KR100510559B1 - 이온 주입 장비의 매니퓰레이터 어셈블리 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 그라운드 전극;이온빔이 발생되는 소스부측의 상기 그라운드 전극의 전면에 도입되는 제1 서프레션 전극;상기 그라운드 전극의 후면에 도입되는 제2 서프레션 전극;상기 제1 서프레션 전극과 제2 서프레션 전극을 전기적으로 연결하고 기계적으로 지지하는 연결 레그; 및상기 그라운드 전극과 제2 서프레션 전극 사이에 전기적 절연을 위해 설치된 절연 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 주입 장비의 매니퓰레이터 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 제2 서프레션 전극측으로 상기 그라운드 전극의 일측에 이온빔이 증착되는 것을 방지하기 위한 그라운드 쉴드가 더 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 이온 주입 장비의 매니퓰레이터 어셈블리.
- 제1항에 있어서, 상기 그라운드 전극과 제2 서프레션 전극간의 거리는 상기 그라운드 전극과 상기 제1 서프레션 전극과의 거리보다 긴 것을 특징으로 하는 이온 주입 장비의 매니퓰레이터 어셈블리.
- 그라운드 전극;이온빔이 발생되는 소스부측의 상기 그라운드 전극의 전면에 도입되는 제1 서프레션 전극;상기 그라운드 전극의 후면에 도입되는 제2 서프레션 전극;상기 제1 서프레션 전극과 제2 서프레션 전극을 전기적으로 연결하고 기계적으로 지지하는 연결 레그; 및상기 그라운드 전극과 제2 서프레션 전극 사이에 전기적 절연을 위해 설치된 절연 부재; 및상기 절연 부재의 주위에 이온빔이 증착되지 않도록 설치된 컵 쉴드를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 주입 장비의 매니퓰레이터 어셈블리.
- 제4항에 있어서, 상기 컵 쉴드는 상기 그라운드 전극에 설치된 제1 컵 쉴드와, 상기 제2 서프레션 전극에 설치된 제2 컵 쉴드로 구성되는 것을 특징으로 하는 이온 주입 장비의 매니퓰레이터 어셈블리.
- 제4항에 있어서, 상기 제2 서프레션 전극측으로 상기 그라운드 전극의 일측에 이온빔이 증착되는 것을 방지하기 위한 그라운드 쉴드가 더 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 이온 주입 장비의 매니퓰레이터 어셈블리.
- 제4항에 있어서, 상기 그라운드 전극과 제2 서프레션 전극간의 거리는 상기 그라운드 전극과 상기 제1 서프레션 전극과의 거리보다 긴 것을 특징으로 하는 이온 주입 장비의 매니퓰레이터 어셈블리.
- 그라운드 전극;이온빔이 발생되는 소스부측의 상기 그라운드 전극의 전면에 도입되는 제1 서프레션 전극;상기 그라운드 전극의 후면에 도입되는 제2 서프레션 전극;상기 제2 서프레션 전극측으로 상기 그라운드 전극의 일측에 이온빔이 증착되는 것을 방지하기 위해 설치된 그라운드 쉴드;상기 제1 서프레션 전극과 제2 서프레션 전극을 전기적으로 연결하고 기계적으로 지지하는 연결 레그;상기 그라운드 전극과 제2 서프레션 전극 사이에 전기적 절연을 위해 설치된 절연 부재; 및상기 절연 부재의 주위에 이온빔이 증착되지 않도록 설치된 컵 쉴드를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 주입 장비의 매니퓰레이터 어셈블리.
- 제8항에 있어서, 상기 그라운드 전극과 제2 서프레션 전극간의 거리는 상기 그라운드 전극과 상기 제1 서프레션 전극과의 거리보다 긴 것을 특징으로 하는 이온 주입 장비의 매니퓰레이터 어셈블리.
- 중앙 부분에 이온빔이 통과하는 제1 홀을 갖는 그라운드 전극;상기 그라운드 전극의 전면에 도입되고 이온빔이 통과하는 제2홀을 갖는 제1 서프레션 전극;상기 그라운드 전극의 후면에 도입되고, 이온빔이 통과하는 제3홀을 갖는 제2 서프레션 전극;상기 제2 서프레션 전극측으로 상기 그라운드 전극의 일측에 이온빔이 증착되는 것을 방지하기 위해 설치된 그라운드 쉴드;상기 제1 서프레션 전극과 제2 서프레션 전극을 전기적으로 연결하고 기계적으로 지지하는 연결 레그; 및상기 그라운드 전극과 제2 서프레션 전극 사이에 전기적 절연을 위해 설치된 절연 부재; 및상기 절연 부재의 주위에 이온빔이 증착되지 않도록 설치된 컵 쉴드를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 주입 장비의 매니퓰레이터 어셈블리.
- 제10항에 있어서, 상기 그라운드 전극과 제2 서프레션 전극간의 거리는 상기 그라운드 전극과 상기 제1 서프레션 전극과의 거리보다 긴 것을 특징으로 하는 이온 주입 장비의 매니퓰레이터 어셈블리.
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