KR20040067907A - 땜납 볼 위치별 검사 데이터 집계 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

구(球) 형상의 땜납 볼을 X선에 의해 검사한 검사 데이터를 집계하는 땜납 볼 위치별 집계 방법을 제공한다.

땜납 볼의 위치의 이미지 화상과, 땜납 볼 번호와, 불량 판정수 총계와, 지정된 볼 위치의 검사 결과를 각 검사 기판마다 표시하는 집계 일람과, 종합 판정 결과표를 표시하는 표시 영역을 마련하여, 검사 결과 데이터로부터 전(全) 기판 또는 로트 단위로 전환하여 불량수의 범위를 선택해서 땜납 볼 위치의 이미지 상(像) 중 어느 하나를 지정하는 것에 의해, 집계 일람의 커서 위치를 지정된 볼 번호에 대응하는 위치로 이동시켜, 땜납 볼 번호 표시를 변경한 것에 따라, 지정된 볼 위치의 검사 결과를 집계 일람에 표시하여, 지정된 볼 위치의 전(全) 불량수 합계를 검사 항목별로 종합 판정 결과 표시 영역에 표시한다.

Description

땜납 볼 위치별 검사 데이터 집계 방법 및 장치{DATA AGGREGATION METHOD CLASSIFIED BY SOLDER BALL POSITION AND APPARATUS THE SAME}

본 발명은 땜납 볼 위치별 검사 데이터 집계 방법 및 장치에 관한 것으로, 특히, BGA(Ball Grid Array)나 CSP(Chip Scale Package)의 대규모 집적 회로(LSI)를 프린트 기판에 납땜했을 때의 구 형상의 땜납 볼을 X선에 의해 검사한 검사 데이터를 집계하는 땜납 볼 위치별 검사 데이터 집계 방법 및 장치에 관한 것이다.

서브미크론의 미세 가공 기술에 의해 LSI의 고집적화가 진행되어, 종래 복수의 패키지로 나뉘어져 있었던 기능을 하나의 LSI에 적재할 수 있게 되었다. 특히, 최근에는 필요한 핀 수가 현저히 증가함으로써, 종래의 QFP(Quad Flat Package)나 PGA(Pin Grid Array)로는 대응할 수 없게 되었기 때문에, BGA나 CSP 패키지가 다용되고 있다.

LSI의 BGA나 CSP 패키지는 초소형화에는 대단히 공헌한 반면, 땜납 부분이 눈에 보이지 않는다고 하는 특징이 있다. BGA나 CSP 패키지를 실장한 프린트 기판을 검사할 때, 통전 검사만으로는 신뢰성이 부족하기 때문에, 검사 부분에 광을 조사하여, 그 반사광을 읽어내어 화상 처리에 의해서 외관 검사를 하거나, X선을 검사 부분에 투과시켜 그 투과광을 화상 처리하는 것에 의해 검사를 하는 X선 투과검사 장치가 실용화되어 있다.

이러한 X선 투과 검사 장치에 의해 검사된 결과 데이터는 그 후의 작업에서 땜납 불량이 발생하지 않도록 유효하게 활용할 필요가 있다. 그것을 위한 실장 검사 장치가 일본 특허 공개 평성 제 8-18300 호 공보에 기재되어 있다. 이 장치에서는 현재의 품질 상태를 기초로, 필요한 검사 포인트의 데이터를 집계하여 생산 중이라도 데이터 항목을 변경 가능하게 한 것이다.

(특허문헌 1)

일본 특허 공개 평성 제 8-18300 호 공보(단락번호 0011∼0013, 도 1)

그러나, BGA 패키지의 땜납 볼은 400 이상도 있고, 각각의 땜납 볼이 적정히 프린트 기판에 납땜되어 있는지의 결과를 집계하는 것은 용이하지 않다.

