KR20040026117A - 착색 감광성 수지 조성물 - Google Patents

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KR20040026117A
KR20040026117A KR1020030046035A KR20030046035A KR20040026117A KR 20040026117 A KR20040026117 A KR 20040026117A KR 1020030046035 A KR1020030046035 A KR 1020030046035A KR 20030046035 A KR20030046035 A KR 20030046035A KR 20040026117 A KR20040026117 A KR 20040026117A
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다나카사토루
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스미또모 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은 착색 안료를 고농도로 함유하여도 고감도인 착색 감광성 수지 조성물 및 당해 착색 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성한 착색 화소가 표면 평활성, 패턴 형상 및 명도가 우수한, 고품질의 컬러 필터에 관한 것이다.
본 발명의 착색 감광성 수지 조성물은 결합제 수지(A), 광중합성 단량체(B), 광중합 개시제(C), 착색 재료(D) 및 용제(E)를 함유하며, 광중합 개시제(C)가 페닐티오아세트산 유도체(1)를 함유함을 특징으로 한다.

Description

착색 감광성 수지 조성물{Colored photosensitive resin composition}
본 발명은 자외선 경화형 잉크나 포토레지스트 등에 널리 이용되고 있는 감광성 수지 조성물에 관한 것이며, 특히 컬러 액정 표시장치나 촬영소자 등에 사용되는 착색 화상(이하, 화소라고 하기도 함)을 형성하기 위한 레지스트에 적절한 착색 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.
컬러 액정 표시장치나 촬영소자 등에서의 컬러 필터는 통상적으로 유리 실리콘 웨이퍼 등의 기판 위에 적, 녹 및 청의 삼원색 화소를 형성함으로써 제조되고 있다. 또한, 이들 화소 사이를 차광하기 위한 블랙 매트릭스를 설치하는 것이 통상적이다. 그리고, 이들 각 색상의 화소를 형성하는 데는 차광층이 패턴 형성된 기판 위에 각 색상에 상당하는 안료를 함유하는 레지스트 액을 스핀 코터에 의해 균일하게 도포한 다음 가열 건조(프리베이크)하고 이러한 도포막을 노광, 현상하는 방법이 채용되고 있으며, 이들 조작을 컬러 필터에 필요한 색상마다 반복함으로써 각 색상의 화상을 수득하고 있다. 이러한 레지스트로서 안료 및 결합제 수지와 함께 광중합성 단량체 및 광중합 개시제를 함유하는 조성물이 많이 사용된다. 또한블랙 매트릭스의 형성에도 흑색 안료를 함유하는 레지스트를 사용하는 경우가 있다.
이러한 레지스트에 사용되는 광중합 개시제는 컬러 필터를 제작하는데 필요한 특성 및 품질을 좌우하는 점으로부터 감도가 높은 것, 제작한 컬러 필터의 표면 평활성, 패턴 형상, 내약품성이나 신뢰성이 높은 것이 검토되고 있다. 이들 예로서는 트리아진계 화합물, 트리아진계 화합물과 이미다졸계 화합물과의 혼합물, 트리아진계 화합물, 이미다졸계 화합물 및 아미노아세토페논계 화합물 또는 벤조페논과의 혼합물 등을 사용하는 착색 감광성 수지 조성물이 제안되어 있다[일본 공개특허공보 제(평)6-201913호, 제(평)6-324484호 및 제(평)7-261014호 등]. 또한 고감도화에 관해 다관능 티올 화합물 및 비이미다졸 화합물, 티타노센 화합물, 트리아진 화합물 및 옥사디아졸 화합물로부터 선택된 하나 이상으로 이루어진 혼합물, 2-피페로닐-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 또한 상기한 트리아진 화합물과 비이미다졸계 화합물 및 수소 공여체로 이루어진 혼합물이 제안되어 있다[일본 공개특허공보 제(평)10-253815호 및 제2000-221675호 등]. 이들 트리아진계 화합물을 광중합 개시제 성분으로 하는 착색 감광성 수지 조성물로부터 수득되는 컬러 필터는 상기한 장점이 있지만 단점으로서 형성되는 컬러 화소의 투과율이 낮아지는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 착색 재료를 고농도로 함유하여도 고감도인 착색 감광성수지 조성물 및 당해 착색 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성한 착색 화소가 표면 평활성, 패턴 형상 및 명도가 우수한 고품질의 컬러 필터를 제공하는 것이다.
본 발명자는 예의 검토한 결과, 특정한 광중합 개시제를 함유하는 착색 감광성 수지 조성물이 상기한 과제를 해결할 수 있음을 밝혀내고 본 발명에 이르렀다.
즉, 본 발명은 결합제 수지(A), 광중합성 단량체(B), 광중합 개시제(C), 착색 재료(D) 및 용제(E)를 함유하는 착색 감광성 수지 조성물이며, 광중합 개시제(C)가 페닐티오아세트산 유도체(1)를 함유하여 이루어진 착색 감광성 수지 조성물, 당해 착색 감광성 수지 조성물을 기판 위에 도포하여 도포된 착색 감광성 수지 조성물 층으로부터 휘발 성분을 제거하고 포토마스크를 개재시켜 당해 착색 감광성 수지 조성물 층에서 휘발 성분을 제거한 층을 노광시켜 현상하는 패턴의 형성방법 및 당해 방법으로 형성된 패턴을 포함하는 컬러 필터 및 당해 컬러 필터를 장착한 액정 표시장치를 제공한다.
본 발명의 착색 감광성 수지 조성물은 주로 안료 분산 레지스트로서 사용되는 것이며 용제(E) 중에 통상적으로는 안료인 착색 재료(D)가 분산되는 동시에 결합제 수지(A), 광중합성 단량체(B) 및 광중합 개시제(C), 임의로 기타 첨가제(F)가 용해 또는 분산되어 있다.
