KR20070031445A - 유동 측정 그리고 질량 유동 제어기의 검증을 위한 방법 및시스템 - Google Patents

유동 측정 그리고 질량 유동 제어기의 검증을 위한 방법 및시스템 Download PDF

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스튜어트 에이. 티슨
샌딥 수쿠마란
제임스 바커
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셀레리티 인크.
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Abstract

유동 확인 그리고 질량 유동 제어기의 검증을 위한 시스템 및 방법이 개시되어 있다. 질량 유동 제어기가 특정된 유동에 대해 명령될 수 있으며, 유동 측정이 시작될 수 있다. 간격 동안에, 가스가 제1 체적 내에 축적되며, 측정이 이러한 체적 내에서 수행된다. 그 간격 동안에 수행된 다양한 측정 결과는 그 다음에 유동 속도를 계산하는 데 사용될 수 있다. 유동 속도는 나중에 설정치에 대한 질량 유동 제어기의 정확도를 결정하는 데 사용될 수 있다.
유동 제어기를 통한 유동의 측정 방법, 제1 데이터의 수집 단계, 제2 데이터의 수집 단계, 제1 체적의 결정 단계, 유동의 계산 단계

Description

유동 측정 그리고 질량 유동 제어기의 검증을 위한 방법 및 시스템{METHOD AND SYSTEM FOR FLOW MEASUREMENT AND VALIDATION OF A MASS FLOW CONTROLLER}
[관련 출원 및 특허]
본원은 발명의 명칭이 "유동 측정 그리고 질량 유동 제어기의 검증을 위한 방법 및 시스템(Method and System for Flow Measurement and Validation of a Mass Flow Controller)"이고 2004년 7월 9일자로 티슨 스튜어트 에이., 수쿠마란 샌딥 및 바커 제임스에 의해 출원된 미국 특허 출원 제10/887,591호; 그리고 발명의 명칭이 "유동 측정 그리고 질량 유동 제어기의 검증을 위한 방법 및 시스템(Method and System for Flow Measurement and Validation of a Mass Flow Controller)"이고 2004년 9월 21일자로 티슨 스튜어트 에이., 수쿠마란 샌딥 및 바커 제임스에 의해 출원된 미국 특허 출원 제10/946,031호에 대한 우선권의 이익을 향유한다.
본 발명은 일반적으로 질량 유동 제어기의 성능을 검증하는 방법 및 시스템에 관한 것으로, 특히 상승률 유동 표준(rate of rise flow standard)을 사용하여 질량 유동 제어기의 성능을 검증하는 방법 및 시스템에 관한 것이다.
현대의 제조 공정은 종종 특정한 제조 시기 동안에 화학 원소의 정밀한 화학 양론비(stoichiometric ratio)를 요구한다. 이러한 정밀한 비율을 성취하기 위해, 상이한 공정 가스가 어떤 제조 시기 동안에 공정 챔버 내로 분배된다. 가스 패널(gas panel)이 1개 이상의 챔버 또는 반응기를 갖는 공정 수단(process tool)으로 이들 공정 가스를 분배하는 데 사용될 수 있다. 가스 패널은 공정 수단으로 공정 가스를 분배하는 데 전적으로 사용되는 1개 이상의 가스 팔레트(gas pallet)를 포함하는 포위체(enclosure)이다. 가스 패널은 이제 가스 팔레트의 그룹으로 구성되며, 가스 팔레트는 그 자체가 가스 스틱(gas stick)의 그룹으로 구성된다.
가스 스틱 조립체는 입구 끼움부, 수동 차단 밸브, 2진 제어식 공압 차단 밸브, 가스 필터, 압력 조절기, 압력 변환기, 인라인 압력 디스플레이, 질량 유동 제어기 및 출구 끼움부 등의 여러 개의 개별 구성 요소를 포함할 수 있다. 각각의 이들 구성 요소는 하나의 특정한 공정 가스를 위한 공통 유동 경로 또는 전용 채널에 직렬로 커플링된다. 매니폴드 및 밸브 매트릭스(manifold and valve matrix)가 공정 챔버로의 각각의 가스 스틱의 출구의 채널을 형성한다.
어떤 화학양론비를 성취하기 위해, 공정 수단 제어기가 질량 유동 제어기에 대해 설정치를 가정하고, 어떤 가스 스틱과 관련된 밸브 매트릭스를 배열한다. 표시된 유동 수치는 각각의 가스 스틱의 질량 유동 제어기에 의해 출력되고, 공정 수단 제어기에 의해 감시된다.
질량 유동 제어기(MFC: mass flow controller)는 제어 시스템에 유동 센서 및 비례 제어 밸브(flow sensor and proportioning valve)를 인터페이스 연결함으로써 구성된다. 유동 센서는 아날로그 대 디지털 변환기에 의해 제어 시스템에 커 플링된다. 제어 밸브는 전류 제어식 솔레노이드 밸브 구동 회로에 의해 구동된다. 질량 유동 측정 시스템이 제어 밸브의 상류에 위치된다. 제어 시스템은 제어 밸브 입력 그리고 표시된 유동 출력을 재생하면서 설정치 입력 및 유동 센서 출력을 감시한다. 매몰형 제어 시스템에 의해 실행되는 폐쇄형 루프 제어 알고리즘이 비례 제어 밸브를 통한 입구 끼움부 그리고 출구 끼움부에서 공급되는 공정 가스의 질량 유동을 조절하도록 동작하며 그 결과 설정치 입력과 표시된 유동 출력 사이의 실시간 차이 또는 오차는 최소의 오버슈트(overshoot)로써 가능한 한 신속하게 그리고 가능한 한 작은 제어 시간 내에 영(zero or null)에 접근한다.
500종을 초과하는 가스가 어떤 전자 부품의 제조에서 사용될 수 있으므로, 각각의 질량 유동 제어기의 동작은 중요하다. 전형적으로, 이들 질량 유동 제어기는 공정 챔버 자체를 사용하여 검증된다. 도1은 공정 챔버(130)가 유동 확인 수단으로서 사용되는 하나의 이러한 종래 기술의 시스템을 도시하고 있다. 질량 유동 제어기(120)를 확인하기 위해, 나중에 공정 챔버(130)로 가스를 유동시키기 시작하는 설정치 신호가 질량 유동 제어기(120)로 입력된다. 공정 챔버(130)의 체적은 알려져 있으므로, 상승률로서 알려진 1차 유동 측정 기술이 그 체적 내로의 유동을 측정하는 데 이용될 수 있다. 이러한 방법은 고정된 체적 내에서의 압력 그리고 그 체적 내로의 유동(질량 유동) 사이의 관계를 유도하기 위해 질량 보존의 법칙 그리고 기체 상태 방정식을 이용한다. 방정식은 다음과 같이 주어진다:
Figure 112007011751219-PCT00001
방정식 (1)
여기에서 ΔP는 간격(Δt) 중의 압력 변화이며, R은 일반 기체 상수이며, T는 기체의 절대 온도이며, V는 측정 챔버의 체적이다. 방정식 (1)은 상태 방정식으로서 이상 기체 방정식을 이용하며; 유사한 방정식이 다른 상태 방정식에 대해 유도될 수 있다.
불행하게도, 20 내지 60 ℓ 정도일 수 있는 전형적인 공정 챔버(130)의 체적은 작은 유동의 측정이 비정상적으로 시간을 소모하게 한다. 추가로, 공정 챔버(130)는 그 체적의 전체를 통해 큰 온도 구배를 나타낼 수 있고, 그에 의해 공정 챔버(130) 내로의 질량 유동의 측정 및 계산의 양쪽 모두를 왜곡시킨다.
도2는 20 내지 60 ℓ의 전형적인 공정 챔버(130)를 사용하여 일부의 전형적인 유동 속도에 대해 주어진 압력 변화를 성취하기 위해 요구되는 시간을 도시하고 있다. 많은 다른 제약으로 인해, 0.1 Torr의 최소 압력이 측정을 개시시키기 위해 요구될 수 있으며, 0.3 Torr의 최소 축적 압력이 측정을 수행하기 위해 요구될 수 있다. 결과적으로, 단일의 유동을 수행하기 위해, 2 sccm 유동의 지점 검증이 5분까지 요구할 수 있으며, 질량 유동 제어기의 확인이 그 다음에 30분 정도로 길게 소요시킬 수 있다. 이러한 긴 검증 사이클은 수단 활용성을 감소시키고, 사용자에게 비용을 추가시킨다.
측정의 지연에 추가하여, 측정의 정확도는 전형적으로 눈금의 +/- 5%보다 양호하지 않다. 1차 기여 오차는 온도의 오차, 챔버 체적의 오차 그리고 가스에 대해 고려되지 않은 오차(흡착 또는 탈착)이다.
질량 유동 제어기(120)를 검증하는 다른 방법은 유동을 측정하기 위해 공정 챔버(130)에 평행하게 된 2차 체적을 이용할 수 있다. 그러나, 이들 방법은 질량 유동 제어기(120)의 과도(비정상-상태) 성능의 측정을 가능케 하지 않으며, 질량 유동 제어기(120)의 상류에서의 체적을 결정하기 위해 요구되는 많은 단계는 이러한 기술이 기존의 시스템으로 통합되는 것을 어렵게 하고, 검증을 위한 기존의 긴 시간 요건을 악화시킬 수 있다.