따라서, 본 발명의 주된 목적은 구 형상의 땜납 볼을 X선에 의해 검사한 검사 데이터를 집계하는 땜납 볼 위치별 집계 방법 및 장치를 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에서의 X선 기판 검사 장치의 블럭도,

도 2는 본 발명의 일 실시예의 동작을 설명하기 위한 흐름도,

도 3은 도 2에서의 화일 버튼을 조작하여 표시를 전환할 때의 동작을 나타내는 흐름도,

도 4는 그래프 표시의 동작을 나타내는 흐름도,

도 5는 검사 결과 집계 툴의 표시 화면을 나타내는 도면,

도 6은 도 5의 화일 버튼을 조작했을 때에 표시되는 조작 항목 버튼의 표시 화면을 나타내는 도면,

도 7은 땜납 볼 위치별 집계 결과 일람표를 나타내는 도면,

도 8은 도 7의 볼 위치 이미지 영역에 표시되는 BGA의 단자 번호를 나타내는 도면,

도 9는 그래프 표시 화면을 나타내는 도면,

도 10은 색 구분 표시를 나타내는 화상의 일례를 나타내는 도면,

도 11은 화상 해석 화면을 나타내는 도면,

도 12는 검사 결과 화상 영역에 표시되어 있는 결과 화상의 확대시키는 부분을 나타내는 도면,

도 13은 확대된 결과 화상을 나타내는 도면,

도 14는 검사 결과 화상 영역에 표시되어 있는 결과 화상의 의사 3차원 표시하는 부분을 나타내는 도면,

도 15는 의사 3차원 표시된 결과 화상을 나타내는 도면,

도 16은 검사 결과 화상 영역에 표시되어 있는 결과 화상의 2차원 그래프 표시하는 부분을 나타내는 도면,

도 17은 2차원 그래프 표시된 결과 화상을 나타내는 도면.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

13 : X선 기판 검사 장치

30 : 제어부

32 : 키보드

33 : 마우스

34 : 디스플레이

35 : 3축 드라이버

36 : X선 제어기

37 : X선원

38 : 카메라

38, 39 : 정렬 카메라

43 : 워크 스테이지

본 발명은, 대규모 집적 회로를 기판에 납땜했을 때의 구 형상의 땜납 볼을 X선에 의해 검사한 검사 데이터를 집계하는 땜납 볼 위치별 집계 방법으로서, 검사 결과 데이터로부터 각 기판마다 땜납 볼 접속 부분의 합격률, 불합격률, 검사한 대규모 집적 회로의 불량 부분의 경향을 일람 표시하고, 또한 미리 정해진 검사 파라미터 설정 기준값으로부터 합격이라고 판정되는지를 판별하기 위한 그래프를 표시하는 것을 특징으로 한다.

이것에 의해, 땜납 볼이 적정히 프린트 기판에 납땜되어 있는지의 결과를 집계하는 것이 용이하게 된다.

다른 발명은, 적어도 땜납 볼의 위치의 이미지 화상과, 땜납 볼 번호와, 불량 판정수 총계와, 지정된 볼 위치의 검사 결과를 각 검사 기판마다 표시하는 집계 일람과, 종합 판정 결과표를 표시하는 표시 영역을 마련하여, 검사 결과 데이터로부터 모든 기판 또는 로트 단위로 전환해서 불량수의 범위를 선택하고, 땜납 볼 위치의 이미지 상(像) 중 어느 하나를 지정함으로써, 집계 일람의 커서 위치를 지정된 볼 번호에 대응하는 위치로 이동시켜 땜납 볼 번호 표시를 변경한 것에 따라, 지정된 볼 위치의 검사 결과를 집계 일람에 표시하여, 지정된 볼 위치의 모든 불량수 합계를 검사 항목별로 종합 판정 결과 표시 영역에 표시하는 것을 특징으로 한다.

또한, 집계 대상 범위로 지정한 범위의 검사 결과 중 지정된 볼 위치만의 모든 불량 판정수를 표시하는 것을 특징으로 한다.