결합제 수지(A)는 알칼리 용해성을 갖고 또한 착색 재료의 분산매로서 작용한다. 본 발명에서 사용되는 결합제 수지로서 불포화 카복실산에서 유래하는 구성단위를 함유하는 중합체가 바람직하며 당해 중합체는 불포화 카복실산에서 유래하는 구성 단위로 이루어진 단독중합체일 수 있지만 불포화 카복실산에서 유래하는 구성 단위와 공중합할 수 있는 단량체에서 유래하는 다른 구성 단위를 함유하는 공중합체가 보다 바람직하다.
상기한 불포화 카복실산에서 유래하는 구성 단위로서는 구체적으로 아크릴산에서 유래하는 구성 단위 및 메타크릴산에서 유래하는 구성 단위를 들 수 있다. 아크릴산에서 유래하는 구성 단위 및 메타크릴산에서 유래하는 구성 단위는 불포화 카복실산에서 유래하는 구성 단위로서 각각 단독으로 함유될 수 있으며 양쪽이 함유될 수 있다. 또한, 크로톤산, 이타콘산, 말레산, 푸마르산 등의 기타 불포화 카복실산 및 불포화 카복실산 무수물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 카복실산에서 유래하는 구성 단위나 α-(하이드록시메틸)아크릴산에서 유래하는 구성 단위와 같은 동일 구성 단위 중에 하이드록시기 및 카복실기를 함유하는 구성 단위를 들 수 있지만, 이들 구성 단위가 결합제 수지중에 함유되는 경우에는 통상적으로 아크릴산에서 유래하는 구성 단위나 메타크릴산에서 유래하는 구성 단위와 함께 함유된다. 이들 구성 단위는 각각 1종 이상일 수 있다.
본 발명에 사용되는 결합제 수지는 불포화 카복실산에서 유래하는 구성 단위와 공중합할 수 있는 구성 단위를 함유하는 것이 바람직하며, 당해 공중합할 수 있는 구성 단위로서 (메트)아크릴레이트 화합물에서 유래하는 구성 단위를 함유하는 공중합체가 보다 바람직하다.
(메트)아크릴레이트 화합물에서 유래하는 구성 단위로서 구체적으로는 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, 부틸(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 2-하이드록시에틸(메트)아크릴레이트, 아미노에틸(메트)아크릴레이트 등의 불포화 카복실산의 치환되지 않거나 치환된 알킬에스테르에서 유래하는 구성 단위; 사이클로펜틸(메트)아크릴레이트, 사이클로헥실(메트)아크릴레이트, 메틸사이클로헥실(메트)아크릴레이트, 사이클로헵틸(메트)아크릴레이트, 사이클로옥틸(메트)아크릴레이트, 멘틸(메트)아크릴레이트, 사이클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 사이클로헥세닐(메트)아크릴레이트, 사이클로헵테닐(메트)아크릴레이트, 사이클로옥테닐(메트)아크릴레이트, 멘타디에닐(메트)아크릴레이트, 이소보르닐(메트)아크릴레이트, 피나닐(메트)아크릴레이트, 트리사이클로데실(메트)아크릴레이트, 트리사이클로데실옥시에틸(메트)아크릴레이트, 아다만틸(메트)아크릴레이트, 노르보르네닐(메트)아크릴레이트, 피네닐(메트)아크릴레이트, 디사이클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 디사이클로펜테닐옥시에틸(메트)아크릴레이트 등의 불포화 카복실산의 지환식 기를 함유하는 에스테르에서 유래하는 구성 단위; 글리시딜(메트)아크릴레이트 등의 불포화 카복실산글리시딜에스테르에서 유래하는 구성 단위; 옥세탄(메트)아크릴레이트 등의 불포화 카복실산옥세탄에스테르에서 유래하는 구성 단위; 올리고에틸렌글리콜모노알킬(메트)아크릴레이트 등의 글리콜류의 단량체 알킬에테르의 불포화 카복실산에스테르에서 유래하는 구성 단위 등을 들 수 있으며 바람직하게는 (메트)아크릴산의 치환되지 않거나 치환된 알킬에스테르에서 유래하는 구성 단위 및 (메트)아크릴산의 지환식 기를 포함하는 에스테르에서 유래하는 구성 단위를 들 수 있으며 보다 바람직하게는 구체적으로 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, 부틸(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트, 2-하이드록시에틸(메트)아크릴레이트, 아미노에틸(메트)아크릴레이트에 각각 유래하는 구성 단위를 들 수 있으며, 특히 바람직하게는 벤질(메트)아크릴레이트에서 유래하는 구성 단위를 들 수 있다.
또한 상기한 공중합체에서 불포화 카복실산에서 유래하는 구성 단위 및 (메트)아크릴레이트 화합물에서 유래하는 구성 단위와 공중합할 수 있는 다른 구성 단위를 함유할 수 있다. 당해 공중합할 수 있는 다른 구성 단위로서는 스티렌, α-메틸스티렌, 비닐톨루엔 등의 방향족 비닐 화합물에서 유래하는 구성 단위; 비닐 아세테이트, 비닐 프로피네이트 등의 비닐 카복실레이트에서 유래하는 구성 단위; (메트)아크릴로니트릴, α-클로로아크릴로니트릴 등의 시안화비닐 화합물에서 유래하는 구성 단위; N-페닐말레이미드 등의 말레이미드 화합물에서 유래하는 구성 단위 등을 들 수 있다.
당해 공중합할 수 있는 다른 구성 단위는 결합제 수지(A)의 제조에 있어서 각각 단독으로 함유될 수 있으며 2종류 이상 함유될 수 있다.
