KR20040023490A - 진공펌프장치 - Google Patents

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KR20040023490A
KR20040023490A KR1020030044273A KR20030044273A KR20040023490A KR 20040023490 A KR20040023490 A KR 20040023490A KR 1020030044273 A KR1020030044273 A KR 1020030044273A KR 20030044273 A KR20030044273 A KR 20030044273A KR 20040023490 A KR20040023490 A KR 20040023490A
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구라모또사또루
가와구찌마사히로
야마모또신야
호시노노부아끼
이다마사히로
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가부시키가이샤 도요다 지도숏키
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Abstract

(과제) 다단식 메인 펌프의 열을 효율적으로 부스터 펌프에 전달할 수 있는 진공펌프장치를 제공하는 것이다.
(해결수단) 진공펌프장치는, 제 1 하우징 (H1) 내에 다단식 제 1 펌프기구 (P1) 를 수용하여 이루어진 메인 펌프 (11) 상에, 제 2 하우징 (H2) 내에 제 2 펌프기구 (P2) 를 수용하여 이루어진 부스터 펌프 (61) 가 탑재 고정되어 이루어진다. 메인 펌프 (11) 와 부스터 펌프 (61) 는 이 부스터 펌프 (61) 를 가스 흐름에 관하여 상류측으로서 직렬로 연결하고 있다. 제 1 하우징 (H1) 과 제 2 하우징 (H2) 은 메인 펌프 (11) 상에서 부스터 펌프 (61) 를 지지하는 지지부 (67) 를 통해 열적으로 결합되어 있다. 지지부 (67) 는 제 1 하우징 (H1) 에 대하여 제 1 펌프기구 (P1) 의 마지막 단의 펌프실 (55) 을 둘러싸는 부분 (46) 과 열적으로 직결되어 있다.

Description

진공펌프장치{VACUUM PUMP UNIT}
본 발명은 예컨대 반도체 제조공정에 사용되어 반도체 가공장치 내로부터 반응생성물을 배기시키기 위한 진공펌프장치에 관한 것으로, 특히 메인 펌프와 부스터 펌프가 이 부스터 펌프를 가스 흐름에 대해 상류측으로서 직렬로 연결하여 이루어진 진공펌프장치에 관한 것이다.
이런 종류의 진공펌프장치에서는, 부스터 펌프 내의 온도가 메인 펌프보다 낮아지기 때문에, 이 부스터 펌프 내에서 반응생성물이 고화되고 그리고 퇴적되는 문제가 있다. 가스 유로에서의 반응생성물의 퇴적은 진공펌프장치의 성능 저하로 이어진다.
이와 같은 문제를 해결하기 위해서는 부스터 펌프 내의 온도를 높이면 된다. 이를 위해서는 예컨대 메인 펌프 상에 부스터 펌프를 탑재시키고, 이 메인 펌프 상에 부스터 펌프를 지지하는 연결부재로 메인 펌프의 하우징과 부스터 펌프의 하우징을 열적으로 결합시키면 된다 (예컨대, 일본 공개특허공보 평5-113180호 (p.2∼3, 도 1) . 이와 같이 하면 메인 펌프의 하우징의 열이 연결부재를 통해 부스터 펌프의 하우징에 전달되어 부스터 펌프 내의 온도를 높일 수 있다.
또, 진공펌프로는, 배기를 다단으로 실행하는 다단식 펌프기구를 구비한 것이 있다 (예컨대, 일본 공개특허공보 평8-296557호 (p.3, 도 1) . 다단식 진공펌프의 하우징은 펌프기구의 마지막 단, 요컨대 가장 고온으로 되는 부분을 둘러싸는 부분이 그 밖의 부분보다 고온으로 된다.
