KR20040074308A - 유량 제어 시스템의 전압 표시 장치 - Google Patents

유량 제어 시스템의 전압 표시 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유량 제어 시스템의 전압 표시 장치에 관한 것으로, 공정 가스의 유량을 제어하는 유량 제어부의 입출력 전압을 검출하여 표시하고 경보하기 위해서, 주 제어부와, 상기 주 제어부에서 신호를 입력받아 공정 가스를 공급하고, 상기 공정 가스가 공급된다는 신호를 상기 주 제어부로 출력하는 유량 제어부를 갖는 유량 제어 시스템의 전압 표시 장치로서, 상기 유량 제어부에서 입출력되는 입출력 전압을 입력받는 입출력 전압 입력부와; 상기 입출력 전압 입력부에서 입력된 상기 유량 제어부의 출력 전압을 표시하는 표시부와; 상기 각부를 제어하며, 기준 입출력 전압을 저장하고 있으며, 상기 기준 입출력 전압과 입력된 상기 입출력 전압을 비교하는 제어부; 및 상기 입출력 전압이 상기 기준 입출력 전압의 오차 범위를 벗어난 경우에 상기 제어부의 신호에 따라 경보하는 경보부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유량 제어 시스템의 전압 표시 장치를 제공한다.

Description

유량 제어 시스템의 전압 표시 장치{Apparatus for display voltage of MFC system}
본 발명은 반도체 설비의 유량 제어 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공정 가스의 유량을 제어하는 유량 제어부의 입출력 전압을 검출하여 표시하고 경보하는 유량 제어 시스템의 전압 표시 장치에 관한 것이다.
반도체 설비에서 반도체 제조 공정시 많은 식각 요소(etching factor) 중에서 공정 가스의 영향은 중요하다. 따라서 각종 공정 가스를 사용하는 반도체 설비에는 공정 가스의 유량을 정확히 제어할 수 있도록 유량 제어부(Mass Flow Controller; MFC)가 설치되어 있다.
이 유량 제어부는 주 제어부로부터 제어신호를 입력받아 유량 제어부 내부에 장착된 유량센서의 출력신호와 비교하고, 이때 그 비교되어 산출되는 차등전압에 따라 유량 제어밸브를 미세하게 구동시켜 원하는 유량을 제어하는 방식의 장치이다. 즉, 공정 가스의 유량은 유량 제어부의 전압에 따라서 조절된다.
종래기술에 따른 유량 제어 시스템(10)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 주 제어부(12)에서 유량 제어부(14)로 신호(13)를 주면 유량 제어부(14)는 그 신호(13)를 받아 공정 가스를 공정 챔버(도시안됨)로 공급하고, 더불어 주 제어부(12)에 공정 가스가 공정 챔버로 공급됨을 신호(15)로 알리게 된다.
따라서 유량 제어부(14)의 입출력 단자의 전압에 따라서 공정 가스의 유량이 결정되기 때문에, 유량 제어부(14)의 입출력 단자 전압의 이상 유무를 체크하는 것이 중요하다.
하지만 현재 유량 제어 시스템(10)에서 유량 제어부(14)의 입출력 단자 전압의 이상 유무를 체크하기 위해서는 작업자가 직접 디지털 전압계(18; Digital Voltage Measurement; DVM)를 가지고 주 제어부의 가스 보드(16)의 입출력 단자를 찍어서 입출력 단자 전압을 직접 확인해야 하는 불편함이 있고, 유량 제어부(14)의 입출력 전압의 지속적인 모니터링이 불가능하다.
또한 반도체 공정 진행 중에 공정 가스의 유량이 정확히 조절되어 공정 챔버로 공급되는지를 알 수가 없기 때문에, 반도체 공정 불량이 야기될 수 있는 소지를 안고 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 유량 제어부의 입출력 단자의 전압을 검출/표시하여 지속적인 모니터링이 가능한 유량 제어 시스템의 전압 표시 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 유량 제어부 중에서 입출력 전압에 이상 발생시 이를 경보하고, 이상이 발생된 유량 제어부를 통한 공정 가스의 공급을 차단하여 반도체 공정 불량의 억제할 수 있는 유량 제어 시스템의 전압 표시 장치를 제공하는 데 있다.
도 1은 종래기술에 따른 반도체 설비의 유량 제어 시스템을 보여주는 블록도이다.
도 2는 본 발명에 따른 전압 표시 장치를 갖는 유량 제어 시스템을 보여주는 블록도이다.
도 3은 도 2의 전압 표시 장치의 상세 블록도이다.
도 4는 본 발명에 따른 전압 표시 장치의 일 예를 보여주는 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 설명 *
10, 20 : 유량 제어 시스템 12, 22 : 주 제어부
14, 24 : 유량 제어부 16, 26 : 가스 보드
18 : 디지털 전압계 30 : 전압 표시 장치
31 : 제어부 32 : 기능 설정부
32a : 기능 설정 버튼 32b : 리셋 버튼
33 : 입출력 전압 입력부 33a : 온/오프 스위치
34 : 프로그램 롬 35 : 송신부
36 : 표시부 36a : 표시창
36b : 경보 표시 램프 37 : 경보부
37a : 경보 램프 38 : 본체