또, 표시 영역은, 로트 번호와, 기판 번호와, 각 검사 항목마다의 불량 판정수와, 지정한 볼 위치의 불량 판정수의 합계와, 지정된 볼 위치에서 집계 대상 범위로 지정한 검사 기판 매수 중 각 기판마다 불량 판정된 비율과, 지정한 볼 위치에서 각 기판마다의 종합 판정 결과의 합격 여부를 표시하는 것을 특징으로 한다.

종합 판정 결과의 표시는, 집계 대상 범위로 지정한 기판 매수와, 지정한 볼위치에서 집계 대상 범위로 지정한 기판 매수분의 불량 판정된 검사 항목별의 총계와, 지정한 볼 위치에서 집계 대상 범위로 지정한 기판수 중의 합격수와, 그 합격한 수의 비율과, 불합격수와, 그 불합격된 비율을 표시하는 것을 특징으로 한다.

그래프 표시는, 산포도 그래프의 표시 화면과, 그래프 표시를 위해 필요한 검사 항목 및 표시 데이터의 선택 화면과, 산포도 그래프의 XY축 항목의 선택 화면과, 검사 파라미터의 임계값의 변경 화면과, 검사 결과의 판정값의 일람 표시 화면을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또, 화질 조정 화면으로서, 원화상 표시, 2치화 표시, 밝기 조정 표시, 확대 표시, 의사 3차원 표시, 2차원 그래프 표시를 하는 것을 특징으로 한다.

또한, 다른 발명은, 대규모 집적 회로를 기판에 납땜했을 때의 구 형상의 땜납 볼을 X선에 의해 검사한 검사 데이터를 집계하는 땜납 볼 위치별 집계 장치로서, 검사 데이터를 표시하기 위한 표시 수단과, 검사한 각 기판마다 땜납 볼 접속 부분의 합격률, 불합격률, 땜납 볼 접속 불량 부분의 경향을 표시 수단에 일람 표시하고, 또한 미리 정해진 검사 파라미터 설정 기준값으로부터 합격이라고 판정되는지를 판별하기 위한 그래프를 표시시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

(실시예)

도 1은 본 발명의 일 실시예에서의 X선 기판 검사 장치(3)의 블럭도이다. 도 1에서, 키보드(32)와, 마우스(33)와, 디스플레이(34)는 X선 검사용 제어부(30)에접속되어 있다. 제어부(30)는 범용의 퍼스널 컴퓨터로 구성되어 있고, 이 제어부(30)에는 3축 드라이버(35)와 X선 제어기(36)가 접속되어 있다. 3축 드라이버(35)는 워크 스테이지(43)를 XYZ 방향으로 이동시킨다.

X선 제어기(36)는 X선원(37)을 제어하여 워크 스테이지(43) 상의 워크에 X선을 조사시킨다. X선원(37)에 대향하도록 카메라(38)가 고정적으로 마련되어 있고, 카메라(38) 근방에는 정렬(alignment) 카메라(39)가 마련되어 있다. X선 검사부(3)에서는 X선원(37)과 카메라(38)가 대향하여 고정되어 있고, 워크 스테이지(43)가 XYZ 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 되어 있다. 이것은 X선원(37)과 카메라(38)를 대향시킨 상태에서 XYZ 방향으로 이동 가능하게 하고자 하면, 장치의 규모가 커져 버리기 때문이다.

카메라(38)는 워크 스테이지(43) 상의 워크를 투과한 X선 상(像)을 촬영하여, 그 촬영 출력을 제어부(30)에 인가한다. 정렬 카메라(39)는 화상 상에서의 워크의 위치 결정을 하기 위해서, 워크 상의 소정의 마크나 기호 등을 촬상한다. 이 정렬 카메라(39)도 예를 들면 CCD 카메라 등에 의해서 구성되어 있다.