결합제 수지(A)에서 불포화 카복실산에서 유래하는 구성 단위는 결합제 수지의 전체 중량에 대해 통상적으로 10 내지 50질량%, 또한 15 내지 40질량%의 범위로 존재시키는 것이 바람직하다. 불포화 카복실산에서 유래하는 구성 단위가 상기한 기준으로 10 내지 50질량%이면 현상액에서의 용해성이 충분하므로 미노광부의 기판 위에 잔사가 발생하지 않으며 또한 현상할 때에 노광부의 화소부분에 막 감소가 생기는 경우가 없고 화소 전체가 박리하지 않는 경향이 있어 바람직하다.
결합제 수지(A)는 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량이 10,000 내지 100,000의 범위인 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 15,000 내지 50,000의 범위이다. 결합제 수지(A)의 중량 평균 분자량이 10,000 내지 100,000의 범위에 있으면 현상시에 막 감소가 생기기 어려우며 또한 현상할 때에 비화소 부분의 이탈성이 양호한 경향이 있어 바람직하다.
이러한 결합제 수지(A)는 조성물 중의 전체 고형분량을 기준으로 하여 통상적으로 5 내지 90질량%, 바람직하게는 10 내지 70질량%의 범위로 함유된다. 결합제 수지(A)가 상기한 기준으로 5 내지 90질량%이면 현상액에서의 용해성이 충분하고 비화소 부분의 기판 위에 현상 잔사가 발생하기 어렵고 또한 현상할 때에 노광부의 화소부분의 막 감소가 생기기 어려우며 비화소 부분의 이탈성이 양호한 경향이 있어 바람직하다. 또한, 본 명세서에서 조성물 중의 전체 고형분량은 조성물의 중량에서 용매 중량을 뺀 중량이다.
본 발명의 착색 감광성 수지 조성물에 함유되는 광중합성 단량체(B)는 광 및 후술하는 광중합 개시제의 작용으로 중합할 수 있는 화합물이며, 단관능 단량체 이외에 2관능 단량체, 3관능 이상의 다관능 단량체일 수 있다.
단관능 단량체의 구체적인 예로서는 노닐페닐카비톨아크릴레이트, 2-하이드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트, 2-에틸헥실카비톨아크릴레이트, 2-하이드록시에틸아크릴레이트, N-비닐피롤리돈 등을 들 수 있다.
또한, 2관능 단량체의 구체적인 예로서는 1,6-헥산디올디(메트)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 비스페놀 A의 비스(아크릴로일옥시에틸)에테르, 3-메틸펜탄디올디(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다.
3관능 이상의 다관능 단량체의 구체적인 예로서는 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이중에서도 2관능 단량체 또는 3관능 이상의 다관능 단량체가 바람직하게 사용된다.
광중합성 단량체(B)는 착색 감광성 수지 조성물 중의 결합제 수지(A) 및 광중합성 단량체(B)의 합계 100질량부에 대해 통상적으로 1 내지 60질량부, 바람직하게는 5 내지 50질량부의 범위로 함유된다. 광중합성 단량체(B)의 함유량이 상기의 기준으로 1 내지 60질량부의 범위이면 화소부의 강도나 평활성이 양호해지는 경향이 있어 바람직하다.
다음에 본 발명의 착색 감광성 수지 조성물에 함유되는 광중합 개시제(C)는 페닐티오아세트산 유도체(1)를 함유한다. 페닐티오아세트산 유도체(1)를 함유하는 것으로 수득된 착색 감광성 수지 조성물은 고감도로 되며 또한 이를 사용하여 형성하는 막은 이의 화소부의 강도나 표면 평활성이 양호해진다.
또한, 페닐티오아세트산 유도체(1)에 추가하여 비이미다졸 화합물(2)을 함유하면 수득되는 착색 감광성 수지 조성물은 보다 고감도로 되어 바람직하다.
또한, 페닐티오아세트산 유도체(1) 및 필요에 따라 비이미다졸 화합물(2)에 추가하여 광중합 개시 조제(3)를 함유시킴으로써 수득한 착색 감광성 수지 조성물은 더욱 고감도로 되고 이를 사용하여 컬러 필터를 형성할 때에 생산성이 향상되므로 바람직하다.
페닐티오아세트산 유도체(1)는 페닐티오아세트산 및 이의 유도체이며 특히 다음 화학식 1이 바람직하다,
위의 화학식 1에서,
R1내지 R8은 각각 독립적으로 수소, 할로겐, 치환될 수 있는 알킬기, 치환될 수 있는 사이클로알킬기, 치환될 수 있는 페닐기 또는 치환될 수 있는 알콕시기이다.
위의 화학식 1의 페닐티오아세트산 유도체의 구체적인 예로서는, 페닐티오아세트산, 메틸페닐티오아세트산, 에틸페닐티오아세트산, 메틸에틸페닐티오아세트산, 프로필페닐티오아세트산, 이소프로필페닐티오아세트산, 부틸페닐페닐티오아세트산, 펜틸페닐티오아세트산, 헥실페닐티오아세트산, 사이클로헥실페닐티오아세트산, 페녹시페닐티오아세트산, 디메틸페닐티오아세트산, 메톡시페닐티오아세트산, 디메톡시페닐티오아세트산, 클로로페닐티오아세트산, 브로모페닐티오아세트산, 디클로로페닐티오아세트산 등을 들 수 있으며 바람직하게는 디클로로페닐티오아세트산, 페닐티오아세트산을 들 수 있다.
비이미다졸 화합물(2)로서는 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸[예: 일본 공개특허공보 제(평)6-75372호, 제(평)6-75373호 등], 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(알콕시페닐)비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(디알콕시페닐)비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(트리알콕시페닐)비이미다졸(예: 일본 특허공보 제(소)48-38403호, 공개특허공보 제(소)62-174204호 등.], 4,4',5,5'- 위치의 페닐기가 카보알콕시기에 의해 치환된 이미다졸 화합물[일본 공개특허공보 제(평)7-10913호] 등을 들 수 있으며 바람직하게는 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸을 들 수 있다.
