KR100486435B1

KR100486435B1 - 진공밸브

Info

Publication number: KR100486435B1
Application number: KR10-2002-0083151A
Authority: KR
Inventors: 송양섭
Original assignee: 주식회사 에스티에스
Priority date: 2002-12-24
Filing date: 2002-12-24
Publication date: 2005-04-29
Also published as: KR20040056630A

Abstract

유체의 이동통로를 개폐하는 개폐수단을 자동으로 동작시키고 개폐수단의 현재상태를 디스플레이 시켜 사용자의 편의를 도모하기 위한 진공밸브가 개시된다.

이러한 진공밸브의 이동블럭(320)은 슬라이드공간(304)에서 슬라이드 되면서 개폐수단(310)을 이동시킨다. 수직회전축(340)은 보조하우징(330)과 슬라이드공간(304)에 걸쳐 설치된다. 스윙축(350)은 수직회전축(340)의 하단에 수평방향으로 고정되어서 이동블럭(320)을 이동시킨다. 모터(370)는 메인하우징(300)의 일측에 배치되고, 일단은 모터(370)에 결합되고 타단은 수직회전축(340)에 결합되는 감속기어(360)를 통해 모터(370)으로부터 발생되는 회전력을 수직회전축(340)으로 전달한다. 제 1센서(380)와 제 2센서(390)는 개폐수단(310)이 상기 통과공(302)을 개방 또는 폐쇄함을 감지하고, 2이상의 램프(400)는 제 1센서(380) 및 제 2센서(390)의 감지내용을 디스플레이 한다.

이러한 진공밸브는, 개폐수단(310)의 개방과 폐쇄시 점등되는 램프(400)를 보고 사용자뿐만 아니라 제 3자도 개방과 폐쇄 상태를 정확히 알 수 있으며, 모터(370)의 회전에 의해 개폐수단(310)이 이동하므로 좁은 공간에서도 진공밸브를 작동시킬 수 있다.

Description

진공밸브{VACUUM VALVE}

본 발명은 진공밸브에 관한 것으로, 유체의 이동통로를 개폐하는 개폐수단을 자동으로 동작시켜 좁은 공간에서 사용할 수 있도록 하고, 개폐수단의 현재상태를 디스플레이 시켜 사용자의 편의를 도모하기 위한 것이다.

일반적으로 반도체소자 제조장치에는 공정챔버의 유동성 가스를 배기시키기 위하여, 배기용 펌프와 유동성의 가스를 중화시키기 위한 가스 처리기가 구비되어 있다. 특히 공정챔버와 펌프의 사이에는 배기가스의 양을 조절하는 스로틀밸브와 배기가스의 통로를 개폐하는 게이트밸브가 설치되고, 공정챔버와 펌프의 사이 또는 펌프와 가스처리기의 사이에는 라인을 일시적으로 차단하기 위한 진공밸브가 설치된다. 이러한 진공밸브는 라인을 가동중인 상태에서 라인의 점검할 수 있도록, 일부라인을 개방하고 일부라인을 폐쇄시키는 역할을 한다.

이와 같은 진공밸브로서 본 출원인은 2002년 3월 5일자로 10-2002-0011611호 '반도체소자 제조장치용 진공제어밸브'를 출원한 바 있다.

도 1은 상기 출원된 진공제어밸브의 분해사시도이다.

이러한 진공제어밸브는, 손잡이(200)를 회동시킴에 따라 구동축(160)이 개폐수단(140)을 슬라이드시켜 메인하우징(100)에서 유체가 이동하는 통로인 통과공(102)을 개폐하게 된다.

그런데, 이러한 진공제어밸브를 개폐하려면 손잡이(200)를 회동시키기 위한 충분한 공간이 필요하여 좁은 공간에서는 사용하기에 불편한 단점이 있었다.

