KR20040066672A

KR20040066672A - 모터고정장치

Info

Publication number: KR20040066672A
Application number: KR1020030003805A
Authority: KR
Inventors: 고준희
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2003-01-20
Filing date: 2003-01-20
Publication date: 2004-07-27
Also published as: KR100519791B1

Abstract

본 발명은 모터고정장치에 관한 것으로서, 그 중앙부에 모터의 구동축이 관통하도록 제1관통홀이 형성된 제1평판으로 이루어지며, 상기 제1관통홀 주변에 소정의 간격을 두고 형성되되 상기 제1평판의 일면으로부터 소정높이를 유지하도록 형성된 걸림돌기를 갖는 제1모터고정부재; 및 그 중앙부에 상기 제1관통홀과 대응하는 제2관통홀이 형성된 제2평판으로 이루어지며, 상기 제1모터고정부재를 소정 방향 회전시킴에 따라 상기 걸림돌기가 소정의 위치에서 걸리도록 상기 걸림턱이 삽입되는 복수의 삽입부가 마련됨과 아울러 상기 관통홀의 둘레부에 형성되되 상기 제2평판 일면으로부터 소정의 간격을 두고 걸림턱이 형성된 제2모터고정부재를 포함한다.

상술한 구성에 의하여 모터를 걸림돌기가 형성된 제1모터고정부재와, 걸림턱이 형성된 제2모터고정부재를 채용하여 소정의 방향으로 회전 또는 역회전시켜 모터를 분리 또는 결합시키는 구조로 모터를 고정시킴에 따라 체결나사를 통해 체결하는 불필요한 작업을 줄일 수 있는 이점이 있다.

또한, 체결 및 분리작업을 위해 별도의 도구를 사용하지 않고 사람의 손으로만 작업이 가능한 이점이 있다.

또한, 체결나사의 사이즈가 작아 무리한 힘으로 돌릴 경우 체결나사가 파손되거나 분해 후 그 분리된 체결나사를 분실하는 위험성을 해소시키는 이점이 있다.

Description

모터고정장치{MOTOR FIXING DEVICE}

본 발명은 모터 고정장치에 관한 것으로서, 반도체 제조설비 예컨대 노광설비 등의 웨이퍼 반송부 등에 적용되는 소형 모터에 있어 그 모터의 고정구조를 개선하여 손쉽게 고정 및 조립이 가능토록 하는 모터 고정장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조설비들은 웨이퍼를 이송하거나 설비내의 각종 가동체를 움직이기 위해서 다양한 구동장치들이 설치된다.

그 구동장치의 일 예로 노광장치의 웨이퍼 공급부 평판 내에 설치되며, 상기 웨이퍼 공급부는 웨이퍼를 직접 지지하며 운반하는 받침대와, 상기 받침대를 구동시키기 위한 구동부분으로 구분될 수 있다. 그 구동부분은 받침대와, 직접 연결되어 받침대의 움직임을 보조해주는 가이드들과, 각 가이드를 움직이는 모터로 구성된다.

상기 모터는 웨이퍼공급부 몸체와 같은 내부에 지지블록을 통하여 고정되는 것이 일반적이며 그 구성은 도 1과 같다.

도 1에 도시된 바와 같이 웨이퍼 공급부 몸체(100)의 내부에서 모터(50)는 모터지지용 블록(10)을 통해 고정되어 있으며, 모터의 동력축(52)이 커플링(70)을 통해 가이드(60)와 연결되어 있다.

모터지지용 블록(10)은 “ㄱ”자 형태의 꺽쇠이며, 일면이 볼트(54)와 같은 결합수단을 통해 웨이퍼 공급부 몸체(100) 내부에 고정되고, 다른 면에 모터 고정홀(18)이 형성되며, 모터고정홀(18)을 통해 모터(50)가 끼워져 모터가 지지된다.

상기 모터고정홀(18)이 형성된 둘레부에는 체결홀(11)이 형성된 볼트(55)에 의해 모터(50)가 고정된다.

상기와 같은 모터는 최근 소형모터가 많이 장착되는데, 그와 같이 소형으로되다보니 볼트(54,55) 또한 소형으로 제작되어 정비 및 교체 등의 목적으로 볼트(54,55)에 힘을 가해 돌릴 경우 쉽게 파손되거나 드라이버를 삽입하여 회전 시 원활하게 돌지 못하여 그 분해가 어려운 문제점이 발생하였다.

또한, 모터를 분해할 경우 분해된 체결나사가 쉽게 분실되고 그와 같은 상태에서 모터를 고정하니 고정이 허술하게 되어 모터 구동상태에 영향을 끼치는 문제점이 있다.