또한 본 발명의 효과를 손상하지 않을 정도이면 당해 분야에서 통상적으로 사용되고 있는 광중합 개시제를 병용할 수 있다. 광중합 개시제로서는 예를 들면, 아세토페논계, 벤조인계, 벤조페논계, 티옥산톤계, s-트리아진계, 안트라센계 및 기타 개시제를 들 수 있다. 보다 구체적으로는 하기 화합물을 들 수 있으며 이들을 각각 단독으로 또는 2종류 이상 조합하여 사용할 수 있다.
(a) 아세토페논계
디에톡시아세토페논,
2-하이드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온,
벤질디메틸케탈,
2-하이드록시-1-[4-(2-하이드록시에톡시)페닐]-2-메틸프로판-1-온,
1-하이드록시사이클로헥실페닐케톤,
2-메틸-1-(4-메틸티오페닐)-2-모르폴리노프로판-1-온,
2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온,
2-하이드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]프로판-1-온의 올리고머 등.
(b) 벤조인계
벤조인,
벤조인메틸에테르,
벤조인에틸에테르,
벤조인이소프로필에테르,
벤조인이소부틸에테르 등.
(c) 벤조페논계
벤조페논,
o-벤조일벤조산메틸,
4-페닐벤조페논,
4-벤조일-4'-메틸디페닐설파이드,
3,3',4,4'-테트라(tert-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논,
2,4,6-트리메틸벤조페논 등
(d) 티옥산톤계
2-이소프로필티옥산톤,
4-이소프로필티옥산톤,
2,4-디에틸티옥산톤,
2,4-디클로로티옥산톤,
1-클로로-4-프로폭시티옥산톤 등.
(e) s-트리아진계
2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시페닐)-1,3,5-트리아진,
2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시나프틸)-1,3,5-트리아진,
2,4-비스(트리클로로메틸)-6-피페로닐-1,3,5-트리아진,
2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시나프틸)-1,3,5-트리아진,
2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진,
2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(푸란-2-일)에테닐1-1,3,5-트리아진,
2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진,
2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진 등.
(f) 안트라센계
9,10-디메톡시안트라센,
2-에틸-9,10-디메톡시안트라센,
9,10-디에톡시안트라센,
2-에틸-9,10-디에톡시안트라센 등.
(g) 기타
2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드,
2,2'-비스(o-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸,
10-부틸-2-클로로아크리돈,
2-에틸안트라퀴논,
벤질,
9,10-페난트렌퀴논,
캄포르퀴논,
페닐글리옥실산메틸,
티타노센 화합물 등.
또한, 광중합 개시제에 광중합 개시 조제(3)를 조합하여 사용할 수 있다. 광중합 개시 조제로서는 아민 화합물이나 티올 화합물이 바람직하며, 아민 화합물은 방향족 아민 화합물이 보다 바람직하다. 광중합 개시 조제의 아민 화합물의 구체적인 예로서는 트리에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 트리이소프로판올아민 등의 지방족 아민 화합물, 4-디메틸아미노벤조산메틸, 4-디메틸아미노벤조산에틸, 4-디메틸아미노벤조산이소아밀, 4-디메틸아미노벤조산 2-에틸헥실, 벤조산 2-디메틸아미노에틸, N,N-디메틸파라톨루이딘, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논(통칭 미힐러즈 케톤), 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등의 방향족 아민 화합물을 들 수 있다.
티올 화합물은 분자중에 티올기를 갖는 화합물이며 2-머캅토벤조티아졸, 2-머캅토벤조옥사졸 등의 티올기를 1개 갖는 티올 화합물이나 지방족기에 티올기를 복수 갖는 지방족 다관능 티올 화합물을 들 수 있으며 지방족기에 티올기를 복수 갖는 지방족 다관능 티올 화합물이 바람직하다. 지방족 다관능 티올로서는 헥산디티올, 데칸디티올, 1,4-디메틸머캅토벤젠, 부탄디올비스티오프로피오네이트, 부탄디올비스티오글리콜레이트, 에틸렌글리콜비스티오글리콜레이트, 트리메틸올프로판트리스티오글리콜레이트, 부탄디올비스티프로피오네이트, 트리메틸올프로판트리스티오프로피오네이트, 트리메틸올프로판트리스티오글리콜레이트, 펜타에리트리톨테트라키스티오프로피오네이트, 펜타에리트리톨테트라키스티오글리콜레이트, 트리스하이드록시에틸트리스티오프로피오네이트 등을 들 수 있고, 그 이외에 다가 하이드록시 화합물의 티오글리콜레이트, 티오프로피오네이트 등을 들 수 있고, 바람직하게는 트리메틸올프로판트리스티오프로피오네이트, 트리메틸올프로판트리스티오글리콜레이트 및 펜타에리트리톨테트라키스티오프로피네트 등을 들 수 있으며, 특히 바람직하게는 펜타에리트리톨테트라키스티오프로피오네이트를 들 수 있다.
광중합 개시제(C)에서 결합제 수지(A) 및 광중합성 단량체(B)의 합계 100질량부에 대해 페닐티오아세트산 유도체(1)의 함유량은 통상적으로 0.1 내지 40질량부, 바람직하게는 1 내지 30질량부이다.
비이미다졸 화합물(2)을 추가로 함유하는 경우, 이의 함유량은 바람직하게는 0.1 내지 40질량부, 보다 바람직하게는 1 내지 30질량부이다.
광중합 개시 조제(3)를 추가로 함유하는 경우, 바람직하게는 0.1 내지 40질량부, 보다 바람직하게는 1 내지 30질량부이다.
