KR20040070602A - 웨이퍼 이송 장치 - Google Patents

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KR20040070602A
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한경수
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Abstract

본 발명의 크리너에서의 웨이퍼 이송장치는 크리너의 각각이 모듈사이,즉 제 1 및 제 2 브러쉬 모듈사이, 제 2 브러쉬와 SRD 모듈의 사이에 설치되며, 각 모듈사이에 컨베이어 밸브 형태의 이송대(50)가 설치되며, 이송수단(70)의 구동에 의해 재치대(60)는 이송대(50)를 따라 다음의 모듈로 이송한다. 승하강 수단(80)은 이송대(50)를 업/다운하며, 이송대(50)가 상승하면, 재치대(60)에는 웨이퍼가 로딩된다.
한편, 제 1 감지수단(90)은 재치대(60)에 웨이퍼가 로딩되었는지는 감지하고, 제 2 감지 수단(100)은 재치대(60)상의 웨이퍼가 브러쉬 모듈의 롤러상에 정확하게 위치되었는지를 감지하여, 제어수단(110)에 신호를 보내면, 제어수단(110)은 제 1 및 제 2 감지수단(90)(100)의 감지신호에 따라 이송수단(70)과 승하강 수단(80)의 작동을 제어한다.
본 발명에 의하면, 웨이퍼의 이송시 웨이퍼의 옆면을 파지하여 이송하는 방식이 아니라 웨이퍼를 재치대위에 로딩하여 이송함으로서 안전하게 이송할 수 있고, 재치대에 로딩된 웨이퍼가 이송대를 따라 각각의 모듈사이를 이동하므로, 종래의 로봇에 의한 웨이퍼의 로딩에 비해 낮은 위치에서 이동되므로 웨이퍼의 파손이 줄어들게 되는 효과를 가진다.