그러나, 상기 일본 공개특허공보 평5-113180호에는, 진공펌프장치 전체의 컴팩트화를 목적으로 하여 상기 기술한 구성을 채택하였고, 메인 펌프의 열이 연결부재를 통해 부스터 펌프에 전달되는 작용 효과에 대해서는 전혀 설명되어 있지 않다. 따라서, 일본 공개특허공보 평5-113180호에는, 당연히 메인 펌프로서 다단식 펌프기구를 구비한 것을 채택한 경우에 부스터 펌프 내의 온도를 효과적으로 높이기 위한 바람직한 구성에 대해서는 전혀 언급되어 있지 않다.
요컨대, 메인 펌프로서 다단식 펌프기구를 구비한 것을 채택한 경우에는, 이 펌프기구의 마지막 단이 발하는 열을 어떻게 효율적으로 부스터 펌프에 전달할 수 있는지가 부스터 펌프 내의 온도를 효과적으로 높이는 데에 중요한 포인트가 된다. 종래에 이런 점에 대해서 언급하지 않았다.
본 발명의 목적은 다단식 메인 펌프의 열을 효율적으로 부스터 펌프에 전달할 수 있는 진공펌프장치를 제공하는 것이다.
도 1은 진공펌프장치의 종단면도이다.
도 2는 도 1의 1-1선을 자른 단면도이다.
도 3은 다른 예를 나타내는 진공펌프장치의 단면 부분도이다.
도 4는 또 다른 예를 나타내는 진공펌프장치의 단면 부분도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명
11: 메인 펌프
46: 제 1 하우징에서 제 1 펌프기구의 마지막 단을 둘러싸는 부분
46a: 부분 (46) 의 외면의 일부인 상면
55: 제 1 펌프기구의 마지막 단을 구성하는 펌프실
61: 부스터 펌프
67: 결합부재로서의 지지부
69: 연통로
73: 지지부를 구성하는 열 취출부
H1: 제 1 하우징
H2: 제 2 하우징
P1: 제 1 펌프기구
P2: 제 2 펌프기구
과제를 해결하기 위한 수단
상기 목적을 달성하기 위해 청구항 1 발명의 진공펌프장치는 메인 펌프의 제 1 하우징과 부스터 펌프의 제 2 하우징이 결합부재를 통해 열적으로 결합되어 있다. 따라서, 메인 펌프의 열이 이 펌프의 하우징 및 결합부재를 통해 부스터펌프의 하우징에 전달된다.
그리고, 본 발명에서 상기 결합부재는 제 1 하우징에 대해서는 다단식 제 1 펌프기구의 마지막 단, 요컨대 가장 고온으로 되는 부분을 둘러싸는 부분과 열적으로 직결되어 있다. 따라서, 메인 펌프의 제 1 펌프기구에서 마지막 단에서 발생한 열은 이 펌프의 하우징에서 결합부재로 직접 취출된다. 이에 부스터 펌프 내의 온도를 효과적으로 높일 수 있다.
청구항 2 발명은 청구항 1에 있어서, 상기 결합부재는 제 1 하우징 및 제 2 하우징의 적어도 일측에 일체 형성되어 있다. 이와 같이 하면 결합부재 및 이 부재와 일체된 하우징 사이의 열전도가 효율적으로 이루어져 부스터 펌프 내의 온도를 더 효과적으로 높일 수 있다. 또, 결합부재를 메인 펌프 및 부스터 펌프와 별개로 구비할 필요가 없으므로, 진공펌프장치의 부품 점수를 저감시킬 수 있다.
청구항 3 발명은 청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 결합부재와 제 1 하우징에서 제 1 펌프기구의 마지막 단을 둘러싸는 부분과 바람직한 열적인 직결 태양의 일례에 대해서 언급한다. 즉, 상기 결합부재는 제 1 하우징과 별체로 되어 있다. 이 결합부재는 제 1 하우징에서 제 1 펌프기구의 마지막 단을 둘러싸는 부분과 외면에 맞닿게 됨으로써 이 부분과 열적으로 직결된다.
