KR20040035133A - 진공밸브 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 일측이 공정챔버에 연결되고 타측이 펌프에 연결되는 통과공(302)이 형성되고, 상기 통과공(302)을 직교방향으로 관통하도록 내부에 형성된 슬라이드공간(304)을 갖는 메인하우징(300);상기 슬라이드공간(304)과 상기 통과공(302) 사이에서 왕복하여 상기 통과공(302)을 개폐하는 개폐수단(310);상기 슬라이드공간(304)에서 슬라이드되면서 상기 개폐수단(310)을 이동시키고, 상기 개폐수단(310)의 이동방향과 직교방향으로 장홈(322)이 형성된 이동블럭(320);상기 메인하우징(300)의 상방에 고정되는 보조하우징(330);상기 보조하우징(330)과 상기 슬라이드공간(304)부에 걸쳐 설치되고, 상단에 웜휠(342)이 고정된 수직회전축(340);상기 수직회전축(340)의 하단에 수평방향으로 고정되고, 상기 장홈(322)에 걸리는 걸림돌부(352)를 갖는 스윙축(350);상기 보조하우징(330)에 회전가능하게 설치되고, 상기 웜휠(342)에 치합되는 웜기어(362)가 고정된 수평회전축(360);상기 수평회전축(360)의 단부에 고정된 노브(370);상기 보조하우징(330)에 설치되어 상기 개폐수단(310)이 상기 통과공(302)을 개방하였을 때의 상기 수직회전축(340)의 회전위치를 감지하는 제 1센서(380);상기 보조하우징(330)에 설치되어 상기 개폐수단(310)이 상기 통과공(302)을 폐쇄하였을 때의 상기 수직회전축(340)의 회전위치를 감지하는 제 2센서(390); 및상기 제 1센서(380) 및 제 2센서(390)의 감지내용을 디스플레이하는 2이상의 램프(400);를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 청구항 1에 있어서, 상기 이동블럭(320)은, 상기 이동블럭(320)은 연결축(312)을 통하여 상기 개폐수단(310)에 연결되고;상기 이동블럭(320)의 양측면에는 상기 슬라이드공간(304)의 양내측면에 접촉되어 구르는 다수의 롤러(324)가 부착된 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 청구항 1에 있어서, 상기 수직회전축(340)의 외주면에는 상기 보조하우징(330)에 회전가능하게 지지되는 제 1베어링(346)이 결합되고;상기 걸림돌부(352)의 외주면에는 상기 장홈(322)에 접촉되는 제 2베어링(354)이 결합되며;상기 수평회전축(360)의 외주면에는 상기 보조하우징(330)에 회전가능하게 지지되는 제 3베어링(364)이 결합된 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 청구항 1에 있어서, 상기 제 1센서(380) 및 상기 제 2센서(390)는, 상기 수직회전축(340)에 형성된 터치레버(344)에 의해 스위칭되는 리미트스위치인 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 청구항 1에 있어서, 상기 램프(400)는, 상기 통과공(302)의 완전개방과 완전폐쇄와 불완전개방을 표시하는 3개로 이루어지고, 각 램프(400)는 색상을 달리하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
- 청구항 1에 있어서, 상기 보조하우징(330)의 상면에는 상기 수직회전축(340)의 둘레를 따라 상기 개폐수단(310)이 통과공(302)을 개폐한 정도를 표시하는 눈금(332)이 표시되고;상기 수직회전축(340)의 상단면에는 눈금(332)을 가리키는 화살표(348)가 표시된 것을 특징으로 하는 진공밸브.
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2002
- 2002-10-18 KR KR10-2002-0063880A patent/KR100486431B1/ko active IP Right Grant
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Publication number | Publication date |
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