이와 같이, 동적 성능을 신속하게 측정하여 질량 유동 제어기를 검증할 수 있고 동시에 측정 불확실성을 감소시킴으로써 검증 공정의 정확도를 개선시키는 질량 유동 제어기를 검증하는 시스템 및 방법에 대한 필요가 있다.
유동 확인 그리고 질량 유동 제어기의 검증을 위한 시스템 및 방법이 개시되어 있다. 이들 시스템 및 방법은 질량 유동 제어기의 동적 성능을 측정할 수 있고, 하나의 단계에서 유동 확인 및 측정을 수행할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 2개의 체적이 측정 순서 동안에 총 체적을 정확하게 결정하고 잘못된 유동 조건을 최소화시키고 압력 과도 현상에 대한 감도를 감소시키기 위해 연계하여 사용될 수 있다. 질량 유동 제어기가 측정 시스템에 커플링될 수 있다. 질량 유동 제어기는 특정된 유동에 대해 명령될 수 있으며, 시스템은 유동 측정을 시작할 수 있다. 가스가 질량 유동 제어기와 측정 시스템 사이의 체적 내에 축적되며, 압력이 이러한 체적 내에서 측정된다. 가스가 그 다음에 알려진 체적 내로 유동할 수 있으며, 압력이 측정될 수 있다. 2개의 간격 동안에 수행된 다양한 측정 결과는 그 다음에 질량 유동 제어기와 측정 시스템 사이의 체적 그리고 유동 속도를 계산하는 데 사용될 수 있다. 유동 속도는 나중에 설정치에 대한 질량 유동 제어기의 정확도를 결정하는 데 사용될 수 있다.
일 실시예에서, 제1 체적과 관련된 제1 데이터가 제1 간격 동안에 수집되며, 제2 체적과 관련된 제2 데이터가 제2 간격 동안에 수집되며, 제1 체적이 결정되며, 유동이 계산된다.
또 다른 실시예에서, 제1 체적은 제1 데이터 및 제2 데이터를 기초로 하여 제1 체적을 계산하는 단계를 포함한다.
또 다른 실시예에서, 제1 데이터는 제1 간격 중의 압력 변화를 포함하며, 제2 데이터는 제2 간격 중의 압력 변화를 포함한다.
또 다른 실시예에서, 제1 체적은 입력을 수용함으로써 결정된다.
또 다른 실시예에서, 유동 제어기를 통해 유동을 측정하는 시스템이 질량 유동 제어기의 하류에서 질량 유동 제어기에 커플링되며, 시스템은 챔버와, 챔버의 상류에서 챔버에 커플링되는 제1 밸브와, 챔버의 하류에서 챔버에 커플링되는 제2 밸브와, 제1 밸브의 상류에서 챔버에 커플링되는 압력 센서를 포함한다.
또 다른 실시예에서, 시스템은 제1 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제1 데이터를 수집하도록 그리고 제2 간격 동안에 제2 체적과 관련된 제2 데이터를 수집하도록 동작 가능하다.
일부의 실시예에서, 제2 데이터는 제1 데이터가 수집되기 전에 수집된다.
일부의 실시예에서, 제1 데이터는 제2 데이터가 수집되기 전에 수집된다.
또 다른 실시예에 따르면, 초킹 오리피스가 그 상류에서의 체적의 기하 형상 또는 압력과 무관하게 유동 속도를 정확하게 결정하기 위해 체적과 연계하여 사용될 수 있다. 추가로, 오차 곡선이 초킹 오리피스를 사용하여 결정되는 오차 지점을 이용하여 유도 및 근사화될 수 있다. 후속적으로, 유동이 초킹 오리피스의 사용 없이 계산될 수 있고, 유도 및 근사화된 오차 곡선을 기초로 하여 조정될 수 있다. 질량 유동 제어기가 측정 시스템에 커플링될 수 있다. 질량 유동 제어기는 특정된 유동에 대해 명령될 수 있으며, 시스템은 유동 측정을 시작할 수 있다. 이러한 간격 동안에 수행된 다양한 측정 결과는 그 다음에 유동 속도를 계산하는 데 사용될 수 있다. 유동 속도는 나중에 설정치에 대한 질량 유동 제어기의 정확도를 결정하는 데 사용될 수 있다.
일 실시예에서, 제1 체적과 관련된 제1 데이터가 제1 간격 동안에 수집되며, 제1 유동이 그 다음에 오차 곡선을 기초로 하여 계산 및 조정된다.
또 다른 실시예에서, 오차 곡선은 한 세트의 결정된 오차 지점을 포함한 한 세트의 오차 지점에 유도된 오차 곡선을 근사화시킴으로써 결정되며, 각각의 결정된 오차 지점은 제1 설정치에서 제2 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제2 데이터를 수집하며, 초킹 오리피스가 개방 위치에 있는, 단계와; 제2 데이터를 기초로 하여 제2 유동을 계산하는 단계와; 제1 설정치에서 제3 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제3 데이터를 수집하며, 초킹 오리피스가 초킹 위치에 있는, 단계와; 제3 데이터를 기초로 하여 제3 유동을 계산하는 단계와; 제3 유동과 제2 유동을 비교하는 단계에 의해 결정된다.
다른 실시예에서, 초킹 오리피스는 초킹 위치에서 압력 구배를 생성시키도록 동작 가능하며, 초킹 오리피스의 상류에서의 압력은 초킹 오리피스의 하류에서의 압력의 대략 2배이다.
또 다른 실시예에서, 초킹 오리피스는 제1 설정치가 적어도 500 sccm일 때 압력 구배를 생성시키도록 동작 가능하다.
또 다른 실시예에서, 각각의 세트의 결정된 오차 지점은 제1 설정치가 적어도 500 sccm인 경우에서의 오차를 표현한다.
또 다른 실시예에서, 한 세트의 오차 지점은 한 세트의 관찰된 오차 지점을 포함하며, 각각의 관찰된 오차 지점은 제2 설정치에서 제4 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제4 데이터를 수집하는 단계와, 제4 데이터를 기초로 하여 제4 유동을 계산하는 단계에 의해 결정된다.
또 다른 실시예에서, 오차 곡선은 가스의 종류를 기초로 하여 조정된다.
일 실시예에서, 시스템이 질량 유동 제어기의 하류에서 질량 유동 제어기에 커플링되며, 시스템은 챔버와, 챔버의 상류에서 챔버에 커플링되는 제1 밸브와, 챔버의 하류에서 챔버에 커플링되는 압력 센서와, 압력 센서의 상류에서 챔버에 커플링되는 초킹 오리피스를 포함한다.
특정한 실시예에서, 시스템은 제1 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제1 데이터를 수집하도록 그리고 제1 유동을 계산하도록 동작 가능하다.
본 발명의 이들 및 다른 태양은 다음의 설명 및 첨부 도면과 연계하여 고려될 때 더 양호하게 이해될 것이다. 다음의 설명은 본 발명의 다양한 실시예 그리고 그 많은 특정한 세부 사항을 나타내지만 비제한적인 의미의 설명을 위해 주어진다. 많은 치환, 변형, 추가 또는 재배열이 본 발명의 범주 내에서 수행될 수 있으며, 본 발명은 모든 이러한 치환, 변형, 추가 또는 재배열을 포함한다.
명세서에 첨부되어 그 일부를 형성하는 도면은 본 발명의 어떤 태양을 도시하기 위해 포함된다. 본 발명 그리고 본 발명이 제공되는 시스템의 구성 요소 및 동작의 더 분명한 영향 관계가 도면에 도시된 전형적인 의미 따라서 비제한적인 의미의 실시예를 참조함으로써 더 용이하게 명백해질 것이며, 도면에서 동일한 도면 부호는 동일한 구성 요소를 지정한다. 도면에 도시된 특징부들은 반드시 일정한 비례로 그려질 필요는 없다는 것을 주목하여야 한다.
도1은 공정 챔버를 사용하여 질량 유동 제어기를 검증하는 종래 기술의 시스템의 도면을 포함한다.
도2는 유동 확인 공정에서 공정 챔버를 이용할 때 일부의 전형적인 유동 속도에 대한 압력 변화를 성취하기 위해 요구되는 시간의 그래프를 포함한다.
도3은 질량 유동 제어기의 검증을 위한 시스템의 일 실시예의 블록도를 포함한다.
도4는 도시된 방법의 일 실시예를 이용한 시간의 함수로서의 압력의 그래프를 포함한다.
도5 내지 도8은 유동 확인을 수행하거나 질량 유동 제어기의 동작을 검증하는 방법의 다양한 실시예를 도시하는 흐름도를 포함한다.
도9는 질량 유동 제어기의 검증을 위한 시스템의 일 실시예의 블록도를 포함 한다.
도10은 질량 유동 제어기와 도9에 도시된 것과 같은 시스템 사이의 경로의 기하 형상의 일 실시예의 블록도를 포함한다.
도11은 질량 유동 제어기와 도9에 도시된 것과 같은 시스템 사이의 경로의 기하 형상의 일 실시예의 블록도를 포함한다.
도12는 도9에 도시된 시스템을 사용하여 유동 확인을 수행하거나 질량 유동 제어기의 동작을 검증하는 방법의 일 실시예를 도시하는 흐름도를 포함한다.
