KR20040040112A - 이온주입장치의 접지전극 캐리어구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 이온주입장치의 접지전극 캐리어구조에 관한 것으로, 두 개의 슬릿이 하나로 연결되어 이루어진 캐리어(20)를 분리가 가능하도록 구조를 변경함으로서 빔에 의해 변형된 슬릿(24)만을 교체할 수 있어 원가절감과 생산성향상의 효과가 있다.

Description

이온주입장치의 접지전극 캐리어구조{Ground electrode carrier structure of ion implanter}

본 발명은 이온주입장치의 접지전극 캐리어구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 두 개의 슬릿이 하나로 연결되어 이루어진 캐리어를 분리가 가능하도록 구조를 변경함으로서 변형된 슬릿만을 교체할 수 있도록 하는 이온주입장치의 접지전극 캐리어 구조에 관한 것이다.

이온주입 기술은 열 확산공정과 함께 반도체 기판에 불순물을 조절하기 위한 기본이 되는 프로세스(Process)이다. 이러한 이온주입을 위해 사용되는 이온주입장치(ion implanter)는 빔 전류에 따라서 중전류(Medium current)와 고전류(High current)이온주입장치로 구분한다. 현재는 중전류 및 고전류 이온주입장치가 혼용되고 있지만, 장차 고전류 이온주입장치가 주류를 이룰 것이며, 이온주입 장치는 처리능력(Throughput time)의 증대, 웨이퍼 핸들링(Wafer handling)을 포함한 시스템의 전 자동화, 예방정비(PM: preventive maintenance)의 경감 및 조작의 간소화를 위해 끊임없이 개선되고 있다.

일반적으로 이온주입(Axcelis High Current Implanter)장비에서 접지전극 캐리어(Ground Electrode carrier)의 역할은 억압전극(Suppression Electrode)과 함께 빔(Beam)을 추출시킴과 동시에 인체에 해로운X-ray선의 발생을 억제한다.

도 1은 종래 접지전극 캐리어의 정면도로서 접지전극 캐리어(10)는 하나의 커다란 그래파이트(Graphite)에 저 에너지 슬릿(14)과 고 에너지 슬릿(14) 틈이 뚫려 있는 형태를 가지고 있다. 상기 슬릿(14)의 폭은 10mm이며, 라이프 타임이 증가할수록 빔에 의해 슬릿(14)의 폭이 도 1에 도시된 바와 같이 넓어지게 된다. 상기 슬릿(14)의 폭 증가(15)는 빔 포커스에 많은 영향을 미치며, 그에 따른 빔 셋업시간의 증가, 프로세스 시간의 증가 등의 많은 영향을 미치게 된다.

그러나, 이런 슬릿(14)의 폭 증가(15)로 인한 빔 셋업시간의 증가를 해결하기 위한 방법은 캐리어(10) 전체를 교환해야하는 방법밖에는 없어 하나의 슬릿(14)이 손상되었을 경우에도 캐리어(10) 전체를 교환해야하는 부품낭비의 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로 그 목적은, 슬릿의 손상으로 인한 공정시간 및 부품의 낭비를 줄이기 위하여 캐리어 제작시 두 개의 슬릿이 따로따로 분리가 가능하도록 싱글 접지전극을 제작하여 변형된 슬릿만 교체할 수 있도록 하는 이온주입장치의 접지전극 캐리어구조를 제공하는데 있다.

도 1은 종래 접지전극 캐리어의 정면도이고,

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 싱글 접지전극 캐리어의 정면도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

20 : 캐리어 21 : 캐리어 본체

22 : 싱글 접지전극 24 : 슬릿

25 : 스크류

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 수단으로서 본 발명의 특징은 빔을 추출시킴과 동시에 인체에 해로운 엑스레이선의 발생을 억제하는 접지전극캐리어에 있어서, 상기 캐리어 본체에 부착되어 형성된 두 개의 슬릿을 싱글 접지전극으로 구성하여 스크류에 의해 분리가 가능하도록 하는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 싱글 접지전극 캐리어의 정면도로서, 도 2에 도시된 바와 같이 빔을 추출시키는 접지전극 캐리어(20)는 캐리어 본체(21)와, 상기 캐리어 본체(21)에 부착되어 두 개의 슬릿(24)이 분리 가능하도록 제작된 싱글 접지전극(22)과, 상기 싱글 접지전극(22)을 캐리어 본체(21)에서 부착 및 분리하도록 하는 스크류(25) 및 빔이 통과되는 슬릿(24)으로 구성된다.

상기 슬릿(24)의 폭은 10mm이나, 라이프 시간이 증가할수록 빔에 의해 상기 슬릿(24)의 폭이 넓어지거나 변형이 되어 셋업시간이 증가하면 두 개의 슬릿(24) 중 변형된 하나의 슬릿(24)만 상기 캐리어 본체(21)에서 분리해 내어 교체하는 것이다.

상기 캐리어 본체(21)와 슬릿(24)의 싱글 접지전극(22)은 스크류(25)에 의해 결합되어 있어 스크류(25)만 분리해 내면 간단하게 슬릿(24)을 교체할 수 있어, 고가의 캐리어 본체(21)를 교환하지 않아 원가절감 및 생산성 향상의 효과가 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 기재된 청구범위 내에 있게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 캐리어의 슬릿 제작시 싱글 접지전극의 제작으로 기존 고가의 캐리어 전체를 교체하는 대신 변형된 슬릿만을 교체시켜 줌으로서 원가절감의 효과가 있다.

또한, 저가의 슬릿 사용으로 인해 부담 없이 주기적으로 슬릿을 교환해 줄 수 있으므로, 최적의 빔 셋업이 가능하여 생산성 향상의 효과가 있다.

Claims (1)

1. 빔을 추출시킴과 동시에 인체에 해로운 엑스레이선의 발생을 억제하는 접지전극캐리어(20)에 있어서,

   상기 캐리어 본체(21)에 부착되어 형성된 두 개의 슬릿(24)을 싱글 접지전극(22)으로 구성하여 스크류(25)에 의해 분리가 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 접지전극 캐리어구조