KR20040069821A - 반도체 제조공정의 생산관리 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조공정 생산관리 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 반도체 제조공정 생산관리 시스템은, 반도체 기판을 투입하여 반도체 장치를 생산하기 위해서 마련된 복수의 반도체 제조장치들과, 반도체 기판을 반도체 장치에 로딩하기 위해서 복수의 반도체 기판을 수용하고 있고 소정의 할당된 일련번호를 갖는 카세트와, 카세트를 로딩할 때 반도체 기판의 고유번호를 인식할 수 있도록 반도체 장치에 마련된 아이디 인식장치, 및 카세트의 제반정보를 기억하고 이를 추적하여 아이디 인식장치로부터 전달된 고유번호에 대한 공정 상태 판단하여 해당되는 반도체 제조장치 중의 적어도 어느 하나에 작업지시 명령을 내리는 중앙 작업 제어부를 포함한다.

이렇게 작업지시 내용을 자동으로 처리하여 반도체 제조장치를 운용함으로써, 작업자의 작업동선을 줄이고 생산성을 극대화할 수 있다.

Description

반도체 제조공정의 생산관리 시스템{Automatic production control system for manufacturing semiconductor device}

본 발명은 반도체 제조공정 생산관리 시스템에 관한 것이다.

반도체 장치를 제조하기 위해서, 소정의 청정실을 갖츤 공장라인 내에 여러 가지 종류의 반도체 제조장치들이 마련되어야 하고, 또한 작업자들이 반도체 기판이 들어있는 카세트를 이동시켜 소정의 작업공정에 따라 공정을 진행한다. 이때, 작업자들은 반도체 장치를 제조하기 위해서 순서대로 공정들을 나열한 표준 공정작업시트(standard Runsheet)를 기준으로 하여 전산시스템을 이용하여 각 카세트의 현재 진행된 작업내용을 확인하고 다음에 진행될 작업을 진행한다.

도 4는 종래의 반도체 제조공정 생산관리 시스템을 나타낸 개략도로서, 공정 작업을 진행하기 위해서 필요한 동선을 나타낸 개략도이다. 이를 참조하면, 반도체 장치를 제조하기 위해서 일련의 공정들을 진행하기 위해서는, 먼저, 작업자가 작업 테이블(1101)로부터 공정을 진행할 반도체 기판들이 담긴 카세트(110)를 전산시스템(1200)으로 가서 카세트(110)의 고유번호를 확인하여 전산 시스템(1200)에 기록하면서 다음에 진행될 공정을 확인한다. 그리고, 다음에 진행될 공정을 진행할 반도체 제조장치(1100)로 카세트(110)를 가져간다. 카세트(110)를 반도체 제조장치로 가져가 로딩을 한 후, 반도체 제조장치 내에 저장된 해당 레시피를 로딩하여 공정을 진행한다.

이와 같은 종래의 작업공정 진행 방식은, 작업자가 직접 카세트(110)를 들고서 전산시스템(1200)으로 가서 카세트(110)의 공정 내용을 입력하고, 다시 그 카세트(110)를 반도체 제조장치(1100) 앞으로 가져가서 로딩을 해야하므로, 작업자의 동선이 길어지고 따라서 생산성이 떨어지는 단점이 있다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 작업자의 동선을 최소화하여 반도체 장치의 생산성을 크게 향상시킬 수 있는 반도체 제조공정 생산관리 시스템을 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조공정 생산관리 시스템을 나타낸 개략도이다.

도 2는 도 1의 일 실시예를 나타낸 개략도이다.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조공정 생산관리 시스템의 공정 진행을 위한 작업 흐름도이다.

도 4는 종래의 기술에 따른 반도체 제조공정 생산관리 시스템을 나타낸 개략도이다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 반도체 제조공정 생산관리 시스템은, 반도체 기판을 투입하여 반도체 장치를 생산하기 위해서 마련된 복수의 반도체 제조장치들과, 반도체 기판을 반도체 제조장치에 로딩하기 위해서 복수의 반도체 기판을 수용하고 있고 소정의 할당된 일련번호를 갖는 카세트와, 카세트를 로딩할 때 카세트의 고유번호를 인식할 수 있도록 반도체 제조장치에 마련된 아이디 인식장치, 및 카세트의 제반정보를 기억하고 이를 추적하여 아이디 인식장치로부터 전달된 고유번호에 대한 공정 상태 판단하여 해당되는 반도체 제조장치 중의 적어도 어느 하나에 작업지시용 명령을 내리는 중앙 작업 제어부를 포함한다.

여기서, 아이디 인식장치는, 인식표시를 감지하는 감지 센서부를 포함하고 있어 카세트의 입출입을 점검할 수 있다. 그리고, 인식표시는 바아 코드를 사용할 수 있고, 감지 센서부는 바아코드를 인식할 수 있는 광스캐너인 것이 바람직하다.