또한, 페닐티오아세트산 유도체(1), 비이미다졸 화합물(2) 및 광중합 개시 조제(3)의 합계량은 상기한 기준으로 통상적으로 0.1 내지 50질량부, 바람직하게는 1 내지 40질량부이다.
페닐티오아세트산 유도체(1)의 양이 상기한 범위에 있으면 착색 감광성 수지 조성물이 고감도로 되며 착색 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성한 화소부의 강도나 상기한 화소의 표면에서의 평활성이 양호해지는 경향이 있어 바람직하다. 상기한 페닐티오아세트산 유도체(1)의 양 및 비이미다졸 화합물(2)의 양에 추가하여, 광중합 개시 조제(3)의 양이 상기한 범위에 있고 또한 (1) 내지 (3)의 합계량이 상기한 범위에 있으면 수득되는 착색 감광성 수지 조성물의 감도가 더욱 높아지고 상기한 착색 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성하는 컬러 필터의 생산성이 향상되는 경향이 있어 바람직하다.
착색 재료(D)는 통상적으로 안료이며 안료 분산 레지스트에 통상적으로 사용되는 유기 안료 또는 무기 안료일 수 있다. 무기 안료로서는 금속 산화물이나 금속 착염과 같은 금속 화합물을 들 수 있으며, 구체적으로는 철, 코발트, 알루미늄, 카드뮴, 납, 구리, 티탄, 마그네슘, 크롬, 아연, 안티몬 등의 금속의 산화물 또는 복합 금속 산화물을 들 수 있다. 또한 유기 안료로서 구체적으로는 컬러 인덱스(Colour Index)(The Society of Dyers and Colourists 출판)에서 피그먼트(Pigment)로 분류되어 있는 화합물을 들 수 있다. 보다 구체적으로는 다음과 같은 컬러 인덱스(C.I.) 번호의 화합물을 들 수 있지만 이들로 한정되는 것은 아니다.
C.I. 피그먼트 옐로 20, 24, 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 153, 154, 166 및 173;
C.I. 피그먼트 오렌지 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65 및 71;
C.I. 피그먼트 레드 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 215, 216, 224, 242 및 254;
C.I. 피그먼트 바이올렛 14, 19, 23, 29, 32, 33, 36, 37 및 38;
C.I. 피그먼트 블루 15(15:3, 15:4, 15:6 등), 21, 22, 28, 60 및 64;
C.I. 피그먼트 그린 7, 10, 15, 25, 36 및 47;
C.I. 피그먼트 브라운 28;
C.I. 피그먼트 블랙 1 및 7 등.
이들 착색 재료(D)는 각각 단독으로 또는 2종류 이상 조합하여 사용할 수 있다. 착색 재료(D)의 함유량은 착색 감광성 수지 조성물 중의 전체 고형분량을 기준으로 하여 통상적으로 5 내지 60질량%, 바람직하게는 10 내지 55질량%이다. 착색 재료(D)의 함유량이 상기 기준으로 5 내지 50질량부의 범위이면 박막으로 해도 화소의 색상 농도가 충분하고 현상할 때에 비화소부의 이탈성이 저하되는 것이 아니므로 잔사가 발생하기 어려운 경향이 있어 바람직하다.
용제(E)는 당해 분야에서 사용되고 있는 각종의 것일 수 있다. 이의 구체적인 예로서는 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노프로필에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르 등의 에틸렌글리콜모노알킬에테르류; 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디프로필에테르, 디에틸렌글리콜디부틸에테르 등의 디에틸렌글리콜디알킬에테르류; 메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트 등의 에틸렌글리콜알킬에테르아세테이트류; 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 메톡시부틸아세테이트, 메톡시펜틸아세테이트 등의 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류; 벤젠, 톨루엔, 크실렌, 메시틸렌 등의 방향족 탄화수소류; 메틸에틸케톤, 아세톤, 메틸아밀케톤, 메틸이소부틸케톤, 사이클로헥산온 등의 케톤류; 에탄올, 프로판올, 부탄올, 헥산올, 사이클로헥산올, 에틸렌글리콜, 글리세린 등의 알콜류; 3-에톡시프로피온산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸 등의 에스테르류; γ-부티로락톤 등의 환상 에스테르류 등을 들 수 있다.
이들 용제(E)는 각각 단독 또는 2종류 이상 혼합하여 사용할 수 있다.
용제(E)의 함유량은 이를 함유하는 착색 감광성 수지 조성물 전체의 양을 기준으로 하여 통상적으로 60 내지 90질량%, 바람직하게는 70 내지 85질량%이다. 용제(E)의 함유량이 상기 기준으로 0.1 내지 50질량부의 범위이면 도포성이 양호해지는 경향이 있어 바람직하다.
본 발명의 착색 감광성 수지 조성물에는 필요에 따라 충전제, 다른 고분자 화합물, 안료 분산제, 밀착촉진제, 산화방지제, 자외선 흡수제, 응집방지재 등의 첨가제(F)를 혼합 사용할 수 있다.
충전제로서 구체적으로는 유리, 실리카, 알루미나 등, 다른 고분자 화합물로서 구체적으로는 폴리비닐알콜, 폴리아크릴산, 폴리에틸렌글리콜모노알킬에테르, 폴리플루오로알킬아크릴레이트 등을 들 수 있다.