청구항 4 발명은 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 결합부재는 메인 펌프 및 부스터 펌프의 일측 상에서 타측을 지지하는 가대 (架臺) 를 겸하고 있다. 따라서, 타측 펌프를 지지하기 위한 전용 가대를 구비하지 않아도 되므로, 진공펌프장치의 부품 점수를 저감시킬 수 있다.
청구항 5 발명은 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 결합부재 내부에는 부스터 펌프의 배기측과 메인 펌프의 흡입측을 연통시키는 연통로가 형성되어 있다. 따라서, 이 연통로를 형성하기 위한 전용 배관을 필요로 하지 않으므로, 진공펌프장치의 부품 점수를 저감시킬 수 있다.
청구항 6 발명은 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서, 상기 메인 펌프 및 부스터 펌프가 취급하는 가스는 반도체 가공장치에서 발생된 기체 반응생성물이다. 따라서, 상기 기술한 바와 같이 메인 펌프의 발열을 이용하여 부스터 펌프 내를 고온으로 함으로써, 이 부스터 펌프 내의 반응생성물의 고화 또는 액화를 방지할 수 있고, 이 반응생성물의 고화 또는 액화에서 기인한 진공펌프장치의 성능 저하를 방지할 수 있다.
발명의 실시형태
다음에, 본 발명을 구체화한 일 실시형태에 대해서 설명한다.
(진공펌프장치의 개요)
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이 본 실시형태의 진공펌프장치는, 반도체 제조공정에 사용되어 도시되지 않은 반도체 가공장치 내로부터 기체 반응생성물 (예컨대, 염화암모늄. 이하, 가스라고 함) 을 배기시키기 위한 것이다. 진공펌프장치는 대기압으로부터 기동 가능한 메인 펌프 (11) 와 이 메인 펌프 (11) 를 필요로 하는 부스터 펌프 (61) 로 이루어져 있다. 메인 펌프 (11) 와 부스터 펌프 (61) 는 이 부스터 펌프 (61) 를 가스 흐름에 관하여 상류측 (반도체 가공장치측) 으로서 직렬로 연결하고 있다.
(메인 펌프의 구성)
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이 상기 메인 펌프 (11) 에서 로터 하우징 (12) 앞 (도 1의 우측) 단에는 프론트 하우징 (13) 이 접합되어 있고, 로터 하우징 (12) 뒷 (도 1의 좌측) 단에는 리어 하우징 (14) 이 접합되어 있다. 이들 로터 하우징 (12), 프론트 하우징 (13) 및 리어 하우징 (14) 은 다단 루트식 제 1 펌프기구 (P1) 를 수용하는 제 1 하우징 (H1) 을 이루고 있다.
상기 로터 하우징 (12), 프론트 하우징 (13) 및 리어 하우징 (14) 은 각각 철계 금속재료로 구성되어 있다. 철계 금속재료는 예컨대 알루미늄계 금속재료와 비교해서 열팽창률이 작다. 따라서, 제 1 하우징 (H1) 을 철계 금속제로 함으로써, 열 영향에 의한 각 부의 클리어런스 변동을 작게 할 수 있어 가스 누설 등의 방지에 유효하다.
다음으로, 상기 제 1 펌프기구 (P1) 에 대해서 상세하게 설명한다.
상기 로터 하우징 (12) 은 실린더 블럭 (15) 과 복수개의 격벽 (16) 으로 이루어져 있다. 프론트 하우징 (13) 과 격벽 (16) 사이의 공간, 이웃하는 격벽 (16) 사이의 공간 및 격벽 (16) 과 리어 하우징 (14) 사이의 공간은 각각 각각 펌프실 (51,52,53,54,55) 로 되어 있다. 격벽 (16) 에는 이웃하는 펌프실 (51,52,53,54,55) 을 연통시키는 통로 (17) 가 형성되어 있다.