또, 이 실시예의 X선 기판 검사 장치(3)에서는 브릿지, 납땜 과다, 납eOA 과소, 어긋남, 이물질, 오픈, 보이드의 각 검사가 행하여진다. 브릿지는 납땜 과다, 어긋남, 메탈 마스크의 손상 등에 의해 인접하는 단자끼리가 쇼트되는 상태이며, 납땜 과다는 메탈 마스크의 손상, 기판의 휨, 높이 조정 불량 등에 의해서 발생한다. 납땜 과소는 휨, 메탈 마스크 막힘, 인쇄 불량 등에 의해 발생하고, 이물질은 저항, 콘덴서 등의 작은 부속 물품이 날아온 것에 의해서 발생한다. 오픈은 가열불량, 인쇄 불량 등에 의해서 납땜이 접속되어 있지 않은 상태이며, 보이드는 기판 불량, 가열 등에 의해 땜납 볼 내에 구멍이 발생하는 상태이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예의 동작을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 3은 도 2에서의 표시를 전환했을 때의 동작을 나타내는 흐름도이고, 도 4는 그래프 표시의 동작을 나타내는 흐름도이며, 도 5는 검사 결과 집계 툴의 표시 화면을 도시하는 도면이다.

도 2에 나타내는 단계 SP1에서, 결과 집계 툴을 기동하면, 단계 SP2에서, 도 5에 나타내는 검사 집계 화면이 도 1에 나타낸 X선 기판 검사 장치(3)의 디스플레이(34)에 표시되거나 혹은 별도의 퍼스널 컴퓨터의 화면에 표시된다.

도 5에 있어서, 검사 결과 집계 화면에는 표시 전환 영역 a1과, 결과 일람 표시 영역 a2와, 종합 판정 결과 표시 영역 a3과, 기능 전환 버튼 표시 영역 a4가 마련되어 있다. 표시 전환 영역 a1은 집계 방법을 전 기판별, 로트 단위별, 디바이스별, 전 기판 대상 땜납 볼 위치별, 1 디바이스 대상 땜납 볼 위치별로 집계 결과의 표시를 전환하기 위해서 마련되어 있다. 결과 일람 표시 영역 a2는 검사 결과의 판독으로 지정한 기판명 및 로트 번호의 집계 데이터를 검사 항목마다 불량수를 일람 표시한다. 구체적으로는, 기판 No.와, 로트 번호와, 검사 일시와, 쇼트와, Ref.No.와, 검사 항목마다의 불량수가 일람으로서 표시된다. 검사 항목은 브리지와, 과다와, 과소와, 어긋남과, 이물질와, 오픈과, 보이드와, 불량수와, 종합 판정을 포함한다.

종합 판정 결과 표시 영역 a3에는 기판 매수와, 각 검사 항목별 불량수 총계와, 불량수와, 합격수와, 합격률과, 불합격수와, 불합격률이 표시된다. 기능 전환 버튼 표시 영역 a4는 화일 버튼과, 그래프 표시 버튼과, 화상 해석 버튼과, 재배열 버튼과, CSV 형식 보존 버튼과, 인쇄 버튼과, 종료 버튼이 표시된다.

단계 SP3에서, 도 5에 나타내는 기능 전환 버튼 표시 영역 a4의 화일 버튼을 선택하면, 도 6에 나타내는 조작 항목 버튼의 화면이 표시된다. 이 조작 항목 버튼은 「판독」, 「삭제」, 「M0에 보존」, 「파라미터에 전송」의 버튼과 「OK」의 버튼을 포함한다. 단계 SP4에서 「판독」 버튼을 선택하면, 단계 SP5에서 결과 집계 데이터가 판독되어, 도 7에 나타내는 땜납 볼 위치별 집계 결과 일람표를 나타내는 화면이 표시된다.

단계 SP6에서 「삭제」 버튼을 선택하면 단계 SP7에서 집계 데이터가 삭제되고, 단계 SP8에서 「MO에 보존」버튼을 선택하면, 단계 SP9에서 집계 데이터의 보존이 행하여지며, 단계 SP10에서 「파라미터 전송」 버튼을 선택하면, 단계 SP11에서 검사 파라미터의 전송이 행하여진다.