안료 분산제로서는 시판하는 안료 분산제를 사용할 수 있으며 예를 들면, 실리콘계, 불소계, 에스테르계, 양이온계, 음이온계, 비이온계, 양쪽성 등의 계면활성제 등을 들 수 있으며 각각 단독 또는 2종류 이상을 조합하여 사용된다. 계면활성제의 예로서는 폴리옥시에틸렌알킬에테르류, 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르류, 폴리에틸렌글리콜디에스테르류, 소르비탄지방산에스테르류, 지방산변성폴리에스테르류, 3급 아민 변성 폴리우레탄류, 폴리에틸렌이민류 등 이외에 상품명으로 KP[제조원: 신에쓰가가쿠고교(주)], 폴리플로우[제조원: 교에이가가쿠(주)], 에프톱(제조원: 토켐프로덕스사), 메가팍스[제조원: 다이니혼잉크가가쿠고교(주)], 플로레이드[제조원: 스미토모스리엠(주)], 아사히가드, 사프론[이상, 제조원: 아사히가라스(주)], 솔스패스[제조원: 제네카(주)], EFKA(제조원: EFKA CHEMICALS사), PB821[제조원: 아지노모토(주)] 등을 들 수 있다.
밀착촉진제로서 구체적으로는 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴로일옥시프로필트리메톡시실란, 3-머캅토프로필트리메톡시실란 등을 들 수 있다.
산화방지제로서 구체적으로는 2,2'-티오비스(4-메틸-6-tert-부틸페놀), 2,6-디-tert-부틸-4-메틸페놀 등을 들 수 있다.
자외선 흡수제로서 구체적으로는 2-(3-tert-부틸-2-하이드록시-5-메틸페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 알콕시벤조페논 등을 들 수 있다.
또한 응집제로서 구체적으로는 폴리아크릴산나트륨 등을 들 수 있다.
본 발명의 착색 감광성 수지 조성물은 예를 들면, 아래와 같이 하여 조제할 수 있다. 즉, 착색 재료(D)를 미리 용제(E)와 혼합하고 착색 재료의 평균 입자직경이 0.2㎛ 이하 정도로 될 때까지 비드 밀 등을 사용하여 분산시킨다. 이때에 필요에 따라 안료 분산제가 사용되며 또한 결합제 수지(A)의 일부 또는 전부가 배합되는 경우도 있다. 수득된 분산액(밀 베이스)에 결합제 수지(A)의 잔량, 광중합성 단량체(B) 및 광중합 개시제(C), 필요에 따라 사용되는 기타 성분, 또한 필요에 따라 추가하는 용제를 소정의 농도로 되도록 첨가하고 목적하는 착색 감광성 수지 조성물을 수득한다.
이와 같이 조제된 본 발명의 착색 감광성 수지 조성물은 예를 들면, 다음과 같이 기재 위에 도포하고 광경화 및 현상을 실시하여 블랙 매트릭스 또는 착색 화상으로 할 수 있다. 우선, 이러한 조성물을 기판(통상적으로는 유리) 위에 스핀 피복하며 가열 건조(프리베이크)함으로써 용제를 제거하여 평활한 도포막을 수득한다. 이때의 도포막의 두께는 약 1 내지 3㎛ 정도이다. 이와 같이 하여 수득된 도포막에 목적하는 블랙 매트릭스 또는 화상을 형성하기 위한 네가티브 마스크를 개재시켜 자외선을 조사한다. 이때에 노광부 전체에 균일하게 평행 광선이 조사되며또한 마스크와 기판이 정확하게 위치 맞춤이 실시되도록 마스크 얼라이너 등의 장치를 사용하는 것이 바람직하다. 다시 이후에 경화가 종료된 도포막을 묽은 알칼리 수용액에 접촉시켜 비노광부를 용해시키고 현상함으로써 목적하는 블랙 매트릭스 또는 화상이 수득된다. 현상 후, 필요에 따라 150 내지 230℃에서 10 내지 60분 정도의 후경화(포스트베이크)를 실시할 수 있다.
패터닝 노광후의 현상에 사용하는 현상액은 통상적으로 알칼리성 화합물과 계면활성제를 함유하는 수용액이다.
알칼리성 화합물은 무기 및 유기의 알칼리성 화합물의 어느 것도 양호하다. 무기 알칼리성 화합물의 구체적인 예로서는 수산화나트륨, 수산화칼륨, 인산수소이나트륨, 인산이수소나트륨, 인산수소이암모늄, 인산이수소암모늄, 인산이수소칼륨, 규산나트륨, 규산칼륨, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 탄산수소나트륨, 탄산수소칼륨, 붕산나트륨, 붕산칼륨, 암모니아 등을 들 수 있다.
또한, 유기 알칼리성 화합물의 구체적인 예로서는 테트라메틸암모늄하이드록사이드, 2-하이드록시에틸트리메틸암모늄하이드록사이드, 모노메틸아민, 디메틸아민, 트리메틸아민, 모노에틸아민, 디에틸아민, 트리에틸아민, 모노이소프로필아민, 디이소프로필아민, 에탄올아민 등을 들 수 있다. 이들 무기 및 유기 알칼리성 화합물은 각각 단독 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 알칼리 현상액 중의 알칼리성 화합물의 바람직한 농도는 O.O1 내지 1O질량%의 범위이며 보다 바람직하게는 0.03 내지 5질량%이다.
또한 알칼리 현상액 중의 계면활성제는 비이온계 계면활성제, 음이온계 계면활성제 또는 양이온계 계면활성제의 어느 하나일 수 있다.
비이온계 계면활성제의 구체적인 예로서는 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시에틸렌아릴에테르, 폴리옥시에틸렌알킬아릴에테르, 기타 폴리옥시에틸렌 유도체, 옥시에틸렌/옥시프로필렌 블록 공중합체, 소르비탄지방산에스테르, 폴리옥시에틸렌소르비탄지방산에스테르, 폴리옥시에틸렌소르비톨지방산에스테르, 글리세린지방산에스테르, 폴리옥시에틸렌지방산에스테르, 폴리옥시에틸렌알킬아민 등을 들 수 있다.
음이온계 계면활성제의 구체적인 예로서는 라우릴알콜황산에스테르나트륨, 올레일알콜황산에스테르나트륨 등의 고급 알콜 황산에스테르염류; 라우릴황산나트륨, 라우릴황산암모늄 등의 알킬황산염류, 도데실벤젠설폰산나트륨이나 도데실나프탈렌설폰산나트륨과 같은 알킬아릴설폰산염류 등을 들 수 있다.
