 수직이동하면서 웨이퍼 카세트에 수납된 웨이퍼의 안착유무를 매핑하는 광센서; 광센서를 커버하는 완충유닛을 포함하므로, 매핑작업시 웨이퍼 이송장치의 작동오류 및 사용자 부주의 등으로 광센서와 웨이퍼가 부딪히게 되었을 때, 광센서를 커버하는 완충유닛의 완충작용에 의해 웨이퍼의 파손을 방지하고, 파티클 발생을 미연에 방지함으로써, 생산성을 증가시키는 효과가 있다.

Description

광센서 완충유닛을 갖는 웨이퍼 이송장치 { WAFER TRANSFER DIVICE HAVING BEAM SENSOR BUFFER UNIT }

본 발명은 광센서 완충유닛을 갖는 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 카세트에 적재된 웨이퍼의 존재유무를 감지하는 광센서가 상하로 이동하면서 웨이퍼가 적재된 카세트를 매핑할 때, 카세트의 외부로 돌출된 웨이퍼와 광센서가 부딪혀 웨이퍼가 파손되는 것을 방지하는 광센서 완충유닛을 갖는 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조공정 내에서 웨이퍼는 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속증착 등의 공정이 반복적으로 이루어져 반도체장치로 제작되며, 각각의 공정이 끝나면 웨이퍼는 파티클 등의 이물질에 노출되지 않도록 카세트에 적재한 후, 이 카세트를 별도의 캐리어 내부에 적재하여 다음 공정으로 이송된다.

여기서, 소정의 공정이 끝난 웨이퍼를 카세트로 적재시키기 위해 웨이퍼 이송장치가 많이 사용되는데, 상기 웨이퍼 이송장치는 가이드블록 상에 장착되는 이동체와, 상기 이동체의 일측에 설치되어 웨이퍼를 진공흡착하는 이송암 그리고, 상기 이송암과 대향되는 위치 즉, 이동체의 타측에 설치되는 광센서로 구성된다.

이와 같이 구성된 종래의 웨이퍼 이송장치는 이동체가 수평ㆍ수직이동을 진행하여 이송암에 안착된 웨이퍼를 카세트의 내부에 삽입하여 슬롯부에 안착시킨다.

웨이퍼를 카세트에 적재시키는 과정이 끝나면, 상기 이동체는 광센서가 카세트를 향하도록 회전하고, 상기 이동체는 수직이동하면서 광센서는 웨이퍼의 안착유무를 매핑한다.

상기 매핑작업은 카세트에 적재된 웨이퍼가 바람직하게 안착되었는가를 센싱하는 것으로서, 수직이동하는 이동체에 설치된 광센서에 의해 실시된다.

이때, 웨이퍼 이송장치의 작동오류나 사용자 부주의 등의 이유로 카세트에 적재된 웨이퍼가 카세트의 외부로 돌출된 것이 감지되어도 이동체는 멈추지 않으므로 수직이동하는 광센서와 부딪혀 웨이퍼가 파손되는 문제점이 있다.

또한, 웨이퍼 파손에 따른 파티클 발생으로 반도체 생산공정에 로스가 발생하는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은, 광센서에 완충유닛을 구비하여 웨이퍼 매핑 작업시 발생할 수 있는 웨이퍼 파손을 미연에 방지하여 생산성을 증가시키는 광센서 완충유닛을 갖는 웨이퍼 이송장치를 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 광센서 완충유닛을 갖는 웨이퍼 이송장치를 도시한 사시도,

도 2는 도 1의 'I-I''부분 단면도이다.

* 도면의 주요부호에 대한 간단한 설명 *

2 : 가이드블록 3 : 이동체

4 : 이송암 5 : 광센서

6 ; 완충유닛 7 : 슬롯부

10 : 웨이퍼 이송장치 C : 카세트

W : 웨이퍼

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 광센서 완충유닛을 갖는 웨이퍼 이송장치는 수평ㆍ수직이동 및 회전이동을 동시에 행하는 가이드 블록; 상기 가이드 블록에 장착되되 수직이동 및 회전이동을 동시에 행하는 이동체; 상기 이동체의 일측에 설치되어 웨이퍼를 잡는 이송암; 상기 이송암과 대향되는 이동체의 타측에 설치되어 수직이동하면서 웨이퍼 카세트에 수납된 웨이퍼의 안착유무를 매핑하는 광센서; 상기 광센서를 커버하는 완충유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 완충유닛은 투명한 것으로서 탄성을 갖는 후렉시블한 재질로 형성함이 바람직하다.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 광센서 완충유닛을 갖는 웨이퍼 이송장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 'I-I''부분 단면도로써, 이들 도면에 도시된 바와 같이 웨이퍼(W)를 이송하는 웨이퍼 이송장치(10)는 가이드블록(2) 상에 장착된 이동체(3)의 일측에 안착된 웨이퍼(W)를 카세트(C)에 적재하도록 구성한다.