본원은 발명의 명칭이 "디지털 질량 유동 제어기의 시스템 및 동작 방법(System and Method of Operation of a Digital Mass Flow Controller)"이고 2002년 2월 5일자로 틴슬리 등에게 허여된 미국 특허 제6,343,617호; 발명의 명칭이 "디지털 질량 유동 제어기의 시스템 및 동작 방법(System and Method of Operation of a Digital Mass Flow Controller)"이고 2003년 11월 4일자로 틴슬리 등에게 허여된 미국 특허 제6,640,822호; 발명의 명칭이 "디지털 질량 유동 제어기의 시스템 및 동작 방법(System and Method of Operation of a Digital Mass Flow Controller)"이고 2004년 1월 27일자로 틴슬리 등에게 허여된 미국 특허 제6,681,787호; 발명의 명칭이 "디지털 질량 유동 제어기를 위한 시스템 및 방법(System and Method for Operation of a Digital Mass Flow Controller)"이고 2002년 5월 14일자로 바이어즈에게 허여된 미국 특허 제6,389,364호; 발명의 명칭이 "디지털 질량 유동 제어기를 위한 시스템 및 방법(System and Method for Operation of a Digital Mass Flow Controller)"이고 2004년 3월 30일자로 바이어즈에게 허여된 미국 특허 제6,714,878호; "가변 이득 비례-적분(PI) 제어기를 위한 시스템 및 방법(System and Method for Variable Gain Proportional-Integral Controller)"이고 2002년 9월 3일자로 바이어즈에게 허여된 미국 특허 제6,645,980호; 발명의 명칭이 "센서 응답 선형화를 위한 시스템 및 방법(System and Method for Sensor Response Linearization)"이고 2002년 9월 10일자로 타리크 등에게 허여된 미국 특허 제6,449,571호; 발명의 명칭이 "질량 유동 센서 인터페이스 회로(Mass Flow Sensor Interface Circuit)"이고 2003년 6월 10일자로 라센 등에게 허여된 미국 특허 제6,575,027호; 발명의 명칭이 "유동 제어기, 유동 제어기의 부품 그리고 관련된 방법(Flow Controller, Parts of Flow Controller, and Related Method)"이고 1999년 5월 11일자로 머드 등에게 허여된 미국 특허 제5,901,741호; 발명의 명칭이 "유동 제어기, 유동 제어기의 부품 그리고 관련된 방법(Flow Controller, Parts of Flow Controller, and Related Method)"이고 1998년 12월 22일자로 머드 등에게 허여된 미국 특허 제5,850,850호; 그리고 발명의 명칭이 "유동 제어기를 제조하는 방법(Method of Making a Flow Controller)"이고 1998년 6월 16일자로 머드 등에게 허여된 미국 특허 제5,765,283호와 관련된다. 이 문단 내에서 인용된 모든 특허 및 출원은 참조로 여기에 완전히 합체되어 있다.
본 발명 그리고 그 다양한 특징 및 유리한 세부 사항은 첨부 도면에 도시되고 다음의 설명에서 상술되는 비제한적인 의미의 실시예를 참조하여 더 완전히 설명된다. 주지된 출발 재료, 처리 기술, 구성 요소 및 장비의 설명은 본 발명의 세 부 사항을 불필요하게 모호하게 하지 않도록 생략된다. 그러나, 상세한 설명 및 특정한 예는 본 발명의 양호한 실시예를 나타내지만 단지 비제한적인 의미의 설명으로서 주어진다는 것이 이해되어야 한다. 이 명세서를 읽은 후, 첨부된 청구의 범위로부터 벗어나지 않는 다양한 치환, 변형, 추가 및 재배열이 이러한 개시 내용으로부터 당업자에게 명백해질 것이다.
이제, 유동 확인을 위한 그리고 질량 유동 제어기의 동적 성능을 측정할 수 있는 질량 유동 제어기의 검증을 위한 시스템 및 방법으로 주의가 향해진다. 이들 시스템 및 방법의 실시예는 그 정상 상태 거동에 추가하여 유동 제어기의 과도 유동 거동의 포착을 가능케 하고, 적어도 50 ms의 업데이트 속도로써 유동을 계산하도록 동작 가능할 수 있다. 이와 같이, 이 측정 시스템 및 방법은 질량 유동 제어기 오버슈트, 안정화 시간, 응답 시간, 언급된 변수의 반복성을 측정할 수 있고, 동적 유동 조건 하에서 체적의 정량 측정을 수행하는 것이 가능하고, 1차 체적 교정을 위해 사용될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 2개의 체적이 측정 순서 동안에 총 체적을 정확하게 결정하고 잘못된 유동 조건을 최소화시키고 압력 과도 현상에 대한 감도를 감소시키기 위해 연계하여 사용될 수 있다. 질량 유동 제어기가 측정 시스템에 커플링될 수 있다. 질량 유동 제어기는 특정된 유동에 대해 명령될 수 있으며, 시스템은 유동 측정을 시작할 수 있다. 가스가 질량 유동 제어기와 측정 시스템 사이의 체적 내에 축적될 수 있으며, 압력이 이러한 체적 내에서 측정될 수 있다. 가스가 그 다음에 알려진 체적 내로 유동할 수 있으며, 압력이 측정될 수 있다. 2개의 간격 동안에 수행된 다양한 측정 결과는 그 다음에 질량 유동 제어기와 측정 시스템 사이의 체적 그리고 유동 속도를 계산하는 데 사용될 수 있으며, 유동 속도는 나중에 설정치에 대한 질량 유동 제어기의 정확도를 결정하는 데 사용될 수 있다. 마찬가지로, 이들 시스템 및 방법은 또한 질량 유동 제어기 내의 밸브를 통한 누설의 시험을 가능케 할 수 있다. 질량 유동 제어기로 0의 유동 속도를 신호함으로써, 검출된 압력 변화가 이들 밸브를 통한 누설로 귀착될 수 있다.
이들 시스템 및 방법은 방정식 (1)과 유사한 방정식을 유도하기 위해 기체 상태 방정식 및 질량 보존의 법칙을 조합하여 질량 유동 제어기의 성능을 측정하기 위해 상승률 기술을 채용할 수 있으며, 질량 유동은 다음의 방정식에 의해 결정될 수 있다:
Figure 112007011751219-PCT00002
방정식 (2)
여기에서 ΔP는 간격(Δt) 중의 압력 변화이며, R은 일반 기체 상수이며, T는 기체의 절대 온도이며, Z는 기체 압축성 인자(gas compressibility factor)이며, V는 측정 챔버의 체적이다. 기체 압축성 인자(Z)는 전형적으로 경량 기체에 대해 1과 동일하고, WF6 등의 더 중량의 분자에 대해 1보다 상당히 작다. 압축성 인자의 사용은 비이상 압축성 기체(non-ideal, compressible gas)에서의 유동 측정의 정확도를 개선시킬 수 있다.
도3을 이제 참조하면, 본 발명의 시스템 및 방법을 실시하기 위해 공정 챔버 에 평행하게 가스의 유동부 내로 합체될 수 있는 하드웨어 배열의 전형적인 실시예가 도시되어 있다. 상승률 시스템(ROR: rate of rise system)(300)이 설정치에 대한 질량 유동 제어기(120)의 정확도를 측정하는 데 이용될 수 있다. 상승률 시스템(300)은 가스 스틱(302)을 통한 공정 챔버(130)로의 가스의 유동부 내에 합체될 수 있다. 하나의 특정한 실시예에서, 밸브(350, 370)가 질량 유동 제어기(120)의 하류에 그리고 공정 챔버(130)의 상류에 있다. ROR(300)은 밸브(330, 310)들 사이에서 챔버(305) 그리고 밸브(310)의 하류에서 압력 센서(320)를 포함할 수 있다. 압력 센서는 0.1 Torr 내지 1000 Torr의 압력을 측정할 수 있는 당업계에 주지된 종류의 센서일 수 있다. 챔버(305)는 전형적으로 10 ㏄ 내지 1 ℓ의 임의의 체적을 가지며, 공정 챔버(130)에 대한 10 내지 60 ℓ의 전형적인 체적과 비교된다.
ROR(300)은 질량 유동 제어기(120) 및 밸브(350)의 하류에서 그리고 밸브(370) 및 공정 챔버(130)의 상류에서 가스의 유동부 내로 커플링될 수 있다. 밸브(350, 370, 310)들 사이의 커플링의 물리적인 체적은 체적(360)에 의해 표현된다. 많은 경우에, ROR(300)은 0.64 ㎝(0.25 인치) 내지 1.27 ㎝(0.5 인치)의 직경을 갖는 316L 스테인리스강 튜브를 사용하여 가스 스틱에 커플링되지만, 니켈 또는 텅스텐 등의 다른 재료가 가스 스틱(302)이 특수 가스를 운반하는 데 이용되고 있는 경우에 사용될 수 있다. 가스가 가스 공급부(110)로부터 설정치 즉 분당 0.1 sccm 내지 100 ℓ에 대응하여 통과하는 가스의 체적을 조절하는 질량 유동 제어기(120)로 유동한다. 밸브(310, 350)가 개방되며 밸브(370)가 폐쇄되면, 가스가 질량 유동 제어기(120)로부터 챔버(305) 내로 유동하지만, 밸브(350, 370)가 개방 되며 밸브(310)가 폐쇄되면, 가스가 질량 유동 제어기(120)로부터 공정 챔버(130) 내로 유동한다.