양이온계 계면활성제의 구체적인 예로서는 스테아릴아민염산염이나 라우릴트리메틸암모늄클로라이드 등의 아민염 또는 4급 암모늄염 등을 들 수 있다.
이들 계면활성제는 각각 단독으로 사용하거나 또한 2종류 이상 조합하여 사용할 수 있다.
알칼리 현상액 중의 계면활성제의 농도는 통상적으로 0.01 내지 l0질량%의 범위, 바람직하게는 0.05 내지 8질량%, 보다 바람직하게는 0.1 내지 5질량%이다.
이상과 같은 본 발명의 착색 감광성 수지 조성물의 도포, 건조, 수득되는 건조 도포막에서의 패터닝 노광, 그리고 현상이라는 각 조작을 경유하여 착색 감광성 수지 조성물 중의 착색 재료의 색상에 상당하는 화소 또는 블랙 매트릭스가 수득되며 또한 이들 조작을 컬러 필터에 필요한 색상의 수만큼 반복함으로써 컬러 필터가 수득된다. 즉, 컬러 필터는 통상적으로 블랙 매트릭스 및 적, 녹 및 청의 삼원색 화소를 기판 위에 배치한 것이지만 어떤 색상에 상당하는 착색 재료를 함유하는 본 발명의 착색 감광성 수지 조성물을 사용하여 상기한 조작을 실시함으로써 이러한 색상의 블랙 매트릭스 또는 화소를 수득하고 다른 색상에 관해서도 목적하는 색상에 상당하는 착색 재료를 함유하는 본 발명의 착색 감광성 수지 조성물을 사용하여 동일한 조작을 실시하고 블랙 매트릭스 및 삼원색 화소를 기판 위에 배치할 수 있다. 또한, 기판 위에 일단 어떤 색상의 화소 또는 블랙 매트릭스를 배치한 후, 다른 색상의 착색 감광성 수지 조성물을 처리하는 경우에는 당해 어떤 색상의 화소 또는 블랙 매트릭스가 배치된 기판 위에 별도의 색상의 착색 감광성 수지 조성물을 도포, 건조한 다음, 통상적으로는 당해 어떤 색상의 화소 또는 블랙 매트릭스가 배치되어 있지 않은 위치에 패터닝 노광이 이루어지며 노광된 위치에 다른 색상의 화소 또는 블랙 매트릭스가 배치되는 것으로 된다. 물론, 블랙 매트릭스 및 삼원색 중의 어느 1종, 2종 또는 3종에만 본 발명의 착색 감광성 수지 조성물을 적용할 수 있다. 또한, 차광층인 블랙 매트릭스는 예를 들면, 크롬층 등으로 형성되는 것이므로 이 경우에는 물론, 블랙 매트릭스의 형성에 본 발명의 착색 감광성 수지 조성물을 사용할 필요는 없다.
그리고, 본 발명의 착색 감광성 수지 조성물을 사용하여 제조된 컬러 필터는 면내의 막 두께차가 작으며 예를 들면, 1 내지 3㎛의 막 두께로 면내 막 두께차를 0.15㎛ 이하, 또한 0.05㎛ 이하로 할 수 있다. 따라서, 이와 같이 수득되는 컬러필터는 평활성 및 투명성이 우수한 것이며 또한 이것을 컬러 액정 표시장치에 도입함으로써 우수한 품질의 액정 패널을 높은 수율로 제조할 수 있다.
상기에서 본 발명의 실시의 형태에 관해 설명을 했지만 상기에 개시된 본 발명의 실시 형태는 어디까지나 예시이며 본 발명의 범위는 이들 실시 형태로 한정되지 않는다. 본 발명의 범위는 특허청구의 범위에 의해 나타내며 또한 특허청구범위의 기재와 균등한 의미 및 범위내에서 모든 변경을 포함하는 것이다. 이하, 실시예에 따라 본 발명을 보다 상세하게 설명하지만 본 발명은 이들 실시예로 한정되는 것이 아니다. 예중, 함유량 내지 사용량을 나타내는 % 및 부는 특별히 단정하지 않는 한, 질량 기준이다.
실시예 1
표 1에 기재된 각 성분 중에서 미리 안료와 에스테르계 안료 분산제의 각 전량을 용제인 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트의 부분량과 혼합하고 비드 밀을 사용하여 안료를 충분하게 분산시켜 여기에 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 잔량을 함유하는 나머지 성분을 가하고 혼합하여 감광성 수지액을 수득한다.
안료(D)C.I. 피그먼트 그린 36 5.91부C.I. 피그먼트 엘로우-150 2.66부
결합제 수지(A)벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체 4.36부(질량 조성비 80/20, 폴리스틸렌 환산 중량 평균 분자량 35,000)
공중합성 단량체(B)디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 3.52부(제조원: 니혼가야쿠가부시키가이샤, KAYARAD DPHA)
광중합 개시제(C)2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸 1.04부(제조원: 黑金化成(株), 비이미다졸)4,4'-디(N,N-디에틸아민)-벤조페논 0.41부(제조원: 호도케요쿠가가쿠가부시키가이샤, EAB-F)2,4-디클로로페닐티오아세트산 0.62부
용제(E)프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 79.00부
첨가제(F)안료 분산제(폴리에스테르계) 1.98부Sumi-epoxy ESCN-195XL 0.50부(제조원: 스미토모가가쿠고교 가부시키가이샤)
상기 각 성분 중에서 미리 안료와 안료 분산제의 각 전량을 용제인 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트가 안료 및 안료 분산제의 합계량에 대하여 20질량%인 양으로 혼합하여 비드 밀을 사용하여 안료를 충분하게 분산시키고 여기에 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트의 잔량을 함유하는 나머지 성분을 가하고 혼합하여 감광성 수지액을 수득한다.