또한 통과공(102)이 개방 또는 폐쇄되었는지는 손잡이(200)의 위치를 보고서 알 수밖에 없다. 따라서 진공제어밸브를 항상 사용하는 사용자가 아닌 제 3자가 진공제어밸브를 보게 되면, 현재상태가 개방된 상태인지 폐쇄된 상태인지를 구분할 수 없으며, 진공제어밸브를 항상 사용하는 사용자도 진공제어밸브가 완전히 개방되었는지 또는 완전히 폐쇄되었는지는 정확히 알기 어려운 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 점에 착안하여 안출한 것으로, 본 발명의 목적은 유체의 이동통로를 개폐하는 개폐수단을 자동으로 동작시켜 좁은 공간에서 사용할 수 있도록 하고, 개폐수단의 현재상태를 디스플레이 시켜 사용자의 편의를 도모하기 위한 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 일측이 공정챔버에 연결되고 타측이 펌프에 연결되는 통과공이 형성되고, 상기 통과공을 직교방향으로 관통하도록 내부에 형성된 슬라이드공간을 갖는 메인하우징; 상기 제 1슬라이드공간과 상기 통과공 사이에서 왕복하여 상기 통과공을 개폐하는 개폐수단; 상기 슬라이드공간에서 슬라이드 되면서 상기 개폐수단을 이동시키고, 상기 개폐수단의 이동방향과 직교방향으로 장홈이 형성된 이동블럭; 상기 메인하우징의 상방에 고정되는 보조하우징; 상기 보조하우징과 상기 슬라이드 공간부에 걸쳐 설치되는 수직회전축; 상기 수직회전축의 하단에 수평방향으로 고정되고, 상기 장홈에 걸리는 걸림돌부를 갖는 스윙축; 상기 메인하우징의 일측에 배치되는 모터; 상기 보조하우징에 설치되고, 일단은 상기 모터에 결합되고 타단은 상기 수직회전축에 결합되어 상기 모터의 회전속도를 감속시켜 상기 수직회전축에 전달하는 감속기어;를 포함하는 진공밸브를 제공한다.

이하에서는 상기와 같은 본 발명의 양호한 실시예를 설명한다.

도 2는 본 실시예인 진공밸브를 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2의 평단면도이며, 도 4는 도 2의 측단면도이다.

본 실시예의 진공밸브는, 일측이 공정챔버에 연결되고 타측이 펌프에 연결되는 통과공(302)이 형성되고, 통과공(302)을 직교방향으로 관통하도록 내부에 형성된 슬라이드공간(304)을 갖는 메인하우징(300); 슬라이드공간(304)과 통과공(302) 사이에서 왕복하여 통과공(302)을 개폐하는 개폐수단(310); 슬라이드공간(304)에서 슬라이드 되면서 개폐수단(310)을 이동시키고, 개폐수단(310)의 이동방향과 직교방향으로 장홈(322)이 형성된 이동블럭(320); 메인하우징(300)의 상방에 고정되는 보조하우징(330); 보조하우징(330)과 슬라이드공간(304)부에 걸쳐 설치되는 수직회전축(340); 수직회전축(340)의 하단에 수평방향으로 고정되고, 장홈(322)에 걸리는 걸림돌부(352)를 갖는 스윙축(350); 메인하우징(300)의 외부에 배치되는 모터(370); 보조하우징(330)에 설치되고, 일단은 모터(370)에 결합되고 타단은 수직회전축(340)에 결합되어 모터(370)의 회전속도를 감속시켜 수직회전축(340)에 전달하는 감속기어(360);로 이루어진다.

상기 이동블럭(320)은, 이동블럭(320)은 연결축(312)을 통하여 상기 개폐수단(310)에 연결된다. 그리고 이동블럭(320)의 양측면에는 슬라이드공간(304)의 양내측면에 접촉되어 구르는 다수의 롤러(324)가 부착되어 이동블럭(320)의 이동시 마찰을 줄이게 된다.

상기 수직회전축(340)의 외주면에는 보조하우징(330)에 회전 가능하게 지지되는 제 1베어링(346)이 결합된다. 그리고 걸림돌부(352)의 외주면에는 장홈(322)에 접촉되는 제 2베어링(354)이 결합된다.

제 1베어링(346)은 수직회전축(340)의 회전을 원활하게 하고, 제 2베어링(354)은 걸림돌부(352)의 회동동작을 원활하게 한다.

한편, 보조하우징(330)에 설치되어 개폐수단(310)이 통과공(302)을 개방하였을 때의 수직회전축(340)의 회전위치를 감지하는 제 1센서(380); 보조하우징(330)의 내부에 설치되고, 개폐수단(310)이 통과공(302)을 폐쇄하였을 때의 수직회전축(340)의 회전위치를 감지하는 제 2센서(390); 및 보조하우징(330)에 외부에 설치되고, 제 1센서(380) 및 제 2센서(390)의 감지내용을 디스플레이 하는 2이상의 램프(400);가 구비된다.