어떤 실시예에서, ROR(300)로써의 유동 측정을 가능케 하기 위해, 밸브(370)가 공정 챔버(130)에 대해 폐쇄되며, 밸브(350)가 질량 유동 제어기(120)에 대해 개방되며, ROR(300) 내의 밸브(310)가 폐쇄된다. 질량 유동 제어기(120)는 특정된 유동에 대해 명령되며, ROR 시스템(300)은 유동 측정을 시작한다. 가스는 밸브(350, 370)와 ROR 시스템(300) 내의 밸브(310) 사이의 체적(360) 내에 축적된다. ROR(300) 내의 압력 센서(320)가 밸브(310)의 상류에 있으며, 이러한 기하 형상이 체적(360) 내에서의 압력의 측정을 가능케 한다. 시간의 함수로서의 압력 변화는 유동 측정의 정량화를 위해 나중에 사용되도록 측정될 수 있다. 약간의 시간(Δt1)에서, 밸브(330)가 폐쇄되며, 밸브(310)가 개방되고, 그에 의해 가스가 ROR(300)의 챔버(305) 즉 알려진 체적 내로 유동하게 한다. 압력은 ROR(300) 내의 압력 센서(320)로써 시간의 함수로서 계속하여 감시된다.
시간의 함수로서의 압력 변화의 전형적인 플롯이 도4에 주어져 있다. 이러한 도면에서, 도시된 초기의 압력 변화는 샘플 체적(360) 내에서 일어나는 것이며, 압력 변화 및 시간 간격은 각각 ΔP1 및 Δt1이다. 대략 10초에서 시작하는 제2 경사는 밸브(310)가 개방되며 밸브(330)가 폐쇄될 때이다. 이러한 경우에, 축적할 체적은 체적(360) 그리고 알려진 체적의 챔버(305)이다. 시간에 따른 압력 변화는 시간 간격(Δt2) 중의 ΔP2이다. 체적(360)은 그 다음에 후술될 표현식을 사용하여 계산될 수 있다:
Figure 112007011751219-PCT00003
방정식 (3)
방정식 (3)은 그 다음에 유동을 결정하기 위해 방정식 (2)와 연계하여 사용될 수 있다. 결정된 유동은 그 다음에 질량 유동 제어기(120)의 정확도를 결정하기 위해 질량 유동 제어기의 설정치에 대해 비교될 수 있다.
도5를 이제 참조하면, 유동 속성을 측정하고 질량 유동 제어기의 정확도를 검증하는 방법의 일 실시예에 대한 흐름도가 도시되어 있다. 이러한 특정한 방법은 (200 sccm을 초과하는) 큰 유동을 측정할 때 유리할 수 있는데, 이것은 더 큰 체적이 유동의 초기의 과도 측정 동안에 이용되기 때문이며, 그에 의해 측정 불확실성을 감소시킨다.
하나의 특정한 실시예에서, 밸브(370)가 질량 유동 제어기의 시험 또는 검증이 수행될 것을 지시하는 제어 시스템에 의해 폐쇄될 수 있다. 시험을 시작하기 위해, 밸브(310, 330)가 개방되며, 진공이 펌프(380)에 의해 뽑혀진다(단계 510). 밸브(330)가 그 다음에 폐쇄되며, 데이터가 초기의 상태에 대해 취해질 수 있다(단계 520). 질량 유동 제어기(120)가 어떤 설정치를 기초로 하여 유동 상태에 있을 때, 데이터가 그 다음에 제1 간격 동안에 수집될 수 있다(단계 530). 시간, 압력 및 온도가 압력 센서(320) 등의 당업계에 공지된 센서를 사용하여 어떤 기간 동안에 감시될 수 있다. 일부의 실시예에서, 이러한 기간의 길이는 압력 또는 시간 항 목에 의해 결정될 수 있다. 예컨대, 체적 내의 압력이 어떤 Torr에 도달할 때, 제1 간격이 종결된다. 제1 간격이 종결된 때의 압력은 측정될 유동에 따라 크게 변할 수 있지만, 대개 10 Torr 내지 1000 Torr이다. 제1 간격은 또한 소정의 시간 대개 적어도 10초 그리고 60초 이하 후에 종결될 수 있다.
제1 간격의 종결(단계 530) 후, 밸브(310)가 그 다음에 폐쇄될 수 있으며(단계 540), 데이터가 제2 간격 동안에 수집될 수 있다(단계 550). 제1 간격 동안에서와 같이, 이러한 데이터는 압력, 온도 및 시간을 포함할 수 있으며, 제2 간격의 길이는 제1 간격에 대해 전술된 것과 동일한 표준을 사용하여 결정될 수 있다.
제2 간격의 종결(단계 550) 후, 체적(360) 및 유동 속성이 그 다음에 방정식 (2) 및 방정식 (3)을 사용하여 계산될 수 있다(단계 570 및 단계 580). 대체예에서, 체적(360)이 입력될 수 있으며(단계 590), 그 다음에 유동 속성이 입력된 체적을 사용하여 계산될 수 있다(단계 580). 유동은 그 다음에 질량 유동 제어기(120)의 정확도를 결정하기 위해 질량 유동 제어기(120)의 최초 설정치와 비교될 수 있다.
다양한 단계, 측정 및 계산이 ROR 시스템(300) 내에 매몰된 제어 시스템에 의한 방식 또는 질량 유동 제어기(120), 가스 스틱(302) 및 공정 챔버(130)와 연계하여 이용된 제어 시스템에 의한 방식을 포함한 광범위한 방식으로 제어 및 수행될 수 있다는 것이 당업자에 의해 이해될 것이다.
마찬가지로, 도6은 초기의 과도 시기 동안에 더 큰 체적의 챔버(305)를 사용하는 것이 반드시 유용할 필요는 없는 경우에서의 중간 유동(20 sccm 내지 200 sccm)에 대해 유리할 수 있는 유동을 측정하고 질량 유동 제어기(120)를 검증하는 방법의 흐름도이다.
일 실시예에서, 밸브(370)가 유동 측정 또는 질량 유동 제어기의 검증이 수행될 것을 지시하는 제어 시스템에 의해 폐쇄될 수 있다. 질량 유동 제어기의 시험을 수행하기 위해, 밸브(310, 330)가 개방되며, 진공이 펌프(380)에 의해 뽑혀진다(단계 610). 밸브(330)가 그 다음에 폐쇄되며, 데이터가 초기의 상태에 대해 취해질 수 있다(단계 620). 질량 유동 제어기(120)가 어떤 설정치를 기초로 하여 유동 상태에 있을 때, 데이터가 그 다음에 제1 간격 동안에 수집될 수 있다(단계 630). 시간, 압력 및 온도가 압력 센서(320) 등의 당업계에 공지된 센서를 사용하여 어떤 기간 동안에 감시될 수 있다. 이러한 기간의 길이는 도5에 대해 전술된 바와 같이 압력 또는 시간 항목에 의해 결정될 수 있다.
제1 간격의 종결(단계 630) 후, 밸브(330)가 그 다음에 폐쇄될 수 있으며, 밸브(310)가 개방될 수 있으며(단계 640), 데이터가 제2 간격 동안에 수집될 수 있다(단계 550). 제1 간격 동안에서와 같이, 이러한 데이터는 압력, 온도 및 시간을 포함할 수 있으며, 제2 간격의 길이는 제1 간격에 대해 전술된 것과 동일한 표준을 사용하여 결정될 수 있다.
제2 간격의 종결(단계 650) 후, 체적(360) 및 유동 속성이 그 다음에 방정식 (2) 및 방정식 (3)을 사용하여 계산될 수 있다(단계 670 및 단계 680). 대체예에서, 체적(360)이 입력될 수 있으며(단계 690), 그 다음에 유동 속성이 입력된 체적을 사용하여 계산될 수 있다(단계 680). 유동은 그 다음에 질량 유동 제어기(120) 의 정확도를 결정하기 위해 질량 유동 제어기(120)의 최초 설정치와 비교될 수 있다.
밸브(350, 370, 310)들 사이의 체적(360)이 결정되면, 유동 측정이 단지 체적(360)을 사용하여 수행될 수 있다. 많은 설비에서, 체적(360)은 작으며(20 ㏄ 미만), 결국 특정된 유동 속도에 대한 압력 변화는 측정하기 더 용이하며, 그에 의해 전형적으로 5개의 인자에 의해 주어진 유동 속도에 대한 측정 시간을 감소시킨다.
도7은 유동 속성을 측정하기 위해 또는 질량 유동 제어기(120)의 검증을 위해 체적(360)을 이용하는 하나의 방법을 도시하고 있다. 이러한 방법은 20 sccm 미만의 유동 속도에 대해 특히 효과적일 수 있으며, 훨씬 더 짧은 측정 간격의 사용을 가능케 한다. 밸브(370)가 유동 측정 또는 질량 유동 제어기의 검증이 수행될 것을 지시하는 제어 시스템에 의해 폐쇄될 수 있다. 질량 유동 제어기의 시험을 수행하기 위해, 밸브(310, 330)가 개방되며, 진공이 펌프(380)에 의해 뽑혀진다(단계 710). 밸브(310)가 그 다음에 폐쇄되며, 데이터가 초기의 상태에 대해 취해질 수 있다(단계 720). 질량 유동 제어기(120)가 어떤 설정치를 기초로 하여 유동 상태에 있을 때, 데이터가 그 다음에 전술된 바와 같이 제1 간격 중에 수집될 수 있다(단계 730).