도 6에 나타내는 화일 버튼의 「판독」 버튼을 선택하고, 또한 도 3에 나타내는 단계 SP21에서 표시 전환 영역 a1로부터 전(全) 기판별 집계 결과 표시를 선택하면, 판독을 행한 전 기판 매수분의 집계 결과가 결과 일람 표시 영역 a2에 표시된다. 이 표시에서는 기판마다 NG 판정수가 표시되기 때문에, NG 판정, OK 판정된 기판을 용이하게 찾아낼 수 있다. 단계 SP22에서 표시 전환 영역 a1로부터 로트 단위별 집계 결과 표시를 선택하면, 로트 단위마다의 기판별 집계 결과가 일람으로서 결과 일람 표시 영역 a2에 표시된다. 이 표시는 로트 단위마다 불량률을알고자 하는 경우에 유효하게 된다.

단계 SP23에서 표시 전환 영역 a1로부터 장치별 집계 결과 표시를 선택하면, 장치마다의 합계 불량수가 결과 일람 표시 영역 a2에 일람 표시된다. 이 표시는, 1매의 기판에 복수의 쇼트가 있는 경우, 어떤 쇼트에서 불량이 발생하기 쉬운지를 아는데 유효하게 된다. 단계 SP24에서 표시 전환 영역 a1로부터 전 기판을 대상으로 하여 땜납 볼 위치별 집계 결과 표시를 선택하면, 각 쇼트마다 볼 위치별 합계 불량수가 도 7에 나타내는 땜납 볼 위치별 집계 결과 일람표 a17의 표시에 의해 전체적으로 파악하여, 어떤 볼 위치에서, 어떠한 불량이 발생하기 쉬운지를 알 수 있다.

단계 SP25에서 1 디바이스를 대상으로 하여 땜납 볼 위치별 집계 결과 표시를 선택하면, 지정한 볼 위치의 각 기판마다의 불량수가 도 7에 나타내는 땜납 볼 위치별 집계 결과 일람표 a17에 일람 표시된다. 이 표시에 의해 어떤 특정한 볼 위치에 대하여, 어떤 기판에서 불량 판정되었는지를 찾는 데 유효하게 된다.

도 7에 나타낸 땜납 볼 위치별 집계 결과 일람표에서, 집계 대상 범위 전환 영역 a11은 집계 대상 범위를 「전(全) 기판」 또는 「로트 단위」로 전환하여 불량수의 계산 범위를 선택한다. 볼 위치 이미지 영역 a12에는 볼 번호에 대응하는 실제의 볼 위치 이미지가 표시된다. 이 볼 위치 이미지를 클릭함으로써, 일람표의 커서 위치가 변경된 볼 번호에 대응하는 위치로 이동한다. 볼 위치 이미지 영역a12에, 예를 들면 LSI가 BGA이면 도 8에 도시하는 바와 같이 단자 번호가 왼쪽으로부터 오른쪽의 순서로 정의되어진다.

볼 번호 영역 a13에는 볼 번호가 표시되고, 여기를 클릭하여 볼 번호를 변경하면, 일람표의 커서 위치 및 볼 위치 이미지 표시가 변경 후의 볼 번호 위치로 이동된다. 쇼트 번호 영역 a14에는 1매의 검사 기판 중의 검사를 하는 단위인 쇼트의 번호가 표시된다. 참조(reference) 번호 영역 a15에는 현재 집계 표시되어 있는 쇼트의 참조 번호가 표시된다. 불량 판정수 총계 영역 a16에는 집계 대상 범위로 지정한 범위의 검사 결과 중, 지정된 볼 위치만의 전(全) 불량 판정수가 표시된다. 볼 위치별 집계 결과 일람표 영역 a17에는 지정된 볼 위치의 검사 결과가 각 검사 기판마다 표시된다. 종합 판정 결과 표시 영역 a3에는 지정된 볼 위치의 전 불량수 합계가 검사 항목별로 표시된다. 기능 전환 버튼 표시 영역 a4는 도 5와 동일하다.