상기 프론트 하우징 (13) 과 리어 하우징 (14) 에는, 회전축 (19) 및 회전축 (20) 이 각각 회전할 수 있게 지지되고 있다. 두 회전축 (19,20) 은 서로 평행하게 배치되어 있다. 회전축 (19,20) 은 격벽 (16) 에 삽입 통과되어 있다. 회전축 (19) 에는 3엽 형상을 이루는 복수개 (본 실시형태에서는 5개) 의 로터 (23) 가 일체 형성되어 있다. 회전축 (20) 에는 3엽 형상을 이루는 같은 수 (도 2에서 하나만 표시되어 있음) 의 로터 (28) 가 일체 형성되어 있다. 복수개의 로터 (23,28) 는 회전축 (19,20) 의 축선방향에서 보아 같은 형상 같은 크기의 형상을 이루고는 있지만, 두께는 리어 하우징 (14) 측의 것일수록 작아지도록 되어 있다.
상기 펌프실 (51) 내에는 로터 (23,28) 가 약간의 간극을 유지하며 서로 맞물린 상태로 수용되어 있고, 각 펌프실 (52∼55) 내에도 동일하게 대응하는 로터 (23,28) 가 서로 맞물린 상태로 수용되어 있다. 펌프실 (51∼55) 의 용적 크기는 이 순서대로 작아지도록 되어 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이 상기 리어 하우징 (14) 에는 기어장치 (39) 및 축이음매 (40) 를 수용하는 기어 하우징 (38) 이 접합되어 있다. 기어 하우징 (38) 에는 전동모터 (M) 가 부착되어 있다. 전동모터 (M) 의 구동력은 축이음매 (40) 를 통해 회전축 (19) 에 전달되는 동시에, 축이음매 (40) 로부터 기어장치 (39) 를 통해 회전축 (20: 도 2 참조) 에 전달된다. 회전축 (20: 로터 (28)) 은 기어장치 (39) 의 개재에 의해 회전축 (19: 로터 (23)) 과는 다른 방향으로 회전된다.
상기 실린더 블럭 (15) 에서 제 1 펌프기구 (P1) 의 맨 앞단 (펌프실 (51) 및 이 펌프실 (51) 에 수용되는 로터 (23,28) 로 구성된 부분) 의 펌프실 (51) 을둘러싸는 부분 (둘레벽: 45) 상부에는 흡입구 (21) 가 펌프실 (51) 에 연통되도록 형성되어 있다. 흡입구 (21) 에는 부스터 펌프 (61) 의 배기측이 접속되어 있다. 실린더 블럭 (15) 에서 제 1 펌프기구 (P1) 의 마지막 단 (펌프실 (55) 및 이 펌프실 (55) 에 수용되는 로터 (23,28) 로 구성된 부분) 의 펌프실 (55) 을 둘러싸는 부분 (둘레벽: 46) 하부에는 배기구 (22) 가 펌프실 (55) 에 연통되도록 형성되어 있다.
그리고, 상기 흡입구 (21) 에서 펌프실 (51) 로 도입된 부스터 펌프 (61) 로부터의 가스는 이 펌프실 (51) 내의 로터 (23,28) 회전에 따라 둘레벽 (16) 의 통로 (17) 를 경유하여 이웃하는 펌프실 (52) 로 이송된다. 다음에, 동일하게 가스는 펌프실의 용적이 작아지는 순서, 즉 펌프실 (51), (52), (53), (54), (55) 순서대로 이송된다. 펌프실 (55) 로 이송된 가스는 배기구 (22) 에서 도시되지 않은 배기가스 처리장치쪽으로 배출된다.
(부스터 펌프의 구성)
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이 상기 메인 펌프 (11) 와 부스터 펌프 (61) 의 구성상의 큰 차이는 이 메인 펌프 (11) 가 배기를 다단으로 실행하는 다단계 (본 실시형태에서 5단계) 루트 펌프로 이루어지고, 부스터 펌프 (61) 가 배기를 일단 (單段) 으로 실행하는 일단 루트 펌프로 이루어지는 것이다. 따라서, 부스터 펌프 (61) 에 관해서는 메인 펌프 (11) 와의 상이점에 대해서만 설명하고, 메인 펌프 (11) 와 동일하거나 상당하는 부재에는 같은 번호를 붙여 설명을 생략한다.