제1 간격의 종결(단계 730) 후, 밸브(310)가 개방될 수 있으며, 밸브(330)가 폐쇄될 수 있다(단계 740). 어떤 경우에, 밸브(310) 전에 밸브(330)를 개방하여 압력이 전체의 제1 간격을 통해 체적(360) 내에서 유지되는 것이 유리할 수 있다. 제1 간격의 종결(단계 730) 후, 유동 속성이 그 다음에 방정식 (2) 및 방정식 (3) 그리고 이전에 결정된 측정에서의 체적(360)(단계 770)을 사용하여 계산될 수 있다(단계 780). 대체예에서, 체적(360)이 사용자에 의해 수동으로 입력될 수 있으며(단계 790), 그 다음에 유동 속성이 계산될 수 있다(단계 780). 계산된 유동은 그 다음에 질량 유동 제어기(120)의 정확도를 결정하기 위해 질량 유동 제어기(120)의 설정치와 비교될 수 있다.
추가로, 질량 유동 제어기 밸브와 밸브 사이의 체적(360)이 결정되면, 유동 측정이 알려진 체적의 챔버(305)와 체적(360)을 사용하여 수행될 수 있다. 이것은 큰 측정 체적이 바람직한 경우에서의 높은 유동 체적에 대해 유용할 수 있다.
도8은 유동 측정 또는 질량 유동 제어기(120)의 검증을 위해 조합하여 체적(360) 및 챔버(305)를 이용하는 하나의 방법을 도시하고 있다. 밸브(370)가 유동 측정 또는 질량 유동 제어기의 검증이 수행될 것을 지시하는 제어 시스템에 의해 폐쇄될 수 있다. 질량 유동 제어기의 시험을 수행하기 위해, 밸브(310, 330)가 개방되며, 진공이 펌프(380)에 의해 뽑혀진다(단계 810). 밸브(330)가 그 다음에 폐쇄되며, 데이터가 초기의 상태에 대해 취해질 수 있다(단계 820). 질량 유동 제어기(120)가 어떤 설정치를 기초로 하여 유동 상태에 있을 때, 데이터가 그 다음에 전술된 바와 같이 제1 간격 중에 수집될 수 있다(단계 830).
제1 간격의 종결(단계 830) 후, 밸브(330)가 개방될 수 있으며(단계 840), 유동 속성이 그 다음에 방정식 (2) 및 방정식 (3), 이전에 결정된 측정에서의 체적(360)(단계 870) 그리고 알려진 체적의 챔버(305)를 사용하여 계산될 수 있다. 대체예에서, 체적(360)이 사용자에 의해 수동으로 입력될 수 있으며(단계 890), 그 다음에 유동 속성이 계산될 수 있다(단계 880). 유동은 그 다음에 질량 유동 제어기(120)의 정확도를 결정하기 위해 질량 유동 제어기(120)의 설정치와 비교된다.
그러나, 많은 경우에, 상승률 계산 내로 도입되는 오차가 상당해질 수 있다. 특히, 유동 속도가 상승함에 따라, 밸브(350) 등의 경로 내에 체적(360) 또는 다른 유체 요소를 포함한 라인의 길이는 알려진 체적의 챔버(305) 내에서의 압력의 변화 속도에 대한 체적(360) 내에서의 압력의 변화 속도를 변화시킬 수 있다. 체적(360) 내에서의 압력의 변화 속도의 변화는 체적(360)의 기하 형상, 질량 유동 제어기(120)의 유동 속도 그리고 가스 스틱(302)을 통해 유동하는 가스의 성질에 의존하며, 결국 유동 속도의 계산 그리고 질량 유동 제어기(120)의 동일한 정도의 검증을 어려워지게 할 수 있다. 이들 영향은 200 sccm을 초과하는 유동 속도에서 특히 현저해질 수 있다. 결국, 압력 및 압력 변화를 측정하거나 체적 및 유동 속도를 계산할 때 이들 영향을 제거 또는 보상할 것이 필요하다.
개시된 시스템 및 방법의 어떤 실시예에서, 초킹 오리피스(choking orifice)가 그 상류에서의 체적의 기하 형상 또는 압력과 무관하게 유동 속도를 정확하게 결정하기 위해 체적과 연계하여 사용될 수 있다. 추가로, 오차 곡선이 초킹 오리피스를 사용하여 결정되는 오차 지점을 이용하여 유도 및 근사화될 수 있다. 후속적으로, 유동이 초킹 오리피스의 사용 없이 계산될 수 있고, 유도 및 근사화된 오차 곡선을 기초로 하여 조정될 수 있다.
도9는 유체 부족(fluid shorting)을 통한 상류 압력 의존성 또는 측정 장치 의 상류에서의 유동의 초킹을 물리적으로 보상할 수 있고 공정 챔버에 평행하게 가스의 유동부 내로 합체될 수 있는 하드웨어 배열의 일 실시예를 도시하고 있다. 도3에 대해 전술된 바와 같이, 상승률 시스템(ROR)(300)이 가스 스틱(302)을 통한 공정 챔버(130)로의 가스의 유동부 내에 합체될 수 있다. 도9에 도시된 특정한 실시예에서, 초킹 오리피스(322)가 ROR(300)과 밸브(350) 사이에 또는 ROR(300)에 직접적으로 커플링된다. 초킹 오리피스(322)는 압력 측정에 대한 체적(360)의 기하 형상의 영향을 감소시키고 ROR(300)의 활용성 및 정확도를 개선시키도록 역할할 수 있다.
초킹 오리피스(322)는 "유체 부족"으로서 호칭되는 기술의 사용을 통해 체적(360)의 기하 형상에 대한 ROR(300)의 감도를 감소시킬 수 있다. 이러한 기술은 체적(360) 내의 압력이 초킹 오리피스(322)의 상류에서보다 크도록 유체 경로를 협소화시킨다. 많은 압력 구배가 체적(360)의 기하 형상의 영향을 감소시키도록 역할할 수 있지만, 이상적인 영향을 위해, 초킹 오리피스(322)는 체적(360) 내의 압력이 초킹 오리피스(322)의 상류에서의 압력의 적어도 2배이도록 압력 구배를 생성시켜야 한다. 이것은 초킹 오리피스(322)의 상류에서의 압력이 일정한 유동 속도 동안에 실질적으로 일정하게 남아 있게 할 수 있다. 일 실시예에서, 초킹 오리피스(322)는 체적(360)과 ROR(300) 사이에 적절한 압력 구배를 생성시키기 위해 질량 유동 제어기(120)의 유동 속도에 따라 위치될 수 있는 다중-위치 밸브(multi-position valve)일 수 있다.
또 다른 실시예에서, 초킹 오리피스(322)는 당업계에 공지된 바와 같이 개 방, 폐쇄 및 초킹 위치를 갖는 3 방향 밸브일 수 있다. 가스 스틱(302) 및 공정 챔버(302)는 초킹 오리피스(322)가 폐쇄 위치에 있는 상태에서 통상적으로 기능할 수 있다. 초킹 오리피스(322)가 개방 위치에 있을 때, ROR(300)은 가스 스틱(302) 및 공정 챔버(130)가 도5 내지 도8에 대해 설명된 바와 같은 상태에서 기능할 수 있다. 그러나, 초킹 위치에 초킹 오리피스(322)를 위치시킴으로써, 압력 구배가 체적(360)과 ROR(300) 사이에 생성될 수 있으며, 이것은 유동 속도가 상류 압력 또는 체적과 독립적으로 ROR(300) 내에서 결정되게 한다. ROR(300) 내에서의 유동 속도가 체적(360)과 독립적으로 결정될 수 있기 때문에, 체적(360)의 기하 형상을 결정하는 측정을 수행할 필요가 없다.
예컨대, 도5에 대해, 단계 540 내지 단계 570 그리고 단계 590에 대한 필요가 없다. 초킹 오리피스(322)를 이용한 이러한 경우에, 밸브(370)가 질량 유동 제어기의 시험 또는 검증이 수행될 것을 지시하는 제어 시스템에 의해 폐쇄될 수 있다. 시험을 시작하기 위해, 밸브(310, 330)가 개방되며, 진공이 펌프(380)에 의해 뽑혀진다(단계 510). 밸브(330)가 그 다음에 폐쇄되며, 초킹 오리피스(322)가 초킹 위치로 설정될 수 있으며, 데이터가 초기의 상태에 대해 취해질 수 있다(단계 520). 질량 유동 제어기(120)가 어떤 설정치를 기초로 하여 유동 상태에 있을 때, 데이터가 그 다음에 제1 간격 동안에 수집될 수 있다(단계 530). 시간, 압력 및 온도가 압력 센서(320) 등의 당업계에 공지된 센서를 사용하여 어떤 기간 동안에 감시될 수 있다. 일부의 실시예에서, 이러한 기간의 길이는 압력 또는 시간 항목에 의해 결정될 수 있다. 예컨대, 챔버(305)의 체적 내의 압력이 어떤 Torr에 도 달할 때, 제1 간격은 종결될 수 있다. 제1 간격이 종결된 때의 압력은 측정될 유동에 따라 크게 변할 수 있지만, 대개 10 Torr 내지 1000 Torr이다. 제1 간격은 또한 소정의 시간 대개 적어도 10초 그리고 60초 이하 후에 종결될 수 있다.
이러한 제1 간격의 종결(단계 530) 후, 유동 속성이 그 다음에 체적(360)과 무관하게 방정식 (2) 및 방정식 (3)을 사용하여 계산될 수 있다(단계 580). 결국, 제2 간격이 요구되지 않으며, 단계 540 내지 단계 570 그리고 단계 590이 단지 초킹 오리피스(322)를 이용한 덕분에 제거될 수 있다.