도 9는 그래프 표시 화면을 나타내는 도면이다. 이 도 9에 나타내는 그래프 표시 화면은, 도 2의 기능 전환 버튼 표시 영역 a4에서의 그래프 표시 버튼을 도 4의 단계 SP31에서 선택함으로써, 볼 위치마다의 검사 결과를 검사 항목별로 산포도로서 표시한다. 이러한 그래프 표시에 의해, 검사 파라미터로 인가한 임계값에 대하여, 실제의 검사 결과가 어느 정도 허용되는지 혹은 부정되는지를 알 수 있다.

도 9에 있어서, 볼 위치 이미지 영역 a21에는 볼의 나열 위치가 표시되고, 표시 데이터 선택 영역 a22는 그래프 표시를 하기 위해서 필요한 검사 항목 및 표시 데이터의 선택을 한다. 그래프 축 항목의 선택 영역 a23은 그래프 표시하는 X축의 항목인 볼 번호 또는 기판 번호, Y축의 항목인 판정 방법을 지정할 수 있다.

파라미터 변경 기능 영역 a24는 검사 파라미터의 임계값을 변경하고, 색 구분 표시 영역 a25는 횡축이 볼 번호일 때, 볼 위치 이미지 상의 볼이나, 그래프 상의 점의 색 구분 표시를 지정한다. 결과 판정값 일람표 영역 a26은 검사 결과의 판정값을 일람표로서 표시한다. 각종 기능 선택 버튼 영역 a27은 그래프 표시 간격의 설정, CSV 형식의 보존, 화면 이미지의 인쇄를 선택한다. 산포도 그래프 영역 a28은 각 볼 위치마다의 결과 판정값을 기초로 한 그래프 표시를 한다.

단계 SP32에서, 도 9의 색 구분 표시 영역 a25에서 색 구분 표시를 선택하는 것에 의해 도 10에 나타내는 색 구분을 나타내는 화상이 표시된다. 이 색 구분 표시로는, 횡축이 볼 번호일 때에 도 9의 볼 위치 이미지 영역 a21에 표시되는 「볼 위치 이미지」 상의 볼과, 산포도 그래프 영역 a28에 표시되는 「그래프 상의 점」을 색 구분할 수 있다.

이 색 구분은, 각 검사 항목별의 불량수를 색 구분 표시하는 것이며, 예를 들면 브리지는 「황색」, 과다는 「적색」, 과소는 「핑크색」, 이물질은 「녹색」, 엇갈림은 「수색(水色)」, 오픈은 「청색」, 보이드는 「다색(茶色)」으로 표시된다. 이 색 구분 표시에 의해 땜납 볼 위치에 의한 접합 상태의 경향을 확인할 수 있다.

단계 SP33에서, 도 2의 기능 전환 버튼 표시 영역 a4에서의 화상 해석 버튼을 선택하는 것에 의해 도 11에 나타내는 화상 해석 화면이 표시된다. 이 화상 해석 화면은 결과 화상에 대하여 불량 부분 등의 특정 부분을 확대 표시시키거나, 휘도 보정 등의 화질 조정도 가능하게 되어 있다. 검사 결과 화상 영역 a31에는, 검사 결과의 불량 부분을 나타내는 「NG 부분 표시 프레임(실선으로 나타내어져 있음)」와, 결과 일람 표시로 선택되는 「지정 볼 위치 표시 프레임(점선으로 나타내어져 있음)」가 표시된다.

검사 결과 영역 a32에는, 검사 결과가 OK(합격), NG(불합격), NO(판정 불능)으로 표시된다. 쇼트 데이터 영역 a33에는 현재 표시되어 있는 쇼트의 정보가 표시된다. 검사 항목별 불량수 영역 a34에는 각 검사 항목별의 불량수가 색별되어 표시된다. 각종 기능 선택 버튼 영역 a35는 표시 쇼트의 전환, 프레임 표시·비표시, 화상 인쇄의 설정을 한다. 화질 조정 영역 a36은 검사 결과 화상에 대한 화질 조정을 한다. 화질 조정의 항목은, 예를 들면 원화상 표시, 2치화 표시, 밝기 조정 표시, 확대 표시, 의사 3차원 표시, 2차원 그래프 표시가 있으며, 원화상 표시는 각 화질 조정을 한 후에, 본래의 화상으로 되돌리고자 할 때 선택된다.

