KR20040062569A - 펄스 샷 타입 유량 조정 장치 및 펄스 샷 타입 유량 조정방법 - Google Patents
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Description
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- 가스원에 접속된 제1 차단 밸브와, 상기 제1 차단 밸브에 접속된 제2 차단 밸브와, 상기 제1 차단 밸브와 상기 제2 차단 밸브의 사이의 가스 충진 용적과, 상기 가스 충진 용적의 압력을 계측하는 압력 센서,를 가지는 펄스 샷 타입 유량 조정 장치로서,상기 제1 차단 밸브의 개폐 동작을 행한 후 상기 제2 차단 밸브의 개폐를 행하는 펄스 샷을 반복하고, 상기 압력 센서에서 계측된 상기 가스 충진 용적의 충진 후 압력·배출 후 압력에 기초하여, 상기 제2 차단 밸브로부터 배출되는 가스의 체적 유량을 산출하는 한편,상기 펄스 샷의 태양을 변화시키는 것에 의해, 상기 제2 차단 밸브로부터 배출되는 가스의 체적 유량을 조정하는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 펄스 샷마다 상기 제2 차단 밸브로부터 배출되는 가스의 체적을 산출하여 계산하는 것에 의해, 상기 제2 차단 밸브로부터 배출되는 가스의 체적 유량을 산출하는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 펄스 샷을 반복하여 행하는 소정 주기에 기초하여, 상기 제2 차단 밸브로부터 배출되는 가스의 체적 유량을 산출하는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 펄스 샷을 반복하여 행하는 소정 주기를 변화시키는 것에 의해, 상기 펄스 샷의 태양을 변화시키는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 장치.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 차단 밸브 또는 상기 제2차단 밸브의 열림 동작 지속 시간을 변화시키는 것에 의해, 상기 펄스 샷의 태양을 변화시키는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 장치.
- 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가스 충진 용적의 온도를 계측하는 온도 센서를 더 포함하고,상기 온도 센서에서 계측된 상기 가스 충진 용적의 온도에도 기초하여, 상기 제2 차단 밸브로부터 배출되는 가스의 체적 유량을 산출하는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 장치.
- 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 차단 밸브의 개폐 동작을 행한 후 상기 제2 차단 밸브의 개폐 동작을 행할 때까지의 사이(충진시)의 단열 변화에 따른 압력 변화의 변화율에 기초하여 충진 후의 열평형 상태의 충진 후 추정 압력을 추정하고, 상기 충진 후 추정 압력을 상기 충진 후 압력으로서 이용하고,상기 제2 차단 밸브의 개폐 동작을 행한 후 상기 제1 차단 밸브의 개폐 동작을 행할 때까지의 사이(배출시)의 단열 변화에 따른 압력 변화의 변화율에 기초하여 배출 후의 열평형 상태의 배출 후 추정 압력을 추정하고, 상기 배출 후 추정 압력을 상기 배출 후 압력으로서 이용하는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 장치.
- 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 차단 밸브는, 상기 압력 센서에서 계측되는 상기 가스 충진 용적의 압력이 소정값 이상이 되는 경우에는 닫히도록 하는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 장치.
- 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,반도체 제작 장치에서 사용되는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 장치.
- 가스원에 접속된 제1 차단 밸브와, 상기 제1 차단 밸브에 접속된 제2 차단밸브와, 상기 제1 차단 밸브와 상기 제2 차단 밸브의 사이의 가스 충진 용적과, 상기 가스 충진 용적의 압력을 계측하는 압력 센서,를 구비하는 펄스 샷 타입 유량 조정 방법으로서,상기 제1 차단 밸브의 개폐 동작을 행한 후 상기 제2 차단 밸브의 개폐를 행하는 펄스 샷을 반복하고, 상기 압력 센서에서 계측된 상기 가스 충진 용적의 충진 후 압력·배출 후 압력에 기초하여, 상기 제2 차단 밸브로부터 배출되는 가스의 체적 유량을 산출하는 한편,상기 펄스 샷의 태양을 변화시키는 것에 의해, 상기 제2 차단 밸브로부터 배출되는 가스의 체적 유량을 조정하는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 펄스 샷마다 상기 제2 차단 밸브로부터 배출되는 가스의 체적을 산출하여 계산하는 것에 의해, 상기 제2 차단 밸브로부터 배출되는 가스의 체적 유량을 산출하는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 방법.
- 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 펄스 샷을 반복하여 행하는 소정 주기에 기초하고, 상기 제2 차단 밸브로부터 배출되는 가스의 체적 유량을 산출하는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 방법.
- 제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 펄스 샷을 반복하여 행하는 소정 주기를 변화시키는 것에 의해, 상기 펄스 샷의 태양을 변화시키는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 방법.
- 제 10 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 차단 밸브 또는 상기 제2 차단 밸브의 열림 동작 지속 시간을 변화시키는 것에 의해, 상기 펄스 샷의 태양을 변화시키는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 방법.
- 제 10 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가스 충진 용적의 온도를 계측하는 온도 센서를 더 포함하고,상기 온도 센서에서 계측된 상기 가스 충진 용적의 온도에도 기초하여, 상기 제2 차단 밸브로부터 배출되는 가스의 체적 유량을 산출하는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 방법.
- 제 10 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 차단 밸브의 개폐 동작을 행한 후 상기 제2 차단 밸브의 개폐 동작을 행할 때까지의 사이(충진시)의 단열 변화에 따른 압력 변화의 변화율에 기초하여 충진 후의 열평형 상태의 충진 후 추정 압력을 추정하고, 상기 충진 후 추정 압력을 상기 충진 후 압력으로서 이용하고,상기 제2 차단 밸브의 개폐 동작을 행한 후 상기 제1 차단 밸브의 개폐 동작을 행할 때까지의 사이(배출시)의 단열 변화에 따른 압력 변화의 변화율에 기초하여 배출 후의 열평형 상태의 배출 후 추정 압력을 추정하고, 상기 배출 후 추정 압력을 상기 배출 후 압력으로서 이용하는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 방법.
- 제 10 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 차단 밸브를, 상기 압력 센서에서 계측되는 상기 가스 충진 용적의 압력이 소정값 이상이 되는 경우에는 닫히도록 하는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 방법.
- 제 10 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,반도체 제작 장치에서 사용되는 것을 특징으로 하는 펄스 샷 타입 유량 조정 방법.
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