즉, 상기 부스터 펌프 (61) 에서, 로터 하우징 (12), 프론트 하우징 (13) 및리어 하우징 (14) 은 일단 루트식 제 2 펌프기구 (P2) 를 수용하는 제 2 하우징 (H2) 을 이루고 있다. 로터 하우징 (12) 은 격벽 (16) 을 갖지 않는다. 로터 하우징 (12) 내에서 프론트 하우징 (13) 과 리어 하우징 (14) 사이의 공간이 메인 펌프 (11) 의 펌프실 (51) 보다 훨씬 용적이 큰 펌프실 (62) 로 되어 있다. 부스터 펌프 (61) 의 회전축 (19) 및 회전축 (20) 에는 각각 2엽 형상의 로터 (63,64) 가 하나만 형성되어 있다. 그리고, 이 로터 (63,64) 는 약간의 간극을 유지하며 서로 맞물린 상태로 펌프실 (62) 에 수용되어 있다.
상기 부스터 펌프 (61) 에서 실린더 블럭 (15) 상부에는 흡입구 (65) 가 펌프실 (62) 에 연통되도록 형성되어 있다. 흡입구 (65) 에는 반도체 가공장치의 배기측 배관이 접속되어 있다. 실린더 블럭 (15) 하부에는 배기구 (66) 가 펌프실 (62) 에 연통되도록 형성되어 있다. 따라서, 흡입구 (65) 에서 펌프실 (62) 로 도입된 반도체 가공장치로부터의 가스는 로터 (63,64) 회전에 따라 배기구 (66) 에서 메인 펌프 (11) 쪽으로 배출된다.
(부스터 펌프의 지지구조)
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이 상기 부스터 펌프 (61) 에서 실린더 블럭 (15) 하부에는 결합부재로서의 지지부 (67) 가 일체로 돌출 형성되어 있다. 부스터 펌프 (61) 에서 리어 하우징 (14) 하부에는 지지돌출부 (68) 가 일체로 돌출 형성되어 있다. 메인 펌프 (11) 에서 리어 하우징 (14) 상부에는 고무제 부시 (47) 가 부착되어 있다.
상기 부스터 펌프 (61) 는 지지부 (67) 에 의해 메인 펌프 (11) 의 실린더블럭 (15) 의 상면 (평면: 15a) 에 탑재 고정되는 동시에, 지지돌출부 (68) 가 부시 (47) 에 탑재됨으로써 메인 펌프 (11) 상에 탑재 고정된다. 요컨대, 부스터 펌프 (61) 의 지지부 (67) 는 메인 펌프 (11) 상에서 부스터 펌프 (61) 를 지지하는 가대의 역할을 한다.
상기 지지부 (67) 내부에는 부스터 펌프 (61) 의 배기측 (배기구 (66)) 과 메인 펌프 (11) 의 흡입측 (흡입구 (21)) 을 연통시키는 연통로 (69) 가 형성되어 있다. 따라서, 지지부 (67) 는 부스터 펌프 (61) 의 배기구 (66) 에 접속된 배기 플랜지 (70), 메인 펌프 (11) 의 흡입구 (21) 에 접속된 흡입 플랜지 (71) 및 두 플랜지 (70,71) 사이를 연결시키는 연결부 (72) 가 일체화되어 이루어진다. 흡입 플랜지 (71) 는 실린더 블럭 (15) 에서 제 1 펌프기구 (P1) 의 맨 앞단의 펌프실 (51) 을 둘러싸는 부분 (45) 의 상면 (45a) 에 접합되어 있다. 연결부 (72) 는 연통로 (69) 의 형상을 따르도록 하여 흡입 플랜지 (71) 측을 향해 앞이 가늘어지는 형상을 이루고 있다.