중앙 작업 제어부는, 반도체 장치를 제조하기 위한 소정의 표준 공정작업을 저장한 표준공정작업 저장부와, 반도체 제조장치에 로딩할 복수의 공정용 레시피를 저장하는 레시피 저장부와, 각각의 투입된 카세트들에 대해서 표준 공정 작업과 비교하여 공정 진행정보를 반도체 제조장치에 지시하는 중앙제어 시스템을 포함하고 있어 각 카세트에 대한 정보를 모두 공유하여 작업공정을 일괄 제어할 수 있어 바람직하다.

아이디 인식장치는 반도체 제조장치의 인입부에 설치되어 있는 것이 반도체 제조공정을 시작할 때, 바로 인식할 수 있어 바람직하다.

반도체 제조장치는, 중앙작업 제어부와 연결되어 있어 반도체 제조장치의 현재상태를 알려주는 정보가 중앙작업 제어부의 레시피 저장부와 통할 수 있는 제어부를 포함하고 있어, 반도체 제조장치의 상황을 정확히 파악하여 선별적으로 공정을 진행할 수 있다.

이렇게 본 발명의 반도체 제조공정의 생상관리 시스템은, 카세트의 고유번호를 인지하여 통합적으로 제어할 수 있는 중앙작업 제어부(재가 flow manager)를 가지고 있어, 작업자가 일일이 아이디에 대한 데이터를 입력하지 않더라도 자동으로 반도체 제조장치에 레시피를 로딩하여 공정을 진행할 수 있다. 그리하여, 작업자의 동선을 최소화할 수 있어 생산성을 극대화할 수 있다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 다음에 예시하는 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되어지는 것이다.

도 1은 본 발명의 반도체 제조공정 생산관리 시스템의 개념을 나타낸 블록 다이어 그램이고 도 2는 도 1의 실시예를 나타낸 개략도이다.

이들을 참조하면, 본 발명의 반도체 제조공정 생산관리 시스템은, 복수의 반도체 제조장치(100)가 마련되어 있는 반도체 장치 생산라인(1)에서, 표면에 소정의 인식표시(아이디)를 부착하고서 각 반도체 제조장치(100)에서 공정이 진행될 반도체 기판들을 수용하고 있는 카세트(110)와, 반도체 제조장치(100)의 인입구(미도시)에 설치되어 인식표시를 감지하는 아이디 인식장치(200) 및, 아이디인식장치(200)로부터 카세트(110)에 표시된 고유번호를 전기신호로 전달받아 반도체 제조장치(100)에 해당하는 공정 레시피를 반도체 제조장치(100)에 로딩하는 중앙작업 제어부(300, work flow manager)를 포함한다.

아이디 인식장치(200)는, 각 카세트(110)마다 주어지는 고유번호를 인식할 수 있는 형태 즉, 바아코드(bar code) 형식으로 형성된 인식표시를 감지하여 인식할 수 있는 감지센서부를 포함한다. 이때 사용되는 감지 센서부는 소정의 광을 스캔하여 인식하는 광스캔너식(photo scanning) 바아코드 인지 감지센서인 것이 바람직하다. 이러한 아이디 인식장치(200)는, 반도체 제조장치(100)를 로딩하는 인입부에 설치되어 있어 반도체 기판을 로딩하는 순간에 인식표시(아이디)를 읽어 인식하는 것이 작업공정을 신속하게 진행할 수 있어 바람직하다. 또는, 아이디 인식장치(200)는 반도체 제조장치(100)의 로딩 인입부가 아닌 반도체 제조장치(100)의 인접한 위치에 배치되어 별도로 마련할 수도 있다.

중앙작업 제어부(300, work flow manager)는, 반도체 제조장치(100)에 의해서 진행되는 모든 공정 흐름(process flow)을 제어하는 장치로서, 그 내부에는 중앙 제어 시스템(310)과 저장부(320,330)를 포함하고 있다. 특히, 저장부(320,330)는 반도체 장치를 제조하기 위해서 제품별로 구분되어 정리된 일련의 각 표준 공정작업시트(process runsheet)들을 저장하고 있는 표준공정작업 저장부(320)와, 동일 그룹의 반도체 제조장치들(100)에서 공통적으로 사용할 수 있는 공정 레시피들(recipe)이 저장된 레시피 저장부(330)를 포함한다. 그리하여, 아이디 인식장치(200)로부터 전달되는 고유번호에 대한 표준 작업공정을 표준공정 작업 저장부(320)로부터 찾아 이를 레시피 저장부로부터 레시피를 선별하여 선택할 수 있다. 선택된 레시피는 중앙제어 시스템(310)을 통해서 반도체 제조장치(100)로 전달되어 로딩(loading)된다. 이때 반도체 제조장치(100) 내에도 제어부(미도시)와 저장부(미도시)를 가지고 있어 저장부에 레시피를 저장한 후 제어부를 통해서 레시피를 가동시켜 공정을 진행한다.