상기 제 1센서(380) 및 제 2센서(390)는, 수직회전축(340)에 형성된 터치레버(344)에 의해 스위칭되는 리미트 스위치이다. 이러한 제 1센서(380) 및 제 2센서(390)는 자기센서, 광센서 등 수직회전축(340)의 회전을 감지할 수 있는 센서이면 무방하다.

상기 램프(400)는, 통과공(302)의 완전개방과 완전폐쇄를 표시하는 2개로 이루어지고, 각 램프(400)는 색상을 달리한다. 즉, 1개의 램프(400)는 개폐수단(310)이 통과공(302)을 개방하여 유체의 이동이 허용된 상태, 1개의 램프(400)는 개폐수단(310)이 통과공(302)을 폐쇄하여 유체의 이동이 완전 통제된 상태를 표시한다.

한편, 메인하우징(300)의 슬라이드공간(304)의 일측단부는 각 부재들을 삽입하기 위하여 개방된 형태이므로, 이 개방된 부분에 차단판(306)을 조립하여 차단한다. 2개의 램프(400)는 보조하우징(330)에 조립하여 고정한다.

이하에서는 상기와 같은 구성으로 된 진공밸브의 작용을 설명한다.

도 5는 본 실시예에 따른 진공밸브의 사용상태 평단면도이고, 도 6은 도 2의 사용상태 측단면도이다.

먼저, 챔버에서 펌프로 이동하는 유체의 흐름을 폐쇄하기 위하여 모터(370)에 전원을 인가하여 회전시키면, 모터(370)의 회전은 감속기어(360)를 지나면서 감속됨과 동시에 회전력이 증가된 후, 수직회전축(340)에 전달된다.

수직회전축(340)이 회전하면, 하방의 스윙축(350)이 회동하게 되고, 스윙축(350)의 걸림돌부(352)가 이동블럭(320)의 장홈(322)에 결합되어서 이동블럭(320)을 이동시키게 된다. 이동블럭(320)은 연결축(312)을 통하여 개폐수단(310)을 통과공(302)으로 밀어 넣어 챔버로부터 펌프로 이동하는 유체의 흐름을 차단하게 된다.

이와 같이 이동블럭(320)이 이동하는 도중 롤러(324)는 슬라이드공간(304)의 측면에 접촉되어 이동블럭(320)의 부드러운 이동을 돕는다. 이 과정에서는 두 개의램프(400)가 소등된다.

그리고 도 3 및 도 4와 같이 개폐수단(310)이 통과공(302)을 완전하게 폐쇄하면, 수직회전축(340)의 터치레버(344)가 제 2센서(390)를 터치하여 램프(400)중 폐쇄를 표시하는 램프(400)를 점등시킴으로써 사용자 또는 제 3자가 유체의 이동이 폐쇄되었음을 알 수 있도록 한다.

한편, 챔버에서 펌프로 이동하는 유체의 흐름을 허용하기 위하여 모터(370)에 역전류를 인가하면, 모터(370)가 상기와 반대 방향으로 회전되고, 감속기어(360)를 통하여 수직회전축(340)을 역방향으로 회전시킨다.

수직회전축(340)이 역회전하면, 하방의 스윙축(350)이 역방향으로 회동하게 되고, 스윙축(350)의 걸림돌부(352)가 이동블럭(320)의 장홈(322)에서 결합되어서 이동블럭(320)을 역방향으로 이동시키게 된다. 이동블럭(320)은 연결축(312)을 통하여 개폐수단(310)을 통과공(302)으로부터 슬라이드공간(304)으로 빼내어 챔버로부터 펌프로 이동하는 유체의 흐름을 허용하게 된다.

그리고 도 5 및 도 6과 같이 개폐수단(310)이 통과공(302)을 완전하게 개방하면, 수직회전축(340)의 터치레버(344)가 제 1센서(380)를 터치하여 램프(400)중 개방을 표시하는 램프(400)를 점등시킴으로써 사용자 또는 제 3자가 유체의 이동이 허용되었음을 알 수 있도록 한다.

이와 같이 본 실시예의 진공밸브는, 사용자뿐만 아니라 제 3자도 개방과 폐쇄 상태를 정확히 알 수 있게 된다.