이와 같이 상기 메인 펌프 (11) 상에 지지부 (67) 를 통해 부스터 펌프 (61) 를 탑재 고정시킴으로써, 메인 펌프 (11) 와 부스터 펌프 (61) 는 실린더 블럭 (15) 끼리 지지부 (67) 를 통해 열적으로 결합된다. 따라서, 메인 펌프 (11) 의 열이 이 펌프 (11) 의 실린더 블럭 (15) 을 통해 부스터 펌프 (61) 의 지지부 (67) 를 거쳐 실린더 블럭 (15) 에 전달되어 이 부스터 펌프 (61) 내 (연통로 (69) 도 포함함) 의 온도가 높아지게 된다. 부스터 펌프 (61) 내의 온도를 높이는 것은 이 펌프 (61) 내의 반응생성물의 고화 방지로 이어진다.
상기 기술한 바와 같이 본 실시형태에서는 메인 펌프 (11) 로서 다단 루트 펌프를 채택한다. 따라서, 메인 펌프 (11) 의 실린더 블럭 (15) 은 제 1 펌프기구 (P1) 의 마지막 단, 요컨대 가장 고온으로 되는 부분을 둘러싸는 부분 (46) 이 그 밖의 부분 (예컨대, 맨 앞단을 둘러싸는 부분 (45)) 보다 고온으로 된다. 따라서, 메인 펌프 (11) 의 발열을 이용하여 부스터 펌프 (61) 내의 온도를 높이는 것을 보다 효과적으로 하기 위해서는, 상기 기술한 메인 펌프 (11) 의 실린더 블럭 (15) 의 고온 부분 (46) 의 열을, 부스터 펌프 (61) 의 실린더 블럭 (15) 으로 효율적으로 전달할 필요가 있다.
그래서, 본 실시형태에서는, 상기 부스터 펌프 (61) 의 지지부 (67) 를, 메인 펌프 (11) 의 실린더 블럭 (15) 의 고온 부분 (46) 과 열적으로 직결시킨다. 즉, 지지부 (67) 에서 흡입 플랜지 (71) 에는 평판 형상의 열 취출부 (73) 가 리어 하우징 (14) 측쪽으로 연재되도록 일체로 돌출 형성되어 있다. 이 열 취출부 (73) 는, 메인 펌프 (11) 의 실린더 블럭 (15) 의 상면 (15a) 에 대하여 고온 부분 (46) 의 상면 (46a) 을 포함하는 이 상면 (46a) 과 부분 (45) 의 상면 (45a) 사이의 영역에 직접 맞닿아 있다.
따라서, 상기 메인 펌프 (11) 의 제 1 펌프기구 (P1) 에서 마지막 단이 발한 열은 실린더 블럭 (15) 의 고온 부분 (46) 으로부터 열 취출부 (73) 를 통해 지지부 (67) 로 직접 취출된다. 따라서, 부스터 펌프 (61) 내의 온도를 효과적으로 높일 수 있어 이 펌프 (61) 내의 반응생성물의 고화가 보다 확실히 방지된다.
상기 구성을 갖는 본 실시형태에서는 다음과 같은 효과를 발휘한다.
(1) 상기 기술한 바와 같이 메인 펌프 (11) 의 제 1 펌프기구 (P1) 에서 마지막 단이 발한 열을 효율적으로 부스터 펌프 (61) 에 전달할 수 있어 이 펌프 (61) 내의 온도를 효과적으로 높일 수 있다. 따라서, 부스터 펌프 (61) 내의 반응생성물의 고화가 보다 확실히 방지되어 가스 유로에서의 반응생성물 퇴적에서 기인한 진공펌프장치의 성능 저하를 확실히 방지할 수 있다.