도 3은 본 발명의 반도체 제조공정 생산관리 시스템에 의해서 공정이 진행되는 것을 순차적으로 나타낸 흐름도이다.

이를 참조하면, 먼저, 카세트(110)를 반도체 제조장치(100)의 인입부(loading chamber)에 로딩한다(S1). 그러면, 인입부에 설치된 아이디 인식장치(200)가 카세트(110)에 부착된 인식표시를 읽어 중앙작업 제어부(300, work flow manager)로 전달한다(s2). 중앙작업 제어부(300)에서는 인식표시로부터 인지된 고유번호에 대해서 표준공정 작업시트를 찾아 현재의 상태를 체크하고 해당 공정을 정한다. 정해진 공정에 대해서 적당한 레시피(recipe)를 찾아 해당되는 반도체 제조장치(100)에 레시피를 전달한다(s3). 반도체 제조장치(100)로 전달된 레시피는 저장부(미도시,memory)에 저장되어 제어부를 통해서 공정을 진행한다(S4).

이와 같이, 본 발명의 반도체 제조공정 생산관리 시스템은, 모든 공정작업을 중앙작업 제어부(300)에서 제어함으로써, 단지 반도체 기판이 담긴 카세트(110)를 반도체 제조장치(100)의 인입부에 로딩(loading)시키기만 하면, 자동으로 공정에 필요한 레시피가 중앙작업 제어부(300)에 의해서 로딩되고 공정이 진행되므로 작업자의 동선을 최소화하여 생산성을 높일 수 있다.

한편, 본 발명의 반도체 제조공정 생산관리 시스템은, 아이디 인식장치(100)에서 인식표시(아이디)로서 바아 코드를 사용할 수도 있지만, 일반 숫자나 문자를 그대로 사용할 수도 있다. 이 경우에는 인지 감지센서로서 문자 식별용 감지 센서를 사용하면 인지가 가능하다.

상술한 바와 같이 본 발명의 반도체 제조공정 생산관리 시스템은, 중앙 직업 제어부에서 공정 흐름과 반도체 제조장치에 사용되는 모든 레시피를 제어하므로, 작업자의 할 일과 동선이 크게 감소한다. 그리하여, 작업 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.

Claims (6)

1. 반도체 기판을 투입하여 반도체 장치를 생산하기 위해서 마련된 복수의 반도체 제조장치들;

   상기 반도체 기판을 상기 반도체 장치에 로딩하기 위해서 복수의 반도체 기판을 수용하고 있고, 소정의 할당된 일련번호를 갖는 카세트;

   상기 카세트를 로딩할 때 반도체 기판의 고유번호를 인식할 수 있도록 상기 반도체 장치에 마련된 아이디 인식장치; 및

   상기 카세트의 제반정보를 기억하고 이를 추적하여 아이디 인식장치로부터 전달된 고유번호에 대한 공정 상태 판단하여 해당되는 상기 반도체 제조장치 중의 적어도 어느 하나에 작업지시용 명령을 내리는 중앙 작업 제어부를 포함하는 것을특징으로 하는 반도체 제조공정 생산관리 시스템.
2. 제1항에 있어서, 상기 아이디 인식장치는,

   상기 인식표시를 감지하는 감지 센서부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정 생산관리 시스템.
3. 제2항에 있어서, 상기 인식표시는 바아 코드이고, 상기 감지 센서부는 광스캐너인 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정 생산관리 시스템.
4. 제1항에 있어서, 상기 중앙 작업 제어부는,

   반도체 장치를 제조하기 위한 소정의 표준 공정작업을 저장한 표준공정작업 저장부;

   상기 반도체 제조장치에 로딩할 복수의 공정용 레시피를 저장하는 레시피 저장부; 및

   각 투입된 상기 카세트들에 대해서 상기 표준 공정 작업과 비교하여 공정 진행정보를 상기 각 반도체 제조장치에 지시하는 중앙 제어시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정 생산관리 시스템.
5. 제1항에 있어서, 상기 아이디 인식장치는 상기 반도체 제조장치의 인입부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 생산관리 시스템.
6. 제1항에 있어서, 상기 반도체 제조장치는, 상기 중앙작업 제어부와 연결되어 있어 상기 반도체 제조장치의 정보가 상기 중앙작업 제어부의 상기 레시피 저장부와 통할 수 있는 별도의 제어부와 저장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정 생산관리 시스템.