단계 SP34에서, 화질 조정 영역 a36에서 2치화 표시를 선택하면, 농담(濃淡)이 있는 화상에 대해 소정 임계값을 설정하고, 그것 이상의 밝기인 것을 백색, 그것 이하의 밝기인 것을 흑색의 2색으로 표시한다. 단계 SP35에서 밝기 조정 표시를 선택하면, 화질 조정 영역 a36의 슬라이더 바에 의해서 화질이 조정된다. 단계 SP36에서 확대 표시를 선택하면, 도 12에 도시하는 바와 같이 검사 결과 화상 영역 a31에 표시되어 있는 결과 화상의 특정 부분을 확대하여 표시한다. 즉, 확대시키는 부분 a311을 마우스로 클릭하면, 그 부분 a311이 도 13에 도시하는 바와 같이 확대되어 표시된다. 확대율은 슬라이더 바에 의해서 변경할 수 있다.

단계 SP37에서 의사 3차원 표시를 선택하면, X선의 투과량을 기초로 의사적인 3차원 모델을 생성한다. 즉, 도 14에 도시하는 바와 같이 검사 결과 화상 영역a31에 표시되어 있는 결과 화상에서의 표시 범위 프레임 a312의 왼쪽 위의 시점과 오른쪽 아래의 종점 사이를 마우스 이동시켜, 화질 조정 영역(35) 내의 「열기」 버튼을 클릭함으로써, 그 표시 프레임 내가 도 15에 도시하는 바와 같이 의사 3차원 표시된다.

단계 SP38에서, 2차원 그래프 표시를 선택하면, X선 투과 화상의 단면을 그래프화하여 표시한다. 즉, 도 16에 도시하는 바와 같이 검사 결과 화상 영역 a31에 표시되어 있는 결과 화상에서의 표시 범위 a313으로 되는 직선의 시점과 종점 사이를 마우스 이동시켜, 화질 조정 영역(35) 내의 「열기」 버튼을 클릭함으로써, 그 표시 프레임 범위가 도 17에 도시하는 바와 같이 2차원 그래프 표시된다.

도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 설명했지만, 본 발명은 나타낸 실시예에 한정되는 것이 아니다. 본 발명과 동일한 범위 내에서 또는 균등의 범위 내에서, 나타낸 실시예에 대하여 여러 가지 변경을 가하는 것이 가능하다.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 검사 결과 데이터로부터 각 기판마다 땜납 볼 접속 부분의 합격률, 불합격률, 검사한 대규모 집적 회로의 불량 부분의 경향을 일람 표시하고, 또한 미리 정해진 검사 파라미터 설정 기준값으로부터 합격이라고 판정되는지를 판별하기 위한 그래프를 표시하도록 했기 때문에, 땜납 볼이 적정히 프린트 기판에 납땜되어 있는지의 결과를 집계하는 것이 용이하게 된다.

Claims (8)

1. 대규모 집적 회로를 기판에 납땜했을 때의 구(球) 형상의 땜납 볼을 X선에 의해 검사한 검사 데이터를 집계하는 땜납 볼 위치별 집계 방법으로서,

   상기 검사 결과 데이터로부터 각 기판마다 상기 땜납 볼 접속 부분의 합격률, 불합격률, 검사한 대규모 집적 회로의 불량 부분의 경향을 일람 표시하고, 또한 미리 정해진 검사 파라미터 설정 기준값으로부터 합격이라고 판정되는지를 판별하기 위한 그래프를 표시하는 것을 특징으로 하는 땜납 볼 위치별 검사 데이터 집계 방법.
2. 적어도 땜납 볼의 위치의 이미지 화상과, 땜납 볼 번호와, 불량 판정수 총계와, 지정된 볼 위치의 검사 결과를 각 검사 기판마다 표시하는 집계 일람과, 종합 판정 결과표를 표시하는 표시 영역을 마련하고,