(2) 지지부 (67) 는 부스터 펌프 (61) 의 실린더 블럭 (15) 에 일체 형성되어 있다. 따라서, 지지부 (67) 와 부스터 펌프 (61) 의 실린더 블럭 (15) 사이의 열전도가 효율적으로 이루어져 부스터 펌프 (61) 내의 온도를 더 효과적으로 높일 수 있다. 또, 펌프 (11,61) 와 별개로 지지부 (67) 를 구비할 필요가 없으므로, 진공펌프장치의 부품 점수를 저감시킬 수 있다.
(3) 지지부 (67) 는 메인 펌프 (11) 상에 부스터 펌프 (61) 를 지지하는 가대를 겸하고 있다. 따라서, 부스터 펌프 (61) 를 지지하기 위한 전용 가대를 구비하지 않아도 되므로, 진공펌프장치의 부품 점수를 저감시킬 수 있다.
(4) 지지부 (67) 내부에는 부스터 펌프 (61) 의 배기구 (66) 와 메인 펌프 (11) 의 흡입구 (21) 를 연통시키는 연통로 (69) 가 형성되어 있다. 따라서, 이 연통로 (69) 를 형성하기 위한 전용 배관을 필요로 하지 않으므로, 진공펌프장치의 부품 점수를 저감시킬 수 있다.
(5) 지지부 (67) 의 흡입 플랜지 (71) 에 열 취출부 (73) 를 돌출 형성시킴으로써, 이 지지부 (67) 와 메인 펌프 (11) 의 실린더 블럭 (15) 의 상면 (15a) 이 제 1 펌프기구 (P1) 의 맨 앞단에 대응한 부분 (45) 의 상면 (45a) 에서부터 마지막 단에 대응한 부분 (46) 의 상면 (46a) 까지의 넓은 면적에서 맞닿게 된다. 따라서, 메인 펌프 (11) 상에서 지지부 (67) 에 의한 부스터 펌프 (61) 의 지지가 안정적으로 이루어진다.
또, 본 발명의 취지에서 일탈하지 않는 범위에서 예컨대 다음 태양에서도 실시할 수 있다.
ㆍ상기 일 실시형태에서 지지부 (67) 는 부스터 펌프 (61) 의 실린더 블럭 (15) 에 일체 형성되었다. 이를 변경하여 예컨대 도 3에 나타낸 바와 같이 지지부 (67) 를 메인 펌프 (11) 의 실린더 블럭 (15) 에 일체 형성한다. 또는, 도 4에 나타낸 바와 같이 지지부 (67) 를, 메인 펌프 (11) 의 실린더 블럭 (15) 및 부스터 펌프 (61) 의 실린더 블럭 (15) 과는 별체로 한다. 또는, 도시되어 있지 않지만, 지지부 (67) 를, 메인 펌프 (11) 의 실린더 블럭 (15) 및 부스터 펌프 (61) 의 실린더 블럭 (15) 에 일체 형성한다.
ㆍ상기 일 실시형태에서 지지부 (67) 와 메인 펌프 (11) 의 실린더 블럭 (15) 의 접합 부분에 열전도 그리스를 개재시킨다. 이와 같이 하면 지지부 (67) 와 메인 펌프 (11) 의 실린더 블럭 (15) 의 밀착성이 향상되어 양자 (15,67) 사이의 열전도성을 향상시킬 수 있어 부스터 펌프 (61) 내의 고온화를 보다 효과적으로 행할 수 있다. 또, 상기 개재물로는 열전도 그리스 이외에도 구리 페이스트 또는 수지 시트 또는 고무 시트 등을 들 수 있다.
ㆍ상기 일 실시형태에서 지지부 (67) 로부터 열 취출부 (73) 를 분리시키고, 이 분리된 열 취출부 (73) 를 부스터 펌프 (61) 의 실린더 블럭 (15) 에서 지지부(67) 와는 별개로 돌출 형성시킨다. 이 경우, 열 취출부 (73) 만을 결합부재로서 파악할 수 있다. 이와 같이 하면 열 취출부 (73) 의 열을 부스터 펌프 (61) 의 실린더 블럭 (15) 에 직접 전달할 수 있어 이 펌프 (61) 내의 온도를 더 효율적으로 높일 수 있다.