상기 목적을 달성하기 위하여, 주 제어부와, 상기 주 제어부에서 신호를 입력받아 공정 가스를 공급하고, 상기 공정 가스가 공급된다는 신호를 상기 주 제어부로 출력하는 유량 제어부를 갖는 유량 제어 시스템의 전압 표시 장치로서, 상기 유량 제어부에서 입출력되는 입출력 전압을 입력받는 입출력 전압 입력부와; 상기 입출력 전압 입력부에서 입력된 상기 유량 제어부의 출력 전압을 표시하는 표시부와; 상기 각부를 제어하며, 기준 입출력 전압을 저장하고 있으며, 상기 기준 입출력 전압과 입력된 상기 입출력 전압을 비교하는 제어부; 및 상기 입출력 전압이 상기 기준 입출력 전압의 오차 범위를 벗어난 경우에 상기 제어부의 신호에 따라 경보하는 경보부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유량 제어 시스템의 전압 표시 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 전압 표시 장치는 기준 입출력 전압의 수정, 리셋 등과 같은 각종 키 입력을 위한 기능 설정부를 더 포함한다.
그리고 본 발명에 따른 전압 표시 장치는 입출력 전압이 상기 기준 입출력 전압의 오차 범위를 벗어난 경우에 상기 제어부의 신호를 상기 주 제어부를 통하여 상기 유량 제어부에 송신하여 공정 가스의 공급을 차단하는 송신부를 더 포함한다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 2는 본 발명에 따른 전압 표시 장치(30)를 갖는 유량 제어 시스템(20)을 보여주는 블록도이다. 도 3은 도 2의 전압 표시 장치(20)의 상세 블록도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 유량 제어 시스템(20)은 주 제어부(22)에서 유량 제어부(24)로 신호(23)를 주면 유량 제어부(24)는 그 신호(23)를 받아 공정 가스를 공정 챔버로 공급하고, 더불어 주 제어부(22)에 공정 가스가 공정 챔버로 공급됨을 신호로 알리게 된다는 점에서 종래기술에 따른 유량 제어 시스템(도 1의 10)과 동일한 구조를 갖는다. 그 외 본 발명에 따른 유량 제어 시스템(20)은 유량 제어부(24)의 입출력 단자의 전압을 가스 보드(26)에서 검출하여 표시하고 경보하는 전압 표시 장치(30)를 더 포함한다.
전압 표시 장치(30)를 좀 더 상세히 설명하면, 기준 입출력 전압의 수정, 리셋 등과 같은 각종 키 입력을 위한 기능 설정부(32)와, 유량 제어부(24)에서 입출력되는 입출력 전압을 입력받는 입출력 전압 입력부(33)와, 각종 기능 수행을 위한 프로그램이 저장되어 있는 프로그램 롬(34)과, 후술될 제어부(31)의 제어에 따라 각종 데이터를 표시하는 표시부(36)와, 입출력 전압 입력부(33)를 통해서 입력되는 각종 데이터의 표시부(36)에의 표시기능의 제어 및 프로그램 롬(34)의 프로그램을 이용해 기능 설정부(32)를 통해 설정되는 각종 기능의 수행을 제어하며, 기준 입출력 전압과 입력된 입출력 전압을 비교하는 제어부(31) 및 입출력 전압이 기준 입출력 전압의 오차 범위를 벗어난 경우에 제어부(31)의 신호에 따라 경보하는 경보부(37)를 포함한다.
그리고 전압 표시 장치(30)는 입출력 전압이 기준 입출력 전압의 오차 범위를 벗어난 경우에 제어부(31)의 신호를 주 제어기(22)에 송신하여 유량 제어부(24)의 공정 가스의 공급을 차단하는 송신부(35)를 더 포함한다. 물론 전압 표시 장치의 송신부(35)에서 직접 유량 제어부(24)로 신호를 송신하여 유량 제어부(24)의 공정 가스의 공급을 차단하도록 할 수도 있다.
따라서 표시부(36)를 통하여 검출된 유량 제어부(24)의 출력 전압을 확인할 수 있고, 그 출력 전압이 기준 출력 전압의 오차 범위를 벗어난 경우에는, 경보부(37)를 통한 경보와 더불어 유량 제어부(24)를 통한 공정 가스의 공급을 차단하기 때문에, 공정 불량이 발생되는 것을 억제할 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 전압 표시 장치(30)의 일 예를 보여주는 도면이다. 도 4를 참조하면, 본체(38)의 일면에 각 유량 제어부의 출력 전압을 표시하는 표시부의 표시창(36a)이 2렬로 설치된다. 각 표시창(36a)의 일측에 입출력 전압 입력부의 온/오프 스위치(33a; on/off switch)가 설치되며, 본체(38)에 연결된 유량 제어부 중에서 가동 중인 유량 제어부에 대응되는 온/오프 스위치(33a)만 온(on)시키면 된다. 각 열의 표시창(36a) 아래에는 기능 설정부의 기능 설정 버튼(32a)이 설치된다. 본체(38) 하단에 각 유량 제어부의 경보 발생 유무를 나타내는 경보 표시 램프(36b)가 설치되고, 경보 표시 램프(36b)의 왼쪽에 리셋 버튼(32b)이 설치된다. 그리고 본체(38) 상단의 일측 모서리에 본체(38)에 연결된 유량 제어부 중에서 적어도 하나 이상의 유량 제어부에 이상 발생을 경보하는 경보 램프(37a)가 설치된다.
이때 도 4에서는 8개의 유량 제어부를 연결할 수 있는 전압 표시 장치(30)를 개시하였다. 표시창(36a)과 경보 표시 램프(36b) 위에 표시된 숫자는 본체(38)에 연결된 유량 제어부를 나타낸다. 그리고 경보 표시 램프(36b)에 검게 표시된 1번과 2번은 경보가 발생된 유량 제어부를 나타낸다.
한편, 본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
따라서, 본 발명에 따른 전압 표시 장치는 유량 제어부의 입출력 전압을 검출하여 표시하기 때문에, 가동중인 유량 제어부의 출력 전압을 쉽게 확인할 수 있을 뿐만 아니라 지속적인 모니터링이 가능하다.
그리고 전압 표시 장치의 제어부에서 검출된 입출력 전압과 기준 입출력 전압을 비교하여 오차 범위를 벗어난 경우에는 경보하고, 오차 범위를 벗어난 유량 제어부의 공정 가스의 공급을 차단하기 때문에, 유량 제어부의 입출력 전압의 오차에 따른 공정 불량을 억제할 수 있다.