상기 웨이퍼 이송장치(10)는 가이드블록(2) 상에 수직이동 및 회전이동을 동시에 행하는 이동체(3)를 장착하고, 상기 이동체(3)의 일측에는 웨이퍼(W)를 잡는 다수의 이송암(4)을 설치하고, 타측에는 웨이퍼(W)의 안착유무를 광선에 의해 매핑하는 광센서(5)가 설치된다.

여기서, 상기 광센서(5)에는 이를 커버하는 완충유닛(6)을 설치한다.

상기 완충유닛(6)은 광선을 투과할 수 있는 투명한 것으로서, 탄성을 갖는 후렉시블한 재질로 형성되는 것이 바람직하다. 예컨대, 투명에폭시나 투명실리콘 등을 사용할 수 있다.

한편, 웨이퍼(W)가 적재되는 카세트(C)는 소정의 공간을 갖는 박스의 내부에 웨이퍼(W)가 안착되는 걸림턱인 슬롯부(7)를 설치한다.

이하에서는 이러한 구성에 의하여 본 발명에 따른 완충유닛을 갖는 웨이퍼 매핑 광센서의 작용 및 효과를 구체적으로 설명한다.

먼저, 웨이퍼 이송장치(10)의 가이드블록(2) 및 이동체(3)는 수평ㆍ수직이동을 하며 웨이퍼(W)가 안착된 이송암(4)을 카세트(C)의 내부에 삽입하여 카세트(C)의 슬롯부(7)에 웨이퍼(W)를 안착시키고, 이송암(4)은 카세트(C) 외부로 빠져나간다.

상기와 같은 과정을 거쳐, 카세트(C)에 웨이퍼(W)가 모두 적재되면, 이동체(3)는 이송암(4)과 대향되게 설치된 광센서(5)가 카세트(C)를 향하도록 회전이동하고, 이동체(3)가 수직이동함에 따라 광센서(5)는 카세트(C)에 웨이퍼(W)의 안착유무를 매핑한다.

여기서, 도 2에 도시된 바와 같이 웨이퍼 이송장치(10)의 작동오류 및 사용자의 부주의 등에 의해 웨이퍼(W)가 카세트(C)의 외부로 돌출되면, 수직이동하면서 웨이퍼 매핑작업을 하는 광센서(5)는 광센서(5)를 감싸는 투명하고 후렉시블한 재질의 완충유닛(6)에 의해 광센서(5)의 광선을 투과시키면서 웨이퍼(W)와 접촉시 완충작용을 하여 웨이퍼(W)의 파손을 방지한다.

다음, 웨이퍼(W)의 매핑작업이 끝나고 정상적으로 웨이퍼(W)가 적재된 카세트(C)는 캐리어(미도시)에 탑재되어 다음 공정으로 이송된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 광센서에 투명하고 후렉시블한 재질의 완충유닛을 설치함으로써, 매핑작업시 웨이퍼 이송장치의 작동오류 및 사용자 부주의 등으로 광센서와 웨이퍼가 부딪히게 되었을 때, 광센서를 커버하는 완충유닛의 완충작용에 의해 웨이퍼의 파손을 방지하는 효과가 있다.

또한, 웨이퍼의 파손이 방지됨에 따라 파티클 발생을 미연에 방지함으로써, 생산성을 증가시키는 효과가 있다.

이상에서는, 본 발명의 상세한 설명에서는 기재된 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 에에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (2)

1. 수평ㆍ수직이동 및 회전이동을 동시에 행하는 가이드 블록;

   상기 가이드 블록에 장착되되 수직이동 및 회전이동을 동시에 행하는 이동체;

   상기 이동체의 일측에 설치되어 웨이퍼를 잡는 이송암;

   상기 이송암과 대향되는 이동체의 타측에 설치되어 수직이동하면서 웨이퍼 카세트에 수납된 웨이퍼의 안착유무를 매핑하는 광센서;

   상기 광센서를 커버하는 완충유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 광센서 완충유닛을 갖는 웨이퍼 이송장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 완충유닛은 투명한 것으로서 탄성을 갖는 후렉시블한 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 광센서 완충유닛을 갖는 웨이퍼 이송장치.