초킹 오리피스(322)를 이용하면 유사한 단계의 감소가 도6 내지 도8에 도시된 방법과 관련하여 또한 성취될 수 있으며 챔버(305)의 체적이 유동 속도를 결정하고 질량 유동 제어기(120)를 검증하기 위해 단일의 과도 시기 동안에 이용될 수 있다는 것이 당업자에 의해 이해될 것이다. 추가로, 동일한 단계의 감소가 초킹 오리피스(322) 예컨대 3 위치 밸브 또는 다중-위치 밸브의 실시와 무관하게 성취될 수 있다는 것이 이해될 것이다.
초킹 오리피스(322)는 임의의 유동 속도에 대해 조정될 수 있지만, 하나의 특정한 실시예에서, 초킹 오리피스(322)는 체적(360) 내의 압력이 500 sccm 이상의 유동 속도에 대해 초킹 오리피스(322)의 상류에서의 압력의 2배를 초과하는 경우에 압력 구배를 생성시키기 위해 조정되는 3 위치 밸브일 수 있다.
500 sccm 미만의 유동 속도에 대해, 체적(360)에 의해 도입되는 오차가 수학적으로 보상될 수 있다. 수학적으로 오차를 보상하기 위해, 가스의 유동 속도, 기하 형상 및 종류를 포함한 주요 변수의 함수로서의 오차 항에 대한 방정식이 특정 한 기하 형상의 체적(360)에 대해 유도될 수 있다. 이 방정식은 특정한 기하 형상의 체적(360)에 의해 도입되는 오차에 대해 곡선의 형상을 제공할 수 있다.
예컨대, 체적(360)이 일정한 직경의 튜브인 도10에 도시된 것과 동일한 경우에 방정식이 유동 보정 항에 대해 유도될 수 있다. 구체적으로, 체적(360) 내의 평균 압력과 측정될 챔버(305) 내의 평균 압력 사이의 관계를 보여주는 방정식이 전개될 수 있다. 이것은 다음과 같이 제공된다:
Figure 112007011751219-PCT00004
방정식 (4)
전술된 방정식은 방정식 (2)를 사용하여 측정된 유동과 체적(360) 내의 예측된 평균 압력에 대한 추가의 정보를 포함하는 예측된 진정한 유동 사이의 차이를 제공할 유동 보정 항을 유도하기 위해 다른 방정식과 연계하여 사용될 수 있다:
모멘텀 방정식
Figure 112007011751219-PCT00005
방정식 (4.1)
원통형 기하 형상에 대해:
Figure 112007011751219-PCT00006
방정식 (4.2)
압력 구배는 R과 독립적이므로, 방정식 (4.2)는 다음과 같이 적분될 수 있다:
Figure 112007011751219-PCT00007
방정식 (4.3)
경계 조건, u(0)=무한대 => A=0,
Figure 112007011751219-PCT00008
Figure 112007011751219-PCT00009
방정식 (4.4)
Figure 112007011751219-PCT00010
Figure 112007011751219-PCT00011
(주의, R은 반경) 방정식 (4.5)
Figure 112007011751219-PCT00012
Figure 112007011751219-PCT00013
T는 상수라고 가정하면,
Figure 112007011751219-PCT00014
Figure 112007011751219-PCT00015
Figure 112007011751219-PCT00016
Figure 112007011751219-PCT00017
방정식 (5.1)
Figure 112007011751219-PCT00018
방정식 (5.2)
일반적으로, 2차 함수에 대해:
Figure 112007011751219-PCT00019
여기에서 x=L일 때 P=PL이며, x=0일 때 P=P0이며,
Figure 112007011751219-PCT00020
Figure 112007011751219-PCT00021
방정식 (5.4)
Figure 112007011751219-PCT00022
방정식 (5.5)
Figure 112007011751219-PCT00023
Figure 112007011751219-PCT00024
Figure 112007011751219-PCT00025
Figure 112007011751219-PCT00026
Figure 112007011751219-PCT00027
방정식 (5.6)
Figure 112007011751219-PCT00028
Figure 112007011751219-PCT00029
방정식 (5.7)
Figure 112007011751219-PCT00030
이면, 방정식 (5.8)
PL이 시간의 함수이면,
일 실시예에서, P=0이면, PL=P1+At이며,
Figure 112007011751219-PCT00031
방정식 (6.1)
대개, m 항이 0에 접근함에 따라, 오차가 작아진다. 주어진 질량 유동에 대해, 오차는 가스 점도를 증가시키도록 증가할 수 있으며, 전체의 체적은 그 다음에 2개의 섹션 즉 체적(360) 및 챔버(305)로 구성된다.
Figure 112007011751219-PCT00032
온도가 동일하다고 가정되면:
Figure 112007011751219-PCT00033
방정식 (6.3)
통상적으로, ΔP(t)v=ΔP(t)f이며 그 결과,
Figure 112007011751219-PCT00034
방정식 (6.4)
계산된 질량 유동에서의 오차는 그 다음에 2개의 표현식을 감산함으로써 즉
Figure 112007011751219-PCT00035
에 의해 추정될 수 있으며,
Figure 112007011751219-PCT00036
방정식 (7.1)
평균 압력 변화는 간략화를 위해 방정식 (7.1)로부터 치환될 수 있으며, ΔP(t)f가 t=0 및 P=0에서 시작되면,
Figure 112007011751219-PCT00037
이며,
Figure 112007011751219-PCT00038
방정식 (7.2)
방정식 (7.2)는 양호하게 거동되는 것처럼 보인다. 변수 체적에서,
Figure 112007011751219-PCT00039
이며,
Figure 112007011751219-PCT00040
Figure 112007011751219-PCT00041
방정식 (7.3)
간략화하기 위해, VT=Vv+Vf이면,
Figure 112007011751219-PCT00042
Figure 112007011751219-PCT00043
방정식 (7.4)
Figure 112007011751219-PCT00044
방정식 (7.5)
방정식 (6.1)의 도함수가 산출될 것이다:
Figure 112007011751219-PCT00045
Figure 112007011751219-PCT00046
방정식 (8.1)
Figure 112007011751219-PCT00047
방정식 (8.2)
Figure 112007011751219-PCT00048
방정식 (9)
여기에서
Figure 112007011751219-PCT00049
Figure 112007011751219-PCT00050
이다.
A 항은 챔버(305) 내에서의 압력 도함수이다. 예측된 유동은 그 다음에 방정식 (2)에 방정식 (9)의 결과를 가산함으로써 주어질 수 있다.
변수
Figure 112007011751219-PCT00051
는 유체 경로 기하 형상 항과 동등하고 H로 나타내며, 가스 점도는 가스 의존 항으로 G로서 나타낸다. 방정식 (9)는 다음과 같이 다시 쓰일 수 있다:
Figure 112007011751219-PCT00052
방정식 (10)
불행하게도, 유동 측정을 위한 대부분의 기하 형상은 도10에 주어진 것과 같이 간단하지 않을 것이다. 그러나, 동일한 형식이 임의의 기하 형상에 대해 적절한 방정식을 유도하는 데 사용될 수 있다. 제2 공통 기하 형상이 도11에 도시된 바와 같이 챔버(305)의 직상류에서의 밸브(310)의 도입일 수 있다.
이러한 경우에, 튜브 즉 체적(360) 내의 평균 압력은 후술될 방정식 (11)에 의해 주어진다.
Figure 112007011751219-PCT00053
여기에서,
P3=Pv+P2 및 Pv는 밸브(3)를 횡단하는 압력 강하이다. 동일한 기술이 이러한 특정한 기하 형상을 기술하는 교대 방정식을 전개하기 위해 방정식 (9)에 대해 전개될 때 사용될 수 있으며, 이것은 아래에 주어져 있다:
Figure 112007011751219-PCT00054
방정식 (11)
여기에서 A2는 밸브(330)의 직상류에서의 압력 도함수이다.
방정식이 특정한 기하 형상의 체적(360)에 대해 유도되었으면, 특정한 경우의 체적(360)에 의해 유발되는 실제의 오차는 그 다음에 초킹 오리피스(322)가 개방 위치에 있는 동안에 질량 유동 제어기(120)에 대한 일련의 유동 설정에서 유동 속도를 계산하기 위해 또는 초킹 오리피스(322)가 초킹 위치에 있는 동안에 동일한 일련의 유동 설정에서 유동 속도를 계산하기 위해 ROR(300)을 사용함으로써 500 sccm을 초과하는 유동에 대해 경험적으로 관찰될 수 있다. 각각의 이들 유동 설정에서 계산된 2개의 유동 속도를 비교함으로써, 500 sccm을 초과하는 유동 속도에 대한 오차 곡선에 대응하는 한 세트의 지점이 결정될 수 있다. 유도된 방정식 예컨대 방정식 (10)에 의해 기술된 곡선은 그 다음에 모든 유동에서 체적(360)의 기하 형상에 의해 유발되는 오차를 표현하는 곡선을 기술하는 오차 방정식을 발생시키기 위해 500 sccm을 초과하여 일어나는 경험적으로 결정된 오차 지점에 근사화될 수 있다.
추가로, 많은 경우에, 200 sccm 이하의 유동에 대해 체적(360)에 의해 유도된 오차는 통계적으로 중요하지 않다. 결국, 이들 유동 속도에서 관찰된 실제의 유동은 또한 방정식에 의해 기술된 오차 곡선이 근사화될 수 있는 지점을 수립하는 데 사용될 수 있다.