ㆍ상기 일 실시형태에서 지지부 (67) 및 지지돌출부 (68) 그리고 부시 (47) 를 삭제하고, 메인 펌프 (11) 상에 부스터 펌프 (61) 를 직접 탑재시킨다. 이 경우, 메인 펌프 (11) 의 실린더 블럭 (15) 에 대하여 직접 접합되는 부스터 펌프 (61) 의 실린더 블럭 (15) 을 결합부재로서 파악할 수 있다. 이와 같이 하면 메인 펌프 (11) 의 실린더 블럭 (15) 의 고온 부분 (46) 이 부스터 펌프 (61) 의 실린더 블럭 (15) 에 직접 맞닿아, 메인 펌프 (11) 의 제 1 펌프기구 (P1) 에서 마지막 단이 발한 열을 더 효율적으로 부스터 펌프 (61) 에 전달할 수 있다. 또, 이 태양은 진공펌프장치의 소형화에도 유효하다.
ㆍ상기 일 실시형태를 변경하여 부스터 펌프 (61) 의 제 2 하우징 (H2) 에서 적어도 실린더 블럭 (15: 이것과 일체된 지지부 (67) 도 포함함) 을, 열 전도성이 우수한 알루미늄계 금속재료로 구성한다. 이와 같이 하면 열 취출부 (73) 의 열을 부스터 펌프 (61) 의 실린더 블럭 (15) 에 효율적으로 전달할 수 있어 이 펌프 (61) 내의 온도를 더 효율적으로 높일 수 있다.
상기 실시형태에서 파악할 수 있는 기술적 사상에 대해서 기재하면, 상기 결합부재와 제 1 하우징의 접합 부분에는, 양자 사이를 밀착시켜 열전도성을 향상시키기 위한 열전도성 향상수단 (예컨대, 열전도 그리스 등) 이 개재되어 있는 청구항 3에 기재된 진공펌프장치.
상기 구성을 갖는 본 발명에 따르면, 다단식 메인 펌프의 열을 효율적으로 부스터 펌프에 전달할 수 있어 부스터 펌프 내의 온도를 효과적으로 높일 수 있게 된다.

Claims (6)

  1. 제 1 하우징 내에 다단식 제 1 펌프기구를 수용하여 이루어진 메인 펌프 및 제 2 하우징 내에 제 2 펌프기구를 수용하여 이루어진 부스터 펌프가, 가스 흐름의 상류측에 이 부스터 펌프를 직렬로 연결한 진공펌프장치로서,
    상기 제 1 하우징과 제 2 하우징은 결합부재를 통해 열적으로 결합되어 있고, 이 결합부재는 제 1 하우징에 대해서는 제 1 펌프기구의 마지막 단을 둘러싸는 부분과 열적으로 직결되어 있는 것을 특징으로 하는 진공펌프장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 결합부재는 제 1 하우징 및 제 2 하우징의 적어도 일측에 일체 형성되어 있는 진공펌프장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 결합부재는 제 1 하우징과 별체로 되어 있고, 이 결합부재는 제 1 하우징에서 제 1 펌프기구의 마지막 단을 둘러싸는 부분과 외면에 맞닿음으로써 이 부분과 열적으로 직결되어 있는 진공펌프장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 결합부재는 메인 펌프 및 부스터 펌프의 일측 상에서 타측을 지지하는 가대 (架臺) 를 겸하고 있는 진공펌프장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 결합부재 내부에는 부스터 펌프의 배기측과 메인 펌프의 흡입측을 연통시키는 연통로가 형성되어 있는 진공펌프장치.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 메인 펌프 및 부스터 펌프가 취급하는 가스는 반도체 가공장치에서 발생된 기체 반응생성물인 진공펌프장치.
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