Claims (3)

  1. 주 제어부와, 상기 주 제어부에서 신호를 입력받아 공정 가스를 공급하고, 상기 공정 가스가 공급된다는 신호를 상기 주 제어부로 출력하는 유량 제어부를 갖는 유량 제어 시스템의 전압 표시 장치로서,
    상기 유량 제어부에서 입출력되는 입출력 전압을 입력받는 입출력 전압 입력부와;
    상기 입출력 전압 입력부에서 입력된 상기 유량 제어부의 출력 전압을 표시하는 표시부와;
    상기 각부를 제어하며, 기준 입출력 전압을 저장하고 있으며, 상기 기준 입출력 전압과 입력된 상기 입출력 전압을 비교하는 제어부; 및
    상기 입출력 전압이 상기 기준 입출력 전압의 오차 범위를 벗어난 경우에 상기 제어부의 신호에 따라 경보하는 경보부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유량 제어 시스템의 전압 표시 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 기준 입출력 전압의 수정, 리셋 등과 같은 각종 키 입력을 위한 기능 설정부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유량 제어 시스템의 전압 표시 장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 입출력 전압이 상기 기준 입출력 전압의 오차 범위를벗어난 경우에 상기 제어부의 신호를 상기 주 제어부를 통하여 상기 유량 제어부에 송신하여 공정 가스의 공급을 차단하는 송신부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유량 제어 시스템의 전압 표시 장치.
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