또한, 그 분해 및 체결작업을 위해서는 반드시 별도의 추가공구인 드라이버를 사용해야만 하는 불편함이 있다.

따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출 된 것으로서, 본 발명의 목적은 모터를 볼트에 의해 고정하는 것을 개선하여 단순히 착탈식으로 구현함에 따라 그 결합 및 분리가 용이하도록 하는 모터고정장치를 제공하는 데 있다.

도 1은 종래의 모터고정장치의 구성을 개략적을 도시한 도면,

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 의한 모터고정장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면,

도 3은 상기 도 2가 결합된 상태의 종단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

200 : 모터고정장치 201 : 모터

201a : 구동축 210 : 제1모터고정부재

211 : 제1관통홀 212 : 제1평판

213 : 걸림돌기 215 : 볼베어어링

230 : 제2모터고정부재 231 : 제2관통홀

232 : 제2평판 233 : 걸림턱

233a : 삽입부 235 : 오목홈

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 그 중앙부에 모터의 구동축이 관통하도록 제1관통홀이 형성된 제1평판으로 이루어지며, 상기 관통홀 주변에 소정의 간격을 두고 형성되되 상기 제1평판의 일면으로부터 소정높이를 유지하도록 형성된 걸림돌기를 갖는 제1모터고정부재; 및 그 중앙부에 상기 제1관통홀과 대응하는 제2관통홀이 형성된 제2평판으로 이루어지며, 상기 제1모터고정부재를 소정 방향 회전시킴에 따라 상기 걸림돌기가 소정의 위치에서 걸리도록 상기 걸림턱이 삽입되는복수의 삽입부가 마련됨과 아울러 상기 관통홀의 둘레부에 형성되되 상기 제2평판 일면으로부터 소정의 간격을 두고 걸림턱이 형성된 제2모터고정부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 걸림돌기의 저면에는 볼베어링이 설치되고; 상기 걸림턱의 저면에는 상기 볼베어링이 삽입되는 오목홈이 형성되어 상기 삽입부를 통해 삽입된 걸림턱이 소정방향 회전되어 소정의 위치에서 고정되도록 구성된다.

상기 제1모터고정부재는 모터에 고정되고; 상기 제2모터고정부재는 상기 모터가 고정될 타측 대상물에 고정된다.

상기 제2모터고정부재는 모터에 고정되고; 상기 제2모터고정부재는 상기 모터가 고정될 타측 대상물에 고정된다.

이하, 첨부된 도면 도 2 내지 도 3을 참조로 하여 본 발명의 일 실시 예에 의한 구성 및 작용에 대해서 설명한다.

상기 도면에 도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시 예에 의한 모터고정장치(200)는 크게 제1모터고정부재(210)와, 제2모터고정부재(230)가 한 쌍을 이루도록 구성된다.

상기 제1모터고정부재(210)는 그 중앙부에 모터(201)의 구동축(201a)이 관통하도록 제1관통홀(211)이 형성된 제1평판(212)으로 이루어지며, 상기 제1관통홀(211) 주변에 소정의 간격을 두고 형성되되 상기 제1평판(212)의 일면으로부터 소정의 간격(D₁)를 유지하여 복수의 걸림돌기(213)가 형성된다.

다음, 상기 제2모터고정부재(230)는 그 중앙부에 상기 제1관통홀(211)과 대응하는 제2관통홀(231)이 형성된 제2평판(232)으로 이루어지며, 상기 제1모터고정부재(210)를 소정 방향 회전시킴에 따라 상기 걸림돌기(213)가 소정의 위치에서 걸리도록 걸림돌기(213)가 삽입되는 복수의 삽입부(233a)가 마련됨과 아울러 상기 제2관통홀(231)의 둘레부에 형성되되 상기 제2평판(212)의 일면으로부터 소정의 간격(D₂)을 두고 걸림턱(233)이 형성된 것이다.

다음, 상기 걸림턱(233)의 저면에는 볼베어링(215)이 설치되고, 상기 걸림턱(213)의 저면에는 상기 볼베어링(215)이 삽입되는 오목홈(235)이 형성되어 상기 걸림돌기(213)가 걸림턱(233)의 삽입부(233a)를 통해 삽입된 후 소정방향 회전되면, 상기 볼베어링(215)이 상기 오목홈(235)에 삽입되어 걸리도록 하여 상기 제1고정부재(210)를 제2고정부재(230)에 고정시키도록 구성된다.

상기 볼베어링(215)을 채용함은 상기 제1고정부재(210)를 회전시킬 때 회전이 자유롭게 하도록 하기 위함이다.