경험적으로 결정된 곡선에 방정식에 의해 기술된 곡선을 근사화시킴으로써, 기하 형상 항(H)을 포함하고 특정한 경우의 체적의 기하 형상에 대한 오차 곡선을 기술한 오차 방정식 내의 변수가 계산될 수 있다. 이러한 오차 곡선은 그 다음에 체적(360)에 의해 유발되는 오차를 보정하기 위해 나중에 ROR(300)에 의해 수행되거나 계산된 측정 및 유동 속도에 적용될 수 있고, 그에 의해 질량 유동 제어기(120)의 유동 속도의 더 정확한 계산을 가능케 한다. 이러한 오차 곡선은 초킹 오리피스(322)가 개방 위치에 있는 상태에서 모든 유동 속도에서 체적(360)에 의해 도입되는 오차를 보정하는 데 사용될 수 있고 그에 의해 단일의 과도 시기 동안에 이용될 챔버(305)의 체적이 유동 속도를 더 정확하게 결정하고 질량 유동 제어기(120)를 검증하게 한다는 것이 이해될 것이다.
도12는 전술된 바와 같이 ROR(300) 그리고 오차 곡선을 기술한 방정식을 사용하여 유동 속도를 계산하는 방법론의 일 실시예를 도시하고 있다. 이러한 경우에, 밸브(370)가 질량 유동 제어기의 시험 또는 검증이 수행될 것을 지시하는 제어 시스템에 의해 폐쇄될 수 있다. 시험을 시작하기 위해, 밸브(310, 330)가 개방되며, 진공이 펌프(380)에 의해 뽑혀진다(단계 1210). 밸브(330)가 그 다음에 폐쇄되며, 데이터가 초기의 상태에 대해 취해질 수 있다(단계 1220). 질량 유동 제어기(120)가 어떤 설정치를 기초로 하여 유동 상태에 있을 때, 데이터가 그 다음에 제1 간격 동안에 수집될 수 있다(단계 1230). 시간, 압력 및 온도가 압력 센서(320) 등의 당업계에 공지된 센서를 사용하여 어떤 기간 동안에 감시될 수 있다. 일부의 실시예에서, 이러한 기간의 길이는 압력 또는 시간 항목에 의해 결정될 수 있다. 예컨대, 체적 내의 압력이 어떤 Torr에 도달할 때, 제1 간격은 종결될 수 있다. 제1 간격이 종결된 때의 압력은 측정될 유동에 따라 크게 변할 수 있지만, 대개 10 Torr 내지 1000 Torr이다. 제1 간격은 또한 소정의 시간 후에 대개 적어도 10초 그리고 60초 이하 후에 종결될 수 있다.
이러한 제1 간격의 종결(단계 1230) 후, 유동 속성이 그 다음에 체적(360)과 무관하게 방정식 (2) 및 방정식 (3)을 사용하여 계산될 수 있다(단계 1240). 이들 유동 속성은 그 다음에 전술된 바와 같이 사전에 결정된 오차 방정식을 사용함으로써 체적(360)에 의해 도입되는 오차에 대해 보정될 수 있다(단계1250). 결국, 제2 간격이 요구되지 않으며, 정확한 유동 속도가 초킹 오리피스(322)가 개방 위치에 있는 상태에서 임의의 유동 설정에서 계산될 수 있다.
추가로, 대부분의 경우에, 이들 방정식은 또한 유동 속도가 ROR(300)을 사용하여 계산될 때 도입되는 오차를 결정할 때 가스 스틱(302)을 통해 유동하는 가스를 고려하도록 맞춰질 수 있다. 이것은 그 수치가 가스 스틱(302) 또는 ROR(300)을 통해 유동하는 가스를 기초로 하여 결정되는 가스 점도 항[방정식 (10)에 도시된 바와 같은 G]의 사용을 통해 수행될 수 있다. 예컨대, 가스 항(G)은 질소 가스에 대해 하나의 수치 그리고 불소 가스의 하나의 종류에 대해 또 다른 수치 등일 수 있다. 가스에 따라 G에 대해 상이한 수치를 사용하면, 그로 인한 오차 곡선은 체적(360)의 형상에 대해 계산된 유동을 보정할 수 있을 뿐만 아니라, 또한 가스 스틱(302)을 통해 유동하는 가스의 점도에 대해 계산된 유동을 보정할 수 있다.
다양한 단계, 측정 및 계산이 ROR 시스템(300) 내에 매몰된 제어 시스템에 의한 방식 또는 질량 유동 제어기(120), 가스 스틱(302) 및 공정 챔버(130)와 연계하여 이용된 제어 시스템에 의한 방식을 포함한 광범위한 방식으로 제어 및 수행될 수 있다는 것이 당업자에 의해 이해될 것이다.
방정식에 의해 기술된 곡선에 근사화시키는 데 사용된 경험적으로 결정된 지점은 초킹 오리피스(322)의 조정 및 최적화를 기초로 하여 결정될 것이라는 것이 또한 이해될 것이다. 예컨대, 체적(360) 내의 압력이 200 sccm 이상의 유동 속도에 대해 초킹 오리피스(322)의 상류에서의 압력의 2배를 초과하는 경우에 압력 구배를 생성시키기 위해 초킹 오리피스(322)가 조정되면, 경험적으로 결정된 지점은 200 sccm 이상의 유동 속도에 있을 수 있다.
도5 내지 도8 그리고 도12에 대해 설명된 단계들 중 모두가 필수적인 것은 아니며 어떤 단계가 요구되지 않을 수 있으며 추가의 측정, 간격 등을 포함한 추가의 단계가 설명된 것들에 추가하여 이용될 수 있다는 것을 주목하여야 한다. 추가로, 이 방법의 각각의 요소가 설명된 순서는 반드시 이것이 이용된 순서일 필요는 없다. 본 명세서를 읽은 후, 당업자라면 어떤 단계의 배열이 어떤 특정한 실시예에 가장 적합할 것인지를 결정할 수 있을 것이다.
전술된 명세서에서, 본 발명은 특정한 실시예를 참조하여 설명되었다. 그러나, 당업자라면 다양한 변형 및 변화가 후술될 청구의 범위에 기재된 바와 같은 본 발명의 범주로부터 벗어나지 않고도 수행될 수 있다는 것을 이해한다. 따라서, 명세서 및 도면은 비제한적인 의미의 설명으로서 간주되어야 하며, 모든 이러한 변형 은 본 발명의 범주 내에 포함되고자 의도된다.
이익, 다른 장점 그리고 문제점에 대한 해결책이 특정한 실시예에 대해 전술되었다. 그러나, 이익, 장점, 문제점에 대한 해결책 그리고 임의의 이익, 장점 또는 해결책이 일어나게 하거나 더 현저해지게 할 수 있는 임의의 구성 요소(들)는 임의의 또는 모든 청구의 범위의 중요, 필수 또는 기본 특징 또는 구성 요소로서 해석되지 않아야 한다.

Claims (50)

  1. 유동 제어기를 통해 유동을 측정하는 방법이며,
    제1 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제1 데이터를 수집하는 단계와,
    제2 간격 동안에 제2 체적과 관련된 제2 데이터를 수집하는 단계와,
    제1 체적을 결정하는 단계와,
    유동을 계산하는 단계를 포함하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 제1 체적을 결정하는 단계는 제1 체적을 계산하는 단계를 포함하는 방법.
  3. 제2항에 있어서, 제1 체적은 제1 데이터 및 제2 데이터를 기초로 하여 계산되는 방법.
  4. 제3항에 있어서, 제1 데이터는 제1 간격 중의 압력 변화를 포함하며, 제2 데이터는 제2 간격 중의 압력 변화를 포함하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 제2 데이터를 수집하는 단계는 제1 데이터를 수집하는 단계 전에 수행되는 방법.
  6. 제4항에 있어서, 제1 데이터를 수집하는 단계는 제2 단계를 수집하는 단계 전에 수행되는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 제1 체적을 결정하는 단계는 입력을 수용하는 단계를 포함하는 방법.
  8. 제7항에 있어서, 제1 데이터는 제1 간격 중의 압력 변화를 포함하며, 제2 데이터는 제2 간격 중의 압력 변화를 포함하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 제2 데이터를 수집하는 단계는 제1 데이터를 수집하는 단계 전에 수행되는 방법.
  10. 제8항에 있어서, 제1 데이터를 수집하는 단계는 제2 단계를 수집하는 단계 전에 수행되는 방법.
  11. 유동 제어기를 통해 유동을 측정하는 방법이며,
    제1 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제1 데이터를 수집하는 단계와,
    제1 데이터를 기초로 하여 유동을 계산하는 단계로서, 제1 체적은 사전에 결정되었거나 입력으로서 수용되는 단계를 포함하는 방법.
  12. 제11항에 있어서, 제1 체적은,
    제1 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제1 데이터를 수집하는 단계와,
    제2 간격 동안에 제2 체적과 관련된 제2 데이터를 수집하는 단계와,
    제1 및 제2 데이터를 기초로 하여 제1 체적을 계산하는 단계에 의해 사전에 결정된 방법.
  13. 유동 제어기를 통해 유동을 측정하는 방법이며,
    제1 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제1 데이터를 수집하는 단계와,
    제1 데이터를 기초로 하여 유동을 계산하는 단계로서, 제2 체적이 사전에 결정되었거나 입력으로 수용되는 단계를 포함하는 방법.