2인치각의 코닝사제 #7059 유리 기판을 중성 세제, 물 및 알콜로 순차적으로 세정하고 나서 건조한다. 이러한 유리 기판 위에 위에서 조제한 감광성 수지액(표 1)을 스핀 피복한 다음, 클린 오븐 중에서 100℃로 3분 동안 프리베이크한다. 냉각 후, 이러한 레지스트 도포기판과 석영 유리제 포토마스크(투과율을 1 내지 100%의 범위로 계단형으로 변화시키는 패턴과 1 내지 50μ의 라인/스페이스 패턴을 갖는다)와의 간격을 1OO㎛로 하고 우시오덴키(주)제의 초고압 수은 램프를 사용하여 대기 분위기 하에 1OOmJ/cm2의 노광량으로 광조사한다. 그 후, 비이온계 계면활성제 0.12%와 수산화칼륨 0.04%를 함유하는 수계 현상액에 상기 도포막을 실온에서 소정 시간 동안 침지하고 현상하고 수세한 다음, 220℃에서 30분 동안 포스트베이크를 실시한다. 그리고, 프리베이크한 다음, 현상후 및 포스트베이크 후의 기판 표면을 관찰하고 하기 항목에 관해서 결과를 표 2에 기재한다.
비교예 1
실시예 1에서 2,4-디클로로페닐티오아세트산을 4,4'-디(N,N-디에틸아미노)벤조페논으로 변경하는 이외에는 실시예 1과 동일한 조작을 실시한다.
실시예 1 비교예 1
표면 거칠기 *1 0일째7일째
감도 *2 (mJ/㎠) 5 -(잔막 없음)
명도 *3 55.2 55.3
패턴 형상 *4 ×
종합 판정 ×
표중의 주석의 설명
*1: 배합하고 나서 23℃/0일째 및 7일째에 프리베이크 후의 도포막 표면을 육안으로 관찰한다.(; 차이 없음. △; 약간 떨어진다. ×; 떨어진다.)
*2: 현상해도 표면이 거칠지 않은 패턴을 형성하기 위해 필요한 최저 필요 노광량을 나타낸다.
*3: 현상 공정을 생략하여 제작한 도포막 부분의 C광원, 2도 시야의 CIE 색도(x, y, Y)를 현미(顯微) 분광 측광장치에 의해 측정한다. 동일 색도(x, y)에서 Y값이 클수록 명도가 높음을 나타낸다.(0.285, 0.598)에 색도를 맞춘다.
*4: 노광량 200mJ/cm2로 노광시켜 현상 및 포스트베이크(220℃×20분) 후의 화소 단면을 주사형 전자현미경 관찰한다. (역테이퍼 형상이 아닌 형상;, 역테이퍼 형상; ×)
표 2로부터 본 발명에 대응하는 착색 감광성 수지 조성물을 사용하는 실시예 1에서는 고감도, 고명도 및 보존안정성이 균형잡힌 것으로 밝혀졌지만, 본 명세서에서 광중합 개시제(C)를 함유하지 않은 착색 감광성 수지 조성물을 사용하는 비교예 1에서는 저감도이며 컬러 필터의 생산성이 떨어지는 것으로 밝혀졌다.
본 발명의 착색 감광성 수지 조성물은 착색 재료를 고농도로 함유해도 감도 및 보존안정성이 우수하고, 본 발명의 착색 감광성 수지 조성물에 의해 수득된 착색 화소는 표면 평활성, 패턴 형상 및 명도가 우수하다. 따라서, 본 발명의 착색 감광성 수지 조성물을 안료 분산 레지스트로서 사용하여 컬러 필터를 제작하는 경우, 생산성이 우수하고 또한 고품질인 컬러 필터를 수득할 수 있다.

Claims (9)

  1. 결합제 수지(A), 광중합성 단량체(B), 광중합 개시제(C), 착색 재료(D) 및 용제(E)를 함유하는 착색 감광성 수지 조성물로서,
    광중합 개시제(C)가 페닐티오아세트산 유도체(1)를 함유하여 이루어지는 착색 감광성 수지 조성물.
  2. 제1항에 있어서, 페닐티오아세트산 유도체(1)가 2,4-디클로로페닐티오아세트산인 착색 감광성 수지 조성물.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 광중합 개시제(C)가 비이미다졸 화합물(2)을 추가로 함유하는 착색 감광성 수지 조성물.
  4. 제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서, 결합제 수지(A)가 불포화 카복실산에서 유래하는 구성 단위를 함유하는 중합체인 착색 감광성 수지 조성물.
  5. 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서, 결합제 수지(A)가 불포화 카복실산에서 유래하는 구성 단위와 (메트)아크릴레이트 화합물에서 유래하는 구성 단위를 함유하는 공중합체인 착색 감광성 수지 조성물.
  6. 제1항 내지 제5항 중의 어느 한 항에 있어서, 광중합 개시제(C)가 광중합 개시 조제(3)를 추가로 함유하는 착색 감광성 수지 조성물.
  7. 제1항 내지 제6항 중의 어느 한 항에 따르는 착색 감광성 수지 조성물을 기판 위에 도포하고, 도포된 착색 감광성 수지 조성물 층으로부터 휘발 성분을 제거한 다음, 포토마스크를 개재시켜 당해 착색 감광성 수지 조성물 층에서 휘발 성분을 제거한 층을 노광시키고, 현상하는, 패턴의 형성방법.
  8. 제7항에 따르는 방법으로 형성된 패턴을 포함하는 컬러 필터.
  9. 제8항에 따르는 컬러 필터를 장착한 액정 표시장치.
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