Description

웨이퍼 이송 장치{WAFER TRANSFER APPARATUS}
본 발명은 웨이퍼의 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 로봇의 그리퍼로 웨이퍼를 잡고 이송하는 것이 아니라, 웨이퍼를 재치판위에 로딩하여 이송함으로서 이송시의 정확한 위치 선정으로 인해 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있는 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에 있어서, 웨이퍼가 대구경화됨에 따라 웨이퍼의 넓어진 면을 평탄화하기 위해서 화학적인 제거가공과 기계적인 제거가공을 하나의 가공방법으로 혼합한 화학적 기계적 연마(Chemical-Mechanical Polishing; 이하 "CMP"라 한다) 장비가 이용되고 있다.
이러한 CMP 장비는 폴리셔(polisher)와 크리너(cleaner)로 구성되며, 폴리셔에서는 단차를 가진 웨이퍼 표면을 폴리싱 패드위에 밀착시킨후, 연마제와 화학물질이 포함된 슬러리(slurry)를 웨이퍼와 폴리싱 패드사이에 주입시켜 웨이퍼의 표면을 평탄화시키며, 크리너에서는 폴리싱이 끝난 후 웨이퍼의 표면에 묻은 레시듀(residue) 및 파티클(particle)들을 제거한다.
이상과 같은 크리너는 도 1에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 브러쉬 모듈(10)(20)은 브러쉬를 통해서 웨이퍼의 앞뒤면을 클린하고, SRD(Spin Rinse Dry) 모듈(30)은 웨이퍼의 표면에 묻은 케미칼들을 강한 회전을 통해서 제거한다.
웨이퍼는 도 2에 도시된 바와 같은 로봇(40)에 의해 제 1 브러쉬 모듈(10), 제 2 브러쉬 모듈(20) 및 SRD 모듈(30)의 순서로 이동된다. 로봇(40)은 상하 좌우로 움직이는 그리퍼(42)의 하부에 부착된 역으로 세워진 버섯 모양의 핑거(44)로 웨이퍼의 옆면을 잡고 다음 모듈로 이동한다.
하지만, 이러한 로봇(40)은 모터에 의해 구동되지만, 그리퍼(42)는 공압으로 작동되므로, 그리퍼(42)가 웨이퍼를 잡을 때, 미세조절이 불가능하므로, 웨이퍼의 파지시, 공압이 과다하게 공급되면, 웨이퍼가 파손되는 문제가 있었다.
따라서, 본 발명은 이에 따라 안출된 것으로, 그 목적은 웨이퍼의 이송시 웨이퍼의 옆면을 파지하여 이송하는 방식이 아니라 웨이퍼를 재치대위에 로딩하여 이송함으로서 안전하게 이송할 수 있는 웨이퍼 이송장치를 제공하는 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위한 수단으로서, 본 발명은 제 1 및 제 2 브러쉬 모듈과 SRD 모듈로 구성된 크리너에 적용되는 것으로서, 각 모듈사이에 설치된 본 발명의 웨이퍼의 이송장치는 각각의 모듈 사이에 설치된 이송대와, 상기 이송대따라 이송하되, 상기 이송대가 상승시 웨이퍼가 로딩되는 재치대와, 상기 재치대를 해당 세정 모듈로 이송되는 이송수단과, 상기 이송대를 업/다운하는 승하강 수단과, 상기 재치대에 웨이퍼가 로딩되었는지는 감지하는 제 1 감지 수단과, 상기 재치대상의 웨이퍼가 브러쉬 모듈의 롤러상에 정확하게 위치되었는지를 감지하는 제 2 감지수단과, 상기 제 1 및 제 2 감지수단의 감지신호에 따라 상기 이송수단과 상기 승하강 수단을 제어하는 제어수단으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 재치대에 로딩된 웨이퍼가 이송대를 따라 각각의 모듈사이를 이동하므로, 종래의 로봇에 의한 웨이퍼의 로딩에 비해 낮은 위치에서 이동되므로 웨이퍼의 파손이 줄어들게 되는 효과를 가진다.
도 1은 종래의 크리너의 각 모듈과 로봇의 형상을 나타내는 개략도이고,
도 2는 도 1의 로봇의 그립퍼의 작동을 나타내는 개략도이고,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송장치의 개략도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10, 20 : 브러쉬 모듈 30 : SRD 모듈
40 : 로봇 42 : 그리퍼
50 : 이송대 60 : 재치대
70 : 이송 수단 80 : 승하강 수단
90 : 제 1 감지 수단 100 : 제 2 감지 수단
110 : 제어 수단
이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 크리너에서의 웨이퍼의 이송장치를 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 크리너에서의 웨이퍼 이송장치는 크리너의 각각이 모듈사이,즉 제 1 및 제 2 브러쉬 모듈사이, 제 2 브러쉬와 SRD 모듈의 사이에 설치된다.
본 발명의 웨이퍼 이송장치는 도 3에 도시된 바와 같이, 한쪽의 모듈(도시하지 않음)과 브러쉬 모듈 사이에 컨베이어 밸브 형태의 이송대(50)가 설치되며, 모터가 바람직한 이송수단(70)의 구동에 의해 재치대(60)는 이송대(50)를 따라 브러쉬 모듈로 이송한다.
승하강 수단(80)은 이송대(50)를 업/다운하며, 이송대(50)가 상승하면, 재치대(60)에는 웨이퍼가 로딩된다.
한편, 제 1 감지수단(90)은 재치대(60)에 웨이퍼가 로딩되었는지는 감지하고, 제 2 감지 수단(100)은 재치대(60)상의 웨이퍼(2)가 브러쉬 모듈의 롤러(도시하지 않음)상에 정확하게 위치되었는지를 감지하여, 제어수단(110)에 신호를 보낸다.
제어수단(110)은 포지션 리미트 센서가 바람직한 제 1 및 제 2 감지수단(90)(100)의 감지신호에 따라 이송수단(70)과 승하강 수단(80)의 작동을 제어한다.
제 2 감지 수단(100)의 감지신호가 재치대(60)상의 웨이퍼가 브러쉬 모듈의 롤러상에 정확하게 위치되었음을 나타내면, 승하강 수단(80)을 제어하여 이송대(50)를 업하여 롤러상에 웨이퍼를 로딩한 후 하강하고, 이송수단(70)을 제어하여 재치대(60)를 원래의 위치로 돌아가도록 한다.
상술한 바와 같이 본 발명의 웨이퍼 이송장치는 웨이퍼의 이송시 웨이퍼의옆면을 파지하여 이송하는 방식이 아니라 웨이퍼를 재치대위에 로딩하여 이송함으로서 안전하게 이송할 수 있고, 재치대에 로딩된 웨이퍼가 이송대를 따라 각각의 모듈사이를 이동하므로, 종래의 로봇에 의한 웨이퍼의 로딩에 비해 낮은 위치에서 이동되므로 웨이퍼의 파손이 줄어들게 되는 효과를 가진다.

Claims (2)

  1. 제 1 및 제 2 브러쉬 모듈과 SRD 모듈로 구성된 크리너에서, 각 모듈사이에 설치된 웨이퍼의 이송장치에 있어서,
    각각의 모듈 사이에 설치된 이송대와,
    상기 이송대따라 이송하되, 상기 이송대가 상승시 웨이퍼가 로딩되는 재치대와,
    상기 재치대를 해당 세정 모듈로 이송되는 이송수단과,
    상기 이송대를 업/다운하는 승하강 수단과,
    상기 재치대에 웨이퍼가 로딩되었는지는 감지하는 제 1 감지 수단과,
    상기 재치대상의 웨이퍼가 브러쉬 모듈의 롤러상에 정확하게 위치되었는지를 감지하는 제 2 감지수단과,
    상기 제 1 및 제 2 감지수단의 감지신호에 따라 상기 이송수단과 상기 승하강 수단을 제어하는 제어수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제어 수단은 제 2 감지 수단의 감지신호가 재치대상의 웨이퍼가 브러쉬 모듈의 롤러상에 정확하게 위치되었음을 나타내면, 승하강 수단을 제어하여 상기 이송대를 업하여 롤러상에 웨이퍼를 로딩한 후 하강하고, 이송수단을 제어하여 상기 재치대를 원래의 위치로 돌아가도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
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