  14. 제13항에 있어서, 제2 체적은,
    제1 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제1 데이터를 수집하는 단계와,
    제2 간격 동안에 제2 체적과 관련된 제2 데이터를 수집하는 단계와,
    제1 및 제2 데이터를 기초로 하여 제2 체적을 계산하는 단계에 의해 사전에 결정되는 방법.
  15. 유동 제어기를 통해 유동을 측정하고, 유동 제어기의 하류에서 유동 제어기에 커플링되는 시스템이며,
    챔버와,
    챔버의 상류에서 챔버에 커플링되는 제1 밸브와,
    챔버의 하류에서 챔버에 커플링되는 제2 밸브와,
    제1 밸브의 상류에서 챔버에 커플링되는 압력 센서를 포함하는 시스템.
  16. 제15항에 있어서, 시스템은,
    제1 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제1 데이터를 수집하도록, 그리고
    제2 간격 동안에 제2 체적과 관련된 제2 데이터를 수집하도록 동작 가능한 시스템.
  17. 제16항에 있어서, 제1 체적은 제1 밸브와 유동 제어기 사이의 체적에 대응하며, 제2 체적은 제1 체적 그리고 챔버의 체적에 대응하는 시스템.
  18. 제17항에 있어서, 제1 데이터는 제1 간격 중의 압력 변화를 포함하며, 제2 데이터는 제2 간격 중의 압력 변화를 포함하는 시스템.
  19. 제18항에 있어서, 제2 데이터를 수집하는 단계는 제1 데이터를 수집하는 단계 전에 수행되는 방법.
  20. 제18항에 있어서, 제1 데이터를 수집하는 단계는 제2 단계를 수집하는 단계 전에 수행되는 시스템.
  21. 제18항에 있어서, 시스템은,
    제1 체적을 결정하도록, 그리고
    유동을 계산하도록 추가로 동작 가능한 시스템.
  22. 제21항에 있어서, 시스템은 제1 및 제2 데이터를 기초로 하여 계산에 의해 제1 체적을 결정하는 시스템.
  23. 제21항에 있어서, 시스템은 입력을 수용함으로써 제1 체적을 결정하는 시스템.
  24. 질량 유동 제어기를 통해 유동을 측정하는 방법이며,
    제1 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제1 데이터를 수집하는 단계와,
    제1 유동을 계산하는 단계와,
    오차 곡선을 기초로 하여 제1 유동을 조정하는 단계를 포함하는 방법.
  25. 제24항에 있어서, 오차 곡선을 결정하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  26. 제25항에 있어서, 오차 곡선을 결정하는 단계는 한 세트의 결정된 오차 지점을 포함한 한 세트의 오차 지점에 유도된 오차 곡선을 근사화시키는 단계를 포함하 는 방법.
  27. 제25항에 있어서, 각각의 결정된 오차 지점은,
    제1 설정치에서 제2 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제2 데이터를 수집하는 단계로서, 초킹 오리피스가 개방 위치에 있는 단계와,
    제2 데이터를 기초로 하여 제2 유동을 계산하는 단계와,
    제1 설정치에서 제3 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제3 데이터를 수집하는 단계로서, 초킹 오리피스가 초킹 위치에 있는 단계와,
    제3 데이터를 기초로 하여 제3 유동을 계산하는 단계와,
    제3 유동과 제2 유동을 비교하는 단계에 의해 결정되는 방법.
  28. 제27항에 있어서, 초킹 오리피스는 초킹 위치에서 압력 구배를 생성시키도록 동작 가능하며, 초킹 오리피스의 상류에서의 압력은 초킹 오리피스의 하류에서의 압력의 대략 2배인 방법.
  29. 제28항에 있어서, 초킹 오리피스는 제1 설정치가 적어도 500 sccm일 때 압력 구배를 생성시키도록 동작 가능한 방법.
  30. 제28항에 있어서, 각각의 세트의 결정된 오차 지점은 제1 설정치가 적어도 500 sccm인 경우에서의 오차를 표현하는 방법.
  31. 제30항에 있어서, 한 세트의 오차 지점은 한 세트의 관찰된 오차 지점을 포함하는 방법.
  32. 제26항에 있어서, 각각의 관찰된 오차 지점은,
    제2 설정치에서 제4 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제4 데이터를 수집하는 단계와,
    제4 데이터를 기초로 하여 제4 유동을 계산하는 단계에 의해 결정되는 방법.
  33. 제32항에 있어서, 각각의 세트의 관찰된 오차 지점은 제2 설정치가 200 sccm 이하인 경우에서의 오차를 표현하는 방법.
  34. 제26항에 있어서, 오차 곡선을 결정하는 단계는 가스의 종류를 기초로 하여 오차 곡선을 조정하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  35. 질량 유동 제어기를 통해 유동을 측정하고, 질량 유동 제어기의 하류에서 질량 유동 제어기에 커플링되는 시스템이며,
    챔버와,
    챔버의 상류에서 챔버에 커플링되는 제1 밸브와,
    챔버의 하류에서 챔버에 커플링되는 압력 센서와,
    압력 센서의 상류에서 챔버에 커플링되는 초킹 오리피스를 포함하는 시스템.
  36. 제35항에 있어서, 시스템은,
    제1 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제1 데이터를 수집하도록, 그리고
    제1 유동을 계산하도록 동작 가능한 시스템.
  37. 제36항에 있어서, 초킹 오리피스는 그 상류에서의 압력이 그 하류에서의 압력의 대략 2배인 경우에 압력 구배를 생성시키도록 동작 가능한 시스템.
  38. 제37항에 있어서, 제1 유동을 계산하는 단계는 오차 곡선을 기초로 하여 제1 유동을 조정하는 단계를 추가로 포함하는 시스템.
  39. 제38항에 있어서, 시스템은 오차 곡선을 결정하도록 추가로 동작 가능한 시스템.
  40. 제39항에 있어서, 오차 곡선을 결정하는 단계는 한 세트의 결정된 오차 지점을 포함한 한 세트의 오차 지점에 유도된 오차 곡선을 근사화시키는 단계를 포함하는 시스템.
  41. 제40항에 있어서, 시스템은,
    제1 설정치에서 제2 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제2 데이터를 수집하는 단계로서, 초킹 오리피스가 개방 위치에 있는 단계와,
    제2 데이터를 기초로 하여 제2 유동을 계산하는 단계와,
    제1 설정치에서 제3 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제3 데이터를 수집하는 단계로서, 초킹 오리피스가 초킹 위치에 있는 단계와,
    제3 데이터를 기초로 하여 제3 유동을 계산하는 단계와,
    제3 유동과 제2 유동을 비교하는 단계에 의해 각각의 결정된 오차 지점을 결정하도록 동작 가능한 시스템.
  42. 제40항에 있어서, 각각의 세트의 결정된 오차 지점은 제1 설정치가 적어도 500 sccm인 경우에서의 오차를 표현하는 시스템.
  43. 제42항에 있어서, 한 세트의 오차 지점은 한 세트의 관찰된 오차 지점을 포함하는 시스템.
  44. 제43항에 있어서, 시스템은,
    제2 설정치에서 제4 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제4 데이터를 수집하는 단계와,
    제4 데이터를 기초로 하여 제4 유동을 계산하는 단계에 의해 각각의 관찰된 오차 지점을 결정하도록 동작 가능한 시스템.
  45. 제44항에 있어서, 각각의 세트의 관찰된 오차 지점은 제2 설정치가 200 sccm 이하인 경우에서의 오차를 표현하는 시스템.
  46. 제45항에 있어서, 오차 곡선을 결정하는 단계는 가스의 종류를 기초로 하여 오차 곡선을 조정하는 단계를 추가로 포함하는 시스템.
  47. 제37항에 있어서, 제1 데이터는 초킹 오리피스가 초킹 위치에 있는 상태에서 수집되는 시스템.
  48. 제47항에 있어서, 초킹 오리피스는 제1 유동이 500 sccm을 초과할 때 압력 구배를 생성시키도록 동작 가능한 3 방향 밸브인 시스템.
  49. 질량 유동 제어기를 통해 유동을 측정하는 방법이며,
    제1 간격 동안에 제1 체적과 관련된 제1 데이터를 수집하는 단계로서, 제1 데이터는 초킹 오리피스가 초킹 위치에 있는 상태에서 수집되며, 초킹 오리피스는 그 상류에서의 압력이 그 하류에서의 압력의 대략 2배인 초킹 위치에서 압력 구배를 생성시키도록 동작 가능한 단계와,
    제1 유동을 계산하는 단계를 포함하는 방법.
  50. 제49항에 있어서, 초킹 오리피스는 제1 유동이 500 sccm을 초과할 때 압력 구배를 생성시키도록 동작 가능한 3 방향 밸브인 방법.
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KR1020077003058A KR20070031445A (ko) 2004-07-09 2005-07-07 유동 측정 그리고 질량 유동 제어기의 검증을 위한 방법 및시스템

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114440133A (zh) * 2021-12-17 2022-05-06 河南平高电气股份有限公司 用于sf6充气、放气回收装置的监测模块及流量计纠偏方法

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CN114440133A (zh) * 2021-12-17 2022-05-06 河南平高电气股份有限公司 用于sf6充气、放气回收装置的监测模块及流量计纠偏方法

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