도면에서 미설명부호(241)는 모터(201)를 상기 제1모터고정부재(210)의 제1평판(211)에 형성된 체결홀(211a)를 통해 상기 모터(201)를 결합시키는 체결나사를 나타낸다.

다음 미설명부호(250)는 상기 제2모터고정부재(230)를 고정시키기 위한 타측 대상물(예컨대 웨이퍼 공급 몸체)을 나타내는 것으로서, 체결나사(243)를 매개로 상기 타측대상물(250)에 상기 제2모터고정부재(230)가 결합된다.

상기 도면에서 모터(201)가 제1모터고정부재(210)에 결합되고, 제2고정부재(230)가 타측 대상물에 결합된 것으로 도시하였으나, 그 결합위치를 변경하여 사용할 수 있다.

이때, 상기 모터(210)와 결합되는 평판은 상기 모터(201)의 접촉면과 대응된 형상인 원형으로 제작함이 바람직 할 것이다.

다음은 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 일 실시 예에 의한 모터고정장치의 결합 및 분리동작에 대해서 자세히 설명한다.

먼저, 모터(201)를 고정하고자 할 경우에는 체결나사(214)를 통해 모터(210)를 제1모터고정부재(210)의 제1평판(212)일면에 결합시킨다.

다음, 제2모터고정부재(230)의 제2평판(232) 일면을 타측고정설비(250 : 예컨대 웨이퍼 공급부 몸체)에 접촉시켜 체결나사(243)를 통해 결합한다.

그후, 상기 제1모터고정부재(210)의 걸림돌기(213)를 상기 제2모터고정부재(230)의 삽입부(233a)의 위치에 위치시켜 삽입시킨 후 시계방향 또는 그 반대방향으로 회전시킨다.

이때, 상기 걸림돌기(213)의 저면에 설치된 볼베어링(211a)은 상기 걸림턱(233)의 저면과 접촉되어 구름운동을 하다가 상기 걸림턱(233)의 저면에 형성된 오목홈(235)의 위치에 오면 끼워져서 더 이상 회전이 되지 않게 되어 제1모터고정부재(210)를 제2모터고정부재(230)에 결합시켜 모터(201) 결합작업을 완료한다.

다음, 모터(201)의 수명이 다하여 교체를 하거나, 또는 정비를 요할 경우 상술한 결합 동작의 역순에 의해 제1모터고정부재(210)를 회전시켜 분리하면 된다.

상술한 바와 같이 모터를 걸림돌기가 형성된 제1모터고정부재와, 걸림턱이 형성된 제2모터고정부재를 채용하여 소정의 방향으로 회전 또는 역회전시켜 모터를 분리 또는 결합시키는 구조로 모터를 고정시킴에 따라 체결나사를 통해 체결하는 불필요한 작업을 줄일 수 있는 이점이 있다.

이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims

그 중앙부에 모터의 구동축이 관통하도록 제1관통홀이 형성된 제1평판으로 이루어지며, 상기 관통홀 주변에 소정의 간격을 두고 형성되되 상기 제1평판의 일면으로부터 소정높이를 유지하도록 형성된 걸림돌기를 갖는 제1모터고정부재; 및

그 중앙부에 상기 제1관통홀과 대응하는 제2관통홀이 형성된 제2평판로 이루어지며, 상기 제1모터고정부재를 소정 방향 회전시킴에 따라 상기 걸림돌기가 소정의 위치에서 걸리도록 상기 걸림턱이 삽입되는 복수의 삽입부가 마련됨과 아울러 상기 관통홀의 둘레부에 형성되되 상기 제2평판 일면으로부터 소정의 간격을 두고 걸림턱이 형성된 제2모터고정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 모터고정장치.
제 1항에 있어서,

상기 걸림돌기의 저면에는 볼베어링이 설치되고;

상기 걸림턱의 저면에는 상기 볼베어링이 삽입되는 오목홈이 형성되어 상기 삽입부를 통해 삽입된 걸림턱이 소정방향 회전되어 소정의 위치에서 고정되도록 구성된 것을 특징으로 하는 모터고정장치.
제 1항에 있어서,

상기 제1모터고정부재는 모터에 고정되고;

상기 제2모터고정부재는 상기 모터가 고정될 타측 대상물에 고정되는 것을특징으로 하는 모터고정장치.
제 1항에 있어서,

상기 제2모터고정부재는 모터에 고정되고;

상기 제2모터고정부재는 상기 모터가 고정될 타측 대상물에 고정되는 것을 특징으로 하는 모터고정장치.