또한 본 실시예의 진공밸브는, 모터(370)의 회전에 의해 개폐수단(310)이 이동하므로 좁은 공간에서도 진공밸브를 작동시킬 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 진공밸브는, 개폐수단(310)의 개방과 폐쇄시 점등되는 램프(400)를 보고 사용자뿐만 아니라 제 3자도 개방 및 폐쇄 상태를 정확히 알 수 있으며, 모터(370)의 회전에 의해 개폐수단(310)이 이동하므로 좁은 공간에서도 진공밸브를 작동시킬 수 있는 효과가 있다.

이상에서는 본 발명을 하나의 실시예로써 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형이 가능할 것이다.

도 1은 종래의 진공밸브를 도시한 분해사시도.

도 2는 본 발명의 일실시예인 진공밸브를 도시한 사시도.

도 3은 도 2의 평단면도.

도 4는 도 2의 측단면도.

도 5는 도 2의 사용상태 평단면도.

도 6은 도 2의 사용상태 측단면도.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

300: 메인하우징 302: 통과공

304: 슬라이드공간 306: 차단판

310: 개폐수단 312: 연결축

320: 이동블럭 322: 장홈

324: 롤러 330: 보조하우징

340: 수직회전축 344: 터치레버

346: 제 1베어링 350: 스윙축

352: 걸림돌부 360: 감속기어

370: 모터 380: 제 1센서

390: 제 2센서 400: 램프

Claims

일측이 공정챔버에 연결되고 타측이 펌프에 연결되는 통과공(302)이 형성되고, 상기 통과공(302)을 직교방향으로 관통하도록 내부에 형성된 슬라이드공간(304)을 갖는 메인하우징(300);

상기 슬라이드공간(304)과 상기 통과공(302) 사이에서 왕복하여 상기 통과공(302)을 개폐하는 개폐수단(310);

상기 슬라이드공간(304)에서 슬라이드 되면서 상기 개폐수단(310)을 이동시키고, 상기 개폐수단(310)의 이동방향과 직교방향으로 장홈(322)이 형성된 이동블럭(320);

상기 메인하우징(300)의 상방에 고정되는 보조하우징(330);

상기 보조하우징(330)과 상기 슬라이드공간(304)부에 걸쳐 설치되는 수직회전축(340);

상기 수직회전축(340)의 하단에 수평방향으로 고정되고, 상기 장홈(322)에 걸리는 걸림돌부(352)를 갖는 스윙축(350);

상기 메인하우징(300)의 일측에 결합되는 모터(370); 및

상기 보조하우징(330)에 설치되고, 일단은 상기 모터(370)에 결합되고 타단은 상기 수직회전축(340)에 결합되어 상기 모터(370)의 회전속도를 감속시켜 상기 수직회전축(340)에 전달하는 감속기어(360);를 포함하는 진공밸브.
청구항 1에 있어서, 상기 연결축(312)을 통하여 상기 개폐수단(310)에 연결되고;

상기 이동블럭(320)의 양측면에는 상기 슬라이드공간(304)의 양내측면에 접촉되어 구르는 다수의 롤러(324)가 부착된 것을 특징으로 하는 진공밸브.
청구항 1에 있어서, 상기 수직회전축(340)의 외주면에는 상기 보조하우징(330)에 회전 가능하게 지지되는 제 1베어링(346)이 결합되고;

상기 걸림돌부(352)의 외주면에는 상기 장홈(322)에 접촉되는 제 2베어링(354)이 결합된 것을 특징으로 하는 진공밸브.
청구항 1에 있어서, 상기 보조하우징(330)에 설치되어 상기 개폐수단(310)이 상기 통과공(302)을 개방하였을 때의 상기 수직회전축(340)의 회전위치를 감지하는 제 1센서(380);

상기 보조하우징(330)의 내부에 설치되고, 상기 개폐수단(310)이 상기 통과공(302)을 폐쇄하였을 때의 상기 수직회전축(340)의 회전위치를 감지하는 제 2센서(390); 및

상기 보조하우징(330)에 외부에 설치되고, 상기 제 1센서(380) 및 제 2센서(390)의 감지내용을 디스플레이 하는 2이상의 램프(400);를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
청구항 4에 있어서, 상기 제 1센서(380) 및 상기 제 2센서(390)는, 상기 수직회전축(340)에 형성된 터치레버(344)에 의해 스위칭되는 리미트스위치인 것을 특징으로 하는 진공밸브.
청구항 4에 있어서, 상기 램프(400)는, 상기 통과공(302)의 완전개방과 완전폐쇄를 표시하는 2개로 이루어지고, 각 램프(400)는 색상을 달리하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.