   검사 결과 데이터로부터 전(全) 기판 또는 로트 단위로 전환하여 불량수의 범위를 선택하고,

   상기 땜납 볼 위치의 이미지 상(像) 중 어느 하나를 지정하는 것에 의해, 상기 집계 일람의 커서 위치를 지정된 볼 번호에 대응하는 위치로 이동시키고,

   상기 땜납 볼 번호 표시가 변경된 것에 따라서, 지정된 볼 위치의 검사 결과를 상기 집계 일람에 표시하며,

   상기 지정된 볼 위치의 전(全) 불량수 합계를 검사 항목별로 상기 종합 판정 결과 표시 영역에 표시하는 것

   을 특징으로 하는 땜납 볼 위치별 검사 데이터 집계 방법.
3. 제 2 항에 있어서,

   집계 대상 범위로 지정한 범위의 검사 결과 중 지정된 볼 위치만의 전(全) 불량 판정수를 더 표시하는 것을 특징으로 하는 땜납 볼 위치별 검사 데이터 집계 방법.
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 표시 영역은, 로트 번호와, 기판 번호와, 각 검사 항목마다의 불량 판정수와, 지정한 볼 위치의 불량 판정수의 합계와, 지정된 볼 위치에서 집계 대상 범위로 지정한 검사 기판 매수 중 각 기판마다 불량 판정된 비율과, 지정한 볼 위치에서 각 기판마다의 종합 판정 결과의 합격 여부를 표시하는 것을 특징으로 하는 땜납 볼 위치별 검사 데이터 집계 방법.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 종합 판정 결과의 표시는, 집계 대상 범위로 지정한 기판 매수와, 지정한 볼 위치에서 집계 대상 범위로 지정한 기판 매수분의 불량 판정된 검사 항목별 총계와, 지정한 볼 위치에서 집계 대상 범위로 지정한 기판수 중의 합격수와, 그 합격한 수의 비율과, 불합격수와, 그 불합격된 비율을 표시하는 것을 특징으로 하는 땜납 볼 위치별 검사 데이터 집계 방법.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 그래프 표시는,

   산포도 그래프의 표시 화면과,

   그래프 표시를 위해 필요한 검사 항목 및 표시 데이터의 선택 화면과,

   상기 산포도 그래프의 XY축 항목의 선택 화면과,

   상기 검사 파라미터의 임계값의 변경 화면과,

   상기 검사 결과의 판정값의 일람 표시 화면을 포함하는 것

   을 특징으로 하는 땜납 볼 위치별 검사 데이터 집계 방법.
7. 제 6 항에 있어서,

   또, 화질 조정 화면으로서, 원화상 표시, 2치화 표시, 밝기 조정 표시, 확대 표시, 의사 3차원 표시, 2차원 그래프 표시를 하는 것을 특징으로 하는 땜납 볼 위치별 검사 데이터 집계 방법.
8. 대규모 집적 회로를 기판에 납땜했을 때의 구 형상의 땜납 볼을 X선에 의해 검사한 검사 데이터를 집계하는 땜납 볼 위치별 집계 장치로서,

   상기 검사 데이터를 표시하기 위한 표시 수단과,

   검사한 각 기판마다 상기 땜납 볼 접속 부분의 합격률, 불합격률, 상기 땜납 볼 접속 불량 부분의 경향을 상기 표시 수단에 일람 표시하고, 또한 미리 정해진 검사 파라미터 설정 기준값으로부터 합격이라고 판정되는지를 판별하기 위한 그래프를 표시시키는 제어 수단을 구비한 것

   을 특징으로 하는 땜납 볼 위치별 집계 장치.